專利名稱：一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺，屬半導(dǎo)體器件試驗設(shè)備技 術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著微電子技術(shù)的飛速發(fā)展，人類科技的不斷進步，半導(dǎo)體器件已廣泛應(yīng)用于 宇航、軍事、工業(yè)和民用產(chǎn)品當(dāng)中。為了保證半導(dǎo)體器件在各類產(chǎn)品中的穩(wěn)定性，許多 器件在被使用之前需要做一些必要的老化、篩選試驗。如半導(dǎo)體場效應(yīng)晶體管在篩選時 需要做高溫反偏老化實驗，以檢驗產(chǎn)品PN結(jié)的穩(wěn)定可靠性等。現(xiàn)在國內(nèi)生產(chǎn)高溫反偏老 化臺設(shè)備的廠家很多，對高溫反偏老化臺的設(shè)計也是五花八門，但其共同點是高溫反偏 板采用印制板布線，用高溫焊錫固定限流電阻和引線插孔在印制板上。這樣，在長時間 的高溫反偏工作中，反偏板的印制銅膜易起翹，而且焊錫在高溫下易氧化、揮發(fā)，不利 于環(huán)保要求。給器件產(chǎn)品長時間的反偏老化工作帶來困難。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是，解決傳統(tǒng)晶體管高溫反偏老化試驗臺存在的印制板電路 銅膜易損壞，焊錫易氧化等問題，設(shè)計一種長壽命、耐高溫的反偏老化試驗臺，以滿足 晶體管篩選和檢驗的需要。本實用新型的技術(shù)方案是，本實用新型長壽命晶體管高溫反偏老化臺由高溫烘 箱、反偏老化板、反偏電源、放置反偏板固定框架組成；待做老化的晶體管插入安置在 反偏老化板上的晶體管絕緣插孔內(nèi)，插有老化晶體管的反偏老化板插入放置反偏板固定 框架的U形槽中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高溫烘箱中，放置在高溫烘箱 外部的直流反偏電源通過耐高溫的絕緣導(dǎo)線向烘箱內(nèi)部的反偏老化板上的晶體管供電。反偏老化板用于固定老化器件，并且能夠加偏置電源。要保證反偏老化板具有 一定的強度和導(dǎo)電性，使用3-6mm的硬鋁板制做反偏板，既有良好的導(dǎo)電性又便于在板 上開孔以固定器件。由于器件在反偏時要加偏置電源，必須使需要反偏的晶體管電極間 相互絕緣，故使用耐溫和導(dǎo)電絕緣較好的聚四氟乙烯做絕緣子，(聚四氟乙烯可在260°C 下連續(xù)工作)，即晶體管絕緣插件。在反偏板上均勻布置了許多老化板晶體管絕緣插孔， 供晶體管絕緣插件絕緣部分插入固定，在老化板晶體管絕緣插孔旁還開了二個小孔，供 接負(fù)極短路的二個極的引出線插入。為了保持供接負(fù)極短路的二個極的引出線固定在插 孔中不至于掉落，使用彈性較好的磷銅片做器件外引線的固定夾安裝在反偏板的反面。 由于反偏極要在高溫條件下使用，故反偏板所有的導(dǎo)電或緊固材料都用金屬材料，而彼 此需要絕緣的地方都用聚四氟乙烯材料。放置反偏 板固定框架是用于固定反偏老化板和老化電源的部件，可根據(jù)烘箱的 實際大小設(shè)計，盡可能的利用烘箱的內(nèi)部空間，以增加老化器件的數(shù)量，放置反偏板固 定框架一般為長方形的框架結(jié)構(gòu)，可以做成一層或二層以上，每層都設(shè)有多條供多塊反偏板插入放置的U形導(dǎo)軌。整個放置反偏板固定框架焊接固定于烘箱中，為了保持框架 不易形變和銹蝕，可采用強度較好的不銹鋼型材。用于固定反偏板的導(dǎo)軌做成U形槽以 便卡住固定反偏板。將反偏電源的引至框架前面形成反偏板的接觸點，以便操作人員在 反偏前檢測電壓。高溫烘箱的選擇，考慮到為了保證溫度的均勻性和烘箱長時間工作不至于內(nèi)腔 生銹，采用產(chǎn)品性能較好的不銹鋼鼓風(fēng)烘箱。高溫反偏電源采用普通的直流穩(wěn)壓電源，輸出電壓范圍滿足工藝要求。直流穩(wěn) 壓電源放置在烘箱的外部，引入到烘箱內(nèi)部的電源線采用耐高溫的聚四氟乙烯材料做導(dǎo)
線套管。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)比較的有益效果是，本實用新型高溫反偏板不采用印制 板布線，也不用高溫焊錫來固定限流電阻和引線插孔在印制板上，而是采用鋁板做反偏 板，采用晶體管絕緣插件結(jié)構(gòu)來安裝需老化的晶體管，同時，所用的絕緣材料為耐高溫 的聚四氟乙烯材料，可以使老化臺耐高溫、長壽命，大大提高了設(shè)備的使用壽命和工作效率。本實用新型適用于各類晶體管的高溫反偏老化試驗。
圖1為裝有反偏老化板的反偏板放置固定框架示意圖；圖2為本實用新型晶體管反偏老化板示意圖；圖3為反偏板放置固定框架示意圖；圖4為晶體管絕緣插件(絕緣部分固定于老化板上)；圖5為用于反偏的電原理圖；圖中圖號表示(1)反偏老化板；(2)反偏板放置固定框架；(3)反偏電源插 孔；(4)反偏板U形導(dǎo)軌槽；(5)晶體管引線插孔；(6)耐高溫的聚四氟乙烯絕緣材料； (7)表面鍍金的金屬插件；(11)老化板晶體管絕緣插孔；(12)老化板提手；A-反偏老化 板插入方向；V-反偏電壓；R-偏置電阻；G-柵極；D-漏極；S-源極。
具體實施方式
本實用新型實施例晶體管長壽命反偏老化臺由高溫烘箱、反偏老化板(1)、反偏 電源、放置反偏板固定框架(2)組成；待做老化的晶體管插入安置在反偏老化板上的晶 體管絕緣插孔(11)內(nèi)，插有老化晶體管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽 (4)中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高溫烘箱中，放置在高溫烘箱外部的直流 反偏電源通過耐高溫的絕緣導(dǎo)線向烘箱內(nèi)部的高溫反偏板上的晶體管供電。反偏老化板用于固定老化器件，并且能夠加偏置電源。本實施例采用5_的硬 鋁板制做反老化偏板，既有良好的導(dǎo)電性又便于在板上開孔以固定器件。由于器件在反 偏時要加偏置電源，必須使需要反偏的晶體管電極間相互絕緣，故采用耐溫和導(dǎo)電絕緣 較好的聚四氟乙烯做晶體管絕緣插件(圖4)的絕緣材料(6)。在反偏板上均勻開設(shè)了許 多老化板晶體管絕緣插孔(11)，供晶體管絕緣插件插入，在老化板晶體管絕緣插孔(11) 旁還開了二個小孔，供接負(fù)極短路的D極(漏極)和 S極(源極)的引出線插入，G極(柵極)插入晶體管絕緣插件的晶體管引線插孔(5)。為了保持供接負(fù)極短路的二個極的 引出線固定在插孔中不至于掉落，使用彈性較好的磷銅片做器件外引線的固定夾。由于 反偏極要在高溫條件下使用，故反偏板所有的導(dǎo)電或緊固材料都用金屬材料，而彼此需 要絕緣的地方都采用聚四氟乙烯材料。放置反偏板固定框架是用于固定反偏板和老化電源的部件，本實施例做成二 層，兩層上下都設(shè)有5條U形導(dǎo)軌(4)，每層可供5塊反偏板插入放置。整個放置反偏 板固定框架焊接固定于烘箱中，為了保持框架不易形變和銹蝕，采用強度較好的不銹鋼 型材。用于固定反偏板的導(dǎo)軌做成U形槽以便卡住固定反偏板。將反偏電源的引至框架 前面形成反偏板的接觸點，以便操作人員在反偏前檢測電壓。本實施例高溫烘箱采用產(chǎn)品性能較好的不銹鋼鼓風(fēng)烘箱。高溫反偏電源采用普通的直流穩(wěn)壓 電源，輸出電壓范圍滿足工藝要求。直流穩(wěn) 壓電源放置在烘箱的外部，引入到烘箱內(nèi)部的電源線采用耐高溫的聚四氟乙烯材料做導(dǎo) 線套管。
權(quán)利要求1. 一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺，其特征是，所述老化臺由高溫烘箱、反偏老 化板、反偏電源、放置反偏板固定框架組成；待做老化的晶體管插入安置在反偏板上的 晶體管絕緣插孔內(nèi)，插有老化晶體管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽 中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高溫烘箱中，放置在高溫烘箱外部的直流反 偏電源通過耐高溫的絕緣導(dǎo)線向烘箱內(nèi)部的反偏老化板上的晶體管供電。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體管長壽命反偏老化臺，其特征是，所述反偏老化板 上均勻布置了許多老化板晶體管絕緣插孔，供晶體管絕緣插件絕緣部分插入固定，在老 化板晶體管絕緣插孔旁還開了二個小孔，供接負(fù)極短路的二個極的引出線插入；使用彈 性較好的磷銅片做器件外引線的固定夾安裝在反偏老化板的反面；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺，其特征是，放置反偏板 固定框架為長方形的框架結(jié)構(gòu)，做成一層或二層以上，每層都設(shè)有多條供多塊反偏老化 板插入放置的U形導(dǎo)軌；放置反偏板固定框架焊接固定于烘箱中。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺，其特征是，所述晶體管 絕緣插件絕緣部分材料為聚四氟乙烯。
專利摘要一種長壽命晶體管高溫反偏老化臺，該老化臺由高溫烘箱、反偏老化板(1)、反偏電源、放置反偏板固定框架(2)和電源插孔(3)組成；待老化的晶體管插入安置在反偏板上的晶體管絕緣插孔內(nèi)(11)，插有老化晶體管的反偏老化板插入放置反偏板固定框架的U形槽中，插有反偏老化板的固定框架焊接固定在高溫烘箱中，放置在高溫烘箱外部的直流反偏電源向烘箱內(nèi)部的反偏板上的晶體管供電。所述反偏板上布置了許多老化板晶體管絕緣插孔，供晶體管絕緣插件絕緣部分插入固定，在老化板晶體管絕緣插孔旁還開了二個小孔，供接負(fù)極的二個極的引出線插入；使用磷銅片做器件外引線的固定夾安裝在反偏板的反面。本實用新型適用于各類晶體管的高溫反偏老化試驗。
文檔編號G01R31/26GK201796114SQ20102024457
公開日2011年4月13日 申請日期2010年7月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月1日
發(fā)明者徐昌九, 蔡家梁 申請人:江西聯(lián)創(chuàng)特種微電子有限公司