專利名稱：探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)，尤指一種檢測(cè)探針卡堪用度的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
當(dāng)硅晶片上的集成電路元件完成制作后，在進(jìn)行后續(xù)封裝流程前，需經(jīng)過硅晶片測(cè)試流程，以淘汰不良的集成電路元件，使封裝的良率提高。一般而言，硅晶片測(cè)試的方法是利用多根探針相對(duì)應(yīng)地接觸集成電路元件上的電接點(diǎn)(Pad)，由此量測(cè)集成電路元件的電性特性，以判別集成電路的良窳。當(dāng)探針卡使用一段時(shí)間后會(huì)不可避免地發(fā)生探針變形、 磨損的問題，因此需進(jìn)行探針檢測(cè)以判別是否需修補(bǔ)。目前探針卡物理數(shù)據(jù)測(cè)量有人工/自動(dòng)兩種方式，人工檢查僅能通過工具顯微鏡對(duì)每根探針進(jìn)行測(cè)量探針位置變化、探針先端長度(Tip length)、平坦度(Planarity) 等?，F(xiàn)有探針卡檢測(cè)方式的缺點(diǎn)在于測(cè)量耗時(shí)長、測(cè)量值不能排除個(gè)人視覺誤差。而目前自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備缺點(diǎn)在于不能測(cè)量探針先端長度，需以人工檢查互補(bǔ)，形成多任務(wù)位轉(zhuǎn)換，浪費(fèi)人力以及檢查時(shí)間。尤其關(guān)于平坦度量測(cè)是采用接觸式量測(cè)，亦即以探針在一檢測(cè)治具平面上滑行， 會(huì)造成治具材料耗損，也導(dǎo)致形成的凹槽內(nèi)堆積顆粒，因而所測(cè)得平坦度被低估。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的探針卡檢測(cè)方法主要利用一檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)一探針卡的堪用度，其中檢測(cè)系統(tǒng)包括一機(jī)臺(tái)、一載放座、一控制器、一數(shù)據(jù)庫、一影像擷取裝置、一三軸光學(xué)尺。載放座架設(shè)于機(jī)臺(tái)，機(jī)臺(tái)設(shè)置有一上方三軸位移機(jī)構(gòu)，影像擷取裝置與三軸光學(xué)尺固定于上方三軸位移機(jī)構(gòu)。上述控制器電性連接于數(shù)據(jù)庫、影像擷取裝置及三軸光學(xué)尺，數(shù)據(jù)庫存有一數(shù)據(jù)文件，數(shù)據(jù)文件包括有對(duì)應(yīng)探針卡上多個(gè)區(qū)域的多根探針XY坐標(biāo)信息的多組基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。探針卡檢測(cè)方法包括如下步驟(A)置放探針卡于載放座上，且將探針面朝上擺置；(B)復(fù)歸影像擷取裝置至機(jī)臺(tái)的一坐標(biāo)原點(diǎn)；(C)以上方三軸位移機(jī)構(gòu)于XY平面移動(dòng)影像擷取裝置至多個(gè)區(qū)域的第一個(gè)，以擷取第一個(gè)區(qū)域的多根探針針尖影像；(D)以上方三軸位移機(jī)構(gòu)于Z軸方向移動(dòng)影像擷取裝置至獲得第一個(gè)清晰探針針尖影像，進(jìn)而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)清晰探針針尖影像的探針，記錄三軸光學(xué)尺顯示的一組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)；(E)依序針對(duì)同一區(qū)域的其余探針影像重復(fù)步驟(D)；(F)針對(duì)其余區(qū)域的所有探針重復(fù)步驟(C) (E)；(G)以控制器計(jì)算所有實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)關(guān)于X坐標(biāo)值的差值與Y坐標(biāo)值的差值，以及計(jì)算所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)的中位Z坐標(biāo)值與其它Z坐標(biāo)值的差值；以及(H)以控制器分別就X坐標(biāo)值、Y坐標(biāo)值、Z坐標(biāo)值比對(duì)計(jì)算所得的差值與對(duì)應(yīng)的允許公差值，若X坐標(biāo)值的差值、Y坐標(biāo)值的差值、Z坐標(biāo)值的差值其中之一超出對(duì)應(yīng)的允許公差值，判定不合格。通過上述非接觸檢測(cè)方法，不僅可避免現(xiàn)有因接觸式量測(cè)探針平坦度所導(dǎo)致治具損耗以及測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確情形，也免除以人工操作顯微鏡進(jìn)行測(cè)量的費(fèi)時(shí)且不可靠作業(yè)模式。上述步驟(D)可還包括以上方三軸位移機(jī)構(gòu)于Z軸方向移動(dòng)影像擷取裝置至獲得第一個(gè)清晰探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)影像以及記錄一探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)Z坐標(biāo)值，該步驟(G)可更包括依據(jù)探針針尖Z坐標(biāo)值與探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)Z坐標(biāo)值計(jì)算每一探針的探針先端長度。檢測(cè)系統(tǒng)可還包括與控制器電性連接的一上方電性量測(cè)頭、一下方三軸位移機(jī)構(gòu)及一下方電性量測(cè)頭，其中上方電性量測(cè)頭固定于上方三軸位移機(jī)構(gòu)，下方電性量測(cè)頭固定于下方三軸位移機(jī)構(gòu)，且檢測(cè)方法可更包括以下步驟(I)翻轉(zhuǎn)載放座；(J)分別以上方三軸位移機(jī)構(gòu)與下方三軸位移機(jī)構(gòu)移動(dòng)上方電性量測(cè)頭與下方電性量測(cè)頭至接觸于探針卡的一接點(diǎn)組，以測(cè)試接點(diǎn)組的電性導(dǎo)通；(K)若接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果正常，進(jìn)行下一接點(diǎn)組的電性測(cè)試，若接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果不正常，進(jìn)行結(jié)果記錄并啟動(dòng)影像擷取裝置拍攝接點(diǎn)組；以及(L)針對(duì)其余接點(diǎn)組重復(fù)步驟(J) (K)。上述步驟(H)可更包括發(fā)出一警示訊號(hào)，例如為聲響警示訊號(hào)或亮光警示訊號(hào)或其組合。本發(fā)明另提供一種探針卡檢測(cè)系統(tǒng)，是用于檢測(cè)一探針卡的堪用度，檢測(cè)系統(tǒng)包括一機(jī)臺(tái)、一載放座、一數(shù)據(jù)庫、一影像擷取裝置、一三軸光學(xué)尺及一控制器。上述機(jī)臺(tái)設(shè)置有一上方三軸位移機(jī)構(gòu)，載放座架設(shè)于機(jī)臺(tái)。上述數(shù)據(jù)庫存有一數(shù)據(jù)文件，數(shù)據(jù)文件包括有對(duì)應(yīng)探針卡上多個(gè)區(qū)域的多根探針XY坐標(biāo)信息的多組基準(zhǔn)數(shù)據(jù)。影像擷取裝置與三軸光學(xué)尺固定于上方三軸位移機(jī)構(gòu)，控制器電性連接于數(shù)據(jù)庫、影像擷取裝置及三軸光學(xué)尺。上述載放座可以是樞設(shè)于機(jī)臺(tái)。檢測(cè)系統(tǒng)可更包括與控制器電性連接的一上方電性量測(cè)頭、一下方三軸位移機(jī)構(gòu)及一下方電性量測(cè)頭，其中上方電性量測(cè)頭固定于上方三軸位移機(jī)構(gòu)，下方電性量測(cè)頭固定于下方三軸位移機(jī)構(gòu)。由此，可同時(shí)量測(cè)探針卡上接點(diǎn)組的異常與否。檢測(cè)系統(tǒng)可還包括一警示器，與控制器電性連接。警示器例如為一蜂鳴器或一發(fā)光裝置，以讓工作人員實(shí)時(shí)得知探針卡量測(cè)異常結(jié)果。本發(fā)明的有益效果通過此系統(tǒng)設(shè)計(jì)，可避免現(xiàn)有因接觸式量測(cè)探針平坦度所導(dǎo)致治具損耗以及測(cè)量結(jié)果不準(zhǔn)確情形，也免除以人工操作顯微鏡進(jìn)行測(cè)量的費(fèi)時(shí)且不可靠作業(yè)模式。


圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡檢測(cè)系統(tǒng)立體圖。
圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡檢測(cè)系統(tǒng)元件電性連接示意圖。圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡檢測(cè)方法流程圖。圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡區(qū)域劃分示意圖。圖5是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡檢測(cè)系統(tǒng)量測(cè)探針先端長度示意圖。圖6是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的探針卡檢測(cè)系統(tǒng)量測(cè)探針卡接點(diǎn)組電性導(dǎo)通示意圖。主要元件符號(hào)說明機(jī)臺(tái)10，載放座11，控制器12，比對(duì)單元121，計(jì)算單元122，電性量測(cè)單元123，數(shù)據(jù)庫13，影像擷取裝置14，三軸光學(xué)尺15，X軸光學(xué)尺151，Y軸光學(xué)尺152，Z軸光學(xué)尺153，上方三軸位移機(jī)構(gòu)16， X軸位移器161，171，Y軸位移器162，172， Z軸位移器163，173，下方三軸位移機(jī)構(gòu)17， 上方電性量測(cè)頭18，下方電性量測(cè)頭19，探針卡50，電路板面501，探針面502，探針503，上方接點(diǎn)504a，下方接點(diǎn)504b，警示器51，區(qū)域Al，A2，A3，A4， 探針針尖點(diǎn)Pl，探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)P2。
具體實(shí)施例方式參考圖1與圖2，分別為探針卡檢測(cè)系統(tǒng)立體圖及其元件電性連接示意圖。本發(fā)明是利用一檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)一探針卡的堪用度，圖中示出檢測(cè)系統(tǒng)包括一機(jī)臺(tái)10、一載放座 11、一控制器12、一數(shù)據(jù)庫13、一影像擷取裝置14、一三軸光學(xué)尺15、一上方電性量測(cè)頭18 與一下方電性量測(cè)頭19。載放座11架設(shè)于機(jī)臺(tái)10，本例中使用一種可受控翻轉(zhuǎn)的載放座 11。機(jī)臺(tái)10設(shè)置有一上方三軸位移機(jī)構(gòu)16與一下方三軸位移機(jī)構(gòu)17，分別位于載放座11 的相反側(cè)。每一個(gè)三軸位移機(jī)構(gòu)16，17是由一 X軸位移器161，171、一 Y軸位移器162，172、 一 Z軸位移器163，173所構(gòu)成，分別負(fù)責(zé)X軸、Y軸、Z軸三方向的位移任務(wù)。而三軸光學(xué)尺15是由一 X軸光學(xué)尺151、一 Y軸光學(xué)尺152、一 Z軸光學(xué)尺153所構(gòu)成，分別負(fù)責(zé)X軸、 Y軸、Z軸三方向的位移量測(cè)任務(wù)。影像擷取裝置14、三軸光學(xué)尺15及上方電性量測(cè)頭18固定于上方三軸位移機(jī)構(gòu) 16。下方電性量測(cè)頭19固定在下方三軸位移機(jī)構(gòu)17?？刂破?2電性連接于數(shù)據(jù)庫13、影像擷取裝置14、三軸光學(xué)尺15、兩電性量測(cè)頭18，19、兩三軸位移機(jī)構(gòu)16，17。實(shí)施例中，控制器12與數(shù)據(jù)庫13是整合成一人機(jī)接口即計(jì)算機(jī)型態(tài)。控制器12包括有一比對(duì)單元121、一計(jì)算單元122及電性量測(cè)單元123。數(shù)據(jù)庫13存有數(shù)據(jù)文件，數(shù)據(jù)文件內(nèi)容包括有對(duì)應(yīng)探針卡50上多個(gè)區(qū)域的多根探針XY坐標(biāo)信息的多組基準(zhǔn)數(shù)據(jù)，其表示完好堪用的探針卡狀態(tài)下所測(cè)得作為參考基準(zhǔn)的三軸坐標(biāo)信息。參考圖1 3，欲檢測(cè)探針卡堪用度可依下列步驟流程進(jìn)行。在步驟A中，先將待測(cè)探針卡50置放在載放座11而定位，且探針卡50是以具有探針503 —面(稱探針面502) 朝上擺置。步驟B中，復(fù)歸影像擷取裝置14至一坐標(biāo)原點(diǎn)，也就是透過基本預(yù)設(shè)程序來做系統(tǒng)坐標(biāo)歸零的動(dòng)作。此處同時(shí)另外參考圖4，步驟C中，利用上方三軸位移機(jī)構(gòu)16于XY平面移動(dòng)影像擷取裝置14至第一個(gè)區(qū)域Al，以擷取區(qū)域內(nèi)的多個(gè)探針針尖影像。因?yàn)樘结樋?50的區(qū)域劃分是預(yù)先做好的，例如劃分為N個(gè)區(qū)域，則將各區(qū)域依序標(biāo)記為Al AN(圖中僅示出四個(gè)區(qū)域A1，A2，A3，A4做為代表)，故影像擷取裝置14移往各區(qū)域的定位動(dòng)作是可以很容易透過設(shè)計(jì)程序于控制器12來達(dá)到。步驟D中，透過上方三軸位移機(jī)構(gòu)17于Z軸方向移動(dòng)影像擷取裝置14至獲得第一個(gè)清晰探針針尖影像(對(duì)準(zhǔn)探針針尖點(diǎn)Pl操作，見圖幻，接著沿XY平面移動(dòng)至對(duì)應(yīng)清晰探針針尖影像的探針(以影像擷取裝置鏡頭的標(biāo)線對(duì)準(zhǔn)探針針尖)，于此時(shí)記錄三軸光學(xué)尺顯示的一組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)，即包括X軸坐標(biāo)值、Y軸坐標(biāo)值、Z軸坐標(biāo)值。在此步驟中也于Z軸方向移動(dòng)該影像擷取裝置14至獲得第一個(gè)清晰探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)影像以及記錄一探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)Z坐標(biāo)值，對(duì)準(zhǔn)探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)P2操作，如圖5所示。在步驟E中，對(duì)第一區(qū)域Al的其余探針影像重復(fù)步驟D，以得到單一區(qū)域所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在步驟F中，對(duì)其余區(qū)域A2 AN的所有探針重復(fù)步驟C E，得到所有區(qū)域 Al AN所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)。在步驟G中，一旦得到探針卡50所有探針的實(shí)測(cè)坐標(biāo)信息，便可透過控制器12的計(jì)算單元122計(jì)算所有實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)關(guān)于X坐標(biāo)值的差值與Y坐標(biāo)值的差值，并計(jì)算所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)的中位Z坐標(biāo)值與其它Z坐標(biāo)值的差值。X坐標(biāo)值的差值與Y坐標(biāo)值的差值即代表探針在X坐標(biāo)與在Y坐標(biāo)方向的變化量。在步驟H中，當(dāng)所有探針的X坐標(biāo)與Y坐標(biāo)變化量都已得知，也表示掌握了探針卡 50上探針整體位移分布概況，此時(shí)便可透過比對(duì)單元121依據(jù)數(shù)據(jù)庫13所設(shè)定就X坐標(biāo)值方面與Y坐標(biāo)值方面的允許公差進(jìn)行比對(duì)判定，若有任一 X坐標(biāo)差值或Y坐標(biāo)差值超出允許公差值，就判定不合格，即不堪用。另一方面，就探針平坦度檢測(cè)而言，是取所有探針實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)中，Z坐標(biāo)值的中位坐標(biāo)值當(dāng)作一比較基準(zhǔn)，計(jì)算其它探針Z坐標(biāo)值與此基準(zhǔn)Z坐標(biāo)值的差值，若有任一差值超過數(shù)據(jù)庫13所設(shè)定的允許公差值，就判定不合格，即不堪用。此外，在懸臂式探針卡場合中，由上述光學(xué)尺所獲得實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)的Z坐標(biāo)值是以各探針針尖頂端為基礎(chǔ)，若同時(shí)也對(duì)各探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)進(jìn)行影像對(duì)焦以獲得清晰探針影像的步驟，并記錄此第二 Z坐標(biāo)值，控制器12的計(jì)算單元122計(jì)算便可利用兩Z坐標(biāo)值依據(jù)簡單幾何計(jì)算而得到探針先端長度(tip length)。也可以在機(jī)臺(tái)10加裝一警示器51，其與控制器12電性連接。當(dāng)探針卡被判定不合格時(shí)，便控制警示器51發(fā)出警示訊號(hào)。例如警示器51為一蜂鳴器則發(fā)出聲響警示訊號(hào)； 警示器51為一發(fā)光裝置則發(fā)出亮光警示訊號(hào)，可呈現(xiàn)閃爍或恒亮的亮光狀態(tài)。此處另外也同時(shí)參考圖6。在步驟H之后，更可將載放座11翻轉(zhuǎn)，變成探針卡50不具有探針503 —面(又稱電路板面501)的接點(diǎn)(稱上方接點(diǎn)504a)朝向影像擷取裝置 14，即步驟I。接著在步驟J中，透過上方三軸位移機(jī)構(gòu)16移動(dòng)固定于其上的上方電性量測(cè)頭 18，以及透過下方三軸位移機(jī)構(gòu)17移動(dòng)固定于其上的下方電性量測(cè)頭19，同時(shí)以兩電性量測(cè)頭18，19分別接觸探針卡50的一接點(diǎn)組(包括上方接點(diǎn)504a、對(duì)應(yīng)的下方接點(diǎn)504b)， 進(jìn)行該接點(diǎn)組的電性導(dǎo)通測(cè)試。當(dāng)然，在此例中，下方電性量測(cè)頭19也可以是接觸在探針 503上，同樣可達(dá)到電性量測(cè)目的。在步驟K中，若該接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果正常，進(jìn)行下一接點(diǎn)組的電性測(cè)試；若該接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果不正常，進(jìn)行結(jié)果記錄并啟動(dòng)影像擷取裝置14拍攝該接點(diǎn)組。步驟L，針對(duì)探針卡 50其余接點(diǎn)組重復(fù)步驟J K。由于電性不良的接點(diǎn)輔以拍攝判斷是否外觀明顯損毀或臟污氧化，將更容易第一時(shí)間確認(rèn)問題點(diǎn)所在。上述實(shí)施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種探針卡檢測(cè)方法，是利用一檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)一探針卡的堪用度，該檢測(cè)系統(tǒng)包括一機(jī)臺(tái)、一載放座、一控制器、一數(shù)據(jù)庫、一影像擷取裝置、一三軸光學(xué)尺，該載放座架設(shè)于該機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)設(shè)置有一上方三軸位移機(jī)構(gòu)，該影像擷取裝置與該三軸光學(xué)尺固定于該上方三軸位移機(jī)構(gòu)，該控制器電性連接于該數(shù)據(jù)庫、該影像擷取裝置及該三軸光學(xué)尺，該數(shù)據(jù)庫存有一數(shù)據(jù)文件，該數(shù)據(jù)文件包括有對(duì)應(yīng)該探針卡上多個(gè)區(qū)域的多根探針XY坐標(biāo)信息的多組基準(zhǔn)數(shù)據(jù)，該檢測(cè)方法包括(A)置放該探針卡于該載放座上，且將探針面朝上擺置；(B)復(fù)歸該影像擷取裝置至機(jī)臺(tái)的一坐標(biāo)原點(diǎn)；(C)以該上方三軸位移機(jī)構(gòu)于XY平面移動(dòng)該影像擷取裝置至該多個(gè)區(qū)域的第一個(gè)，以擷取該區(qū)域的多根探針針尖影像；(D)以該上方三軸位移機(jī)構(gòu)于Z軸方向移動(dòng)該影像擷取裝置至獲得第一個(gè)清晰探針針尖影像，進(jìn)而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)該清晰探針針尖影像的探針，記錄該三軸光學(xué)尺顯示的一組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)；(E)依序針對(duì)同一區(qū)域的其余探針影像重復(fù)步驟(D)；(F)針對(duì)其余區(qū)域的所有探針重復(fù)步驟(C) (E)；(G)以該控制器計(jì)算所有實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)與對(duì)應(yīng)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)關(guān)于X坐標(biāo)值的差值與Y坐標(biāo)值的差值，以及計(jì)算所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)的中位Z坐標(biāo)值與其它Z坐標(biāo)值的差值；以及(H)以該控制器分別就X坐標(biāo)值、Y坐標(biāo)值、Z坐標(biāo)值比對(duì)計(jì)算所得的差值與對(duì)應(yīng)的允許公差值，若X坐標(biāo)值的差值、Y坐標(biāo)值的差值、Z坐標(biāo)值的差值其中之一超出對(duì)應(yīng)的允許公差值，判定不合格。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，該步驟(D)還包括以該上方三軸位移機(jī)構(gòu)于Z軸方向移動(dòng)該影像擷取裝置至獲得第一個(gè)清晰探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)影像以及記錄一探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)Z坐標(biāo)值，該步驟(G)更包括依據(jù)探針針尖Z坐標(biāo)值與探針轉(zhuǎn)折點(diǎn)Z坐標(biāo)值計(jì)算每一探針的探針先端長度。
3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，該檢測(cè)系統(tǒng)還包括與該控制器電性連接的一上方電性量測(cè)頭與一下方電性量測(cè)頭及一下方三軸位移機(jī)構(gòu)，該上方電性量測(cè)頭固定于該上方三軸位移機(jī)構(gòu)，該下方電性量測(cè)頭固定于該下方三軸位移機(jī)構(gòu)，且該檢測(cè)方法還包括以下步驟(I)翻轉(zhuǎn)該載放座；(J)分別以該上方三軸位移機(jī)構(gòu)與該下方三軸位移機(jī)構(gòu)移動(dòng)該上方電性量測(cè)頭與下方電性量測(cè)頭至接觸于探針卡的一接點(diǎn)組，以測(cè)試該接點(diǎn)組的電性導(dǎo)通；(K)若該接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果正常，進(jìn)行下一接點(diǎn)組的電性測(cè)試，若該接點(diǎn)組測(cè)試結(jié)果不正常，進(jìn)行結(jié)果記錄并啟動(dòng)影像擷取裝置拍攝該接點(diǎn)組；以及(L)針對(duì)其余接點(diǎn)組重復(fù)步驟(J) (K)。
4.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)方法，其特征在于，該步驟(H)還包括發(fā)出一警示訊號(hào)。
5.如權(quán)利要求4所述的檢測(cè)方法，其特征在于，該警示訊號(hào)為一聲響警示訊號(hào)或一亮光警示訊號(hào)。
6.一種探針卡檢測(cè)系統(tǒng)，是用于檢測(cè)一探針卡的堪用度，該檢測(cè)系統(tǒng)包括一機(jī)臺(tái)，設(shè)置有一上方三軸位移機(jī)構(gòu)；一載放座，架設(shè)于該機(jī)臺(tái)；一數(shù)據(jù)庫，存有一數(shù)據(jù)文件，該數(shù)據(jù)文件包括有對(duì)應(yīng)該探針卡上多個(gè)區(qū)域的多根探針 XY坐標(biāo)信息的多組基準(zhǔn)數(shù)據(jù)；一影像擷取裝置，固定于該上方三軸位移機(jī)構(gòu)；一三軸光學(xué)尺，固定于該上方三軸位移機(jī)構(gòu)；以及一控制器，電性連接于該數(shù)據(jù)庫、該影像擷取裝置及該三軸光學(xué)尺。
7.如權(quán)利要求6所述的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該載放座樞設(shè)于該機(jī)臺(tái)。
8.如權(quán)利要求7所述的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括與該控制器電性連接的一上方電性量測(cè)頭與一下方電性量測(cè)頭及一下方三軸位移機(jī)構(gòu)，該上方電性量測(cè)頭固定于該上方三軸位移機(jī)構(gòu)，該下方電性量測(cè)頭固定于該下方三軸位移機(jī)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求6所述的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，還包括一警示器與該控制器電性連接。
10.如權(quán)利要求9所述的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，該警示器為一蜂鳴器或一發(fā)光裝置。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)于一種探針卡檢測(cè)方法及系統(tǒng)，主要是先以一三軸位移機(jī)構(gòu)于XY平面移動(dòng)影像擷取裝置至探針卡上的多個(gè)區(qū)域其中之一，以擷取該區(qū)域的多根探針針尖影像，再于Z軸方向移動(dòng)影像擷取裝置至獲得第一個(gè)清晰探針針尖影像，進(jìn)而移動(dòng)至對(duì)應(yīng)清晰探針針尖影像的探針，記錄三軸光學(xué)尺顯示的一組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)。重復(fù)相同操作模式獲得探針卡所有區(qū)域的所有探針的坐標(biāo)數(shù)據(jù)。最后將X坐標(biāo)值的差值與Y坐標(biāo)值的差值與對(duì)應(yīng)允許公差值比對(duì)，以及計(jì)算所有組實(shí)測(cè)坐標(biāo)數(shù)據(jù)的中位Z坐標(biāo)值與其它Z坐標(biāo)值的差值與一允許公差值比對(duì)，若超出就判定不合格。
文檔編號(hào)G01B11/30GK102478385SQ20101056407
公開日2012年5月30日 申請(qǐng)日期2010年11月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月26日
發(fā)明者郝亞慧 申請(qǐng)人:京隆科技(蘇州)有限公司