專利名稱：漏液檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種漏液檢測裝置。
背景技術(shù)：
以往，在工廠有時會發(fā)生從生產(chǎn)線的制造裝置、或者向該制造裝置供給液體的配管漏液的情況。來自于所述制造裝置或配管的漏液會導(dǎo)致工廠設(shè)施的破損和制品不良。特別是，在半導(dǎo)體生產(chǎn)線和食品加工線上，來自于制造裝置或配管的漏液導(dǎo)致工廠設(shè)施的破損和制品不良的可能性較高。于是，以往在工廠的制造裝置或者配管上具備檢測來自于制造裝置或者配管的漏液的漏液檢測裝置(例如，參照專利文獻(xiàn)1)為了防止工廠設(shè)施的破損和制品不良，這種類型的漏液檢測裝置在檢測到來自于制造裝置的少量漏液時，就立即使制造裝置停止。專利文獻(xiàn)1 日本特開2004-53560號公報在上述的漏液檢測裝置中，只要檢測到來自于制造裝置的少量漏液就立即使制造裝置停止。然而，在來自于制造裝置的漏液為少量的情況下，有時即使不立即使制造裝置停止也不會導(dǎo)致工廠設(shè)施的破損和制品不良。在這種情況下，盡管本來不須要使制造裝置停止，卻使制造裝置停止，所以制品的制造時間變短而使制造裝置的生產(chǎn)效率降低。另外，漏液檢測裝置所監(jiān)視的制造裝置在各個制造工序中被停止時，由于須要對所述各個制造工序中的制品進(jìn)行返工或者廢棄，所以會使制造裝置的生產(chǎn)效率降低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是為了解決上述問題而提出的，其目的在于提供一種，能夠以適宜的時機(jī)輸出漏液檢出信號的漏液檢測裝置。為了解決上述課題，本實(shí)用新型的一個形態(tài)為漏液檢測裝置，其具備導(dǎo)入漏液的第1導(dǎo)入部；第1漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第1導(dǎo)入部內(nèi)的漏液并且生成第1檢出信號； 其特征在于，包括第2導(dǎo)入部，其在與所述第1導(dǎo)入部不同的位置導(dǎo)入漏液；第2漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第2導(dǎo)入部內(nèi)的漏液并且生成第2檢出信號；和輸出控制部，其基于所述第1以及第2檢出信號，對應(yīng)所述漏液的發(fā)生量輸出漏液檢出信號。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括所述輸出控制部與所述第1漏液檢測部連接，從接收到所述第1檢出信號開始經(jīng)過預(yù)定時間后輸出所述漏液檢出信號；同時與所述第2漏液檢測部連接，一接收到所述第2檢出信號就立即輸出所述漏液檢出信號。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括所述輸出控制部與所述第1漏液檢測部及所述第2漏液檢測部連接，在接收所述第1檢出信號之后一接收所述第2檢出信號，就立即輸出所述漏液檢出信號。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括所述第2導(dǎo)入部被設(shè)置在比所述第1導(dǎo)入部離所述漏液的發(fā)生源更遠(yuǎn)的位置上。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括所述漏液的發(fā)生源為配置于工廠內(nèi)的制造裝置，所述輸出控制部與所述制造裝置連接，從所述制造裝置接收同步信號，并且與所述同步信號同步地輸出所述漏液檢出信號。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括在所述漏液檢測裝置和地面之間設(shè)置有縫隙，所述第1導(dǎo)入部被設(shè)置在所述漏液檢測裝置下表面的邊緣部，所述第2導(dǎo)入部被設(shè)置于，凹設(shè)在所述漏液檢測裝置的所述下表面中央的凹部。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括在所述凹部中設(shè)有空氣孔，所述空氣孔從所述凹部的內(nèi)側(cè)表面貫穿所述漏液檢測裝置內(nèi)部并且與外部連通。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括時間差測定部，其測定所述第1漏液檢測部檢測出所述漏液的時間和所述第2漏液檢測部檢測出所述漏液的時間的時間差，所述輸出控制部與所述時間差測定部連接，基于所述第1以及第2 檢出信號，和由所述時間差測定部測定的所述時間差，來改變輸出所述漏液檢出信號的時機(jī)。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括第3導(dǎo)入部，其在與所述第1以及第2導(dǎo)入部不同的位置導(dǎo)入漏液；和第3漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入所述第3導(dǎo)入部的漏液并且生成第 3檢出信號，所述輸出控制部與所述第3漏液檢測部連接，所述第3漏液檢測部一檢測出漏液，就立即輸出所述漏液檢出信號。本實(shí)用新型的漏液檢測裝置還包括所述第1漏液檢測部包括第1投光單元，其向所述第1導(dǎo)入部照射光線；第1受光單元，其通過所述第1導(dǎo)入部接收來自于所述第1投光單元的光線；和第1檢測單元，其基于在所述第1受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成所述第1檢出信號，所述第2漏液檢測部包括第2投光單元，其向所述第2導(dǎo)入部照射光線，第2受光單元，其通過所述第2導(dǎo)入部接收來自于所述第2投光單元的光線；和第 2檢測單元，其基于在所述第2受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成第2檢出信號?；谏鲜龅膶?shí)用新型，可以提供一種，能夠在適宜的時機(jī)輸出漏液檢出信號，并且能夠提高制造裝置的生產(chǎn)效率的漏液檢測裝置。

圖1是顯示漏液檢測裝置的設(shè)置例的概略構(gòu)成圖。圖2是第1實(shí)施方式的漏液檢測裝置的側(cè)面圖。圖3是圖2的漏液檢測裝置的底面圖。圖4是圖2的漏液檢測裝置的主視圖。圖5是第1實(shí)施方式的傳感器主體的概略構(gòu)成圖。圖6是第1導(dǎo)入部的漏液檢測的原理圖。圖7是第1導(dǎo)入部的漏液檢測的原理圖。圖8是第2導(dǎo)入部的漏液檢測的原理圖。圖9是第2導(dǎo)入部的漏液檢測的原理圖。圖10是第2實(shí)施方式的漏液檢測裝置的底面圖。圖11是第2實(shí)施方式的傳感器主體的概略構(gòu)成圖。
具體實(shí)施方式
(第1實(shí)施方式)[0030]以下，參照圖1 圖9，對第1實(shí)施方式進(jìn)行說明。如圖1所示，漏液檢測裝置10被螺栓B安裝在工廠內(nèi)的、設(shè)置有制造裝置11的地面12上，其檢測來自于制造裝置11的漏液W(參照圖7等)。然后，漏液檢測裝置10在檢測到來自于制造裝置11的漏液W時，通過電纜13將停止信號St發(fā)送至制造裝置11中而使制造裝置11停止。圖2示 出了漏液檢測裝置10的側(cè)面圖，圖3示出了漏液檢測裝置10的底面圖，圖 4示出了漏液檢測裝置10的主視圖。如圖2所示，漏液檢測裝置10具有檢測漏液W的傳感器主體15，和將傳感器主體15固定在地面上的基臺部16?；_部16具有固定臺21，其被設(shè)置固定在地面12上；和基臺20，其從固定臺21 的側(cè)面延出形成、并且支承傳感器主體15的形式。如圖3所示，固定臺21的投影形狀近似錐形，在其逐漸變細(xì)的基端部(圖3的右側(cè))的中央位置上沿垂直方向(圖2的上下方向)以貫穿的形式形成有螺栓插入孔21a。 螺栓B被插入到螺栓插入孔21a中，通過螺栓B使得固定臺21在其下表面21b與地面12 接觸的狀態(tài)下與地面12連結(jié)并固定。如圖2所示，固定臺21以在基臺20的下表面20a和地面12之間可形成縫隙Dl 的形式，從其前端部(圖2的左側(cè))的側(cè)面延出形成基臺20?；_20的下表面20a和地面 12的縫隙Dl被設(shè)定為，在制造裝置11發(fā)生漏液的情況下，漏液W—流入縫隙Dl中就會產(chǎn)生毛細(xì)管現(xiàn)象的間隔。如圖3所示，基臺20為圓柱形，其下表面20a由透光性樹脂形成。基臺20在其下表面20a的中央位置上凹設(shè)有圓形的凹部20b (以下，稱圓形凹部)。在從制造裝置11漏液的情況下，在漏液W流入基臺20的下表面20a和地面12的縫隙Dl中時，最初，漏液W會流入圓形凹部20b以外的、成為環(huán)形的基臺20的下表面(以下，稱環(huán)形下表面)20c和地面12的縫隙Dl中，接著，漏液W會流入圓形凹部20b和地面12 的縫隙中。詳細(xì)地講，流入基臺20的環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液W，首先由毛細(xì)管現(xiàn)象的推動力以及新生成的漏液W生成流經(jīng)環(huán)形下表面20c的壓力，并向環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl擴(kuò)展。這時，表面張力在漏液W和環(huán)形下表面20c之間產(chǎn)生作用。因此，漏液W脫離環(huán)形下表面20c而流入圓形凹部20b內(nèi)所需的壓力變得比漏液W向環(huán)形下表面20c下側(cè)的縫隙Dl擴(kuò)展所需的壓力更大。因此，最初，流入基臺20的環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液W不會立即流入圓形凹部20b，而向環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl擴(kuò)展。接著，漏液W擴(kuò)展至環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl的所有部分，如果漏液W 進(jìn)一步生成的話，使漏液W流向圓形凹部20b內(nèi)的流入方向的壓力就會變得比漏液W和環(huán)形下表面20c之間的表面張力大。其結(jié)果，漏液W會流入圓形凹部20b內(nèi)。也就是說，在從制造裝置11發(fā)生少量漏液的情況下，來自于漏液檢測裝置10的漏液W流至環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中。另一方面，在從制造裝置11發(fā)生大量漏液W的情況下，來自于漏液檢測裝置10的漏液W流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl 中，并且進(jìn)一步流至圓形凹部20b中。然后，在所述基臺20上，將第1導(dǎo)入部25設(shè)置在檢測流入環(huán)形下表面20c的漏液W的位置上，并且將第2導(dǎo)入部26設(shè)置在檢測流入圓形凹部20b的漏液W的位置上。也就是說，第2導(dǎo)入部26被設(shè)置在比第1導(dǎo)入部25離作為漏液W發(fā)生源的制造裝置11更遠(yuǎn)的位置上。因此，第2導(dǎo)入部26被設(shè)置在漏液W的發(fā)生量比第1導(dǎo)入部25多的位置上。第1導(dǎo)入部25被設(shè)置在與環(huán)形下表面20c的固定臺21相反一側(cè)(圖3的左側(cè))。 第1導(dǎo)入部25具有凹部28，所述凹部28沿著直徑方向凹設(shè)在環(huán)形下表面20c上。凹部28 具有作為頂面28a的內(nèi)底面，并且具有分別作為第1出射面28b、第1入射面28c的2個傾斜面，所述2個傾斜面從頂面28a在環(huán)形下表面20c圓周方向上向相互分離的方向形成(參照圖4)。第1出射面28b以及第1入射面28c作為導(dǎo)入漏液W的導(dǎo)入部而被設(shè)置。第1導(dǎo)入部25在凹部28的兩側(cè)具有一對第1支承臺29 (參照圖4)，所述一對第 1支承臺29形成為從環(huán)形下表面20c向下方突出的形式。如圖2所示，第1支承臺29具有與地面12抵接的抵接面29a。也就是說，環(huán)形下表面20c通過第1支承臺20的抵接面 29a被支承在地面12上。另外，第1支承臺29具有傾斜面29b，所述傾斜面29b形成為從所述抵接面29a向圓形凹部20b(圖2的右側(cè))延伸至環(huán)形下表面20c的形式。第2導(dǎo)入部26被設(shè)置在圓形凹部20b中。如圖3所示，第2導(dǎo)入部26具有空氣孔26a，其被形成為貫穿圓形凹部20b的中央位置的形式；和一對第2支承臺30，其被設(shè)置為夾著氣孔26a而相面對的形式。一對第2支承臺30被形成為從圓形凹部20b的內(nèi)底面進(jìn)一步向下方突出的形式。一對第2支承臺30的互相相對的側(cè)面、即面向空氣孔26a的側(cè)面向內(nèi)部方向傾斜，分別作為第2出射面26b、第2入射面26c而形成。第2出射面26b以及第2入射面26c起到導(dǎo)入漏液W的導(dǎo)入部的作用。在基臺部16被設(shè)置在地面12上的狀態(tài)下，第1以及第2支承臺29、30抵接在地面12上，由此基臺20被支承。因此，通過第1以及第2支承臺29、30防止基臺20上下方向(圖2的上下方向)的搖晃。如圖2所示，基臺20具有貫穿其外周面的空氣孔34?？諝饪?4例如形成為四角形。然后，在基臺20的內(nèi)部形成有連通圓形凹部20b的空氣孔26a(參照圖3)和空氣孔34 的空氣通道35。也就是說，在制造裝置11發(fā)生漏液的情況下，在漏液W流入環(huán)性下表面20c和地面12的縫隙Dl的所有部分時，空氣會積聚在圓形凹部20b內(nèi)。于是，漏液檢測裝置10將所述空氣從圓形凹部20b的空氣孔26a通過空氣通道35從外周面的空氣孔34排向外部。傳感器主體15例如為圓柱形，通過被連結(jié)在基臺20上而被固定在地面12上。圖 5為傳感器主體15的概略構(gòu)成圖。如圖5所示，傳感器主體15內(nèi)部裝有第1投光單元40a、 第1受光單元41a、第1檢測單元42a、第2投光單元40b、第2受光單元41b、第2檢測單元 42b、以及輸出控制單元43 (輸出控制部)。在第1實(shí)施方式中，第1投光單元40a、第1受光單元41a、以及第1檢測單元42a構(gòu)成第1漏液檢測部。另外，第2投光單 元40b、第2受光單元41b、以及第2檢測單元42b構(gòu)成第2漏液檢測部。如圖3以及圖4所示，從漏液檢測裝置10的下表面來看，第1投光單元40a以及第1受光單元41a被配設(shè)在傳感器主體15內(nèi)部的、環(huán)形下表面20c的第1導(dǎo)入部25的位置上。然后，第1投光單元40a以及第1受光單元41a在第1導(dǎo)入部25檢測流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液W。圖6以及圖7為漏液檢測裝置10在第1導(dǎo)入部25對來自于制造裝置11的漏液W進(jìn)行檢測的原理圖。 第1投光單元40a將出射光向第1出射面28b出射。如圖6所示，在漏液W沒有流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl的情況下，透過第1出射面28b的出射光、即透過光在第1出射面28b上按預(yù)定的折射角被折射。在漏液W沒有流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl的情況下，在第1出射面 28b被折射的透過光作為入射光入射到第1入射面28c上。所述入射光在第1入射面28c 上按預(yù)定的折射角被折射并且透過第1入射面28c。然后，透過第1入射面28c的入射光入射到安裝在傳感器主體15內(nèi)部的第1受光單元41a上。由此，在漏液W沒有流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl的情況下，形成從第1投光單元40a到第1受光單元41a的光路Li。相反，如圖7所示，在漏液W流入到了環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的情況下，在第1出射面28b的出射光、即透過光的折射角會變大。所以，透過光離開光路Ll無法到達(dá)第1入射面28c。第1受光單元41a入射透過第1入射面28c的入射光，并且生成與入射光的受光量對應(yīng)的第1受光信號Sri。具體來講，流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液 W的量越少，其結(jié)果，入射光的受光量越大，第1受光單元41a就會使第1受光信號Srl的電壓值變的越大。相反，流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液W的量越多，其結(jié)果，入射光的受光量越小，第1受光單元41a就會使第1受光信號Srl的電壓值變的越小。第1檢測單元42a從第1受光單元41a接收第1受光信號Srl。第1檢測單元42a 將所述第1受光信號Srl與預(yù)先設(shè)定的第1基準(zhǔn)電壓Vkl相比較，將與該比較結(jié)果對應(yīng)的第1檢出信號Sdl提供至輸出控制單元43。例如，如果第1檢測單元42a接收到具有第1基準(zhǔn)電壓Vkl以上的電壓值的第1 受光信號Srl的話，就認(rèn)為漏液W沒有流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中并且生成L強(qiáng)度(非檢出模式)的第1檢出信號Sdl。相反，如果第1檢測單元42a接收到具有比第1基準(zhǔn)電壓Vkl小的電壓值的第1受光信號Srl的話，就判斷漏液W流入到了環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中并且生成H強(qiáng)度(檢出模式)的第1檢出信號Sdl。如圖2以及圖3所示，從漏液檢測裝置10的下表面來看，第2投光單元40b以及第 2受光單元41b被配設(shè)在傳感器主體15的內(nèi)部、圓形凹部20b的第2導(dǎo)入部26的位置上。 然后，第2投光單元40b以及第2受光單元41b在第2導(dǎo)入部26檢測流入圓形凹部20b內(nèi)的漏液W。圖8以及圖9為漏液檢測裝置10在第2導(dǎo)入部26檢測漏液W的原理圖。第2投光單元40b將出射光向第2出射面26b出射。如圖8所示，在漏液W沒有流入圓形凹部20b內(nèi)的情況下，透過第2出射面26b的出射光、即透過光在第2出射面26b 上按預(yù)定的折射角被折射。在漏液W沒有流入圓形凹部20b內(nèi)的情況下，在第2出射面26b被折射的透過光作為入射光入射到第2入射面26c上。所述入射光在第2入射面26c上按預(yù)定的折射角被折射并且透過第2入射面26c。然后，透過第2入射面26c的入射光入射到安裝在傳感器主體15內(nèi)部的第2受光單元41b上。由此，如圖8所示，在漏液W沒有流入圓形凹部20b的情況下，形成從第2投光單元40b到第2受光單元41b的光路L2。[0062]相反，如圖9所示，在漏液W流入到了圓形凹部20b內(nèi)的情況下，在第2出射面26b 的出射光、即透過光的折射角會變大。所以，透過光離開光路L2無法到達(dá)第2入射面26c。第2 受光單元41b入射透過第2入射面26c的入射光，并且生成與入射光的受光量對應(yīng)的第2受光信號Sr2。具體來講，流入圓形凹部20b內(nèi)的漏液W的量越少(即受光量越大)，第2受光單元41b就會使第2受光信號Sr2的電壓值變的越大。相反，流入圓形凹部20b內(nèi)的漏液W的量越多(即受光量越小)，第2受光單元41b就會使第2受光信號Sr2 的電壓值變的越小。第2檢測單元42b從第2受光單元41b接收第2受光信號Sr2。第2檢測單元42b 將所述第2受光信號Sr2與預(yù)先設(shè)定的第2基準(zhǔn)電壓Vk2相比較，將與該比較結(jié)果對應(yīng)的第2檢出信號Sd2提供至輸出控制單元43。例如，如果第2檢測單元42b接收到具有第2基準(zhǔn)電壓Vk2以上的電壓值的第2 受光信號Sr2的話，就認(rèn)為漏液W沒有流入圓形凹部20b內(nèi)并且生成L強(qiáng)度(非檢出模式) 的第2檢出信號Sd2。相反，如果第2檢測單元42b接收到具有比第2基準(zhǔn)電壓Vk2小的電壓值的第2受光信號Sr2的話，就判斷漏液W流入到了圓形凹部20b內(nèi)并且生成H強(qiáng)度 (檢出模式)的第2檢出信號Sd2。輸出控制單元43從第1以及第2檢測單元42a、42b接收第1以及第2檢出信號 SdU Sd2，并從制造裝置11接收同步信號Ss。在此，同步信號Ss為通知制造裝置11的作業(yè)告一段落的信號，所述同步信號Ss在制造裝置11作業(yè)中的時候變?yōu)長強(qiáng)度，而在每次作業(yè)告一段落時變?yōu)镠強(qiáng)度預(yù)定時間。輸出控制單元43基于第1以及第2檢出信號Sdl、Sd2，將使制造裝置11停止的停止信號St與同步信號Ss同步并輸出至制造裝置11。詳細(xì)地講，在制造裝置11沒有發(fā)生漏液W的情況下，輸出控制單元43接收L強(qiáng)度 (非檢出模式)的第1以及第2檢出信號Sdl、Sd2。這時，輸出控制單元43向制造裝置11 輸出不會使制造裝置11停止的L強(qiáng)度(動作模式)的停止信號St。另外，在來自于制造裝置11的漏液W為少量的情況下，輸出控制單元43接收H強(qiáng)度(檢出模式)的第1檢出信號Sdl、以及L強(qiáng)度(非檢出模式)的第2檢出信號Sd2。這時，輸出控制單元43將與H強(qiáng)度(預(yù)定時間)的同步信號Ss同步地將H強(qiáng)度(停止模式) 的停止信號St輸出至制造裝置11。也就是說，輸出控制單元43接收H強(qiáng)度的第1檢出信號Sdl以及L強(qiáng)度的第2檢出信號Sd2之后經(jīng)過預(yù)定時間后(接收同步信號Ss后)輸出 H強(qiáng)度的停止信號St。具體來講，輸出控制單元43在接收H強(qiáng)度(檢出模式)的第1檢出信號Sdl、以及 L強(qiáng)度(非檢出模式)的第2檢出信號Sd2的情況下，會認(rèn)為來自于制造裝置11的漏液W 流入了環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中，但沒有流入圓形凹部20b內(nèi)。在這種情況下，由于來自制造裝置11的漏液W沒有流入圓形凹部20b內(nèi)，所以輸出控制單元43會判斷來自制造裝置11的漏液W為少量。在來自于制造裝置11的漏液W 為少量的情況下，不會立即造成工廠設(shè)施的破損和制品不良。因此，輸出控制單元43在正在進(jìn)行中的作業(yè)結(jié)束之后，使制造裝置11停止(停止控制)。在來自于制造裝置11的漏液W為大量的情況下，控制輸出單元43接收H強(qiáng)度(檢出模式)的第1以及第2檢出信號Sdl、Sd2。這時，輸出控制單元43將H強(qiáng)度(停止方式)的停止信號St輸出至制造裝置11。也就是說，輸出控制裝置43在接收H強(qiáng)度(檢出模式)的第1以及第2檢出信號Sdl、Sd2的情況下，會認(rèn)為來自于制造裝置11的漏液W流入了環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中，并且流入了圓形凹部20b內(nèi)。在這種情況下，由于來自于制造裝置11的漏液W還流入圓形凹部20b內(nèi)，所以輸出控制單元43會判斷來自于制造裝置11的漏液W為大量。在來自于制造裝置11的漏液 W為大量的情況下，有可能立即造成工廠設(shè)施的破損和制品不良。因此，即使作業(yè)正在進(jìn)行中，輸出控制單元43也會使制造裝置11立即停止(緊急停止)。
如上所述，基于本實(shí)施方式，可以得到以下的效果。(1)漏液檢測裝置10具備第1導(dǎo)入部25，其被設(shè)置在檢測來自于制造裝置11的少量漏液W的位置；和第2導(dǎo)入部26，其被設(shè)置在檢測來自于制造裝置11的大量漏液W的位置。然后，漏液檢測裝置10在第1導(dǎo)入部25檢測出漏液W時，在正在進(jìn)行中的作業(yè)結(jié)束之后使制造裝置11停止，而通過第2導(dǎo)入部26檢測出漏液W時，不管作業(yè)是否正在進(jìn)行中都立即使制造裝置11停止。因此，在來自于制造裝置11的漏液W為少量的情況下，能夠不浪費(fèi)制品以及制造時間從而可使生產(chǎn)性提高。另外，在來自于制造裝置11的漏液W為大量的情況下，可以防止工廠設(shè)施的破損和制品不良于未然。其結(jié)果，漏液檢測裝置10可以提高安裝有該漏液檢測裝置10的制造裝置11的生產(chǎn)性。(2)在漏液檢測裝置10檢測到來自于制造裝置11的漏液W為少量時，與從制造裝置11供給的H強(qiáng)度(預(yù)定時間)的同步信號Ss同步地使制造裝置11停止。因此，在漏液檢測裝置10檢測到來自于制造裝置11的少量漏液W時，可以在制造裝置11的正在進(jìn)行中的作業(yè)一結(jié)束就停止制造裝置11。其結(jié)果，漏液檢測裝置10可以提高安裝有該漏液檢測裝置10的制造裝置11的生產(chǎn)性。(3)漏液檢測裝置10具有圓形凹部20b，所述圓形凹部20b被凹設(shè)在漏液檢測裝置10的下表面20a的中央，通過檢測漏液W是否流入圓形凹部20b內(nèi)來判斷漏液W的量。 因此，只須凹設(shè)漏液檢測裝置10的下表面20a，就可以容易地形成環(huán)形下表面20c和圓形凹部20b，在來自于制造裝置11的漏液W為少量時漏液W流入環(huán)形下表面20c，而在來自于制造裝置11的漏液W為大量時流入圓形凹部20b。(第2實(shí)施方式)在第1實(shí)施方式中，漏液檢測裝置10在第1導(dǎo)入部25的位置檢測到來自于制造裝置11的少量漏液W時，使制造裝置11在正在進(jìn)行中的作業(yè)結(jié)束之后停止，而在第2導(dǎo)入部26的位置檢測到來自于制造裝置11的大量漏液W時，立即使制造裝置11停止。 在第2實(shí)施方式中，漏液檢測裝置50基于在2個導(dǎo)入部位置對來自于制造裝置11 的漏液W進(jìn)行檢測的時間差，來改變使制造裝置11停止的時機(jī)。以下，參照圖10以及圖11，對第2實(shí)施方式的漏液檢測裝置50，以與第1實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心加以說明。另外，為了便于說明，對與之前的圖1 圖9示出的部件相同的部件分別附上相同的符號來表示，而省略上述各個要素的說明。與第1實(shí)施方式不同，漏液檢測裝置50的基臺20的下表面20a沒有被凹設(shè)。也就是說，在漏液檢測裝置50上沒有設(shè)置第1實(shí)施方式的第2導(dǎo)入部26。為了代替上述方式，漏液檢測裝置50在基臺20的下表面20a具有第3導(dǎo)入部51，所述第3導(dǎo)入部51被設(shè)置在隔著基臺20的中心點(diǎn)與第1導(dǎo)入部25對稱的位置上。由于第3導(dǎo)入部51的構(gòu)成與第1導(dǎo)入部25相同，所以省略其詳細(xì)的說明。另外，如圖10所示，從漏液檢測裝置10的下表面來看，第3投光單元40c以及第3受光單元41c被配設(shè)在傳感器主體15的內(nèi)部、第3 導(dǎo)入部51的位置上。如圖11所示，第3檢測單元42 c與第1檢測單元42a相同，從第3受光單元41c 接收第3受光信號Sr3。第3檢測單元42c將所述第3受光信號Sr3與預(yù)先設(shè)定的第1基準(zhǔn)電壓Vkl相比較，生成與該比較結(jié)果對應(yīng)的第3檢出信號Sd3。另外，在第2實(shí)施方式中， 第1投光單元40a、第1受光單元41a以及第1檢測單元42a構(gòu)成第1漏液檢測部，而第3 投光單元40c、第3受光單元41c以及第3檢測單元42c構(gòu)成第2漏液檢測部。例如，如果第3檢測單元42c接收到具有第1基準(zhǔn)電壓Vkl以上的電壓值的第3 受光信號Sr3的話，就認(rèn)為漏液W沒有流入第3導(dǎo)入部51和地面12的縫隙中并且生成L 強(qiáng)度(非檢出模式)的第3檢出信號Sd3。相反，如果第3檢測單元42c接收到具有比第1 基準(zhǔn)電壓Vkl小的電壓值的第3受光信號Sr3的話，就判斷漏液W流入到了第3導(dǎo)入部51 和地面12的縫隙中并且生成H強(qiáng)度(檢出模式)的第3檢出信號Sd3。也就是說，第1以及第3檢測單元42a、42c分別檢測漏液W是否流入第1以及第 3導(dǎo)入部25、51，并且分別生成與所述檢測結(jié)果對應(yīng)的第1以及第3檢出信號Sdl、Sd3。如圖11所示，第1以及第3檢出信號Sdl、Sd3被提供至?xí)r間差測定單元52以及輸出控制單元43。時間差測定單元52測定輸入第1以及第3檢出信號Sdl、Sd3的時間差(以下稱檢測時間差Cl)，并且將與所述檢測時間差Cl對應(yīng)的延遲控制信號Sc提供至輸出控制單元 43。例如，檢測時間差Cl越短、即來自于制造裝置11的漏液W的流出越快，時間差測定單元52將延遲控制信號Sc的電壓值變得越小。相反，檢測時間差Cl越長、即來自于制造裝置11的漏液W的流出越慢，時間差測定單元52將延遲控制信號Sc的電壓值變得越大。輸出控制單元43從第1以及第3檢測單元42a、42c接收第1以及第3檢出信號 Sdl、Sd3，并從時間差測定單元52接收遲延控制信號Sc。輸出控制單元43在接收H強(qiáng)度 (檢出模式)的第1以及第3檢出信號Sdl、Sd3時，基于延遲控制信號Sc使停止信號St延遲后輸出至制造裝置11。具體來講，遲延控制信號Sc的電壓值越小，輸出控制單元43就會將到向制造裝置 11輸出H強(qiáng)度(停止模式)的停止信號St為止的遲延時間縮的越短。相反，遲延控制信號 Sc的電壓值越大，輸出控制單元43就會將到向制造裝置11輸出H強(qiáng)度(停止方式)的停止信號St為止的遲延時間延的越長。也就是說，在檢測時間差Cl較短、即來自于制造裝置11的漏液W的流出較快的情況下，由于有可能立即造成工廠設(shè)施的破損和制品不良，所以輸出控制單元43迅速使制造裝置11停止。相反，在檢測時間差Cl較長、即來自于制造裝置11的漏液W的流出較慢的情況下，由于不會立即造成工廠設(shè)施的破損和制品不良，所以輸出控制單元43使制造裝置 11停止的較晚。如上所述，基于本實(shí)施方式，可以得到以下的效果。(1)漏液檢測裝置50在其下表面20c安裝有第1以及第3導(dǎo)入部25、51。然后，在第1導(dǎo)入部25漏液W被檢測出的時間和在第3導(dǎo)入部51漏液W被檢測出的時間的時間差Cl越長，漏液檢測裝置50就會將停止制造裝置11的時機(jī)推的越遲。相反，時間差Cl 越短，就會將停止制造裝置11的時機(jī)提的越早。因此，來自于制造裝置11的漏液W的流出越慢，可以將制造裝置11的停止推的越遲，從而使制造時間變的越長。其結(jié)果，與第1實(shí)施方式相比較，可以在檢測到來自于制造裝置11的漏液W時延長制造裝置11的運(yùn)轉(zhuǎn)時間，從而可以延長制造時間。所以，可以進(jìn)一步提高安裝有該漏液檢測裝置50的制造裝置11的生產(chǎn)性。
然而，上述實(shí)施方式也可以按照以下的形式來實(shí)施。
雖然在各個實(shí)施方式中，漏液檢測裝置10被形成為圓柱形，也可以形成為多角形。即使按照這種方式實(shí)施，也可以得到與上述實(shí)施方式相同的效果。在第1實(shí)施方式中，即使在輸出控制單元43沒有接收第1檢出信號Sdl的情況下， 也可以在接收到第2檢出信號Sd2的情況下立即輸出停止信號St。例如，在發(fā)生大量漏液 W的情況下，漏液W根據(jù)流動方向，有可能只通過第2檢測單元42b檢出漏液W。因此，為了確保安全，優(yōu)選地，輸出控制單元43不僅在接收第1以及第2檢出信號Sdl、Sd2的時候，在只接收第2檢出信號Sd2的時候也將停止信號St立即輸出至制造裝置11。在第1實(shí)施方式中，在漏液檢測裝置10通過第1導(dǎo)入部25檢測出漏液W時，會在正在進(jìn)行中的作業(yè)結(jié)束之后使制造裝置11停止。并不僅限于此，通過第1導(dǎo)入部25檢測漏液W，使制造裝置11停止的時機(jī)沒有特別限制。例如，也可以在漏液檢測裝置10從第1 檢測單元42a接收了 H強(qiáng)度的第1檢出信號Sdl之后，在接收H強(qiáng)度的同步信號Ss的任何時機(jī)(即、任何作業(yè)結(jié)束的時機(jī))使制造裝置11停止。雖然在第1實(shí)施方式中，第1導(dǎo)入部25被設(shè)置在環(huán)形下表面20c上，也可以將檢測漏液W的多個導(dǎo)入部沿著圓周方向等間隔地設(shè)置在環(huán)形下表面20c上。由此，漏液W流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl的部分和導(dǎo)入部的距離變近。因此，漏液檢測裝置 10可以通過導(dǎo)入部較早地檢測出漏液W。在第1實(shí)施方式中，在漏液檢測裝置10的基臺20的下表面20a的中央部形成圓形凹部20b，并且在所述圓形凹部20b中配設(shè)有第2導(dǎo)入部26。然而，凹部20b的形狀并不僅限于圓形。也就是說，凹部可以形成為具有比環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl大的縫隙的任意形狀(例如矩形)。另外，在下表面20a上設(shè)置的凹部的個數(shù)不僅限為1個，也可以為2個以上。例如，也可以在從第1導(dǎo)入部25到第2導(dǎo)入部26之間、在環(huán)形下表面20c上形成至少1個環(huán)形的槽。另外，例如，凹部20b也可以為圓錐形的凹部，其被形成為，以沿從環(huán)形下表面20c的內(nèi)側(cè)端部向基臺20的中央位置的方向，下表面20a和地面12的縫隙逐漸變大的形式傾斜。在第1實(shí)施方式中，漏液檢測裝置10在通過第1導(dǎo)入部25檢測出漏液W時，就會檢測出從制造裝置11漏出少量漏液W，并且與同步信號Ss同步地使制造裝置11停止。并不僅限于此，也可以在漏液檢測裝置10通過第1導(dǎo)入部25檢測出漏液W時，將告知在制造裝置11漏出少量漏液W的警報信號輸出至制造裝置11。在這種情況下，漏液檢測裝置10 將從制造裝置11漏出漏液W的信息告知制造裝置11。之后，漏液檢測裝置10在通過第2 導(dǎo)入部26檢測出漏液W時，會判斷從制造裝置11流出了大量漏液W并且使制造裝置11停止。在第1實(shí)施方式中，利用毛細(xì)管現(xiàn)象使流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl 中的漏液W流入至第1導(dǎo)入部25。并不僅限于此，也可以在環(huán)形下表面20c上，從第1導(dǎo)入部25沿著圓周方向設(shè)置環(huán)形(或者半環(huán)形)的突部，將流入環(huán)形下表面20c和地面12的縫隙Dl中的漏液W導(dǎo)向環(huán)形突部并使其流入第1導(dǎo)入部25中。所述突部將流入環(huán)形下表面20c的漏液W引導(dǎo)至第1導(dǎo)入部25的凹部28，以幫助在第1導(dǎo)入部25的位置的、漏液W 的檢測快速進(jìn)行。其結(jié)果，可以延長從最初在第1導(dǎo)入部25的位置檢測出漏 液W到接著在第2導(dǎo)入部26的位置檢測出漏液W為止的時間。由此，例如可以靈活設(shè)定制造裝置11的停止時機(jī)等，并且可以提高對于漏液W發(fā)生的控制性。在第2實(shí)施方式中，漏液檢測裝置50基于在第1導(dǎo)入部25漏液W被檢測出的時間和在第3導(dǎo)入部51漏液W被檢測出的時間的時間差Cl，來改變使制造裝置11停止的時機(jī)。并不僅限于此，漏液檢測裝置50也可以基于檢測時間差Cl，按照在制造裝置11 一系列的動作中的、各個所需的時間單位使制造裝置11停止。在這種控制方法中，制造裝置11的正在進(jìn)行中的作業(yè)一結(jié)束，漏液檢測裝置50就停止制造裝置11。其結(jié)果，漏液檢測裝置10可以提高安裝有該漏液檢測裝置10的制造裝置11的生產(chǎn)性。進(jìn)一步，也可以采用以下構(gòu)成，即在檢測時間差Cl比基準(zhǔn)時間長的時候，漏液檢測裝置50開始制造裝置11的停止控制，相反，在檢測時間差Cl比基準(zhǔn)時間短時，漏液檢測裝置50使制造裝置11緊急停止。進(jìn)一步，漏液檢測裝置50也可以基于檢測時間差Cl，與來自于制造裝置11的同步信號Ss同步地輸出停止信號St來使制造裝置11停止。在這種控制方法中，漏液檢測裝置50可以在每次制造裝置11的正在進(jìn)行中的作業(yè)結(jié)束時停止制造裝置11。其結(jié)果，漏液檢測裝置50可以進(jìn)一步提高安裝有該漏液檢測裝置50的制造裝置11的生產(chǎn)性。與第1實(shí)施方式不同，在第2實(shí)施方式中，在漏液檢測裝置50的基臺20上沒有設(shè)置第2導(dǎo)入部26。并不僅限于此，也可以與第1實(shí)施方式相同，在漏液檢測裝置50的基臺 20上設(shè)置第2導(dǎo)入部26。在這種情況下，除了第2實(shí)施方式的第1漏液檢測部(40a、41a、 42a)以及第2漏液檢測部(40c、41c、42c)，還可將第1實(shí)施方式的第2投光單元40b、第2 受光單元41b以及第2檢測單元42b作為第3漏液檢測部設(shè)置在漏液檢測裝置50上。在這種構(gòu)成中，漏液檢測裝置50與第1實(shí)施方式相同，可以在通過第2導(dǎo)入部26檢測出漏液 W時，立即使制造裝置11停止。在第2實(shí)施方式中設(shè)置第3導(dǎo)入部51的位置并不僅限于圖10示出的位置。艮口， 第3導(dǎo)入部51的位置不僅限于在隔著基臺20的中心點(diǎn)與第1導(dǎo)入部25對稱的位置上。例如，第3導(dǎo)入部51也可以被設(shè)置在基臺20的下表面IOa的中央附近。
權(quán)利要求1.一種檢測漏液發(fā)生的漏液檢測裝置， 其具備導(dǎo)入漏液的第1導(dǎo)入部；第1漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第1導(dǎo)入部內(nèi)的漏液并且生成第1檢出信號； 其特征在于，包括第2導(dǎo)入部，其在與所述第1導(dǎo)入部不同的位置導(dǎo)入漏液； 第2漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第2導(dǎo)入部內(nèi)的漏液并且生成第2檢出信號；和輸出控制部，其基于所述第1以及第2檢出信號，對應(yīng)所述漏液的發(fā)生量輸出漏液檢出信號。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于，所述輸出控制部與所述第1漏液檢測部連接，從接收到所述第1檢出信號開始經(jīng)過預(yù)定時間后輸出所述漏液檢出信號；同時與所述第2漏液檢測部連接，一接收到所述第2檢出信號就立即輸出所述漏液檢出信號。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于，所述輸出控制部與所述第1漏液檢測部及所述第2漏液檢測部連接，在接收所述第1 檢出信號之后一接收所述第2檢出信號，就立即輸出所述漏液檢出信號。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于，所述第2導(dǎo)入部被設(shè)置在，比所述第1導(dǎo)入部離所述漏液的發(fā)生源更遠(yuǎn)的位置上。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于， 所述漏液的發(fā)生源為配置于工廠內(nèi)的制造裝置，所述輸出控制部與所述制造裝置連接，從所述制造裝置接收同步信號，并且與所述同步信號同步地輸出所述漏液檢出信號。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于， 在所述漏液檢測裝置和地面之間設(shè)置有縫隙，所述第1導(dǎo)入部被設(shè)置在所述漏液檢測裝置下表面的邊緣部，所述第2導(dǎo)入部被設(shè)置于，凹設(shè)在所述漏液檢測裝置的所述下表面中央的凹部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的漏液檢測裝置，其特征在于，在所述凹部中設(shè)有空氣孔，所述空氣孔從所述凹部的內(nèi)側(cè)表面貫穿所述漏液檢測裝置內(nèi)部并且與外部連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的漏液檢測裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備時間差測定部，其測定所述第1漏液檢測部檢測出所述漏液的時間和所述第2漏液檢測部檢測出所述漏液的時間的時間差，所述輸出控制部與所述時間差測定部連接，基于所述第1以及第2檢出信號，和由所述時間差測定部測定的所述時間差，來改變輸出所述漏液檢出信號的時機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的漏液檢測裝置，其特征在于，進(jìn)一步具備第3導(dǎo)入部，其在與所述第1以及第2導(dǎo)入部不同的位置導(dǎo)入漏液；和第3漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入所述第3導(dǎo)入部的漏液并且生成第3檢出信號， 所述輸出控制部與所述第3漏液檢測部連接，所述第3漏液檢測部一檢測出漏液，就立即輸出所述漏液檢出信號。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項所述的漏液檢測裝置，其特征在于，所述第1漏液檢測部包括第1投光單元，其向所述第1導(dǎo)入部照射光線； 第1受光單元，其通過所述第1導(dǎo)入部接收來自于所述第1投光單元的光線；和第1檢測單元，其基于在所述第1受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成所述第 1檢出信號， 所述第2漏液檢測部包括第2投光單元，其向所述第2導(dǎo)入部照射光線， 第2受光單元，其通過所述第2導(dǎo)入部接收來自于所述第2投光單元的光線；和第2檢測單元，其基于在所述第2受光單元處的受光量檢測所述漏液并且生成第2檢出信號。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種能夠以適宜的時機(jī)輸出檢出信號的漏液檢測裝置。漏液檢測裝置10包括第1漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第1導(dǎo)入部25內(nèi)的漏液并且生成第1檢出信號；第2漏液檢測部，其檢測被導(dǎo)入第2導(dǎo)入部26內(nèi)的漏液并且生成第2檢出信號，所述第2導(dǎo)入部26被設(shè)置在與第1導(dǎo)入部25不同的位置上；輸出控制部，至少基于第1以及第2檢出信號中的第1檢出信號，對應(yīng)漏液的發(fā)生量輸出漏液檢出信號。本漏液檢測裝置能夠在適宜的時機(jī)輸出漏液檢出信號，并且能夠提高制造裝置的生產(chǎn)效率。
文檔編號G01M3/38GK202066657SQ201020523259
公開日2011年12月7日 申請日期2010年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月30日
發(fā)明者古川裕明, 川島良英 申請人:神視株式會社