專(zhuān)利名稱(chēng)：晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于檢測(cè)裝置的技術(shù)領(lǐng)域，尤指一種適用于檢測(cè)晶圓的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
已知的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，是以一測(cè)試工作服務(wù)器進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試的控制、以及測(cè)試結(jié)果的處理。請(qǐng)參照?qǐng)D1，圖1是已知的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖，如圖1所示，該系統(tǒng)包括一載臺(tái)101、一探針卡102、一照明器103、一測(cè)試工作服務(wù)器104、多個(gè)測(cè)試電路板105、以及多個(gè)處理裝置106，其中探針卡102上具有一開(kāi)孔1021、以及多個(gè)探針1022，測(cè)試工作服務(wù)器 104是分別連接至載臺(tái)101、照明器103、以及所述處理裝置106，所述測(cè)試電路板105是連接至探針板102、以及所述處理裝置106。當(dāng)使用者欲對(duì)晶圓進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，先將待測(cè)的一晶圓9放置于載臺(tái)101上，并以探針卡102的所述探針1022直接接觸晶圓9，照明器103通過(guò)探針卡的開(kāi)孔1021照射至晶圓 9上，測(cè)試工作服務(wù)器104是供使用者控制以執(zhí)行晶圓檢測(cè)的相關(guān)程序，至少一測(cè)試電路板 105發(fā)送控制命令至探針卡102，探針卡102是經(jīng)所述探針1022傳送電性信號(hào)至晶圓9，并自晶圓9接收反應(yīng)的電性信號(hào)以判斷晶圓是否正常運(yùn)作，至少一測(cè)試電路板105是將測(cè)試結(jié)果傳送至測(cè)試工作服務(wù)器104，測(cè)試工作服務(wù)器進(jìn)行判斷，并將影像相關(guān)信號(hào)傳送至至少一處理裝置106以由其進(jìn)行處理。如上所述，已知的晶圓檢測(cè)方法主要是以測(cè)試工作服務(wù)器執(zhí)行測(cè)試程序，并接收測(cè)試結(jié)果信號(hào)，然后對(duì)所接收的電性信號(hào)進(jìn)行處理，并將所接收的影像擷取信號(hào)傳送至所述處理裝置。由于單一機(jī)臺(tái)的執(zhí)行效率以及傳輸速度皆有一定限制，因此已知的晶圓檢測(cè)方法，其執(zhí)行效率、以及測(cè)試結(jié)果信號(hào)的傳輸皆完全受限于測(cè)試工作服務(wù)器的硬設(shè)備及傳輸速度，因而也使得可于同時(shí)進(jìn)行檢測(cè)的裸晶(die)總數(shù)無(wú)法增加。發(fā)明人爰因于此，本于積極創(chuàng)作的精神，亟思一種可有效提升檢測(cè)效率的“晶圓檢測(cè)系統(tǒng)”，幾經(jīng)研究實(shí)驗(yàn)終至完成此項(xiàng)嘉惠世人的發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述已知的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)尚有改進(jìn)空間，本發(fā)明的一目的，是以繼電器電路板進(jìn)行測(cè)試結(jié)果信號(hào)的分流，以將影像信號(hào)直接傳送至影像處理裝置以由其進(jìn)行處理。為達(dá)成上述的目的，本發(fā)明是提出一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其是用以對(duì)一晶圓進(jìn)行檢測(cè)，該系統(tǒng)包括一載臺(tái)，是用以放置晶圓；一探針卡，其上具有多個(gè)探針、以及一開(kāi)孔，所述探針是直接接觸晶圓以傳送以及接收電性信號(hào)；一照明器，是通過(guò)探針卡的開(kāi)孔照射至晶圓上；一測(cè)試工作服務(wù)器，連接至照明器，是供控制以執(zhí)行晶圓檢測(cè)的相關(guān)程序以及資料處理；一負(fù)載板；至少一繼電器電路板，是分別連接至探針卡、以及負(fù)載板，用以切換流入資料的流向；至少一影像處理卡，是一一對(duì)應(yīng)至至少一繼電器電路板并與之相連接，用以處理所接收的影像信號(hào)；至少一影像處理裝置，連接至測(cè)試工作服務(wù)器、以及至少一影像處理卡，是接收來(lái)自至少一影像處理卡的影像信號(hào)并進(jìn)行處理，然后將測(cè)試結(jié)果傳送至測(cè)試工作服務(wù)器；一控制電路板，連接至測(cè)試工作服務(wù)器、以及負(fù)載板，是接收測(cè)試工作服務(wù)器所發(fā)送的命令，并通過(guò)負(fù)載板發(fā)送控制命令；以及至少一測(cè)試電路板，連接至負(fù)載板，是依據(jù)所接收的控制命令發(fā)送測(cè)試信號(hào)，對(duì)所接收的結(jié)果信號(hào)進(jìn)行判斷，并將判斷結(jié)果經(jīng)負(fù)載板傳送至控制電路板。


為能讓讀者更了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，特舉較佳實(shí)施例配合

如下，其中圖1是已知的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的繼電器電路板的示意圖。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)先參照?qǐng)D2，圖2是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。如圖2所示，該系統(tǒng)包括一載臺(tái)201、一探針卡202、一照明器203、一測(cè)試工作服務(wù)器204、至少一影像處理裝置205、至少一影像處理卡206、至少一繼電器電路板207、一負(fù)載板208、一控制電路板209、至少一測(cè)試電路板210、以及一電源電路板211。其中，載臺(tái)201連接至測(cè)試工作服務(wù)器204，其較佳是經(jīng)由通用接口總線(General Purpose Interface Bus,GPIB)接口連接；測(cè)試工作服務(wù)器204是連接至照明器203、至少一影像處理裝置205、以及控制電路板 209 ；至少一影像處理裝置205是連接至至少一影像處理卡206，其較佳是經(jīng)由通用序列總線(USB)接口連接；至少一繼電器電路板207是連接至探針卡202、以及負(fù)載板208，并一一連接至相對(duì)應(yīng)的影像處理卡206，其中較佳是分別經(jīng)由排線連接至至少一影像處理卡206、 以及負(fù)載板208 ；負(fù)載板208是連接至控制電路板209、至少一測(cè)試電路板210、以及電源電路板211。前述載臺(tái)201用以放置待測(cè)的晶圓9，其是包括多個(gè)裸晶(die)。探針卡202上具有一開(kāi)孔2021、以及多個(gè)探針2022，其中所述探針2022是用以直接接觸至晶圓9以傳送及接收電性信號(hào)。照明器203是通過(guò)探針卡202的開(kāi)孔2021照射至晶圓9上。測(cè)試工作服務(wù)器204是供使用者下達(dá)控制命令，以執(zhí)行晶圓檢測(cè)的相關(guān)程序、以及測(cè)試結(jié)果的資料處理，其更供控制以移動(dòng)載臺(tái)201，進(jìn)而使探針卡202的所述探針2022接觸待測(cè)試的一或多個(gè)裸晶。影像處理裝置205是接收來(lái)自影像處理卡206的影像信號(hào)并進(jìn)行處理，然后將測(cè)試結(jié)果傳送至測(cè)試工作服務(wù)器204。影像處理卡206用以接收來(lái)自其所相對(duì)應(yīng)的繼電器電路板207的影像信號(hào)并進(jìn)行處理。繼電器電路板207用以切換流入資料的流向?？刂齐娐钒?09是接收測(cè)試工作服務(wù)器204所發(fā)送的命令，然后通過(guò)負(fù)載板208發(fā)送控制命令。測(cè)試電路板210是為一腳位信號(hào)卡(Pin Electronics Card,PE card)，其較佳是——對(duì)應(yīng)至繼電器電路板207，用以依據(jù)所接收的控制命令發(fā)送測(cè)試信號(hào)，并對(duì)所接收的結(jié)果信號(hào)進(jìn)行判斷，然后將判斷結(jié)果經(jīng)負(fù)載板208傳送至控制電路板209。電源電路板211是用以提供所需電壓。當(dāng)使用者欲進(jìn)行晶圓檢測(cè)時(shí)，首先先將待測(cè)的一晶圓9放置于載臺(tái)201上，以使探針卡202的所述探針2022直接接觸至晶圓9，然后于測(cè)試工作服務(wù)器204下達(dá)控制命令。測(cè)試工作服務(wù)器204發(fā)送一控制命令至控制電路板209，控制電路板209是經(jīng)由負(fù)載板208 對(duì)測(cè)試電路板210進(jìn)行控制，測(cè)試電路板210發(fā)出測(cè)試信號(hào)；繼電器電路板207接收測(cè)試信號(hào)，進(jìn)行切換以將測(cè)試信號(hào)傳送至探針卡202 ；探針卡202通過(guò)所述探針2022將測(cè)試信號(hào)傳入晶圓9，并自晶圓9接收一反應(yīng)信號(hào)，然后將反應(yīng)信號(hào)傳送至繼電器電路板207。繼電器電路板207接收反應(yīng)信號(hào)，進(jìn)行切換以將反應(yīng)信號(hào)傳遞至相對(duì)應(yīng)的影像處理卡206、或負(fù)載板208 ；其中，若反應(yīng)信號(hào)是影像擷取信號(hào)，則傳遞至相對(duì)應(yīng)的影像處理卡206，若反應(yīng)信號(hào)是直流測(cè)試相關(guān)的電性信號(hào)，則傳遞至負(fù)載板208 ；影像處理卡206是對(duì)所接收的反應(yīng)信號(hào)進(jìn)行處理以產(chǎn)生一影像信號(hào)，然后傳送至影像處理裝置205以由其進(jìn)行處理；負(fù)載板208 是將所接收的反應(yīng)信號(hào)傳送至測(cè)試電路板210以由其進(jìn)行判斷并產(chǎn)生一結(jié)果信號(hào)，然后將結(jié)果信號(hào)經(jīng)負(fù)載板208傳送至控制電路板209，以其傳送至測(cè)試工作服務(wù)器204。請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的繼電器電路板的示意圖。如圖3所示，繼電器電路板207是通過(guò)排線31連接至探針卡202，通過(guò)排線32連接至影像處理卡206，以及通過(guò)排線33連接至負(fù)載板208 ；繼電器電路板207是包括多個(gè)繼電器 2071，其較佳是分別對(duì)應(yīng)至探針卡202的所述探針2022，且是經(jīng)由排線31—一與之相連接。 因此，由切換所述繼電器2071，繼電器電路板207即可將所接收的電性信號(hào)、或影像擷取信號(hào)傳遞至其所連接的影像處理卡206、或負(fù)載板208，以由其進(jìn)行后續(xù)的資料處理程序。本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，是以至少一繼電器電路板切換流入資料的流向，因此可使得所有的測(cè)試信號(hào)、以及接收自待測(cè)晶圓的反應(yīng)信號(hào)皆直接流入目標(biāo)而可進(jìn)行后續(xù)處理程序，例如，接收自晶圓的影像擷取信號(hào)是直接經(jīng)繼電器電路板切換而流入影像處理裝置。 與已知相較，由于并非以測(cè)試工作服務(wù)器進(jìn)行電性信號(hào)及影像擷取信號(hào)等所有信號(hào)的處理及傳輸，因此晶圓檢測(cè)系統(tǒng)的工作效率、信號(hào)處理效率、資料傳輸速度皆不受測(cè)試工作服務(wù)器的硬設(shè)備限制。另外，本發(fā)明的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)在使用上相當(dāng)彈性，可依據(jù)使用者的需求自行擴(kuò)充足夠數(shù)量的測(cè)試電路板、繼電器電路板、影像處理卡以及影像處理裝置，除了有效提升晶圓測(cè)試效率，更使得本發(fā)明所能同時(shí)支持的裸晶檢測(cè)總數(shù)增加。上述實(shí)施例僅是為了方便說(shuō)明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其是用以對(duì)一晶圓進(jìn)行檢測(cè)，該系統(tǒng)包括 一載臺(tái)，用以放置該晶圓；一探針卡，其上具有多個(gè)探針、以及一開(kāi)孔，所述探針直接接觸該晶圓以傳送以及接收電性信號(hào)；一照明器，通過(guò)該探針卡的該開(kāi)孔照射至該晶圓上；一測(cè)試工作服務(wù)器，連接至該照明器，供控制以執(zhí)行晶圓檢測(cè)的相關(guān)程序以及資料處理；一負(fù)載板；至少一繼電器電路板，分別連接至該探針卡、以及該負(fù)載板，用以切換流入資料的流向；至少一影像處理卡，是一一對(duì)應(yīng)至該至少一繼電器電路板并與之相連接，用以處理所接收的影像信號(hào)；至少一影像處理裝置，連接至該測(cè)試工作服務(wù)器、以及該至少一影像處理卡，接收來(lái)自該至少一影像處理卡的影像信號(hào)并進(jìn)行處理，然后將測(cè)試結(jié)果傳送至該測(cè)試工作服務(wù)器；一控制電路板，連接至該測(cè)試工作服務(wù)器、以及該負(fù)載板，接收該測(cè)試工作服務(wù)器所發(fā)送的命令，并通過(guò)該負(fù)載板發(fā)送控制命令；以及至少一測(cè)試電路板，連接至該負(fù)載板，依據(jù)所接收的控制命令發(fā)送測(cè)試信號(hào)，對(duì)所接收的結(jié)果信號(hào)進(jìn)行判斷，并將判斷結(jié)果經(jīng)該負(fù)載板傳送至該控制電路板。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該測(cè)試工作服務(wù)器發(fā)送一控制命令至該控制電路板，該控制電路板經(jīng)該負(fù)載板對(duì)該至少一測(cè)試電路板進(jìn)行控制，以由其發(fā)出一測(cè)試信號(hào)；該至少一繼電器電路板接收該測(cè)試信號(hào)，進(jìn)行切換以將該測(cè)試信號(hào)傳送至該探針卡； 該探針卡通過(guò)所述探針將該測(cè)試信號(hào)傳入該晶圓，自該晶圓接收一反應(yīng)信號(hào)，并將該反應(yīng)信號(hào)傳送至該至少一繼電器電路板；該至少一繼電器電路板進(jìn)行切換，以將該反應(yīng)信號(hào)傳遞至該至少一影像處理卡、或該負(fù)載板。
3.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一影像處理卡對(duì)所接收的該反應(yīng)信號(hào)進(jìn)行處理以產(chǎn)生一影像信號(hào)，然后傳送至該至少一影像處理裝置以由其進(jìn)行處理。
4.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該負(fù)載板將所接收的該反應(yīng)信號(hào)傳送至該至少一測(cè)試電路板以由其進(jìn)行判斷并產(chǎn)生一結(jié)果信號(hào)，然后將該結(jié)果信號(hào)經(jīng)該負(fù)載板傳送至該控制電路板，以其傳送至該測(cè)試工作服務(wù)器。
5.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其還包括一電源電路板，其連接至該負(fù)載板，用以提供所需電壓。
6.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一繼電器電路板分別包括多個(gè)繼電器，且所述繼電器是一一對(duì)應(yīng)至該探針卡的所述探針。
7.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一繼電器電路板一一對(duì)應(yīng)至該至少一測(cè)試電路板。
8.如權(quán)利要求2所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該晶圓包括多個(gè)裸晶，該測(cè)試工作服務(wù)器連接至該載臺(tái)以使其移動(dòng)，進(jìn)而使該探針卡的所述探針接觸待測(cè)試的一或多個(gè)裸晶。
9.如權(quán)利要求8所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該測(cè)試工作服務(wù)器經(jīng)由通用接口總線接口連接至該載臺(tái)。
10.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一繼電器電路板分別經(jīng)由至少一排線連接至該負(fù)載板，并分別經(jīng)由至少一排線連接至該至少一影像處理卡。
11.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一影像處理卡分別經(jīng)由通用序列總線接口連接至該至少一影像處理裝置。
12.如權(quán)利要求1所述的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中該至少一測(cè)試電路板分別為一腳位信號(hào)卡。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于一種晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其是用以對(duì)一晶圓進(jìn)行檢測(cè)，該系統(tǒng)包括一載臺(tái)；一探針卡，具有多個(gè)探針及一開(kāi)孔，所述探針是接觸晶圓以傳送及接收電性信號(hào)；一照明器，通過(guò)開(kāi)孔照射至晶圓上；一測(cè)試工作服務(wù)器，是供控制以執(zhí)行檢測(cè)相關(guān)程序及資料處理；至少一影像處理裝置；一控制電路板；至少一測(cè)試電路板，是發(fā)送測(cè)試信號(hào)，接收結(jié)果信號(hào)并進(jìn)行判斷；一負(fù)載板，連接至該控制電路板及至少一測(cè)試電路板；至少一影像處理卡；以及至少一繼電器電路板，分別連接至探針卡、負(fù)載板及至少一影像處理卡，用以切換流入資料的流向。
文檔編號(hào)G01R31/28GK102486521SQ20101057566
公開(kāi)日2012年6月6日 申請(qǐng)日期2010年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月2日
發(fā)明者劉大綱, 李明憲 申請(qǐng)人:京元電子股份有限公司