專利名稱：一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及測(cè)量?jī)x，尤其是一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x。
背景技術(shù)：
目前，TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃是新一代各種液晶平板顯示器件(面板)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料，此關(guān)鍵基礎(chǔ)材料過(guò)去一直由國(guó)外幾家大型玻璃廠商壟斷技術(shù)和市場(chǎng)，并對(duì)中國(guó)施行技術(shù)封鎖。近一兩年，國(guó)內(nèi)相關(guān)廠家通過(guò)自主研發(fā)創(chuàng)新，打破國(guó)外的技術(shù)封鎖，在基板玻璃的生產(chǎn)工藝、設(shè)備配套等方面開始形成自主的產(chǎn)業(yè)鏈條，使TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃有了自主的民族產(chǎn)業(yè)。由于基板玻璃是國(guó)內(nèi)的新興產(chǎn)業(yè)，所有配套的設(shè)備多數(shù)是按照此行業(yè)的國(guó)內(nèi)自主工藝技術(shù)的特殊性而有針對(duì)性研制開發(fā)的。TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)線厚度在線測(cè)量?jī)x就是這樣一類新研制開發(fā)的設(shè)備。是根據(jù)國(guó)內(nèi)自主工藝技術(shù)特點(diǎn)，適應(yīng)國(guó)內(nèi)自主生產(chǎn)工藝，在設(shè)備的結(jié)構(gòu)組成、工作方式均有自己的原創(chuàng)性。據(jù)資料查證，TFT-IXD基板玻璃生產(chǎn)線厚度在線測(cè)量，在國(guó)外只有美國(guó)康寧和日本的西山不銹株式會(huì)社有相關(guān)設(shè)備的資料記錄，但這兩家公司設(shè)備的工作方式和檢測(cè)原理均與本設(shè)備產(chǎn)品有所不同。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服一般激光測(cè)量探頭的使用受到其檢測(cè)原理的限制， 在使用方式、安裝方式、被測(cè)目標(biāo)的位置都受到局限，提供一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x， 確保激光三角測(cè)量方式在基板玻璃在線測(cè)量的實(shí)現(xiàn)、并能達(dá)到μ m級(jí)的檢測(cè)精度，從而滿足對(duì)產(chǎn)品的表面質(zhì)量、光學(xué)特性、厚度公差、平整度、應(yīng)力指標(biāo)的要求；同時(shí)對(duì)MCV連續(xù)輸送線上的每一片基板玻璃進(jìn)行在線厚度測(cè)量，并將測(cè)量數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)發(fā)送至前工程成型控制工段，以幫助成型工段的成型質(zhì)量控制，及時(shí)調(diào)整各相關(guān)控制參數(shù)穩(wěn)定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。本實(shí)用新型為了實(shí)現(xiàn)上述目的，采用如下的技術(shù)方案一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x，是由測(cè)厚儀框架，測(cè)厚儀主控制柜，顯示器，工控機(jī)主機(jī)，鍵盤鼠標(biāo)，狀態(tài)指示燈，操作按鈕，MCV運(yùn)載小車，被測(cè)基板玻璃，基板穩(wěn)定夾持裝置，激光測(cè)量裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置，測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳，BOD工段MCV輸送線構(gòu)成；測(cè)厚儀框架一側(cè)設(shè)置測(cè)厚儀主控制柜，測(cè)厚儀主控制柜上部設(shè)置顯示器，顯示器上方設(shè)置狀態(tài)指示燈，顯示器兩側(cè)設(shè)置操作按鈕，顯示器下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)，工控機(jī)主機(jī)下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)；測(cè)厚儀框架后上方設(shè)置BOD工段MCV輸送線，BOD工段MCV輸送線頂部的一側(cè)設(shè)置MCV 運(yùn)載小車，MCV運(yùn)載小車下端豎向設(shè)置被測(cè)基板玻璃，被測(cè)基板玻璃下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置在測(cè)厚儀框架的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測(cè)量裝置，激光測(cè)量裝置內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置；測(cè)厚儀框架底部設(shè)置測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳。[0007]本實(shí)用新型的工作原理是一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x安裝在TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)線的BOD工段，具體位于MCV輸送線的基板玻璃重量檢測(cè)工位與VGC縱切機(jī)之間。厚度檢測(cè)工位與MCV輸送線平行，測(cè)厚儀基價(jià)機(jī)家架、主控制機(jī)柜與被測(cè)玻璃基板平行放置。當(dāng)玻璃基板重量檢測(cè)完成輸送至厚度檢測(cè)工位，測(cè)厚儀與MCV輸送控制系統(tǒng)連鎖控制，使玻璃基板準(zhǔn)確停車定位在厚度測(cè)量工位并發(fā)出定位完成信號(hào)至測(cè)厚儀控制柜，測(cè)厚儀在接到測(cè)量準(zhǔn)備就緒信號(hào)后啟動(dòng)玻璃穩(wěn)定夾持機(jī)構(gòu)對(duì)玻璃基板的非品質(zhì)區(qū)進(jìn)行夾持穩(wěn)定。根據(jù)玻璃基板的成型質(zhì)量好壞(翹曲平整度)可選擇點(diǎn)接觸夾持機(jī)構(gòu)和面接觸夾持機(jī)構(gòu)，即最大限度的減少與玻璃基板的接觸面積，又可滿足激光探頭要求的檢測(cè)范圍指標(biāo)， 提高檢測(cè)的可靠性和檢測(cè)精度。當(dāng)玻璃基板在測(cè)厚工位被夾持機(jī)構(gòu)穩(wěn)定定位后，測(cè)厚儀控制系統(tǒng)控制激光探頭的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)激光探頭沿被測(cè)玻璃基板的品質(zhì)區(qū)一水平方向掃描運(yùn)動(dòng)，同時(shí)計(jì)算機(jī)控制激光探頭打開檢測(cè)激光并以設(shè)定的間距采集厚度測(cè)量信號(hào)送至計(jì)算機(jī)分析處理，激光探頭沿設(shè)定距離掃描檢測(cè)結(jié)束后，夾持機(jī)構(gòu)打開被測(cè)玻璃基板同時(shí)向MCV控制系統(tǒng)發(fā)出信號(hào)將玻璃基板送出厚度檢測(cè)工位結(jié)束厚度檢測(cè)。采集的厚度測(cè)量信號(hào)送至計(jì)算機(jī)后，計(jì)算機(jī)程序以設(shè)定的采集間距采集測(cè)量信號(hào)號(hào)，并對(duì)采集數(shù)據(jù)分析排序，確定正常數(shù)據(jù)和非正常數(shù)據(jù)形成一組被測(cè)玻璃厚度數(shù)值，并將此組數(shù)據(jù)按檢測(cè)時(shí)間、檢測(cè)位置、實(shí)際測(cè)量數(shù)據(jù)的等分項(xiàng)存入本地?cái)?shù)據(jù)庫(kù)。每次測(cè)量的一組實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)還以不同的形式顯示在計(jì)算機(jī)界面上，可以數(shù)據(jù)表格、數(shù)據(jù)柱狀圖、數(shù)據(jù)變化趨勢(shì)曲線圖、二維顏色數(shù)據(jù)變化趨勢(shì)圖等方式表示。并對(duì)異常檢測(cè)數(shù)據(jù)以不同的顏色報(bào)警顯示。 同時(shí)通過(guò)工廠MIS系統(tǒng)將每組被測(cè)玻璃厚度數(shù)值實(shí)時(shí)送至前工程的成型控制工藝段，以供工藝數(shù)據(jù)的調(diào)整。在本地?cái)?shù)據(jù)庫(kù)中的所有檢測(cè)數(shù)據(jù)都可以以歷史數(shù)據(jù)的形式進(jìn)行查詢調(diào)閱，并可以實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)相同的形式在計(jì)算機(jī)界面上進(jìn)行歷史數(shù)據(jù)的顯示，以供生產(chǎn)部門查詢生產(chǎn)歷史數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型的有益效果是“TFT_LCD基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x”由測(cè)厚儀機(jī)架和控制柜兩部分組成，測(cè)厚儀機(jī)架和控制柜均沿BOD工段MCV輸送線放置安裝，測(cè)厚儀與MCV 小車聯(lián)鎖控制，實(shí)現(xiàn)每一片基板玻璃的定位測(cè)量功能。針對(duì)TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)和品質(zhì)要求首次采用激光測(cè)量傳感器進(jìn)行基板玻璃在線厚度測(cè)量并達(dá)到μm級(jí)檢測(cè)精度。針對(duì)TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)，開發(fā)設(shè)計(jì)了基板玻璃夾持穩(wěn)定機(jī)構(gòu)，以保證激光測(cè)量傳感器在測(cè)量時(shí)的檢測(cè)穩(wěn)定性和檢測(cè)精度。針對(duì)TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)特點(diǎn)，開發(fā)設(shè)計(jì)了測(cè)量傳感器的安裝調(diào)整機(jī)構(gòu)、掃描運(yùn)動(dòng)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，使激光測(cè)量傳感器能夠在線穩(wěn)定可靠運(yùn)行并達(dá)到可靠的檢測(cè)精度。根據(jù)TFT-LCD基板玻璃的生產(chǎn)工藝需求，開發(fā)設(shè)計(jì)了全套控制程序軟件，快速準(zhǔn)確的為生產(chǎn)工藝提供可靠的檢測(cè)數(shù)據(jù)。本實(shí)用新型應(yīng)用于FPD顯示器中TFT-IXD液晶顯示器用基板玻璃生產(chǎn)線在線厚度測(cè)量。是目前占據(jù)技術(shù)、市場(chǎng)主導(dǎo)地位的FPD平板電視、平板電腦顯示器、各種液晶顯示器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料領(lǐng)域。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明[0017]

圖1是本實(shí)用新型的正視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖1、2中測(cè)厚儀框架1，測(cè)厚儀主控制柜2，顯示器3，工控機(jī)主機(jī)4，鍵盤鼠標(biāo)5， 狀態(tài)指示燈6，操作按鈕7，MCV運(yùn)載小車8，被測(cè)基板玻璃9，基板穩(wěn)定夾持裝置10，激光測(cè)量裝置11，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置13，測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳14， BOD工段MCV輸送線15。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明如圖所示，測(cè)厚儀框架1 一側(cè)設(shè)置測(cè)厚儀主控制柜2，測(cè)厚儀主控制柜2上部設(shè)置顯示器3，顯示器3上方設(shè)置狀態(tài)指示燈6，顯示器3兩側(cè)設(shè)置操作按鈕7，顯示器3下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)4，工控機(jī)主機(jī)4下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)5 ；測(cè)厚儀框架1后上方設(shè)置BOD工段MCV 輸送線15，B0D工段MCV輸送線15頂部的一側(cè)設(shè)置MCV運(yùn)載小車8，MCV運(yùn)載小車8下端豎向設(shè)置被測(cè)基板玻璃9，被測(cè)基板玻璃9下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置10在測(cè)厚儀框架1的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置10內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測(cè)量裝置11，激光測(cè)量裝置11內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置12下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置13 ；測(cè)厚儀框架1底部設(shè)置測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳14。
權(quán)利要求1.一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x，是由測(cè)厚儀框架(1)，測(cè)厚儀主控制柜O)，顯示器(3)，工控機(jī)主機(jī)(4)，鍵盤鼠標(biāo)(5)，狀態(tài)指示燈(6)，操作按鈕(7)，MCV運(yùn)載小車(8)， 被測(cè)基板玻璃(9)，基板穩(wěn)定夾持裝置(10)，激光測(cè)量裝置(11)，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置 (12)，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置(13)，測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳(14) ,BODIgMCV輸送線(15)構(gòu)成，其特征在于測(cè)厚儀框架(1) 一側(cè)設(shè)置測(cè)厚儀主控制柜O)，測(cè)厚儀主控制柜( 上部設(shè)置顯示器(3)，顯示器C3)上方設(shè)置狀態(tài)指示燈(6)，顯示器C3)兩側(cè)設(shè)置操作按鈕(7)， 顯示器C3)下方設(shè)置工控機(jī)主機(jī)G)，工控機(jī)主機(jī)(4)下方設(shè)置鍵盤鼠標(biāo)(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x，其特征在于測(cè)厚儀框架(1) 后上方設(shè)置BOD工段MCV輸送線(12)，BOD工段MCV輸送線(1 頂部的一側(cè)設(shè)置MCV運(yùn)載小車(8)，MCV運(yùn)載小車(8)下端豎向設(shè)置被測(cè)基板玻璃(9)，被測(cè)基板玻璃(9)下端的一側(cè)設(shè)置基板穩(wěn)定夾持裝置(10)在測(cè)厚儀框架(1)的后部，基板穩(wěn)定夾持裝置(10)內(nèi)側(cè)設(shè)置激光測(cè)量裝置(11)，激光測(cè)量裝置(11)內(nèi)側(cè)設(shè)置激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置(12)，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置(1 下端設(shè)置激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置(12) ；測(cè)厚儀框架(1)底部設(shè)置測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳(14)。
專利摘要一種基板玻璃厚度在線測(cè)量?jī)x，確保激光測(cè)量方式在基板玻璃在線測(cè)量的實(shí)現(xiàn)、并能達(dá)到μm級(jí)的檢測(cè)精度，從而滿足對(duì)產(chǎn)品的表面質(zhì)量、光學(xué)特性、厚度公差、平整度、應(yīng)力指標(biāo)的要求；同時(shí)對(duì)MCV連續(xù)輸送線上的每一片基板玻璃進(jìn)行在線厚度測(cè)量，并將測(cè)量數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)發(fā)送至前工程成型控制工段，及時(shí)調(diào)整各相關(guān)控制參數(shù)穩(wěn)定基板玻璃的厚度及玻璃板面的厚薄差。它是由測(cè)厚儀框架，測(cè)厚儀主控制柜，顯示器，工控機(jī)主機(jī)，鍵盤鼠標(biāo)，狀態(tài)指示燈，操作按鈕，MCV運(yùn)載小車，被測(cè)基板玻璃，基板穩(wěn)定夾持裝置，激光測(cè)量裝置，激光探頭安裝及調(diào)節(jié)裝置，激光探頭運(yùn)動(dòng)裝置，測(cè)厚儀可調(diào)節(jié)防震地腳，BOD工段MCV輸送線構(gòu)成。
文檔編號(hào)G01B11/06GK201955067SQ20102067343
公開日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月22日
發(fā)明者李健鵬, 談軍, 趙小力 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)同邦自動(dòng)化設(shè)備有限公司