專利名稱：檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置，且特別是有關(guān)于一種具可撓性的檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置。
背景技術(shù)：
當(dāng)半導(dǎo)體封裝件產(chǎn)出后，都會進(jìn)行信號檢測，以淘汰不良的半導(dǎo)體封裝件。目前的檢測裝置有懸臂式探針型(Cantilever type)及垂直式探針型(Vertical type)。懸臂式探針型包括多根檢測針腳及電路板。檢測針腳的一端用以接觸半導(dǎo)體封裝件，其另一端延伸至電性接觸于電路板，整根檢測針腳位于電路板的同一側(cè)。懸臂式探針型的多根檢測針腳僅能排列成線形(例如是四邊形)，無法排列成數(shù)組形，因此只能檢測半導(dǎo)體封裝件周圍的電性接點。垂直式探針型包括多根檢測針腳、電路板及轉(zhuǎn)接板。整根檢測針腳位于電路板的同一側(cè)，并通過轉(zhuǎn)接板電性連接于電路板。垂直式探針型的檢測針腳排列成數(shù)組形，雖此， 然其檢測針腳中相鄰二者的間距(pitch)太大，無法符合具微小間距(1 50微米以下)的半導(dǎo)體封裝件的檢測需求。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明有關(guān)于一種檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置，檢測裝置具有數(shù)個根檢測針腳，該些檢測針腳可排列成數(shù)組形且二相鄰的檢測針腳的間距甚小，可檢測電性接點呈數(shù)組形且具微小間距的半導(dǎo)體封裝件。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提出一種檢測針腳。檢測針腳用以檢測一半導(dǎo)體組件，半導(dǎo)體組件具有數(shù)個電性接點。檢測針腳包括一第一部分、一第二部分及一第三部分。第三部分用以接觸該些電性接點的一者。其中，第二部分連接第一部分與第三部分、第二部分的截面積往第三部分的方向漸縮且第二部分與第三部分間夾一第一夾角，第一夾角介于巧5 度至185度之間。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，提出一種檢測裝置。檢測裝置用以檢測一半導(dǎo)體組件。半導(dǎo)體組件具有數(shù)個電性接點。檢測裝置包括一第一板件及數(shù)根檢測針腳。該些根檢測針腳穿過第一板件設(shè)置。各該檢測針腳包括一第一部分、一第二部分及一第三部分。第三部分用以接觸電性接點。其中，第二部分連接第一部分與第三部分、第二部分的截面積往第三部分的方向漸縮且第二部分與第三部分之間夾一第一夾角，第一夾角介于155度至185度之間。為了對本發(fā)明的上述及其它方面有更佳的了解，下文特舉較佳實施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下


圖1繪示依照本發(fā)明一實施例的檢測裝置的剖視圖。
圖2繪示圖1中局部2’的放大示意圖。圖3繪示依照本發(fā)明其它實施方面的檢測針腳的第三部分的示意圖。圖4繪示圖1的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的排列外形示意圖。圖5繪示本實施例的檢測針腳交叉的示意圖。圖6繪示其它實施方面的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的排列外形示意圖。圖7繪示其它實施方面的第一板件、第二板件及檢測針腳的剖視圖。圖8繪示圖1的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的分布區(qū)域示意圖。圖9繪示其它實施方面的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的分布區(qū)域示意圖。主要組件符號說明100:檢測裝置102、202、302、402 第一板件402cl 第一段差面402c2 第二段差面102a、llh、402a 第一面102b、112b、402b 第二面104、204、304、404 第二板件106 檢測針腳106a 第一部分106b,206b 第二部分106bl 第二部份的一端106c,206c 第三部分106cl 檢測端108、208、208，、208，，、308 第一貫孔110、210、210，、210”、310 第二貫孔112:電路板114:貫穿部116:第一凹槽118:第二凹槽120:固定組件Al 第一夾角A2 第二夾角Dl 外徑Li、Si:距離L3 長度Pl:間距R1、R2、R3、R4 分布區(qū)域S2、S3:段差距離
具體實施例方式請參照圖1，其繪示依照本發(fā)明一實施例的檢測裝置的剖視圖。檢測裝置100檢測半導(dǎo)體組件(未繪示)，例如是芯片(chip)或半導(dǎo)體封裝件。檢測裝置100包括第一板件 102、第二板件104、電路板112、固定組件120及多根檢測針腳106。其中，檢測針腳106用以接觸半導(dǎo)體組件的電性接點。請參照圖2，其繪示圖1中局部2’的放大示意圖。檢測針腳106包括第一部分 106a、第二部分106b及第三部分106c。檢測針腳106的第三部分106c用以接觸半導(dǎo)體組件的電性接點。其中，二相鄰的第三部分106c的間距Pl可小至33微米(μπι)或更小，因此可檢測相鄰二電性接點之間距微小(例如是150微米以下)的半導(dǎo)體組件。第一部分106a的材質(zhì)具導(dǎo)電性，其例如是金屬或合金。合金例如是鎢化錸(ReW)、 錸(Re)、鈹化銅(BeCu)或 Palinery_7TM。其中 Palinery_7TM 由金(Gu)、鈀(Pa)、鉬(Pt)、 銀(Au)、銅(Cu)、鋅(Zn)及鎢(W)所組成。第二部分106b的材質(zhì)及第三部分106c的材質(zhì)相似于第一部分106a的材質(zhì)。第一部分106a、第二部分106b與第三部分106c的材質(zhì)不同或相同，本實施例的第一部分106a、第二部分106b及第三部分106c的材質(zhì)以相同為例作說明。較佳但非限定地，第一部分106a、第二部分10 與第三部分106c于同一工藝中一體成形而形成檢測針腳106。以下進(jìn)一步說明第一部分106a、第二部分106b及第三部分106c的構(gòu)造。請繼續(xù)參照圖2，第二部分106b的橫截面(即與針腳的軸向垂直的截面)的形狀可以是圓形、矩形、三角形或其它外形，本發(fā)明對第二部分106b的橫截面的形狀不作任何限制。第二部分106b的一端106bl連接于第三部分106c。當(dāng)?shù)诙糠?06b的該端106bl 的外徑Dl愈小，二相鄰的第二部分106b可愈接近，使間距Pl縮小。在一實施方面中，第二部分10 的該端10乩1的外徑Dl約25 μ m,如此可使間距Pl小至33 μ m。在第二部分106b的該端106bl的外徑D125 μ m的設(shè)計下，第三部分106c的檢測端106cl的外徑大約介于15至25 μπι之間，其中檢測端106cl用以接觸電性接點。第二部分106b連接第一部分106a與第三部分106c。第二部分106b的橫截面積從第一部分106a往第三部分106c的方向漸縮，即第二部分106b錐桿。此外，經(jīng)由第二部分106b的漸縮外型，可使二相鄰的第三部分106c之間的間距縮小。本實施例中，第三部分106c的橫截面積從第二部分106b往第三部分106c的檢測端106cl的方向漸縮。于其它實施方面中，請參照圖3，其繪示依照本發(fā)明其它實施方面的檢測針腳的第三部分的示意圖。第二部分206b連接于第三部分206c，第三部分206c的橫截面積均等，即第三部分206c細(xì)長圓柱。第一部分106a的橫截面積均等，即第一部分106a細(xì)長圓柱，然此非用以限制本發(fā)明，第一部分106a亦可為錐桿。此外，第二部分106b與第三部分106c之間夾一第一夾角Al，第一夾角Al鈍角，其角度值例如是介于約巧5度至185度之間，藉此可使第二部分106b與第三部分106c構(gòu)成一可撓性組件。如此，當(dāng)?shù)谌糠?06c接觸于電性接點而受到電性接點的作用力時，第三部分106c可動而避免強迫刮壞電性接點。此外，經(jīng)由第二部分106b與第三部分106c的可撓性，第三部分106c可刮除電性接點上的雜質(zhì)(例如是氧化層)，使第三部分106c確實地電性接觸到電性接點的導(dǎo)電本體。此外，由于第一夾角Al的設(shè)計，使第二部分106b可受到第二板件104的止擋而避免第三部分106c脫離第二板件104。此外，該些第一部分106a大致上互相平行，且該些第三部分106c大致上互相平行，第一部分106a的平行方向與第三部分106c的平行方向大致上同向，然此非用以限制本發(fā)明。第一部分106a與第二部分106b之間夾一第二夾角A2，由于第一部分106a的平行方向與第三部分106c的平行方向大致上同向，因此第一夾角Al與第二夾角A2內(nèi)錯角，其角度值大致上相等。此外，由于第二夾角A2的設(shè)計，使第二部分106b可受到第一板件102的止擋而避免第一部分106a脫離第一板件102。檢測針腳可穿過電路板設(shè)置。例如，請回到圖1，電路板112具有貫穿部114及相對的第一面11 與第二面112b。第一板件102設(shè)于電路板112的第一面11 上。檢測針腳106穿過電路板112的貫穿部114、第一板件102及第二板件104。其中，第一部分106a 延伸至電路板112的第二面112b，第一部分106a采用例如是焊接的方式電性連接于電路板112，而第三部分106c突出于第二板件104的下表面。詳細(xì)而言，檢測針腳106從電路板 112的第一面11 的側(cè)穿過電路板112而延伸至電路板112的第二面112b。如圖2所示，第一部分106a穿過第一板件102設(shè)置，第三部分106c穿過第二板件 104設(shè)置。詳細(xì)而言，第一板件102具有第一凹槽116(第一凹槽116繪示于圖1)、多個第一貫孔108及相對的第一面10 與第二面102b，其中第一貫孔108從第一面10 延伸至第二面，該些第一貫孔108大致上彼此平行地排列。檢測針腳106的第一部分106a穿過對應(yīng)的第一貫孔108而延伸至電路板112的第二面112b (第二面112b繪示于圖1)并電性連接于電路板112的第二面112b，亦即，第一部分106a從鄰近第一板件102的第一面10 的側(cè)延伸至連接于電路板112的第二面102b。此外，二相鄰的第一貫孔108的間距可改變二相鄰的第一部分106a的間距。第二板件104具有第二凹槽118(第二凹槽118繪示于圖1)與多個第二貫孔110。 其中，第二貫孔110貫穿第二板件104的相對二面，該些第二貫孔110大致上彼此平行地排列。其中，第二貫孔110的內(nèi)徑略大于第三部分106c的最大外徑，使檢測針腳106的第三部分106c可輕易地穿過對應(yīng)的第二貫孔110設(shè)置。當(dāng)?shù)谌糠?06c接觸于電性接點而受力時，第三部分106c受到第二貫孔110導(dǎo)引而上下移動。在其它實施方面中，亦可省略第二板件104，如此，第三部分106c仍可與電性接點接觸而完成檢測。此外，二相鄰的第二貫孔110的間距以及第二部分106b的該端106bl的外徑Dl 可改變二相鄰的第三部分106c的間距PI。舉例來說，當(dāng)二相鄰的第二貫孔110之間距愈小或第二部分106b的該端106bl的外徑Dl愈小時，二相鄰的第三部分106c之間距Pl可設(shè)計得愈??；反之，當(dāng)二相鄰的第二貫孔110之間距愈大或第二部分106b的該端106bl的外徑Dl愈大時，二相鄰的第三部分106c之間距Pl可設(shè)計得愈大。藉此，間距Pl的值可介于一范圍內(nèi)，該范圍例如是介于約180 μ m至33 μ m之間，然此非用以限制本發(fā)明。該范圍的上限值亦可高于180 μ m,該范圍的下限值亦低于33 μ m,實際的數(shù)值可依據(jù)受檢測的半導(dǎo)體組件的電性接點的間距而定，本發(fā)明不作任何限制。
此外，第一板件102與第二板件104在接合后，第一凹槽116與第二凹槽118相通， 第二部分106b位于第一凹槽116與第二凹槽118內(nèi)。如圖2所示，固定組件120黏膠或環(huán)氧樹脂(印oxy)，其結(jié)合第一板件102與檢測針腳106，以將檢測針腳106固定于第一板件102上。本實施例中，固定組件120連接第一板件102的第二面102b與第一部分106a，以將第一部分106a固定于第一板件102上；于其它實施方面中，固定組件120可連接第一板件102的第一面10 與第一部分106a，以將第一部分106a固定于第一板件102上。當(dāng)固定組件120設(shè)于第一板件102的第一面10 時，固定組件120較佳地完全不接觸到第二部分106b，可使第二部分106b產(chǎn)生較佳可撓性， 然此非用以限制本發(fā)明。在其它實施方面中，當(dāng)固定組件120設(shè)于第一板件102的第一面 102a時，固定組件120亦可接觸到部分的第二部分106b。在其它實施方面中，亦可省略固定組件120。如此，第一部分106a經(jīng)由第一貫孔 108的限制而不致與第一板件102脫離。在此情況下，第一貫孔108的內(nèi)徑可與第一部分 106a的外徑較精密地配合或緊配，以增進(jìn)檢測針腳106的穩(wěn)固性。如圖2所示，在一實施方面中，第三部分106c的長度L3大約508 μ m,而第一板件 102與第二板件104之間的距離Ll大約介于7000 μ m至8000 μ m之間。較佳但非限定地， 每根第二部分106b的長度大致上相等，如此使得連接于該些長度大致上相等的第二部分 106b的該些第三部分106c，其受力較一致?！┑谝回灴椎呐帕型庑闻c對應(yīng)的該些第二貫孔的排列外形可以不同或相似。例如，請參照圖4，其繪示圖1的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的排列外形示意圖。圖4僅繪示第一板件102中局部區(qū)域的此些第一貫孔108以及第二板件104中局部區(qū)域的此些第二貫孔110。檢測針腳106(未繪示于圖4)可穿過圖4中其中一第一貫孔108 與對應(yīng)的第二貫孔110。該些第一貫孔108的排列外形與該些第二貫孔110的排列外形不同，例如，該些第一貫孔108排列成六邊形，而該些第二貫孔110排列成四邊形。雖此，請參照圖5，其繪示本實施例的檢測針腳交叉的示意圖。經(jīng)由該些第二部分106b彼此交叉設(shè)置， 可使設(shè)于第一板件102與第二板件104之間的該些第二部分106b的長度差異縮小，甚至使該些第二部分106b的長度大致上相等。在其它實施方面中，請參照圖6，其繪示其它實施方面的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的排列外形示意圖。第一板件202具有數(shù)個第一貫孔208，第二板件204 具有數(shù)個第二貫孔210，該些第一貫孔208對應(yīng)于該些第二貫孔210。該些第一貫孔208的排列外形相似于該些第二貫孔210的排列外形，例如，第一貫孔208排列成四邊形，而第二貫孔110亦排列成相似的四邊形。相似地，可經(jīng)由該些第二部分106b彼此交叉設(shè)置，使設(shè)于第一板件202與第二板件204間的該些第二部分106b的長度差異縮小，甚至使該些第二部分106b的長度大致上相等。綜上所述，無論多個第一貫孔108的排列外形與對應(yīng)的該些第二貫孔110的排列外形相同或相異，經(jīng)由第二部分106b彼此交叉設(shè)置，可縮小該些第二部分106b的長度差異，使對應(yīng)的該些檢測針腳106的受力較一致。此外，當(dāng)該些第一貫孔208(繪示于圖6)的排列外形相似于該些第二貫孔210的排列外形(如圖6所示)時，經(jīng)由檢測針腳106穿過位置相對應(yīng)的第一貫孔208與第二貫孔210，使每根檢測針腳106的第二部分106b大致上平行地配置。例如，第一貫孔208’位于排列外形(四邊形)的相對位置，與第二貫孔210’位于排列外形(四邊形)的相對位置大致上一致，而第一貫孔208”位于排列外形的相對位置，與第二貫孔210”位于排列外形的相對位置大致上一致。穿過對應(yīng)的第一貫孔208’與第二貫孔210’的檢測針腳與穿過對應(yīng)的第一貫孔208”與第二貫孔210”的檢測針腳，其第二部分的長度大致上相同。本發(fā)明縮小該些第二部分106b的長度差異并不局限于上述方法。在其它實施方面中，請參照圖7，其繪示其它實施方面的第一板件、第二板件及檢測針腳的剖視圖。第一板件402具有第一段差面402cl、第二段差面402c2以及相對的第一面40 與第二面402b。 其中，第一面40 、第一段差面402cl及第二段差面402c2朝向第二板件404。第一面40 與第一段差面402cl相距一段差距離S2，第一段差面402cl與第二段差面402c2相距一段差距離S3，使得第一面40 、第一段差面402cl及第二段差面402c2分別與第二板件404 相距不同距離。藉此段差結(jié)構(gòu)，可增加第二部分106b的長度的設(shè)計彈性，使設(shè)于第一板件 402與第二板件404之間的該些第二部分106b的長度差異縮小。此外，多個第一貫孔的分布區(qū)域與對應(yīng)的該些第二貫孔的分布區(qū)域可重迭或彼此錯開一距離。例如，請參照圖8，其繪示圖1的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的分布區(qū)域示意圖。一些第一貫孔108的分布區(qū)域Rl與對應(yīng)的該些第二貫孔110的分布區(qū)域R2重迭，進(jìn)一步地說，分布區(qū)域Rl的至少一部分與分布區(qū)域R2的至少一部分沿著貫孔(第一貫孔108或第二貫孔110)的延伸方向重迭。又例如，請參照圖9，其繪示其它實施方面的第一板件的第一貫孔與第二板件的第二貫孔的分布區(qū)域示意圖。其它實施方面中，第一板件302具有多個第一貫孔308，第二板件304具有多個第二貫孔310。其中一些第一貫孔308的分布區(qū)域R3與對應(yīng)的該些第二貫孔310的分布區(qū)域R4不重迭。進(jìn)一步地說，分布區(qū)域R3與分布區(qū)域R4沿著與貫孔(第一貫孔108或第二貫孔110)的延伸方向垂直的方向錯開一距離Si。本發(fā)明上述實施例的檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置，檢測針腳可排列成數(shù)組形且二相鄰的檢測針腳的間距甚小，可檢測電性接點呈數(shù)組形且其間距甚小的半導(dǎo)體封裝件。綜上所述，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明。本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種檢測針腳，用以檢測一半導(dǎo)體組件，該半導(dǎo)體組件具有數(shù)個電性接點，該檢測針腳包括一第一部分；一第二部分；以及一第三部分，用以接觸該些電性接點的一者；其中，該第二部分連接該第一部分與該第三部分、該第二部分的截面積往該第三部分的方向漸縮且該第二部分與該第三部分間夾一第一夾角，該第一夾角介于155度至185度之間。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測針腳，其中該第一部分與該第二部分之間夾一第二夾角， 該第一夾角與該第二夾角實質(zhì)上相等。
3.如權(quán)利要求1所述的檢測針腳，其中該第一部分實質(zhì)上平行于該第三部分。
4.一種檢測裝置，用以檢測一半導(dǎo)體組件，該半導(dǎo)體組件具有數(shù)個電性接點，該檢測裝置包括一第一板件；以及數(shù)個根檢測針腳，穿過該第一板件設(shè)置，各該檢測針腳包括一第一部分；一第二部分；及一第三部分，用以接觸該些電性接點的一者；其中，該第二部分連接該第一部分與該第三部分、該第二部分的截面積往該第三部分的方向漸縮且該第二部分與該第三部分之間夾一第一夾角，該第一夾角介于155度至185 度之間。
5.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，其中該第一部分穿過該第一板件設(shè)置，該檢測裝置更包括一第二板件，相對該第一板件配置，該第三部分穿過該第二板件設(shè)置。
6.如權(quán)利要求5所述的檢測裝置，其中該第一板件具有一第一面及一段差面，該第一面及該段差面朝向該第二板件，且該第一面與該段差面相距一段差距離。
7.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，更包括一電路板，具有相對的一第一面與一第二面，該第一板件設(shè)于該電路板的該第一面；其中，該第一部分延伸至該電路板的該第二面。
8.如權(quán)利要求7所述的檢測裝置，其中該電路板更具有一貫穿部，該第一部分經(jīng)過該貫穿部延伸至該電路板的該第二面。
9.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，其中該第一部分、該第二部分與該第三部分一體成形。
10.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，更包括一固定組件，結(jié)合該第一板件與該檢測針腳，以將該檢測針腳固定于該第一板件上。
11.如權(quán)利要求10所述的檢測裝置，其中該第一板件具有相對的一第一面與一第二面，該第一部分從該第一板件的該第一面延伸至該第一板件的該第二面，該固定組件設(shè)于該第一板件的該第一面與該第二面中的一者。
12.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，其中該第一部分與該第二部分間夾一第二夾角，該第一夾角與該第二夾角實質(zhì)上相等。
13.如權(quán)利要求4所述的檢測裝置，其中該第一部分與該第三部分實質(zhì)上平行。
全文摘要
一種檢測針腳及應(yīng)用其的檢測裝置。檢測針腳用以檢測半導(dǎo)體組件，半導(dǎo)體組件具有數(shù)個電性接點。檢測針腳包括第一部分、第二部分及第三部分。第三部分用以接觸電性接點。其中，第二部分連接第一部分與第三部分、第二部分的截面積往第三部分的方向漸縮且第二部分與第三部分間夾一第一夾角，第一夾角介于155度至185度之間。
文檔編號G01R31/28GK102156206SQ20101058504
公開日2011年8月17日 申請日期2010年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月3日
發(fā)明者曹育誠, 蔡昭源 申請人:日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司