專利名稱：點測機兩用轉換結構以及兩用點測機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種半導體測試用的點測機，特別是涉及LED芯片的測試。
背景技術：
LED晶粒需要通過點測機對其進行測試，以獲取其光電參數，根據光電參數對LED 晶粒進行分選。目前用于對硅襯底LED芯片進行測試的點測機包括探針部分、晶粒檢測電源裝置 以及工作臺，參看圖1所示，前置盒內包括晶粒檢測電源裝置，前置盒于靜電發(fā)生器(即靜 電箱)連接，前置盒的兩個端口N端口和P端口分別連接探針裝置和工作臺。由于硅襯底 LED晶粒是垂直結構，以及工作臺本身導電特點，將晶粒放在工作臺上，探針在點測晶粒的 時候即可構成點測回路獲取點測數據。由于目前市面上的藍寶石襯底的LED晶粒都是水平結構的，其用到的點測機與硅 襯底的LED晶粒不相同，其需要兩個探針分別測位于芯片表面上的兩個電極，而工作臺不 導電。用于制造硅襯底LED的點測機與用于制造藍寶石襯底LED的點測機不能通用，如 果更換襯底類型，則需要對點測機進行改造，非常不便。

實用新型內容本實用新型所要解決的第一個技術問題是提供一種點測機兩用轉換結構，該結 構可以快速實現垂直結構的LED與水平結構的LED點測狀態(tài)的互換，解決點測機對于垂直 結構半導體芯片與水平結構半導體芯片不能通用的問題。本實用新型所要解決的第二個技術問題是提供一種兩用點測機，其可以快速實 現垂直結構的LED與水平結構的LED點測狀態(tài)的互換，解決點測機對于垂直結構半導體芯 片與水平結構半導體芯片不能通用的問題。為了解決本實用新型的第一個技術問題，本實用新型提出一種點測機兩用轉換結 構，包括晶粒檢測電源裝置、晶粒第一電極探針裝置以及工作臺；其中，晶粒檢測電源裝置包括分別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，兩個 引出端中的第一個引出端連接到晶粒第一電極探針裝置；以及還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置；所述兩個引出端的第二個引出端連接所述選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選 擇輸出，兩個選擇輸出分別連接所述工作臺和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒 的點測，選擇開關裝置接通工作臺；對于水平電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極 探針裝置。選擇開關包括兩個選擇輸出，可以供在兩個選擇輸出之間進行選擇接通。為了解決上述第二個技術問題，本實用新型提出一種兩用點測機，包括晶粒檢測 電源裝置，晶粒第一電極探針裝置以及工作臺；其中，晶粒檢測電源裝置包括分別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，兩個
3引出端中的第一個引出端連接到晶粒第一電極探針裝置；以及還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置；所述兩個引出端的第二個引出端連接所述選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選 擇輸出，兩個選擇輸出分別連接所述工作臺和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒 的點測，選擇開關裝置接通工作臺；對于水平電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極 探針裝置。優(yōu)選地所述選擇開關裝置為機械開關。優(yōu)選地所述機械開關是單刀雙擲開關。優(yōu)選地所述選擇開關裝置為電子開關。優(yōu)選地所述第一引出端連接多個晶粒第一電極探針裝置，該多個晶粒第一電極 探針裝置并聯(lián)連接。本實用新型的有益效果相比現有技術，本實用新型提出的點測機兩用轉換方案，可以很便捷的實現水平 結構LED芯片的檢測與垂直結構LED芯片的檢測之間的切換，無需因為結構的不同而對設 備進行改造，從而實現上述兩種不同結構的晶粒的快速切換，解決了點測機對于垂直結構 半導體芯片與水平結構半導體芯片不能通用的問題。

圖1是現有技術的結構框圖。圖2是本實用新型的結構框圖。圖3是垂直結構LED的點測狀態(tài)圖。圖4是水平結構LED的點測狀態(tài)圖。
具體實施方式
本實用新型提出一種點測機兩用轉換結構以及具有該結構的點測機。該點測機包 括晶粒檢測電源裝置、晶粒第一電極探針裝置以及工作臺。其中，晶粒檢測電源裝置包括分 別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，兩個引出端中的第一個引出端連接到晶粒第一 電極探針裝置。以及還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置。兩個引出端的第二個 引出端連接選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選擇輸出，兩個選擇輸出分別連接工作臺 和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒的點測，選擇開關裝置接通工作臺。對于水平 電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極探針裝置。本實用新型的實施例的結構框圖參見圖2所示。晶粒檢測電源裝置的第一個引出端為用來接觸LED晶粒的第一電極，其第二引出 端為用來接觸LED晶粒的第二電極。該第一引出端連接晶粒第一電極探針裝置1，該第二引 出端連接選擇開關裝置3，選擇開關裝置3包括兩個輸出，該兩個輸出端分別與晶粒第二電 極探針裝置2和工作臺連接。晶粒檢測電源裝置負責給檢測回路供電，其設在點測機的前 置盒內，與靜電箱連接，靜電箱為靜電發(fā)生裝置。選擇開關裝置3優(yōu)選為機械開關，例如可以是單刀雙擲開關。該選擇開關裝置也 可以為電子開關，電子開關可以是常用的晶體開關管電路模塊，其與控制器連接，由控制器控制。對于大功率LED晶粒，由于其晶粒的面積較大，往往需要兩個以及兩個以上的晶 粒第一電極探針裝置。多個探針在晶粒表面多個部位進行接觸，以期獲得更為準確的參數 信息。該多個晶粒第一電極探針裝置相互并聯(lián)連接。本實用新型的使用如下以選擇開關裝置3是手動的單刀雙擲開關為例。參看圖2和圖3，在需要點測具有垂直結構的硅襯底LED的時候，鍵30打到B點， 工作臺5與第二個引出端接通，將外延片邦定后做了電極的硅片(硅片包括晶粒以及將所 有的晶粒連在一起的硅襯底部分)放在工作臺5上，此時還沒有硅片還沒有經過裂片，晶粒 4的下部的硅襯底40連在一起，由于硅是導體，當晶粒第一電極探針裝置1接觸到晶粒4的 N電極的時候，晶粒4與工作臺5導通，測試即可順利進行。參看圖4，藍寶石襯底LED晶粒6置于藍膜7 (藍膜7可選)上，在需要點測具有水 平結構的藍寶石襯底LED的晶粒6的時候，鍵30打到A點，晶粒第二電極探針裝置2與第 二個引出端接通，此時工作臺斷路。由于藍寶石襯底LED的兩個電極均在晶粒的上表面上， 因此，晶粒第一電極探針裝置1接觸晶粒的第一電極，晶粒第二電極探針裝置2接觸晶粒的 第二電極，這樣即可構成測試電路的回路。與前面硅襯底LED實施例不同的是，做了電極的 外延片經過裂片，做成依附在藍膜7上的獨立晶粒。
權利要求一種點測機兩用轉換結構，包括晶粒檢測電源裝置、晶粒第一電極探針裝置以及工作臺；其中，晶粒檢測電源裝置包括分別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，兩個引出端中的第一個引出端連接到晶粒第一電極探針裝置；其特征在于還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置；所述兩個引出端的第二個引出端連接所述選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選擇輸出，兩個選擇輸出分別連接所述工作臺和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒的點測，選擇開關裝置接通工作臺；對于水平電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極探針裝置。
2.根據權利要求1所述的點測機兩用轉換結構，其特征在于所述選擇開關裝置為機 械開關。
3.根據權利要求2所述的點測機兩用轉換結構，其特征在于所述機械開關是單刀雙 擲開關。
4.根據權利要求1所述的點測機兩用轉換結構，其特征在于所述選擇開關裝置為電 子開關。
5.根據權利要求1所述的點測機兩用轉換結構，其特征在于所述第一引出端連接多 個晶粒第一電極探針裝置，該多個晶粒第一電極探針裝置并聯(lián)連接。
6.一種兩用點測機，包括晶粒檢測電源裝置，晶粒第一電極探針裝置以及工作臺；其中，晶粒檢測電源裝置包括分別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，兩個引出 端中的第一個引出端連接到晶粒第一電極探針裝置；其特征在于還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置；所述兩個引出端的第二個引出端連接所述選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選擇輸 出，兩個選擇輸出分別連接所述工作臺和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒的點 測，選擇開關裝置接通工作臺；對于水平電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極探針直ο
7.根據權利要求6所述的兩用點測機，其特征在于所述選擇開關裝置為機械開關。
8.根據權利要求7所述的兩用點測機，其特征在于所述機械開關是單刀雙擲開關。
9.根據權利要求6所述的兩用點測機，其特征在于所述選擇開關裝置為電子開關。
10.根據權利要求6所述的兩用點測機，其特征在于所述第一引出端連接多個晶粒第 一電極探針裝置，該多個晶粒第一電極探針裝置并聯(lián)連接。
專利摘要本實用新型提供了點測機兩用轉換結構以及兩用點測機，涉及半導體測試用的點測機，其用于解決點測機對于垂直結構半導體芯片與水平結構半導體芯片不能通用的問題。該技術方案為包括晶粒檢測電源裝置、晶粒第一電極探針裝置以及工作臺；晶粒檢測電源裝置包括分別用于檢測晶粒的兩個電極的兩個引出端，其中第一個引出端連接到晶粒第一電極探針裝置；以及還包括晶粒第二電極探針裝置和選擇開關裝置；所述兩個引出端的第二個引出端連接選擇開關裝置，該開關裝置包括兩個選擇輸出，兩個選擇輸出分別連接工作臺和晶粒第二電極探針裝置，對于垂直電極晶粒的點測，選擇開關裝置接通工作臺；對于水平電極晶粒的點測，選擇開關接通晶粒第二電極探針裝置。
文檔編號G01R1/073GK201757775SQ201020234658
公開日2011年3月9日 申請日期2010年6月23日 優(yōu)先權日2010年6月23日
發(fā)明者袁九龍 申請人:晶能光電(江西)有限公司