專利名稱：一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及傳感器領(lǐng)域，特別是涉及一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
傳感器是一種檢測裝置，它能檢測到被測量的信息，并將檢測到的被測量信息按 照一定的規(guī)律變換為電信號或其他形式的信號輸出，從而滿足對被測量信息的傳輸、處理、 存儲、顯示、記錄和控制。因此，傳感器是實現(xiàn)自動檢測和自動控制的首要環(huán)節(jié)。壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種傳感器，它能感受壓力并將壓力轉(zhuǎn)換成 電信號，從而實現(xiàn)工業(yè)上對壓力的檢測和處理。圖1為壓力傳感器的結(jié)構(gòu)圖。如圖1所示， 壓力傳感器主要包括膜片1、芯體2和導(dǎo)線3三部分，其工作原理為膜片1感受自身表面的 壓力發(fā)生的變化，當(dāng)膜片1表面的壓力發(fā)生變化時，芯體2的電學(xué)特性也會隨之發(fā)生改變， 從而引起輸出電信號的變化，導(dǎo)線3將變化后的電信號發(fā)送出去。膜片1的表面積越大，則 壓力傳感器對壓力的檢測靈敏度也就越高。壓力傳感器的膜片1為一平面，垂直于該平面 的方向為膜片1的軸向4，而垂直于軸向4的方向為膜片1的徑向5，在壓力傳感器膜片1 的軸向4方向上，膜片1的上表面與芯體2的下表面之間的長度18約為10毫米。壓力傳 感器主要包括壓阻式壓力傳感器和應(yīng)變式壓力傳感器，相對于應(yīng)變式壓力傳感器，壓阻式 壓力傳感器的靈敏度更高，因而廣泛應(yīng)用于工業(yè)檢測中。壓阻式壓力傳感器通常為圓柱形， 直徑在30毫米左右。壓力傳感器一般不能單獨使用，需要具備一定的配套結(jié)構(gòu)才能應(yīng)用于工業(yè)檢測 中。例如，在人造板加工領(lǐng)域，需要檢測生產(chǎn)過程中的氣壓變化情況，從而及時調(diào)節(jié)各種工 藝參數(shù)，合理地安排生產(chǎn)進(jìn)度，這就需要使用與進(jìn)氣結(jié)構(gòu)相配套的壓力傳感器來檢測氣壓 的變化。圖2為現(xiàn)有技術(shù)中壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)剖面圖。如圖2所示，壓力傳感器被包 裹在外殼15內(nèi)部，僅通過導(dǎo)線3與外部電路相連，外殼15內(nèi)部具有一進(jìn)氣管道17，該進(jìn)氣 管道17具有與外界連通的進(jìn)氣口 16，同時也與壓力傳感器的膜片1的表面相通，這樣，外界 的氣體就可以通過進(jìn)氣口 16進(jìn)入進(jìn)氣管道17，并沿進(jìn)氣管道17到達(dá)壓力傳感器的膜片1 的表面，從而對膜片1施加一定的壓力，當(dāng)該壓力發(fā)生變化時，膜片1感受到該壓力的變化， 并引起芯體2的電學(xué)特性發(fā)生改變，進(jìn)而引起電信號的變化，導(dǎo)線3將變化后的電信號傳輸 出去。在圖2所示的壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)中，進(jìn)氣管道17是沿壓力傳感器的膜片1的軸 向4設(shè)置的，因此，在壓力傳感器的膜片1的軸向4的方向上，該結(jié)構(gòu)的長度比較大，如圖2 所示，從進(jìn)氣口 16到外殼15下表面之間的距離19大于100毫米。另外，由于壓力傳感器 的直徑約為30毫米，其外部在設(shè)置了外殼15之后，在膜片1徑向的長度約為50毫米。在人造板加工領(lǐng)域，隨著技術(shù)的發(fā)展，人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線逐漸普及開來，這種 連續(xù)壓機生產(chǎn)線能自動快速完成人造板的施膠、熱壓以及傳送等工作，人只需要在生產(chǎn)線 控制器上輸入相應(yīng)的工作參數(shù)，并在加料斗中加入足夠量的板坯和膠粘劑，即可由生產(chǎn)線 自動完成人造板的熱壓工作。由此可見，工作參數(shù)的設(shè)置對于生產(chǎn)線的工作就具有非常重 要的意義，工作參數(shù)設(shè)置得不合理，則生產(chǎn)出的人造板產(chǎn)品也就不合格，企業(yè)就會蒙受巨大的損失。在利用人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線生產(chǎn)人造板時，可以對板坯內(nèi)部的氣壓進(jìn)行在線監(jiān) 測，從而獲得生產(chǎn)過程中板坯內(nèi)部的實時氣壓變化情況，通過板坯內(nèi)部的氣壓變化情況，可 以分析得到有關(guān)人造板質(zhì)量和生產(chǎn)線工作參數(shù)的絕大多數(shù)信息，因而在生產(chǎn)過程中，可以 通過板坯內(nèi)部的氣壓變化情況來不斷地修正生產(chǎn)線的工作參數(shù)，進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量。圖3為人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)剖面圖。如圖3所示，人造板連續(xù)壓機生產(chǎn) 線具有上壓板6和下壓板7，在生產(chǎn)線開始工作之前，將摻有一定量膠粘劑的板坯8均勻放 置于下壓板7的表面，生產(chǎn)線開始工作時，表面溫度很高的上壓板6和下壓板7合攏一段時 間，膠粘劑在高溫作用下將板坯8粘結(jié)為一個整體，即形成一張人造板產(chǎn)品。這種通過高溫 加熱使膠粘劑作用于板坯8、從而將板坯8粘結(jié)為一個整體的過程稱為熱壓過程。在熱壓過 程之后，下壓板7上的自動傳動裝置將生產(chǎn)出的人造板送出生產(chǎn)線，并進(jìn)入下一塊板坯的 熱壓程序。在熱壓過程中，板坯8內(nèi)部的氣壓隨時間的變化情況與生產(chǎn)的人造板質(zhì)量密切相 關(guān)，如果上壓板6和下壓板7的溫度過高，將會引起板坯8內(nèi)部的氣壓變化過于劇烈，則人 造板內(nèi)部容易鼓泡，從而產(chǎn)生質(zhì)量缺陷；如果上壓板6和下壓板7的溫度過低，則膠粘劑 的粘結(jié)作用比較弱，熱壓過程持續(xù)的時間很長，而且生產(chǎn)的人造板也很松散，質(zhì)量也會不合 格，在該過程中，板坯8內(nèi)部的氣壓變化很緩慢。由此可見，為了在生產(chǎn)出合格人造板產(chǎn)品 的前提下，盡量縮短熱壓時間，以節(jié)約能源和提高生產(chǎn)效率，需要在熱壓的同時實時檢測人 造板板坯8內(nèi)部的氣壓變化情況，從而合理地安排生產(chǎn)工序，設(shè)置合適的工作參數(shù)。如圖3所示，標(biāo)號13表示壓力傳感器，該壓力傳感器13連接有探針14，探針14內(nèi) 部中空，將探針14插入板坯8中，可將板坯內(nèi)部的氣體引入壓力傳感器13的表面，從而使 壓力傳感器13對板坯內(nèi)部的氣壓進(jìn)行檢測，另外，探針14插入板坯8的內(nèi)部，還可以使壓 力傳感器13在熱壓過程中與板坯8的位置保持固定，這樣，壓力傳感器13就可以持續(xù)地檢 測板坯8內(nèi)部同一個位置處的氣壓。由于連續(xù)壓機生產(chǎn)線通常生產(chǎn)的是薄型人造板，當(dāng)上壓板6和下壓板7合攏進(jìn)行 熱壓時，上下壓板之間的最小距離為25-40毫米，因此，圖2所示的徑向長度為50毫米左右 的配置了外殼15的壓力傳感器是不能置于壓機左邊緣9和右邊緣11之間的。另外，在壓 力傳感器13采用圖2所示的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的情況下，將進(jìn)氣管道17外的外殼15的一部分作為 圖3中的探針14插入板坯8中，為防止外殼15因為插入板坯8的長度過大導(dǎo)致人造板熱壓 完成之后外殼15無法拔出，外殼15插入人造板的長度不能超過20毫米，但是，人造板連續(xù) 壓機生產(chǎn)線具有框架結(jié)構(gòu)，如圖3所示，位于生產(chǎn)線左側(cè)的框架10與壓機左邊緣9之間的 距離25，以及生產(chǎn)線右側(cè)的框架12與壓機右邊緣11之間的距離沈，均小于80毫米，這樣， 在軸向的距離19大于100毫米的情況下，外殼15插入板坯8之后，壓力傳感器13位于壓 機左邊緣9左側(cè)或右邊緣11右側(cè)部分的長度就會超出距離25或沈的限制，導(dǎo)致壓力傳感 器13在隨成形的人造板沿垂直于紙面的方向移動時因為與框架10或12相撞而損壞。因 此，與現(xiàn)有技術(shù)提供的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)所配套的壓力傳感器是無法對人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓 過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行實時監(jiān)測的。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，能使壓力傳感器對人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行實時監(jiān)測。本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，該 結(jié)構(gòu)包括外殼和壓力傳感器，其中所述壓力傳感器固定于所述外殼內(nèi)部；所述外殼包括沿所述壓力傳感器的膜片徑向的中空的進(jìn)氣管道；所述進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與外部相通；所述進(jìn)氣管道與所述壓力傳感器的膜片表面相通；所述外殼在所述壓力傳感器的膜片軸向的長度不超過25毫米。本實用新型的有益效果是本實用新型中，由于壓力傳感器固定于外殼內(nèi)部，中空 的進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與外部相通，并且進(jìn)氣管道與壓力傳感器的膜片表面相通，因此，外界 氣體可以從進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口進(jìn)入進(jìn)氣管道，在穿過進(jìn)氣管道之后到達(dá)壓力傳感器的膜片 表面，從而使壓力傳感器能夠?qū)崟r檢測到外部的氣壓及其變化情況；由于本實用新型中的 進(jìn)氣管道是沿壓力傳感器的膜片徑向設(shè)置的，可以實現(xiàn)壓力傳感器膜片軸向的外殼長度不 超過25毫米，這樣，將進(jìn)氣管道外的外殼部分插入板坯，并使壓力傳感器膜片的軸向垂直 于地面，既能夠保證壓機上下壓板合攏之后不會壓壞壓力傳感器，也能夠保證壓力傳感器 隨成形的人造板移動時不與生產(chǎn)線的左右框架相撞；因此，本實用新型提出的壓力傳感器 的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，能使壓力傳感器對人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行 實時監(jiān)測。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進(jìn)進(jìn)一步，所述進(jìn)氣管道與所述壓力傳感器的膜片表面之間，進(jìn)一步包括緩沖空間， 所述緩沖空間用于使氣體與所述壓力傳感器的膜片表面充分接觸。進(jìn)一步，所述壓力傳感器為耐高溫絕緣硅晶體壓阻式壓力傳感器。進(jìn)一步，所述壓力傳感器與壓力測量電路相連；所述壓力測量電路位于所述外殼 的外部，且所述壓力傳感器與所述壓力測量電路之間用耐高溫材料密封。進(jìn)一步，所述壓力測量電路包括加固裝置，所述加固裝置用于加固所述壓力傳感 器和壓力測量電路與板坯的連接。進(jìn)一步，所述耐高溫材料為耐高溫壓板；和/或，所述耐高溫材料為耐高溫膠。進(jìn)一步，所述外殼與所述壓力測量電路固定在一起。

圖1為壓力傳感器的結(jié)構(gòu)圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)剖面圖；圖3為人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線的結(jié)構(gòu)剖面圖；圖4為本實用新型提出的壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)剖面圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進(jìn)行描述，所舉實例只用于解釋本實用 新型，并非用于限定本實用新型的范圍。圖4為本實用新型提出的壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)剖面圖。如圖4所示，該結(jié)構(gòu)包括外殼20和壓力傳感器，壓力傳感器包括膜片1、芯體2和導(dǎo)線3，其中壓力傳感器固定于外殼20內(nèi)部；外殼20包括沿壓力傳感器的膜片1徑向的中空的進(jìn)氣管道22 ；進(jìn)氣管道22的進(jìn)氣口 21與外部相通；進(jìn)氣管道22與壓力傳感器的膜片1表面相通；外殼20在壓力傳感器的膜片1軸向5的長度27不超過25毫米。這樣，配置了圖4所示的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)的壓力傳感器可以通過以下方法來實時監(jiān)測人 造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力，即將進(jìn)氣管道22外的外殼20的一部 分沿平行于地面的方向插入板坯中，并使壓力傳感器的軸向垂直于地面，這樣，由于圖3所 示的連續(xù)壓機生產(chǎn)線上壓板6和下壓板7在合攏熱壓時的最小距離為25毫米，而外殼20 在壓力傳感器的膜片1軸向5的長度27不超過25毫米，因此，可將該壓力傳感器置于連續(xù) 壓機生產(chǎn)線的左邊緣9和右邊緣11之間，上壓板6和下壓板7合攏時不會將其壓壞，同時， 由于壓力傳感器在膜片1徑向的長度約為50毫米，而不會超出距離25或沈的限制，因此， 壓力傳感器在隨成形的人造板移動時不會與框架10或12相撞。由此可見，由于壓力傳感器固定于外殼內(nèi)部，中空的進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與外部相 通，并且進(jìn)氣管道與壓力傳感器的膜片表面相通，因此，外界氣體可以從進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口 進(jìn)入進(jìn)氣管道，在穿過進(jìn)氣管道之后到達(dá)壓力傳感器的膜片表面，從而使壓力傳感器能夠 實時檢測到外部的氣壓及其變化情況；由于本實用新型中的進(jìn)氣管道是沿壓力傳感器的膜 片徑向設(shè)置的，可以實現(xiàn)壓力傳感器膜片軸向的外殼長度不超過25毫米，這樣，將進(jìn)氣管 道外的外殼部分插入板坯，并使壓力傳感器膜片的軸向垂直于地面，既能夠保證壓機上下 壓板合攏之后不會壓壞壓力傳感器，也能夠保證壓力傳感器隨成形的人造板移動時不與生 產(chǎn)線的左右框架相撞；因此，本實用新型提出的壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，能使壓力傳感器對 人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行實時監(jiān)測。本實用新型中，進(jìn)氣管道22與壓力傳感器的膜片1表面之間，進(jìn)一步包括緩沖空 間，該緩沖空間用于使氣體與壓力傳感器的膜片1表面充分接觸。這里，如圖4所示，在外殼20內(nèi)部、壓力傳感器的膜片1表面與外殼20的內(nèi)壁之 間具有一定的緩沖空間，該緩沖空間為中空的，其形狀為任意的，以可以容納一定量的氣體 并使壓力傳感器的膜片1與氣體的接觸面積滿足檢測靈敏度要求為標(biāo)準(zhǔn)，例如，圖4中利用 加工外殼20時所留下的圓錐形加工孔作為緩沖空間，這樣，從外部沿進(jìn)氣管道22進(jìn)入外殼 20內(nèi)的氣體，就可以在該緩沖空間處與壓力傳感器的膜片1表面充分接觸，從而提高壓力 傳感器的檢測精度。本實用新型中，壓力傳感器可以采用壓阻式壓力傳感器，例如，采用耐高溫絕緣硅 (SOI, Silicon-On-Insulator)晶體壓阻式壓力傳感器，或采用其他壓阻式壓力傳感器。壓力傳感器包括壓阻式壓力傳感器和應(yīng)變式壓力傳感器，相對于應(yīng)變式壓力傳感 器，本實用新型采用壓阻式壓力傳感器，具有如下優(yōu)點(1)靈敏度高，壓阻式壓力傳感器的靈敏系數(shù)比應(yīng)變式壓力傳感器的靈敏度系數(shù) 要大50-100倍；(2)采用集成電路工藝加工，因而結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕；(3)壓力分辨率高；[0045](4)頻率響應(yīng)好；(5)工作可靠，綜合精度高，且使用壽命長。本實用新型采用耐高溫SOI晶體壓阻式壓力傳感器，還可以耐受熱壓過程中板坯 內(nèi)部的高溫氣體的沖擊，防止壓力傳感器膜片被高溫氣體所損壞而導(dǎo)致檢測無法完成。本實用新型中，外殼20由可耐受高溫的材料制成。這里，由于人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線是利用上下壓板的高溫使膠粘劑對板坯產(chǎn)生粘 結(jié)作用的，因此，工作中的生產(chǎn)線內(nèi)部的溫度很高，如果外殼20的制作材料不能耐受高溫， 則在工作過程中會發(fā)生損壞而造成檢測錯誤。本實用新型中的外殼20由可耐受高溫的材 料制成，有效防止了因為外殼20在檢測過程中發(fā)生高溫?fù)p壞而造成檢測錯誤的情況出現(xiàn)。本實用新型中，壓力傳感器與壓力測量電路相連；壓力測量電路位于外殼20的外 部，且壓力傳感器與壓力測量電路之間用耐高溫材料密封。這里，壓力傳感器是通過導(dǎo)線3與壓力測量電路相連的，該壓力測量電路用于對 導(dǎo)線3傳輸來的電信號進(jìn)行處理，從而得到板坯內(nèi)部的實時氣壓。同時，由于壓力測量電路 位于外殼20的外部，因此，需要利用耐高溫材料將壓力傳感器與壓力測量電路之間的連接 部分密封，防止漏氣，也防止高溫?fù)p壞壓力傳感器。本實用新型中，壓力傳感器與壓力測量電路之間的耐高溫材料可以有很多種，例 如，可以為耐高溫壓板，也可以為耐高溫膠，當(dāng)然，還可以為其他耐高溫的材料。壓力測量電路還可以包括加固裝置，該加固裝置用于加固壓力傳感器和壓力測量 電路與板坯的連接。例如，加固裝置可以采用針形鋼管，這樣，由于壓力傳感器與壓力測量 電路相連，壓力傳感器可以通過將進(jìn)氣管道外的外殼的一部分沿平行于地面的方向插入板 坯的方式與板坯相連接，而壓力測量電路也可以通過將加固裝置、即針形鋼管沿平行于地 面的方向插入板坯的方式與板坯相連接，這樣，就使得壓力傳感器和壓力測量電路與板坯 的連接關(guān)系更加牢固，即使板坯帶動壓力傳感器和壓力測量電路一同移動，壓力傳感器插 入板坯內(nèi)的部分也不會發(fā)生晃動，這進(jìn)一步保證了壓力傳感器所檢測的氣體壓力來源于板 坯內(nèi)同一個位置處，從而保證了檢測的準(zhǔn)確性。當(dāng)然，加固裝置也可以采用其他形式，只要能加固壓力傳感器和壓力測量電路與 板坯的連接關(guān)系，都在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。如圖4所示，在芯體2與外殼20外部的壓力測量電路之間的位置可以用耐高溫壓 板23密封，在導(dǎo)線3與外殼20外部的壓力測量電路之間的位置可以用耐高溫膠M密封。這里，由于人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線工作時，內(nèi)部的溫度很高，因此，壓力傳感器與 壓力測量電路之間必須用耐高溫材料來密封。另外，外殼20可以與壓力測量電路固定在一起，這樣，壓力測量電路就可以在檢 測過程中與外殼20做同步的運動。外殼20與壓力測量電路的連接方式可以為用緊固件連 接，也可以為焊接，還可以為粘接，當(dāng)然，也可以為其他連接方式。由此可見，本實用新型具有以下優(yōu)點(1)本實用新型中，由于壓力傳感器固定于外殼內(nèi)部，中空的進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與 外部相通，并且進(jìn)氣管道與壓力傳感器的膜片表面相通，因此，外界氣體可以從進(jìn)氣管道的 進(jìn)氣口進(jìn)入進(jìn)氣管道，在穿過進(jìn)氣管道之后到達(dá)壓力傳感器的膜片表面，從而使壓力傳感 器能夠?qū)崟r檢測到外部的氣壓及其變化情況；由于本實用新型中的進(jìn)氣管道是沿壓力傳感器的膜片徑向設(shè)置的，可以實現(xiàn)壓力傳感器膜片軸向的外殼長度不超過25毫米，這樣，將 進(jìn)氣管道外的外殼部分插入板坯，并使壓力傳感器膜片的軸向垂直于地面，既能夠保證壓 機上下壓板合攏之后不會壓壞壓力傳感器，也能夠保證壓力傳感器隨成形的人造板移動時 不與生產(chǎn)線的左右框架相撞；因此，本實用新型提出的壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，能使壓力傳 感器對人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行實時監(jiān)測。(2)本實用新型中，由于在外殼內(nèi)部、壓力傳感器的膜片表面與外殼的內(nèi)壁之間具 有一定的緩沖空間，該緩沖空間為中空的，可以容納一定量的氣體，這樣，從外部沿進(jìn)氣管 道進(jìn)入外殼內(nèi)的氣體，就可以在該緩沖空間處與壓力傳感器的膜片表面充分接觸，從而提 高壓力傳感器的檢測精度。(3)本實用新型中，由于壓力傳感器采用壓阻式壓力傳感器，因而對壓力的檢測靈 敏度高、尺寸小、重量輕、壓力分辨率高、頻率響應(yīng)好、工作可靠、綜合精度高且使用壽命長。(4)本實用新型中，由于外殼由可耐受高溫的材料制成，因此，本實用新型有效防 止了因為外殼在檢測過程中發(fā)生高溫?fù)p壞而造成檢測錯誤的情況出現(xiàn)。(5)本實用新型采用耐高溫SOI晶體壓阻式壓力傳感器，還可以耐受熱壓過程中 板坯內(nèi)部的高溫氣體的沖擊，防止壓力傳感器膜片被高溫氣體所損壞而導(dǎo)致檢測無法完 成。(6)本實用新型中，由于壓力測量電路進(jìn)一步包括加固裝置，這樣，壓力傳感器與 壓力測量電路相連，而壓力傳感器可以通過將進(jìn)氣管道外的外殼的一部分沿平行于地面的 方向插入板坯的方式與板坯相連接，而壓力測量電路也可以通過將加固裝置沿平行于地面 的方向插入板坯的方式與板坯相連接，這樣，就使得壓力傳感器和壓力測量電路與板坯的 連接關(guān)系更加牢固，即使板坯帶動壓力傳感器和壓力測量電路一同移動，壓力傳感器插入 板坯內(nèi)的部分也不會發(fā)生晃動，這進(jìn)一步保證了壓力傳感器所檢測的氣體壓力來源于板坯 內(nèi)同一個位置處，從而保證了檢測的準(zhǔn)確性。(7)本實用新型中，利用耐高溫材料將壓力傳感器與壓力測量電路之間的連接部 分密封，有效防止了進(jìn)氣機構(gòu)漏氣情況的出現(xiàn)，也防止了高溫?fù)p壞壓力傳感器。以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用 新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保 護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，該結(jié)構(gòu)包括外殼和壓力傳感器，其中 所述壓力傳感器固定于所述外殼內(nèi)部；所述外殼包括沿所述壓力傳感器的膜片徑向的中空的進(jìn)氣管道； 所述進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與外部相通； 所述進(jìn)氣管道與所述壓力傳感器的膜片表面相通； 所述外殼在所述壓力傳感器的膜片軸向的長度不超過25毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣管道與所述壓力傳感器的膜片 表面之間，進(jìn)一步包括緩沖空間，所述緩沖空間用于使氣體與所述壓力傳感器的膜片表面 充分接觸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓力傳感器為耐高溫絕緣硅晶體壓 阻式壓力傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓力傳感器與壓力測量電路相 連；所述壓力測量電路位于所述外殼的外部，且所述壓力傳感器與所述壓力測量電路之間 用耐高溫材料密封。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓力測量電路包括加固裝置，所述加 固裝置用于加固所述壓力傳感器和壓力測量電路與板坯的連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述耐高溫材料為耐高溫壓板；和/或， 所述耐高溫材料為耐高溫膠。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述外殼與所述壓力測量電路固定在一起。
專利摘要本實用新型涉及一種壓力傳感器的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)包括外殼和壓力傳感器，其中所述壓力傳感器固定于所述外殼內(nèi)部；所述外殼包括沿所述壓力傳感器的膜片徑向的中空的進(jìn)氣管道；所述進(jìn)氣管道的進(jìn)氣口與外部相通；所述進(jìn)氣管道與所述壓力傳感器的膜片表面相通；所述外殼在所述壓力傳感器的膜片軸向的長度不超過25毫米。利用本實用新型的技術(shù)方案，能使壓力傳感器對人造板連續(xù)壓機生產(chǎn)線熱壓過程中的板坯內(nèi)部的壓力進(jìn)行實時監(jiān)測。
文檔編號G01L9/06GK201897518SQ20102057215
公開日2011年7月13日 申請日期2010年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月21日
發(fā)明者李小群, 潘斌, 石芷萍, 程放 申請人:中國林業(yè)科學(xué)研究院木材工業(yè)研究所