專利名稱：旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具。
背景技術(shù)：
多晶硅施、受主雜質(zhì)濃度、電學(xué)參數(shù)可以通過(guò)其生長(zhǎng)的單晶錠經(jīng)檢測(cè)得到。按照國(guó) 家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定，從有均勻沉積層的多晶硅樣棒上取得多晶硅圓柱體(樣芯)，經(jīng)區(qū)熔工藝?yán)?成單晶錠后，檢測(cè)單晶硅錠晶體的性能，從而監(jiān)測(cè)多晶硅產(chǎn)品性能。傳統(tǒng)的取樣器是固定 在車床的尾架上，多晶硅樣棒固定在卡盤上，多晶硅樣棒轉(zhuǎn)動(dòng)，鉆具不旋轉(zhuǎn)，這種鉆具結(jié)構(gòu) 簡(jiǎn)單，但只能軸向取樣，不能檢測(cè)縱向分布的均勻性，適用于直徑小于Φ60πιπι的多晶硅取 樣。當(dāng)直徑大于Φ IOOmm時(shí)，多晶硅比較松脆，若用傳統(tǒng)的取樣器取樣，高速偏心旋轉(zhuǎn)造成 振動(dòng)，飛濺的碎塊易引發(fā)安全事故。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種能確保安全取樣，并且可以在多晶硅 樣棒上的平行位置或垂直位置上連續(xù)鉆取樣芯的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆 具。本實(shí)用新型解決上述問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，包 括搖臂鉆床、空心鉆柄、空心鉆頭，所述空心鉆柄固定于搖臂鉆床的主軸箱的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的末 端，空心鉆頭與空心鉆柄固定連接，所述搖臂鉆床的工作平臺(tái)處設(shè)有用于固定多晶硅棒的 固定結(jié)構(gòu)，多晶硅棒位于空心鉆頭下方。所述空心鉆頭與空心鉆柄螺紋連接。進(jìn)一步地，還包括密封套、管道，所述密封套套設(shè)于空心鉆柄外，所述管道一端接 通于密封套內(nèi)，所述管道內(nèi)的冷卻劑通過(guò)密封套、空心鉆柄進(jìn)入空心鉆頭。所述空心鉆頭的長(zhǎng)度100 300mm。所述空心鉆頭的直徑為10 30mm。綜上所述，本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)式多晶硅取樣裝置能確 保安全取樣，可以避免多晶硅樣棒在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)碎裂飛濺出來(lái)造成人身傷害。并且可滿足 不同的取樣方案，在多晶硅樣棒上的平行位置或垂直位置上連續(xù)鉆取樣芯，或在一段多晶 硅樣棒上連續(xù)取樣，滿足對(duì)大直徑多晶硅取樣檢驗(yàn)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是多晶硅樣棒垂直位置取樣示意圖；圖4是多晶硅樣棒水平位置取樣示意圖；圖5是圖4的俯視圖。附圖中標(biāo)記及相應(yīng)的零部件名稱1_多晶硅樣棒，2-多晶硅樣芯，3-空心鉆頭，4-空心鉆柄，5-密封套，6-工作平臺(tái)，7-搖臂鉆床，8-冷卻劑，9-管道。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí) 施方式不限于此。參見(jiàn)圖1至圖5所示，本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具安裝在搖臂鉆床 上，其結(jié)構(gòu)包括空心鉆柄4、空心鉆頭3、密封套5，空心鉆頭3的刀口用硬質(zhì)材料，空心鉆頭 3的長(zhǎng)度100 300mm，直徑Φ 10 30mm，空心鉆頭3用國(guó)標(biāo)GB192-63細(xì)牙螺紋固定在空 心鉆柄4上，密封套5用管道9接通冷卻劑8，冷卻劑可以經(jīng)過(guò)密封套5、空心鉆柄4進(jìn)入空 心鉆頭3。固定管道9，使得空心鉆柄4旋轉(zhuǎn)時(shí)，密封套5不旋轉(zhuǎn)。把多晶硅樣棒1垂直或 水平固定在工作平臺(tái)6上，通入冷卻劑8，保持冷卻劑8的壓力在0. 1 IMpa，開(kāi)啟搖臂鉆 床7，使得空心鉆頭3的轉(zhuǎn)速為30 3000轉(zhuǎn)/分，旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具上下位移，安 全鉆取樣芯，滿足大直徑多晶硅取樣檢驗(yàn)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。如上所述，便可較好的實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。
權(quán)利要求旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，其特征在于，包括搖臂鉆床(7)、空心鉆柄(4)、空心鉆頭(3)，所述空心鉆柄(4)固定于搖臂鉆床(7)的主軸箱的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的末端，空心鉆頭(3)與空心鉆柄(4)固定連接，所述搖臂鉆床(7)的工作平臺(tái)(6)處設(shè)有用于固定多晶硅樣棒(1)的固定結(jié)構(gòu)，多晶硅樣棒(1)位于空心鉆頭(3)下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，其特征在于，所述空心鉆頭(3) 與空心鉆柄(4)螺紋連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，其特征在于，還包括密封套 (5)、管道(9)，所述密封套(5)套設(shè)于空心鉆柄(4)外，所述管道(9) 一端接通于密封套(5) 內(nèi)，所述管道(9)內(nèi)的冷卻劑(8)通過(guò)密封套(5)、空心鉆柄(4)進(jìn)入空心鉆頭(3)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，其特征在于，所述空心鉆頭(3) 的長(zhǎng)度100 300mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具，其特征在于，所述空心鉆頭(3) 的直徑為10 30mm。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具。該旋轉(zhuǎn)式多晶硅樣芯取樣鉆具包括搖臂鉆床(7)、空心鉆柄(4)、空心鉆頭(3)，所述空心鉆柄(4)固定于搖臂鉆床(7)的主軸箱的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的末端，空心鉆頭(3)與空心鉆柄(4)固定連接，所述搖臂鉆床(7)的工作平臺(tái)(6)處設(shè)有用于固定多晶硅樣棒(1)的固定結(jié)構(gòu)，多晶硅樣棒(1)位于空心鉆頭(3)下方。本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)式多晶硅取樣裝置能確保安全取樣，可以避免多晶硅樣棒在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)碎裂飛濺出來(lái)造成人身傷害。并且可滿足不同的取樣方案，在多晶硅樣棒上的平行位置或垂直位置上連續(xù)鉆取樣芯，或在一段多晶硅樣棒上連續(xù)取樣，滿足對(duì)大直徑多晶硅取樣檢驗(yàn)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。
文檔編號(hào)G01N1/08GK201680994SQ201020178360
公開(kāi)日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年5月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月4日
發(fā)明者任云, 曾品貴, 白銳, 錢承榮 申請(qǐng)人:雅安永旺硅業(yè)有限公司