專利名稱：雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于測(cè)量高反射鏡反射率的方法和裝置，特別涉及一種測(cè)量雙波 長(zhǎng)高反射鏡反射率的方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，高反射率薄膜光學(xué)元件在大型激光系統(tǒng)、激光陀螺、引力波測(cè)量和痕量氣 體檢測(cè)等領(lǐng)域得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。而光腔衰蕩技術(shù)是目前精確測(cè)量高反射鏡反射 率的主要方法(李斌成，龔元；光腔衰蕩高反射率測(cè)量綜述，《激光與光電子學(xué)進(jìn)展》，2010， 47 =021203)。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?8114152. 8的發(fā)明專利“一種高反鏡高反射率的測(cè)量方法”， 采用脈沖激光系統(tǒng)作光源，該方法的缺點(diǎn)是由于脈沖激光光束質(zhì)量差、衰蕩腔內(nèi)存在模式 競(jìng)爭(zhēng)等因素，測(cè)量精度受制，而且所使用的脈沖激光器造價(jià)高，提高了系統(tǒng)成本，不利于推 廣使用。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?006100112M. 9的發(fā)明專利“一種高反鏡反射率的測(cè)量方法”提 出了一種以連續(xù)半導(dǎo)體激光器作光源的高反射率測(cè)量方法，但是采用鎖相方式探測(cè)要求穩(wěn) 定的光腔輸出信號(hào)，激光功率耦合進(jìn)衰蕩腔的效率低，當(dāng)腔鏡反射率高到一定程度后，光腔 輸出信號(hào)振幅減小，信噪比下降，使得裝置調(diào)節(jié)比較困難，而且限制了可測(cè)最高反射率和測(cè) 量精度。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?00610165082.0的發(fā)明專利“高反鏡反射率的測(cè)量方法”、中國(guó)專 利申請(qǐng)?zhí)?00710098755.X的發(fā)明專利“基于半導(dǎo)體自混合效應(yīng)的高反射率測(cè)量方法”、中 國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?00810102778.8的發(fā)明專利“基于頻率選擇性光反饋光腔衰蕩技術(shù)的高反 射率測(cè)量方法”以及中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?00810055635. 4的發(fā)明專利“一種用于測(cè)量高反射率 的裝置”均使用連續(xù)光腔衰蕩方法，連續(xù)激光沿衰蕩腔光軸入射，當(dāng)光腔衰蕩信號(hào)幅值大于 設(shè)定的閾值時(shí)，觸發(fā)關(guān)閉激光束，記錄光腔衰蕩信號(hào)，或者在調(diào)制方波下降沿記錄光腔衰蕩 信號(hào)，將得到的信號(hào)利用單指數(shù)衰減函數(shù)擬合出衰蕩時(shí)間，進(jìn)而得到反射率測(cè)量結(jié)果。上述測(cè)量方法和裝置都只能測(cè)量高反射鏡在單一波長(zhǎng)處的反射率，不能同時(shí)測(cè)得 雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率。隨著激光技術(shù)的發(fā)展和激光系統(tǒng)應(yīng)用的不斷拓展， 雙波長(zhǎng)或多波長(zhǎng)高反射鏡在許多激光系統(tǒng)中應(yīng)用也日漸廣泛。目前在許多光學(xué)系統(tǒng)中對(duì)雙 波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)激光源的需求也不斷增加，例如，中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)?00510077804. 2的發(fā)明專 利“多波長(zhǎng)激光系統(tǒng)”，其中激光器諧振腔腔鏡的雙波長(zhǎng)甚至多波長(zhǎng)反射率測(cè)量是十分必要 的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有單波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量技術(shù)的不足， 提出了一種基于光腔衰蕩技術(shù)的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，具有測(cè)量靈敏度高，易 于操作的優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法， 實(shí)現(xiàn)步驟如下(1)將光強(qiáng)周期性調(diào)制的兩個(gè)不同波長(zhǎng)的連續(xù)激光同時(shí)入射到初始光學(xué)諧振腔；
5
所述初始光學(xué)諧振腔由兩塊相同的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡凹面相對(duì)垂直于光軸放 置組成，入射光從第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡中心透過(guò)后垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高 反射鏡；或初始光學(xué)諧振腔由兩塊相同的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和一塊平面雙波長(zhǎng)高反射 鏡構(gòu)成，平面高反射鏡為入射腔鏡且傾斜于光軸放置，入射激光束從該平面高反射鏡透射 后垂直入射到垂直于光軸放置的第一塊平凹高反射鏡，激光束被第一塊平凹高反射鏡反射 后按原路返回至平面高反射鏡，然后又被平面高反射鏡再次反射，反射光垂直入射到第二 塊平凹高反射鏡；(2)從所述初始光學(xué)諧振腔的兩個(gè)雙波長(zhǎng)高反射鏡透射的兩不同波長(zhǎng)的激光由 聚焦透鏡聚焦到光電探測(cè)器，光電探測(cè)器探測(cè)初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，當(dāng)初始光 學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)幅值超過(guò)設(shè)定閾值時(shí)，觸發(fā)關(guān)斷入射激光束，記錄初始光學(xué)諧振 腔的光腔衰蕩信號(hào)，或者在調(diào)制信號(hào)的下降沿記錄初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，利用 同時(shí)測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間 τ 01 > τ ο2，進(jìn)而得到雙波長(zhǎng)高反射腔鏡在兩波長(zhǎng)處的平均反射率Rcu、R02 ；(3)在初始光學(xué)諧振腔內(nèi)根據(jù)待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡的使用角度加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高 反射鏡，構(gòu)成測(cè)試光學(xué)諧振腔；所述測(cè)試光學(xué)諧振腔的構(gòu)成為入射光從初始光學(xué)諧振腔中第一塊平凹雙波長(zhǎng)高 反射鏡中心進(jìn)入，保持第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡位置不動(dòng)，在兩平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡之 間加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，激光束透過(guò)第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡后入射到待測(cè)雙波長(zhǎng) 高反射鏡，入射角為雙波長(zhǎng)高反射鏡使用角度，改變第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡的位置使 從待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡反射的激光束垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡，構(gòu)成測(cè)試光 學(xué)諧振腔；或測(cè)試光學(xué)諧振腔的構(gòu)成為平面雙波長(zhǎng)高反射鏡為入射腔鏡且傾斜于光軸放 置，入射激光束從該平面雙波長(zhǎng)高反射鏡透射后垂直入射到垂直于光軸放置的第一塊平凹 雙波長(zhǎng)高反射鏡，激光束被第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡反射后按原光路返回至平面雙波長(zhǎng) 高反射鏡，然后又被平面雙波長(zhǎng)高反射鏡再次反射，反射光垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng) 高反射鏡；在初始光學(xué)諧振腔的第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡之間插 入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，入射激光束透過(guò)平面雙波長(zhǎng)高反射鏡后，先后經(jīng)過(guò)第一塊平凹雙 波長(zhǎng)高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡后，入射到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，入射角為待測(cè)雙波 長(zhǎng)高反射鏡使用角度，從待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡反射的激光束垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng) 高反射鏡，構(gòu)成測(cè)試光學(xué)諧振腔；(4)從輸出雙波長(zhǎng)高反射腔鏡透射的兩不同波長(zhǎng)的激光由聚焦透鏡聚焦到光電探 測(cè)器，光電探測(cè)器探測(cè)光腔衰蕩信號(hào)，當(dāng)測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值超過(guò)設(shè)定閾值時(shí)，觸 發(fā)關(guān)斷入射激光束，記錄測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，或者在調(diào)制信號(hào)的下降沿記錄 測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，利用同時(shí)測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到測(cè)試光 學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ ρ τ 2，通過(guò)計(jì)算得待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處 的反射率禮、&。所述的兩連續(xù)激光由半導(dǎo)體激光器或固體激光器或氣體激光器產(chǎn)生。所述的初始光學(xué)諧振腔和測(cè)試光學(xué)諧振腔的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡的反射率在兩波長(zhǎng)處均大于99%。所述的初始光學(xué)諧振腔和測(cè)試光學(xué)諧振腔均為穩(wěn)定腔或共焦腔，總腔長(zhǎng)L滿足0 < L < 2r，其中r為平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡凹面的曲率半徑。所述步驟( 和中觸發(fā)關(guān)斷兩入射激光束通過(guò)以下方式之一實(shí)現(xiàn)a.采用連續(xù)半導(dǎo)體激光器時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔或測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值 高于設(shè)定閾值時(shí)，快速關(guān)閉半導(dǎo)體激光器激勵(lì)電流或電壓；b.采用連續(xù)半導(dǎo)體激光器或固體激光器或氣體激光器時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔或測(cè) 試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于設(shè)定閾值時(shí)，在激光器和入射雙波長(zhǎng)高反射腔鏡之間采用 快速光開(kāi)關(guān)來(lái)關(guān)閉激光束；c.采用方波調(diào)制快速光開(kāi)關(guān)，或方波調(diào)制激光器激勵(lì)電源時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔 或測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于設(shè)定閾值時(shí)，利用方波下降沿來(lái)關(guān)閉激光束。所述步驟O)中的初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)由示波器或數(shù)據(jù)采集卡記錄。所述的同時(shí)測(cè)量法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、R2的實(shí) 現(xiàn)過(guò)程如下將步驟O)中記錄的初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)按雙指數(shù)函數(shù)衰減， /(0 = +A02e-(t+At)/^+A03，At 為兩激光束關(guān)斷時(shí)間差，Atll，Atl2，Atl3 為常系數(shù)，利 用多參數(shù)擬合程序擬合得到初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ, Ttl2 ；同樣， 在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，將步驟中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)按雙指數(shù) 函數(shù)衰減，/OXew"1 + A22e-(t+A,)/T2 +A33, A11^ A12，A13為常系數(shù)，利用多參數(shù)擬合程序 擬合得到測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間^、τ 2，根據(jù)公式代=W^-VW 和i 2 =ZvA2-i^y，其中Ltl為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到 待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、&。所述分光探測(cè)法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、R2的實(shí)現(xiàn)過(guò)程 如下將步驟O)中初始光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)經(jīng)分光元件分光，兩不同波長(zhǎng)的激光被分別 聚焦到不同的光電探測(cè)器，兩光電探測(cè)器測(cè)得的光腔衰蕩信號(hào)分別按單指數(shù)衰減函數(shù)I (t) = Ae_tA+B，其中A，B為常系數(shù)，擬合出初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間T(ll、 Ttl2 ；同樣，在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，將步驟中測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)經(jīng)分光元件 分光，兩不同波長(zhǎng)的激光被分別聚焦到不同的光電探測(cè)器，兩光電探測(cè)器測(cè)得的光腔衰蕩 信號(hào)分別按單指數(shù)衰減函數(shù)I (t) =Aie^kB1，其中A1, B1為常系數(shù)，擬合出測(cè)試光學(xué)諧振 腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ ” τ 2，根據(jù)公式代=e(V 和晃=^L0Icrm-LxlCr2)，其
中Ltl為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在 兩波長(zhǎng)處的反射率&、&。所述交替測(cè)量法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、R2的實(shí)現(xiàn)過(guò)程 如下采用機(jī)械快門(mén)或者電開(kāi)關(guān)方法交替關(guān)閉兩激光束，在測(cè)量的過(guò)程中先將一波長(zhǎng)激光 器關(guān)閉或者將該激光器輸出光束遮擋，將步驟O)中記錄的初始光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng)處 的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/⑴=+代郝合出衰蕩時(shí)間τ Μ，其中Atll, B01 為常系數(shù)；然后關(guān)閉或遮擋另一波長(zhǎng)激光束，將步驟O)中記錄的初始光學(xué)諧振腔在先前 被關(guān)閉或遮擋的激光波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/0) =+^ct2擬合
出衰蕩時(shí)間τ μ，其中Atl2，B02為常系數(shù)；同樣，在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，先將一波長(zhǎng)激光器關(guān)閉或者將該激光器輸出光束遮擋，將步驟中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng)處 的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/O)+5 擬合出衰蕩時(shí)間T1，其中An，B11 為常系數(shù)；然后關(guān)閉或遮擋另一波長(zhǎng)激光束，將步驟中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔在先前 被關(guān)閉或遮擋的激光波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/(O =為一- 2 +S12擬合 出衰蕩時(shí)間τ2，其中A12，B12為常系數(shù)，根據(jù)公式代- ,-「VA^A-yVafVW，其
中Ltl為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在 兩波長(zhǎng)處的反射率&、&。所述的快速光開(kāi)關(guān)是電光調(diào)制開(kāi)關(guān)或聲光調(diào)制開(kāi)關(guān)。所述的分光元件是光柵或棱鏡。所述的反射率測(cè)量方法也可以用于三波長(zhǎng)或更多波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量。所述光電探測(cè)器可以是三個(gè)或多個(gè)單元探測(cè)器，也可以是一個(gè)線陣的高速光電探 測(cè)器。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明利用光腔衰蕩技術(shù)測(cè)量雙波長(zhǎng)高反 射鏡反射率，可同時(shí)得到高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率，也可用于單波長(zhǎng)高反射鏡反射率 的測(cè)量，實(shí)現(xiàn)一機(jī)兩用或多用。本發(fā)明采用基于光反饋效應(yīng)的光腔衰蕩技術(shù)，極大地提高了 輸出信號(hào)的幅值，因此所得信號(hào)具有高信噪比，提高了測(cè)量精度，該方法還具有操作簡(jiǎn)單， 成本低等優(yōu)點(diǎn)。


圖1為本發(fā)明的一種初始光學(xué)諧振腔測(cè)量裝置示意圖，在該實(shí)施例中，采用方波 調(diào)制半導(dǎo)體激光器激勵(lì)電源，在方波下降沿關(guān)斷激光束；圖2為本發(fā)明的一種初始光學(xué)諧振腔測(cè)量裝置示意圖，在該實(shí)施例中，采用快速 光開(kāi)關(guān)關(guān)斷激光束；圖3為本發(fā)明的一種測(cè)試光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的分光探測(cè)法的測(cè)量裝置示意圖；圖5為本發(fā)明的一種初始光學(xué)諧振腔測(cè)量裝置示意圖，在該實(shí)施例中，采用機(jī)械 快門(mén)或者波長(zhǎng)選擇開(kāi)關(guān)交替關(guān)斷兩激光束；圖6為本發(fā)明的頻率選擇性光反饋初始光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明的頻率選擇性光反饋測(cè)試光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖1所述的測(cè)量系統(tǒng)描述本發(fā)明的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率的測(cè)量方 法。圖1中1，2分別為兩個(gè)不同波長(zhǎng)的激光光源、3為反射鏡、4為雙光束分光鏡、5和6為 平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡、7為聚焦透鏡、8為光電探測(cè)器、9為計(jì)算機(jī)、10為數(shù)據(jù)采集卡、11為函 數(shù)發(fā)生卡、12為可見(jiàn)輔助對(duì)準(zhǔn)光源、13為分光鏡、14為反射鏡，圖中粗線為光路，細(xì)線為連 接線。光源1，2均選用連續(xù)半導(dǎo)體激光器，兩半導(dǎo)體激光器采用方波調(diào)制輸出；通過(guò)反 射鏡3和雙光束分光鏡4將兩激光束合束，使其同時(shí)注入衰蕩腔；兩塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡5，6在兩激光器波長(zhǎng)處反射率大于99%，衰蕩腔為穩(wěn)定光學(xué)諧振腔或共焦光學(xué)諧振腔，腔 長(zhǎng)L滿足0 < L < 2r，其中r為平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡凹面的曲率半徑；兩塊平凹雙波長(zhǎng)高反 射鏡垂直于光路放置，且使激光束從鏡面中心通過(guò)，激光束從第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡 進(jìn)入光學(xué)諧振腔，隨著激光束的注入，光學(xué)諧振腔內(nèi)能量逐漸增加，當(dāng)入射激光束被迅速關(guān) 斷后，光學(xué)諧振腔內(nèi)光能量會(huì)由于腔鏡透射而逐漸減小，部分激光能量從第二塊平凹雙波 長(zhǎng)高反射鏡輸出，從光學(xué)諧振腔后腔鏡透射的激光束由聚焦透鏡7聚焦到光電探測(cè)器8，光 電探測(cè)器8輸出信號(hào)由數(shù)據(jù)采集卡10記錄并輸入計(jì)算機(jī)9存儲(chǔ)及處理。由于光源1，2均采 用函數(shù)發(fā)生卡11方波同步調(diào)制輸出，在方波下降沿處激光束被快速關(guān)斷，當(dāng)光學(xué)諧振腔輸 出信號(hào)幅值在方波下降沿處大于預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)，計(jì)算機(jī)9控制數(shù)據(jù)采集卡10采集衰蕩 信號(hào)?？梢?jiàn)光源12、分光鏡13和反射鏡14用于輔助調(diào)節(jié)光路。當(dāng)光源1和2中有一個(gè)或 兩個(gè)為可見(jiàn)光源時(shí)，可以不使用輔助調(diào)節(jié)光路。將數(shù)據(jù)采集卡10記錄的信號(hào)利用多參數(shù)擬 合程序按照雙指數(shù)衰減函數(shù):m = Ame~t/T°' + A02e-(t+At)/T°2 +A03 (At為兩激光束關(guān)斷 時(shí)間差，通常At遠(yuǎn)小于衰蕩時(shí)間，At通常為幾個(gè)至上百個(gè)納秒，Atll，Atl2，Atl3為常系數(shù)，在 多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù)，擬合出初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ 01, τ 02根據(jù)公式及=e~L°/cT，其中Ltl為初始腔光學(xué)諧振腔長(zhǎng)，c為光速，可得雙波長(zhǎng)高反射腔 鏡在兩波長(zhǎng)處的平均反射率Rcu、R02。本發(fā)明中激光束的關(guān)斷也可通過(guò)快速光開(kāi)關(guān)實(shí)現(xiàn)，如圖2所示。光源1，2采用連續(xù) 半導(dǎo)體激光器或固體激光器或氣體激光器，在激光器和入射腔鏡之間加入快速光開(kāi)關(guān)15， 由計(jì)算機(jī)9來(lái)控制。當(dāng)采集到的光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值大于閾值時(shí)(通常設(shè)定閾值為最 大信號(hào)幅值的80% -90%左右)，觸發(fā)光開(kāi)關(guān)15關(guān)閉。如圖3所示為加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16后構(gòu)成的測(cè)試光學(xué)諧振腔，可測(cè)量 反射率大于99%的平面雙波長(zhǎng)高反射鏡的不同入射角下的反射率。保持第一塊平凹雙 波長(zhǎng)高反射鏡位置不動(dòng)，在兩平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡之間加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，激光 束透過(guò)第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡后入射到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，入射角為雙波長(zhǎng)高反 射鏡使用角度，雙波長(zhǎng)高反射鏡的反射光垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡，構(gòu)成 穩(wěn)定的測(cè)試光學(xué)諧振腔。當(dāng)測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值大于預(yù)先設(shè)定的閾值時(shí)，計(jì) 算機(jī)9控制數(shù)據(jù)采集卡10采集衰蕩信號(hào)。利用多參數(shù)擬合程序按照雙指數(shù)衰減函數(shù) 1(0 = Ane~l/T' + A22e-{t+A,)lT' +A33 (At為兩激光束關(guān)斷時(shí)間差，通常Δ t遠(yuǎn)小于衰蕩時(shí) 間，An，A12，A13為常系數(shù)，在多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù))擬合出測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩 激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ ” τ 2，再根據(jù)公式代=yVAi-VW和盡=e(V -V 〉計(jì)算得 到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16在兩波長(zhǎng)處的反射率札、1 2，其中L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)。本發(fā)明中從腔內(nèi)透射光中提取出兩激光波長(zhǎng)處衰蕩時(shí)間也可通過(guò)分光法實(shí)現(xiàn)，如 圖4所示。輸出腔鏡透射的兩不同波長(zhǎng)的激光經(jīng)分光元件17 (采用光柵或棱鏡)分光，然 后被聚焦透鏡7-1和聚焦透鏡7-2分別聚焦到光電探測(cè)器8-1和光電探測(cè)器8-2，當(dāng)激光束 被關(guān)斷后，光電探測(cè)器8-1和光電探測(cè)器8-2測(cè)得信號(hào)分別按單指數(shù)衰減函數(shù)I (t) = Ae-t7 τ+Β(其中A，B為常系數(shù)，在多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù)，擬合出初始光學(xué)諧振腔在兩 激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ Μ、Ttl2 ；同樣，在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，兩光電探測(cè)器測(cè)得的光 腔衰蕩信號(hào)分別按單指數(shù)衰減函數(shù)I (t) = Aie-^+B1，其中A1, B1為常系數(shù)，在多參數(shù)擬合
9過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù)，擬合出測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間^、τ2，根據(jù)公 式代=e(V _V 和盡=^L0Jcr02-LlZcr2),其中[。為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧
振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、&。如圖5所示為采用機(jī)械快門(mén)交替關(guān)斷兩激光束，在激光器出光口前端加入機(jī)械快 門(mén)18，其由計(jì)算機(jī)9控制。在測(cè)量的過(guò)程中機(jī)械快門(mén)18在計(jì)算機(jī)9控制下先將一波長(zhǎng)激 光器輸出光束遮擋，測(cè)量初始光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函 mif) = A0le-tlTai +^1 (其中Atll, B01為常系數(shù)，在多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù)，擬 合出衰蕩時(shí)間Ttll ；然后遮擋另一波長(zhǎng)激光束，測(cè)量初始光學(xué)諧振腔在先前遮擋的激光波 長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/(i) = A02e~t/Tm +B02 (其中Atl2，B02為常系數(shù)，在 多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù)，擬合出衰蕩時(shí)間Ttl2 ；同樣，在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下， 先將一波長(zhǎng)激光器關(guān)閉或者將該激光器輸出光束遮擋，測(cè)量測(cè)試光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng) 處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/(^二為一爿71 +^,擬合出衰蕩時(shí)間T1，其中A11, B11為常系數(shù)(在多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè)為自由參數(shù))；然后關(guān)閉或遮擋另一波長(zhǎng)激光束，測(cè) 量測(cè)試光學(xué)諧振腔在先前被關(guān)閉或遮擋的激光波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù) I(t) = Aue_"T2 +512擬合出衰蕩時(shí)間τ 2，其中A12，B12為常系數(shù)(在多參數(shù)擬合過(guò)程中設(shè) 為自由參數(shù))，再根據(jù)公式尺=e(i"/cr°'-i|/cri)iPi 2 = >計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反 射鏡16在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、1 2，其中L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)。本發(fā)明中的初始光學(xué)諧振腔和測(cè)試光學(xué)諧振腔可以采用頻率選擇性光反饋光腔 結(jié)構(gòu)。如圖6所示的初始光學(xué)諧振腔由兩塊相同的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡5、6和一塊平面雙 波長(zhǎng)高反射鏡19構(gòu)成，平面雙波長(zhǎng)高反射鏡19為入射腔鏡且傾斜于光軸放置，入射激光束 從平面雙波長(zhǎng)高反射鏡19透射后垂直入射到垂直于光軸放置的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡6，激 光束被平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡6反射后按原路返回至平面雙波長(zhǎng)高反射鏡19，然后又被平面 雙波長(zhǎng)高反射鏡19反射，反射光垂直入射到平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡5 ；在初始光學(xué)諧振腔的 平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡5和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡19之間插入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16，入射 激光束透過(guò)平面雙波長(zhǎng)高反射鏡19后，先后經(jīng)過(guò)平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡6和平面雙波長(zhǎng)高反 射鏡19再次反射后，入射到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16，入射角為待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡使用角 度，從待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡16反射的光垂直入射到平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡5，這樣就構(gòu)成了 穩(wěn)定的測(cè)試光學(xué)諧振腔，如圖7所示?？傊景l(fā)明提出了雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率的測(cè)量方法，其測(cè)量結(jié)果不受激光器 強(qiáng)度波動(dòng)的影響，并且可以測(cè)量從紫外到中遠(yuǎn)紅外的各類雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率。該方法 可得到雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率，若增加光源數(shù)量，可得到在多個(gè)波長(zhǎng)處的反 射率。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，測(cè)量精度高且成本低等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明未詳細(xì)闡述部分屬于本領(lǐng)域技術(shù)的公知技術(shù)。
權(quán)利要求
1.雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于實(shí)現(xiàn)步驟如下(1)將光強(qiáng)周期性調(diào)制的兩個(gè)不同波長(zhǎng)的連續(xù)激光同時(shí)入射到初始光學(xué)諧振腔；所述初始光學(xué)諧振腔由兩塊相同的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡凹面相對(duì)垂直于光軸放置組成，入射光從第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡中心透過(guò)后垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射 鏡；或初始光學(xué)諧振腔由兩塊相同的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和一塊平面雙波長(zhǎng)高反射鏡構(gòu) 成，平面高反射鏡為入射腔鏡且傾斜于光軸放置，入射激光束從該平面高反射鏡透射后垂 直入射到垂直于光軸放置的第一塊平凹高反射鏡，激光束被第一塊平凹高反射鏡反射后按 原路返回至平面高反射鏡，然后又被平面高反射鏡再次反射，反射光垂直入射到第二塊平 凹高反射鏡；(2)從所述初始光學(xué)諧振腔的兩個(gè)雙波長(zhǎng)高反射鏡透射的兩不同波長(zhǎng)的激光由聚焦 透鏡聚焦到光電探測(cè)器，光電探測(cè)器探測(cè)初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，當(dāng)初始光學(xué)諧 振腔的光腔衰蕩信號(hào)幅值超過(guò)設(shè)定閾值時(shí)，觸發(fā)關(guān)斷入射激光束，記錄初始光學(xué)諧振腔的 光腔衰蕩信號(hào)，或者在調(diào)制信號(hào)的下降沿記錄初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，利用同時(shí) 測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ 01, τ C12，進(jìn)而得到雙波長(zhǎng)高反射腔鏡在兩波長(zhǎng)處的平均反射率Rc^ Rtl2 ；(3)在初始光學(xué)諧振腔內(nèi)根據(jù)待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡的使用角度加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射 鏡，構(gòu)成測(cè)試光學(xué)諧振腔；所述測(cè)試光學(xué)諧振腔的構(gòu)成為入射光從初始光學(xué)諧振腔中第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射 鏡中心進(jìn)入，保持第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡位置不動(dòng)，在兩平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡之間加 入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，激光束透過(guò)第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡后入射到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反 射鏡，入射角為雙波長(zhǎng)高反射鏡使用角度，改變第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡的位置使從待 測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡反射的激光束垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡，構(gòu)成測(cè)試光學(xué)諧 振腔；或測(cè)試光學(xué)諧振腔的構(gòu)成為平面雙波長(zhǎng)高反射鏡為入射腔鏡且傾斜于光軸放置，入 射激光束從該平面雙波長(zhǎng)高反射鏡透射后垂直入射到垂直于光軸放置的第一塊平凹雙波 長(zhǎng)高反射鏡，激光束被第一塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡反射后按原光路返回至平面雙波長(zhǎng)高反 射鏡，然后又被平面雙波長(zhǎng)高反射鏡再次反射，反射光垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反 射鏡；在初始光學(xué)諧振腔的第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡之間插入待 測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，入射激光束透過(guò)平面雙波長(zhǎng)高反射鏡后，先后經(jīng)過(guò)第一塊平凹雙波長(zhǎng) 高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡后，入射到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡，入射角為待測(cè)雙波長(zhǎng)高 反射鏡使用角度，從待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡反射的激光束垂直入射到第二塊平凹雙波長(zhǎng)高反 射鏡，構(gòu)成測(cè)試光學(xué)諧振腔；(4)從輸出雙波長(zhǎng)高反射腔鏡透射的兩不同波長(zhǎng)的激光由聚焦透鏡聚焦到光電探測(cè) 器，光電探測(cè)器探測(cè)光腔衰蕩信號(hào)，當(dāng)測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出光腔衰蕩信號(hào)幅值超過(guò)設(shè)定閾 值時(shí)，觸發(fā)關(guān)斷入射激光束，記錄測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，或者在調(diào)制信號(hào)的下降 沿記錄測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)，利用同時(shí)測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到 測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ ρ τ 2，通過(guò)計(jì)算得待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩 波長(zhǎng)處的反射率禮、&。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的兩連 續(xù)激光由半導(dǎo)體激光器或固體激光器或氣體激光器產(chǎn)生。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的初始 光學(xué)諧振腔和測(cè)試光學(xué)諧振腔的平凹雙波長(zhǎng)高反射鏡和平面雙波長(zhǎng)高反射鏡的反射率在 兩波長(zhǎng)處均大于99%。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的初始 光學(xué)諧振腔和測(cè)試光學(xué)諧振腔均為穩(wěn)定腔或共焦腔，總腔長(zhǎng)L滿足0 < L < 2r，其中r為平 凹雙波長(zhǎng)高反射鏡凹面的曲率半徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述步驟(2) 和中觸發(fā)關(guān)斷兩入射激光束通過(guò)以下方式之一實(shí)現(xiàn)a.采用連續(xù)半導(dǎo)體激光器時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔或測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于 設(shè)定閾值時(shí)，快速關(guān)閉半導(dǎo)體激光器激勵(lì)電流或電壓；b.采用連續(xù)半導(dǎo)體激光器或固體激光器或氣體激光器時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔或測(cè)試光 學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于設(shè)定閾值時(shí)，在激光器和入射雙波長(zhǎng)高反射腔鏡之間采用快速 光開(kāi)關(guān)來(lái)關(guān)閉激光束；c.采用方波調(diào)制快速光開(kāi)關(guān)，或方波調(diào)制激光器激勵(lì)電源時(shí)，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔或測(cè) 試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于設(shè)定閾值時(shí)，利用方波下降沿來(lái)關(guān)閉激光束。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述步驟(2) 中的初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)由示波器或數(shù)據(jù)采集卡記錄。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所 述的同時(shí)測(cè)量法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率札、R2的實(shí)現(xiàn)過(guò)程 如下將步驟⑵中記錄的初始光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)按雙指數(shù)函數(shù)衰減， I(t) = Aoie-"^ + A02e-('+A,)/^ + A03 ’ At為兩激光束關(guān)斷時(shí)間差，Ac^Atl2A3為常系數(shù)，利 用多參數(shù)擬合程序擬合得到初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ, Ttl2 ；同樣， 在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，將步驟中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔的光腔衰蕩信號(hào)按雙指數(shù) 函數(shù)衰減，=+A22e-(t+^+A33,Au,kl2, A13為常系數(shù)，利用多參數(shù)擬合程序 擬合得到測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間^、τ 2，根據(jù)公式代=ZVA^MD 和= e^/^-A/cr,)，其中L。為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到 待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、&。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述分光探 測(cè)法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、R2的實(shí)現(xiàn)過(guò)程如下將步驟O)中 初始光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)經(jīng)分光元件分光，兩不同波長(zhǎng)的激光被分別聚焦到不同的光電探 測(cè)器，兩光電探測(cè)器測(cè)得的光腔衰蕩信號(hào)分別按單指數(shù)衰減函數(shù)I⑴=Ae—^+B，其中A，B 為常系數(shù)，擬合出初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ, Ttl2 ；同樣，在測(cè)試光學(xué) 諧振腔情況下，將步驟中測(cè)試光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)經(jīng)分光元件分光，兩不同波長(zhǎng)的激 光被分別聚焦到不同的光電探測(cè)器，兩光電探測(cè)器測(cè)得的光腔衰蕩信號(hào)分別按單指數(shù)衰減 函數(shù)I (t) = Ale-^+B1，其中A1, B1為常系數(shù)，擬合出測(cè)試光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰 蕩時(shí)間τ ” τ 2，根據(jù)公式代-,-「V 和羊二 ^!cr^cr,)，其中L。為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率&、&。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述交替測(cè) 量法得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率禮、R2的實(shí)現(xiàn)過(guò)程如下采用機(jī)械快門(mén) 或者電開(kāi)關(guān)方法交替關(guān)閉兩激光束，在測(cè)量的過(guò)程中先將一波長(zhǎng)激光器關(guān)閉或者將該激光 器輸出光束遮擋，將步驟O)中記錄的初始光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單 指數(shù)衰減函數(shù)/(/) = Aole~t/T01 +戰(zhàn)郝合出衰蕩時(shí)間τ Μ，其中Atll，B01為常系數(shù)；然后關(guān)閉 或遮擋另一波長(zhǎng)激光束，將步驟O)中記錄的初始光學(xué)諧振腔在先前被關(guān)閉或遮擋的激光 波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/0) = A02e_ +^tj2擬合出衰蕩時(shí)間τ %，其 中Atl2，B02為常系數(shù)；同樣，在測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下，先將一波長(zhǎng)激光器關(guān)閉或者將該激 光器輸出光束遮擋，將步驟(4)中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔在另一波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按 單指數(shù)衰減函數(shù)/(0 =為 +召 擬合出衰蕩時(shí)間^，其中An，B11為常系數(shù)；然后關(guān)閉 或遮擋另一波長(zhǎng)激光束，將步驟(4)中記錄的測(cè)試光學(xué)諧振腔在先前被關(guān)閉或遮擋的激光 波長(zhǎng)處的光腔衰蕩信號(hào)按單指數(shù)衰減函數(shù)/O) =+ 512擬合出衰蕩時(shí)間τ 2，其中 A12，B12為常系數(shù)，根據(jù)公式代=二一)，其中L。為初始光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，L1為測(cè)試光學(xué)諧振腔腔長(zhǎng)，計(jì)算得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率隊(duì)、R2。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的快速 光開(kāi)關(guān)是電光調(diào)制開(kāi)關(guān)或聲光調(diào)制開(kāi)關(guān)。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的分光 元件是光柵或棱鏡。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述的反射 率測(cè)量方法也可以用于三波長(zhǎng)或更多波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，其特征在于所述光電探 測(cè)器可以是三個(gè)或多個(gè)單元探測(cè)器，也可以是一個(gè)線陣的高速光電探測(cè)器。
全文摘要
雙波長(zhǎng)高反射鏡反射率測(cè)量方法，將光強(qiáng)周期性調(diào)制的兩個(gè)不同波長(zhǎng)的連續(xù)激光同時(shí)注入由兩塊或三塊雙波長(zhǎng)高反射鏡構(gòu)成的穩(wěn)定初始光學(xué)諧振腔，當(dāng)初始光學(xué)諧振腔輸出信號(hào)幅值高于設(shè)定閾值時(shí)，關(guān)斷入射激光束，記錄光腔衰蕩信號(hào)；或者在調(diào)制信號(hào)的下降沿記錄光腔衰蕩信號(hào)，并利用同時(shí)測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到初始光學(xué)諧振腔在兩激光波長(zhǎng)處的衰蕩時(shí)間τ01、τ02，計(jì)算出腔鏡在兩波長(zhǎng)處的平均反射率R01、R02；同樣，在初始光學(xué)諧振腔內(nèi)根據(jù)使用角度加入待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡構(gòu)成穩(wěn)定的測(cè)試光學(xué)諧振腔，利用同時(shí)測(cè)量法或分光探測(cè)法或交替測(cè)量法得到測(cè)試光學(xué)諧振腔情況下兩激光波長(zhǎng)的衰蕩時(shí)間τ1、τ2，得到待測(cè)雙波長(zhǎng)高反射鏡在兩波長(zhǎng)處的反射率R1、R2。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102128715SQ20101059309
公開(kāi)日2011年7月20日 申請(qǐng)日期2010年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月8日
發(fā)明者曲哲超, 李斌成, 韓艷玲 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所