專利名稱：冷陰極電離真空計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種冷陰極電離真空計。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的冷陰極電離真空計的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，成本較高。 發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單的冷陰極電離真空計。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型所采用技術(shù)方案是冷陰極電離真空計，其 特征在于它包括真空管、磁場發(fā)生裝置、陰極、陽極、第一電纜、第二電纜、高壓發(fā)生 器、第三電纜、控制電路、第四電纜、第五電纜、直流電源、第六電纜，真空管的外圍 設(shè)有磁場發(fā)生裝置，真空管內(nèi)設(shè)有陰極和陽極，陰極成U型，陽極成棒狀，陽極的下部 插入陰極內(nèi)，真空管的上端部設(shè)有真空檢測口；陽極由第一電纜與高壓發(fā)生器的正極輸 出端相連接，陰極由第二電纜與高壓發(fā)生器的負(fù)極輸出端相連接；高壓發(fā)生器的負(fù)極輸 入端由第三電纜與控制電路的電源的輸出端相連接，高壓發(fā)生器的正極輸入端由第六電 纜與直流電源的正極輸出端相連接，第六電纜上設(shè)有電流表；控制電路的電源的正極輸 入端由第四電纜與直流電源的正極輸出端相連接，控制電路的電源的負(fù)極輸入端由第五 電纜與直流電源的負(fù)極輸出端相連接，控制電路的電壓輸出端連接一電壓表。本實用新型的有益效果是采用上述結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡單、成本較低。

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-真空管，2-磁場發(fā)生裝置，3-陰極，4-陽極，5-真空檢測口，6_第 一電纜，7-第二電纜，8-高壓發(fā)生器，9-第三電纜，10-控制電路，11-第四電纜， 12-第五電纜，13-直流電源，14-第六電纜。
具體實施方式
如圖1所示，冷陰極電離真空計，其特征在于它包括真空管1、磁場發(fā)生裝置 2、陰極3、陽極4、第一電纜6、第二電纜7、高壓發(fā)生器8、第三電纜9、控制電路10、 第四電纜11、第五電纜12、直流電源13、第六電纜14，真空管1的外圍設(shè)有磁場發(fā)生裝 置2，真空管1內(nèi)設(shè)有陰極3和陽極4，陰極3成U型，陽極4成棒狀，陽極4的下部插 入陰極3內(nèi)，真空管1的上端部設(shè)有真空檢測口 5;陽極4由第一電纜6與高壓發(fā)生器8 的正極輸出端相連接，陰極3由第二電纜7與高壓發(fā)生器8的負(fù)極輸出端相連接；高壓 發(fā)生器8的負(fù)極輸入端由第三電纜9與控制電路10的電源的輸出端相連接，高壓發(fā)生器 8的正極輸入端由第六電纜14與直流電源13的正極輸出端相連接，第六電纜14上設(shè)有 電流表；控制電路10的電源的正極輸入端由第四電纜11與直流電源13的正極輸出端相連接，控制電路10的電源的負(fù)極輸入端由第五電纜12與直流電源13的負(fù)極輸出端相連 接，控制電路10的電壓輸出端連接一電壓表。磁場發(fā)生裝置可采用永磁鐵、亥姆霍茲線圈、螺線管或電磁鐵。本實用新型是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電 流做為真空度的測量，由電壓表(或由PLC采集)做為真空度指示儀表，一般用量程為 0 IOv指示出來。冷陰極電離真空計是靠冷發(fā)射(場電離發(fā)射)所產(chǎn)生的少量初始自由 電子，它們在電場的作用下向陽極運(yùn)動，但由于正交磁場的存在，也將施力于運(yùn)動的電 子，從而改變電子的運(yùn)動軌跡。在電、磁場的共同作用下，電子沿螺旋形軌道迂回地飛 向陽極(這種運(yùn)動軌跡實際上是一個在陽極面上具有擺線投影的曲線)，這樣就大大延長 了電子達(dá)到陽極的路程，使碰撞氣體分子的機(jī)會增多；同時又因陽極是一個中空的環(huán)， 在其中軸線附近運(yùn)動的電子還可能穿過陽極環(huán)憑原有動能繼續(xù)前進(jìn)，而后又被帶負(fù)電位 的陰極排斥而折回，這樣飛行中的電子可能在兩陰極間往返振蕩直到最后被陽極吸收為 止，使電子到達(dá)陽極的實際路程遠(yuǎn)大于兩極間的幾何尺寸，故碰撞幾率大大增加。電 子碰撞氣體分子時，有一部分為電離碰撞，電離后形成的正離子在陰極上打出的二次電 子，也受電場和磁場的共同作用而參與這種運(yùn)動，使電離過程連鎖的進(jìn)行，在很短時間 內(nèi)雪崩式地產(chǎn)生大量的電子和離子，這樣就形成了自持氣體放電(一般稱為潘寧放電)， 此放電電流與壓力有如下關(guān)系I = Kpn式中I—放電電流
K—常數(shù)η-常數(shù)，一般在1 2之間，與規(guī)管結(jié)構(gòu)有關(guān)。本產(chǎn)品其壓力測量范圍1.0*10_8mbar 7.5*10_3mbar。特點1、大氣壓下可以直接開機(jī)，瞬間開始無需預(yù)熱等待。2、性價比最高的真空測量產(chǎn)品，僅為國外同類產(chǎn)品成本的五分之一。3、體積小，便于安裝，功耗低。4、24V低壓供電，無需高壓電纜，使用安全可靠。
權(quán)利要求1.冷陰極電離真空計，其特征在于它包括真空管(1)、磁場發(fā)生裝置(2)、陰極 (30、陽極(4)、第一電纜(6)、第二電纜(7)、高壓發(fā)生器(8)、第三電纜(9)、控制電 路(10)、第四電纜(11)、第五電纜(12)、直流電源(13)、第六電纜(14)，真空管(1)的 外圍設(shè)有磁場發(fā)生裝置(2)，真空管⑴內(nèi)設(shè)有陰極(3)和陽極(4)，陰極(3)成U型， 陽極(4)成棒狀，陽極(4)的下部插入陰極(3)內(nèi)，真空管(1)的上端部設(shè)有真空檢測口 (5)；陽極⑷由第一電纜(6)與高壓發(fā)生器⑶的正極輸出端相連接，陰極(3)由第二 電纜(7)與高壓發(fā)生器(8)的負(fù)極輸出端相連接；高壓發(fā)生器(8)的負(fù)極輸入端由第三電 纜(9)與控制電路(10)的電源的輸出端相連接，高壓發(fā)生器(8)的正極輸入端由第六電 纜(14)與直流電源(13)的正極輸出端相連接，第六電纜(14)上設(shè)有電流表；控制電路 (10)的電源的正極輸入端由第四電纜(11)與直流電源(13)的正極輸出端相連接，控制電 路(10)的電源的負(fù)極輸入端由第五電纜(12)與直流電源(13)的負(fù)極輸出端相連接，控 制電路(10)的電壓輸出端連接一電壓表。
專利摘要本實用新型涉及一種冷陰極電離真空計。冷陰極電離真空計，其特征在于它包括真空管、磁場發(fā)生裝置、陰極、陽極、第一電纜、第二電纜、高壓發(fā)生器、第三電纜、控制電路、第四電纜、第五電纜、直流電源、第六電纜，真空管的外圍設(shè)有磁場發(fā)生裝置，真空管內(nèi)設(shè)有陰極和陽極，陰極成U型，陽極成棒狀，陽極的下部插入陰極內(nèi)，真空管的上端部設(shè)有真空檢測口；陽極由第一電纜與高壓發(fā)生器的正極輸出端相連接，陰極由第二電纜與高壓發(fā)生器的負(fù)極輸出端相連接；高壓發(fā)生器的負(fù)極輸入端由第三電纜與控制電路的電源的輸出端相連接，高壓發(fā)生器的正極輸入端由第六電纜與直流電源的正極輸出端相連接。本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、成本較低的特點。
文檔編號G01L21/34GK201803829SQ201020529799
公開日2011年4月20日 申請日期2010年9月13日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月13日
發(fā)明者劉杰, 孫麟, 朱紅衛(wèi), 楊永勝, 聶家華, 肖紅文 申請人:云夢縣德邦實業(yè)有限責(zé)任公司