專利名稱：用于污染物處理系統(tǒng)的pH值測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種PH值測(cè)量裝置，尤其是用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工制造廠，由于使用的化學(xué)物質(zhì)品種比較多，故產(chǎn)生的污染物種類也 非常多，如氨氣(NH3)、氯化氫(HCl)、硝酸(HNO3)、硫酸(H2SO4)等，為降低排放的污染程度， 需要在污染物處理系統(tǒng)中處理污染物。例如，在氨氣處理系統(tǒng)中，利用硫酸與氨氣進(jìn)行反 應(yīng)，吸收氨氣污染物。在所述氨氣處理系統(tǒng)中，PH值測(cè)量裝置是控制這一過(guò)程的重要裝置， 所述PH值測(cè)量裝置測(cè)定所述氨氣處理系統(tǒng)中液體環(huán)境的PH值，根據(jù)PH值控制硫酸的計(jì) 量。當(dāng)所述氨氣處理系統(tǒng)中溶液的PH值小于HH(HH通常為2 4的某一數(shù)值)時(shí)，氨氣可 以有效地徹底清除。所以，當(dāng)所述氨氣處理系統(tǒng)中溶液的PH值高于HH時(shí)，PH值測(cè)量裝置 會(huì)將信息傳遞給所述氨氣處理系統(tǒng)，所述氨氣處理系統(tǒng)相應(yīng)地增加硫酸的計(jì)量，使所述氨 氣處理系統(tǒng)中溶液的PH值降低到HH以下，從而保證氨氣的徹底清除。圖1為現(xiàn)有技術(shù)中氨氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，氨氣處理系統(tǒng)包括 氨氣處理箱100’，所述氨氣處理箱100’是氨氣和硫酸進(jìn)行反應(yīng)的主要場(chǎng)所；氨氣通入管道 102’，所述氨氣通入管道102’與所述氨氣處理箱100’密閉連接；硫酸通入管道104’，所述 硫酸通入管道104’與所述氨氣處理箱100’密閉連接；所述硫酸通入管道104’受液體控制 閥105’控制；自來(lái)水通入管道103’，所述自來(lái)水通入管道103’與所述氨氣處理箱100’密 閉連接；所述自來(lái)水通入管道103’受自來(lái)水控制閥106’控制；液位探測(cè)儀107’與所述氨 氣處理箱100’密閉連接，用于測(cè)量所述氨氣處理箱100’內(nèi)部的液位；循環(huán)管道110’，所述 循環(huán)管道110’的流入口和流出口均與所述氨氣處理箱100’密閉連接，磁力泵111’位于所 述循環(huán)管道110’的流入口和流出口之間，所述磁力泵111’推動(dòng)、控制所述循環(huán)管道110’內(nèi) 液體的流動(dòng)；液體流出磁力泵111’后，所述循環(huán)管道110’分成兩個(gè)并行支路，在所述第一 支路上設(shè)有第一手動(dòng)蝶形閥112’與第二手動(dòng)蝶形閥113’依次串行連接，所述第二支路上 設(shè)有第三手動(dòng)蝶形閥114’，通常情況下第一手動(dòng)蝶形閥112’和第二手動(dòng)蝶形閥113’開通， 所述第三手動(dòng)蝶形閥114’關(guān)閉；所述第一支路與所述第二支路合并為一個(gè)管路后，所述循 環(huán)管道110’再次分為兩個(gè)支路，第三支路流回到所述氨氣處理箱100’，第四支路為排泄管 道130’，所述排泄管道130’上設(shè)有排泄管道控制閥131’，所述排泄管道控制閥131’控制 液體流動(dòng)。所述用于氨氣處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置包括PH值測(cè)量探頭120，和PH值顯 示裝置121’，所述PH值測(cè)量探頭120’安裝在所述第一支路中，位于第一手動(dòng)蝶形閥112’ 和所述第二手動(dòng)蝶形閥113，之間，所述PH值測(cè)量探頭120，與所述PH值顯示裝置121，連 接。所述氨氣處理系統(tǒng)的工作方式如下氨氣處理箱100’內(nèi)不斷通入氨氣、硫酸和自 來(lái)水，氨氣和硫酸反應(yīng)后生成硫酸銨((NH4) 2S04)，通入所述自來(lái)水為了防止硫酸銨結(jié)晶， 堵塞所述氨氣處理系統(tǒng)；所述液位探測(cè)儀107’檢測(cè)所述氨氣處理箱100’內(nèi)部液位高度，當(dāng)所述氨氣處理箱100’內(nèi)部液體的液位小于或等于L(L通常為所述氨氣處理箱100’高度的 1/4 1/2的某一數(shù)值)，所述自來(lái)水控制閥105’自動(dòng)打開，直至所述氨氣處理箱100’內(nèi) 部液體的液位等于M(M通常為所述氨氣處理箱100’高度的1/4 1/2的某一數(shù)值，且M大 于L)，所述自來(lái)水控制閥105’自動(dòng)關(guān)閉；當(dāng)所述氨氣處理箱100’內(nèi)部液體液位高于H(通 常H為所述氨氣處理箱100’高度的1/2 3/4的某一數(shù)值)時(shí)，所述排泄管道130’上的 排泄管道控制閥131’將會(huì)自動(dòng)打開，進(jìn)行排放；所述氨氣處理箱100’內(nèi)液體流入所述循環(huán) 管道110’，所述磁力泵111’推動(dòng)液體流動(dòng)。在正常工作情況下，液體流入所述第一支路，位 于所述第一手動(dòng)蝶形閥112’和所述第二蝶形閥113’之間的PH值測(cè)量探頭120’實(shí)時(shí)地測(cè) 量液體的PH值，并將PH值傳遞給PH值顯示裝置121，，因此可以實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的測(cè)量到所述氨 氣處理系統(tǒng)中液體的PH值，當(dāng)PH值高于HH (HH通常為2 4的某一數(shù)值)時(shí)，所述液體控 制閥105，自動(dòng)開啟，通入硫酸直到所述氨氣處理箱100，中液體的PH值低于HH，所述液體 控制閥105，自動(dòng)關(guān)閉，從而保證了所述氨氣處理系統(tǒng)內(nèi)液體PH值始終低于HH，保證氨氣的 有效去除。然而，長(zhǎng)時(shí)間浸泡在PH值較低的液體環(huán)境中會(huì)腐蝕所述PH值測(cè)量探頭120’，縮短 PH值測(cè)量探頭120，的壽命。所述PH值測(cè)量探頭120，損壞會(huì)導(dǎo)致PH值測(cè)量探頭120，指 示錯(cuò)誤的PH值，導(dǎo)致所述氨氣處理系統(tǒng)流入硫酸的計(jì)量出現(xiàn)混亂，進(jìn)而有可能造成氨氣無(wú) 法有效徹底清除。同理，在其他一些污染物處理過(guò)程中，也會(huì)用到PH值測(cè)量裝置，也會(huì)出現(xiàn) 環(huán)境液體對(duì)PH值測(cè)量探頭腐蝕的情況，因此在污染物處理系統(tǒng)中，需要設(shè)計(jì)一種對(duì)PH值測(cè) 量探頭腐蝕小，不易損壞的PH值測(cè)量裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題是，改進(jìn)用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，解決 現(xiàn)有技術(shù)中用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置易損壞、壽命短問(wèn)題。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型通過(guò)提供一種用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝 置，所述PH值測(cè)量裝置包括稀釋箱；液體流通管道，所述液體流通管道的一端密閉連接所述稀釋箱，另一端密閉連接在所述污染物處理系統(tǒng)的循環(huán)管道的流入口和流出口之間；第一自來(lái)水通入管道，所述第一自來(lái)水通入管道與所述稀釋箱密閉連接；第一自來(lái)水控制閥，所述第一自來(lái)水控制閥設(shè)置在所述第一自來(lái)水通入管道上， 控制自來(lái)水的流入量；懸浮液位器，所述懸浮液位器懸浮在所述稀釋箱內(nèi)部的液體上，用于實(shí)時(shí)測(cè)量所 述稀釋箱內(nèi)的液位高度；PH值測(cè)量探頭，所述PH值測(cè)量探頭位于所述稀釋箱內(nèi)部；PH值顯示裝置，所述PH值顯示裝置與所述PH值測(cè)量探頭連接；第一排泄管道，所述第一排泄管道與所述稀釋箱密閉連接；第一排泄管道控制閥， 所述第一排泄管道控制閥位于所述第一排泄管道上，用于控制所述稀釋箱內(nèi)部液體的排
出ο優(yōu)選的，所述污染物為氨氣，所述污染物的反應(yīng)物為硫酸。[0018]可選的，所述污染物為氯氣、二氧化硫、三氧化硫，所述污染物的反應(yīng)物為堿性物質(zhì)。優(yōu)選的，所述稀釋箱的材料為PVC材料。優(yōu)選的，所述PH值顯示裝置與所述PH值測(cè)量探頭通過(guò)所述稀釋箱的頂部連接。優(yōu)選的，所述第一排泄管道與所述稀釋箱的底部密閉連接。優(yōu)選的，所述稀釋箱內(nèi)有攪拌器，所述攪拌器加快液體混合。優(yōu)選的，所述液體流通管道上設(shè)有蠕動(dòng)泵，所述蠕動(dòng)泵控制所述液體流通管道中 液體流動(dòng)。綜上所述，所述PH值測(cè)量探頭位于所述稀釋箱內(nèi)，處于被稀釋后PH值更接近中性 的溶液環(huán)境下，這樣可以減弱溶液對(duì)所述PH值探頭的腐蝕，延長(zhǎng)所述PH值測(cè)量探頭的壽 命，保證所述PH值測(cè)量探頭有穩(wěn)定的性能，準(zhǔn)確指示所述污染物處理系統(tǒng)中液體的PH值， 進(jìn)而所述污染物處理系統(tǒng)可以根據(jù)PH值準(zhǔn)確控制污染物和反應(yīng)物的計(jì)量，從而提高所述 污染物處理系統(tǒng)的穩(wěn)定性和使用壽命，保障污染物的有效清除。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中氨氣處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型中用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本實(shí)用新型中污染物處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書附圖，對(duì)本實(shí)用新型的內(nèi) 容作進(jìn)一步說(shuō)明。當(dāng)然本實(shí)用新型并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通及相關(guān)人員 所熟知的一般替換也涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。其次，本實(shí)用新型利用示意圖進(jìn)行了詳細(xì)的表述，在詳述本實(shí)用新型實(shí)例時(shí)，為了 便于說(shuō)明，示意圖不依照一般比例局部放大，不應(yīng)以此作為對(duì)本實(shí)用新型的限定。本實(shí)用新型的核心思想是，污染物處理系統(tǒng)的液體流入稀釋箱，在所述稀釋箱內(nèi) 被稀釋一定倍數(shù)。將PH值測(cè)量探頭置于被稀釋的液體中測(cè)量PH值。測(cè)量結(jié)果傳遞給PH 值顯示系統(tǒng)，所述PH值顯示系統(tǒng)經(jīng)過(guò)計(jì)算后，得到所述污染物處理系統(tǒng)液體的PH值。即PH 值測(cè)量探頭處在液體濃度較稀，接近中性、不易腐蝕的液體環(huán)境，測(cè)量出所述污染物處理系 統(tǒng)中液體的PH值。在本實(shí)施例中，所述污染物處理系統(tǒng)以氨氣處理系統(tǒng)為例，所述污染物為氨氣，硫 酸為反應(yīng)物，所述硫酸用于吸收氨氣。當(dāng)然，如氯氣、二氧化硫等其他污染物，相應(yīng)地改變反 應(yīng)物也可以采用本實(shí)用新型的污染物處理系統(tǒng)。圖2為本實(shí)用新型中用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，參考圖 2所示，所述PH值測(cè)量裝置包括稀釋箱140 ；液體流通管道141，所述液體流通管道141的 一端密閉連接在所述稀釋箱140，另一端密閉連接在所述污染物處理系統(tǒng)的循環(huán)管道的流 入口和流出口之間；第一自來(lái)水通入管道144，所述第一自來(lái)水通入管道144與所述稀釋箱 140密閉連接；第一自來(lái)水控制閥145，所述第一自來(lái)水控制閥145設(shè)在所述第一自來(lái)水通 入管道144上，控制自來(lái)水流入；懸浮液位器146，所述懸浮液位器146懸浮在所述稀釋箱140內(nèi)部的液體上，用于實(shí)時(shí)測(cè)量所述稀釋箱140內(nèi)的液位高度；PH值測(cè)量探頭120，所述 PH值測(cè)量探頭120位于所述稀釋箱140內(nèi)部，通過(guò)所述稀釋箱140的頂部與所述PH值顯示 裝置121連接；第一排泄管道150，所述第一排泄管道150連接在所述稀釋箱140的底部； 第一排泄管道控制閥151，所述第一排泄管道控制閥151位于所述第一排泄管道150上，用 于控制所述稀釋箱140中液體排出。優(yōu)選的，所述稀釋箱140的材料為PVC材料。所述稀釋箱140采用PVC材料的好 處是，成本低廉、密閉性好且不易被腐蝕。優(yōu)選的，所述稀釋箱140內(nèi)有攪拌器143，所述攪拌器143加快液體混合。所述攪 拌器143可以加快液體混合速度，進(jìn)而加快PH值測(cè)量的速度。優(yōu)選的，所述液體流通管道141上設(shè)有蠕動(dòng)泵142，所述蠕動(dòng)泵142適于精確控制 少量液體的流動(dòng)。圖3為本實(shí)用新型中污染物處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述污染物處理系統(tǒng)以氨氣 處理系統(tǒng)為例，如圖3所示，所述氨氣處理系統(tǒng)包括氨氣處理箱100，是氨氣反應(yīng)吸收的場(chǎng) 所；氨氣通入管道102與所述氨氣處理箱100密閉連接；硫酸通入管道104與所述氨氣處理 箱100密閉連接，所述硫酸通入管道104上設(shè)有液體控制閥105，所述液體控制閥105控制 所述硫酸的通入；第二自來(lái)水通入管道103與所述氨氣處理箱100密閉連接，所述第二自來(lái) 水通入管道103上設(shè)有第二自來(lái)水控制閥106，所述第二自來(lái)水控制閥106控制自來(lái)水的通 入；液位探測(cè)儀107與所述氨氣處理箱100密閉連接，用于測(cè)量所述氨氣處理箱100內(nèi)部的 液位；循環(huán)管道110的流入口和流出口與所述氨氣處理箱100密閉連接，所述循環(huán)管道110 上設(shè)有磁力泵111，所述磁力泵111控制所述循環(huán)管道110內(nèi)液體的流動(dòng)；液體流出磁力泵 111后，所述循環(huán)管道Iio分成兩個(gè)并行支路，在所述第一支路上第一手動(dòng)蝶形閥112與第 二手動(dòng)蝶形閥113依次串行連接，所述第二支路上有第三手動(dòng)蝶形閥114，通常情況下第一 手動(dòng)蝶形閥112和第二手動(dòng)蝶形閥113開通，所述第三手動(dòng)蝶形閥114關(guān)閉，液體流經(jīng)所述 第一支路，當(dāng)所述第一支路出現(xiàn)工作故障時(shí)，所述第一手動(dòng)蝶形閥112和第二手動(dòng)蠑形閥 113關(guān)閉，所述第三手動(dòng)蝶形閥114開通，液體流經(jīng)所述第二支路。在本實(shí)施例中，所述液體 流通管道141的另一端密閉連接在所述第一支路上，位于所述第一蝶形手動(dòng)閥112和所述 第二蝶形手動(dòng)閥113之間；所述第一支路與所述第二支路合并為一個(gè)管道后，所述循環(huán)管 道110再次分為兩個(gè)支路，第三支路流回到所述氨氣處理箱100，第四支路為第二排泄管道 130，所述第二排泄管道130上設(shè)有第二排泄管道控制閥131，所述第二排泄管道控制閥131 控制液體排出。所述氨氣處理系統(tǒng)工作方式如下氨氣處理箱100內(nèi)不斷通入氨氣、硫酸和自來(lái) 水，氨氣和硫酸反應(yīng)后生成硫酸銨((NH4)2S04)，通入所述自來(lái)水是為了防止硫酸銨結(jié)晶； 所述液位探測(cè)儀107檢測(cè)所述氨氣處理箱100內(nèi)部液位高度，當(dāng)所述氨氣處理箱100內(nèi)部 液體的液位小于或等于L(L通常為所述氨氣處理箱100高度的1/4 1/2的某一數(shù)值)， 所述自來(lái)水控制閥105自動(dòng)打開，直至所述氨氣處理箱100內(nèi)部液體的液位等于M(M通常 為所述氨氣處理箱100高度的1/4 1/2的某一數(shù)值，且M大于L)，所述自來(lái)水控制閥105 自動(dòng)關(guān)閉；當(dāng)所述氨氣處理箱100內(nèi)部液體液位高于H(通常H為所述氨氣處理箱100高度 的1/2 3/4的某一數(shù)值)時(shí)，所述排泄管道130上的排泄管道控制閥131將會(huì)自動(dòng)打開， 進(jìn)行排放；所述氨氣處理箱100內(nèi)液體流入所述循環(huán)管道110，所述磁力泵111推動(dòng)液體流動(dòng)，在正常工作情況下，液體流入所述第一支路，部分液體從所述第一支路流入所述液體流 通管道141，所述蠕動(dòng)泵142推動(dòng)液體流入所述稀釋箱140，所述懸浮液位器146同時(shí)測(cè)量 所述稀釋箱140內(nèi)液體的計(jì)量，當(dāng)流入所述稀釋箱140的體積為a mL(a為確定的數(shù)值)時(shí)， 所述蠕動(dòng)泵142關(guān)閉，所述第一自來(lái)水控制閥145打開，控制自來(lái)水流入，當(dāng)所述稀釋箱140 內(nèi)液體的計(jì)量達(dá)到(a*1000)mL，即所述氨氣處理箱100內(nèi)液體被稀釋1000倍，所述第一自 來(lái)水控制閥關(guān)閉。所述PH值測(cè)量探頭120測(cè)得所述稀釋箱140內(nèi)液體的PH值，測(cè)得值為 H0,將PH值傳遞給所述PH值顯示裝置，根據(jù)PH值公式可知，所述氨氣處理箱100內(nèi)的液體 PH值為H1J1 = Η。-3，則所述PH值顯示裝置通過(guò)計(jì)算即可快速準(zhǔn)確的得到所述氨氣處理箱 100內(nèi)液體內(nèi)的PH值，當(dāng)PH值高于HH(HH通常為2 4的某一數(shù)值)時(shí)，所述液體控制閥 105自動(dòng)開啟，通入硫酸直到所述氨氣處理箱100中的液體PH值低于HH后，所述液體控制 閥105自動(dòng)關(guān)閉。從而保證所述氨氣處理系統(tǒng)內(nèi)液體PH值始終低于HH，進(jìn)而氨氣的有效去 除，同時(shí)，所述PH值測(cè)量探頭120處于被稀釋后濃度較低的溶液環(huán)境下，延長(zhǎng)所述PH值測(cè) 量探頭120的壽命，提高所述PH測(cè)量探頭120的穩(wěn)定性，進(jìn)而提高所述氨氣處理系統(tǒng)的穩(wěn) 定性和使用壽命，降低所述氨氣處理系統(tǒng)的故障率，保障氨氣的有效清除。 雖然本實(shí)用新型已以較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本實(shí)用新型，任何 所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更 動(dòng)與潤(rùn)飾，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求書所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求一種用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，包括稀釋箱；液體流通管道，所述液體流通管道的一端密閉連接所述稀釋箱，另一端密閉連接在所述污染物處理系統(tǒng)的循環(huán)管道的流入口和流出口之間；第一自來(lái)水通入管道，所述第一自來(lái)水通入管道與所述稀釋箱密閉連接；第一自來(lái)水控制閥，所述第一自來(lái)水控制閥設(shè)置在所述第一自來(lái)水通入管道上，控制自來(lái)水的流入；懸浮液位器，所述懸浮液位器懸浮在所述稀釋箱內(nèi)部的液體上，用于實(shí)時(shí)測(cè)量所述稀釋箱內(nèi)的液位高度；PH值測(cè)量探頭，所述PH值測(cè)量探頭位于所述稀釋箱內(nèi)部；PH值顯示裝置，所述PH值顯示裝置與所述PH值測(cè)量探頭連接；第一排泄管道，所述第一排泄管道與所述稀釋箱密閉連接；第一排泄管道控制閥，所述第一排泄管道控制閥位于所述第一排泄管道上，用于控制所述稀釋箱內(nèi)部液體的排出。
2.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述污染 物為氨氣。
3.如權(quán)利要求2所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述污染 物的反應(yīng)物為硫酸。
4.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述污染 物為氯氣、二氧化硫、三氧化硫。
5.如權(quán)利要求4所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述污染 物的反應(yīng)物為堿性物質(zhì)。
6.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述稀釋 箱的材料為PVC材料。
7.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述PH值 顯示裝置與所述PH值測(cè)量探頭通過(guò)所述稀釋箱的頂部連接。
8.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述第一 排泄管道與所述稀釋箱的底部密閉連接。
9.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述稀釋 箱內(nèi)有攪拌器，所述攪拌器加快液體混合。
10.如權(quán)利要求1所述的用于污染物處理系統(tǒng)的PH值測(cè)量裝置，其特征在于，所述液體 流通管道上設(shè)有蠕動(dòng)泵，所述蠕動(dòng)泵控制所述液體流通管道內(nèi)液體的流動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種用于污染物處理系統(tǒng)的pH值測(cè)量裝置，包括稀釋箱，液體流通管道，第一自來(lái)水通入管道，懸浮液位器，pH值測(cè)量探頭，pH值顯示裝置以及第一排泄管道。所述pH值測(cè)量探頭位于所述稀釋箱內(nèi)，處于被稀釋后pH值更接近中性的溶液環(huán)境下，這樣可以減弱溶液對(duì)所述pH值探頭的腐蝕，延長(zhǎng)所述pH值測(cè)量探頭的壽命，保證所述pH值測(cè)量探頭有穩(wěn)定的性能，準(zhǔn)確指示所述污染物處理系統(tǒng)中液體的pH值，進(jìn)而所述污染物處理系統(tǒng)可以根據(jù)pH值準(zhǔn)確控制污染物和反應(yīng)物的計(jì)量，從而提高所述污染物處理系統(tǒng)的穩(wěn)定性和使用壽命，保障污染物的有效清除。
文檔編號(hào)G01N33/00GK201681068SQ201020181599
公開日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年4月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月29日
發(fā)明者姚念, 張玉兵, 張英, 朱重淑, 謝方方 申請(qǐng)人:武漢新芯集成電路制造有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司