專利名稱：紅外線傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種探測來自測定對象物的紅外線來測定該測定對象物的溫度等的紅外線傳感器。
背景技術(shù)：
以往，作為以非接觸方式 探測從測定對象物通過輻射放射的紅外線來對測定對象物的溫度進(jìn)行測定的溫度傳感器，使用紅外線傳感器。例如，專利文獻(xiàn)I中提出有如下紅外線傳感器，其具備設(shè)置于保持體的樹脂薄膜、設(shè)置于該樹脂薄膜并通過保持體的導(dǎo)光部探測紅外線的紅外線探測用熱敏元件、及以遮光狀態(tài)設(shè)置于樹脂薄膜并探測保持體的溫度的溫度補(bǔ)償用熱敏元件。該紅外線傳感器中，在導(dǎo)光部的內(nèi)側(cè)面形成紅外線吸收膜，并且使樹脂薄膜含有炭黑等紅外線吸收材料來提高紅外線的吸收。并且，紅外線探測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件使用薄膜熱敏電阻。另外，專列文獻(xiàn)2中提出有如下紅外線檢測器，其具備紅外線探測用熱敏元件、溫度補(bǔ)償用熱敏元件、粘附固定這些元件的樹脂薄膜、及具有在紅外線入射窗側(cè)配置紅外線探測用熱敏元件并且在屏蔽紅外線的屏蔽部側(cè)配置溫度補(bǔ)償用熱敏元件的框體的殼體。該紅外線檢測器中，使樹脂薄膜含有炭黑等紅外線吸收材料來提高紅外線的吸收，并且為了消除紅外線探測用熱敏元件與溫度補(bǔ)償用熱敏元件的熱梯度而由熱傳導(dǎo)良好的材料形成框體。而且，紅外線探測用熱敏元件及溫度補(bǔ)償用熱敏元件采用導(dǎo)線連接于熱敏電阻的松葉型熱敏電阻。專利文獻(xiàn)I :日本專利公開2002-156284號公報(bào)(段落號0026、圖2)專利文獻(xiàn)2 :日本專利公開平7-260579號公報(bào)(權(quán)利要求書、圖2)上述以往技術(shù)中留有以下課題。S卩，專利文獻(xiàn)I及2的紅外線傳感器中，采用了使樹脂薄膜含有炭黑等紅外線吸收材料，并且以溫度補(bǔ)償用為目的對一方的熱敏元件側(cè)進(jìn)行遮光的結(jié)構(gòu)，但是存在含有紅外線吸收材料的樹脂薄膜的熱傳導(dǎo)較高，紅外線探測用與溫度補(bǔ)償用的熱敏元件之間難以產(chǎn)生溫度差分之類的不良情況。并且，為了在這些熱敏元件之間增大溫度差分，需要増大熱敏元件之間的距離，從而導(dǎo)致整個(gè)形狀變大，存在很難小型化的問題。另外，需要在殼體本身設(shè)置對溫度補(bǔ)償用的熱敏元件進(jìn)行遮光的結(jié)構(gòu)，因此價(jià)格變高。另外，在專利文獻(xiàn)2中，采用了熱傳導(dǎo)良好的框體，因此存在來自紅外線吸收膜的熱也被散熱而靈敏度劣化的不良情況。并且，由于是連接有導(dǎo)線的松葉型，因此導(dǎo)致在熱敏電阻與導(dǎo)線之間產(chǎn)生熱的空間傳導(dǎo)。另外，當(dāng)為松葉型或芯片型熱敏電阻時(shí)，存在成為光點(diǎn)測量且當(dāng)樹脂薄膜產(chǎn)生溫度的面內(nèi)分布時(shí)發(fā)生測定誤差的不良情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種可在紅外線探測用與溫度補(bǔ)償用的熱敏元件之間得到較高的溫度差分并且能夠小型化、且具有廉價(jià)的結(jié)構(gòu)的紅外線傳感器。本發(fā)明為了解決所述課題而采用了以下結(jié)構(gòu)。即，本發(fā)明的紅外線傳感器，其特征在于，該紅外線傳感器具備絕緣性薄膜；在該絕緣性薄膜的一面相互隔開設(shè)置的第I熱敏元件及第2熱敏元件；形成在所述絕緣性薄膜的一面且分別粘結(jié)有所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件的ー對粘結(jié)電極；與所述第I熱敏元件對置且設(shè)置在所述絕緣性薄膜的另一面的紅外線吸收膜；及與所述第2熱敏元件對置且設(shè)置在所述絕緣性薄膜的另一面的紅外線反射膜，所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件具有板狀熱敏電阻素體與分別形成在該熱敏電阻素體的表面及背面且其中一方粘結(jié)于所述粘結(jié)電極的ー對電極層。由于該紅外線傳感器中具備有與第I熱敏元件對置并設(shè)置在絕緣性薄膜的另ー面的紅外線吸收膜和與第2熱敏元件對置并設(shè)置在絕緣性薄膜的另一面的紅外線反射膜，因此，通過基于紅外線吸收膜的局部性紅外線吸收和基于紅外線反射膜的局部性紅外線反射，能夠在較薄且熱傳導(dǎo)性較低的絕緣性薄膜上得到第I熱敏元件與第2熱敏元件的良好的溫度差分。
S卩，即使在薄膜中未含有紅外線吸收材料等的低熱傳導(dǎo)性的絕緣性薄膜中，也能夠通過紅外線吸收膜僅對絕緣性薄膜的第I熱敏元件的正上方部分傳導(dǎo)基于紅外線吸收的熱。尤其，由于夾著較薄的絕緣性薄膜傳導(dǎo)紅外線吸收膜的熱，因此不會(huì)發(fā)生靈敏度劣化，且具有較高的響應(yīng)性。并且，由于能夠任意設(shè)定紅外線吸收膜的面積，因此能夠通過面積來設(shè)定相應(yīng)干與測定對象物的距離的紅外線檢測的視角，且能夠得到較高的受光效率。并且，能夠通過紅外線反射膜反射絕緣性薄膜的第2熱敏元件的正上方部分中的紅外線來阻止其吸收。另外，由于在絕緣性薄膜上形成紅外線吸收膜和紅外線反射膜，因此傳導(dǎo)紅外線吸收膜和紅外線反射膜之間的熱的介質(zhì)除了是空氣以外，僅為這些膜對置的空間的絕緣性薄膜，傳導(dǎo)的截面積變小。因此，很難傳遞熱敏元件彼此的熱，干擾變少而檢測靈敏度提高。這樣，具有如下結(jié)構(gòu)，即在低熱傳導(dǎo)性的絕緣性薄膜上被相互抑制熱影響的第I熱敏元件和第2熱敏元件分別測定紅外線吸收膜的正下方、與紅外線反射膜的正下方的絕緣性薄膜的局部性溫度。因此，可得到成為紅外線探測用的第I熱敏元件與成為溫度補(bǔ)償用的第2熱敏元件的良好的溫度差分，井能夠謀求高靈敏度化。并且，由于第I熱敏元件與第2熱敏元件的熱耦合較低，因此還能夠相互靠近配置，井能夠謀求整體的小型化。而且，因?yàn)椴⒎峭ㄟ^基于框體或殼體的遮光結(jié)構(gòu)而是通過紅外線反射膜防止紅外線的吸收，所以能夠廉價(jià)地制作。而且，即使紅外線吸收膜及紅外線反射膜由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，也確保了與夾著絕緣性薄膜設(shè)置的第I熱敏元件及第2熱敏元件的絕緣，因此不論膜的絕緣性如何都能夠選擇效率良好的材料。另外，由于第I熱敏元件及第2熱敏元件具有板狀熱敏電阻素體與分別形成在該熱敏電阻素體的表面及背面且其中一方粘結(jié)于粘結(jié)電極的ー對電極層，因此能夠通過向紅外線的行進(jìn)方向(厚度方向)的熱容量較小并且較寬的粘結(jié)電極及電極層傳熱之后使其熱傳導(dǎo)至熱敏電阻素體來改善熱響應(yīng)性及檢測靈敏度。即，由于是熱敏電阻素體為板狀并且通過電極層粘結(jié)于較寬的粘結(jié)電極的所謂薄片狀熱敏電阻，因此與如芯片熱敏電阻具有較厚的芯片狀熱敏電阻素體且在端部具有電極的熱敏電阻相比，能夠得到更加優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性且較高的熱響應(yīng)性及檢測靈敏度。另外，當(dāng)為薄片狀熱敏電阻時(shí)，一般能夠從相同的平板素體選擇熱敏電阻素體，因此將2個(gè)熱敏元件的電阻值及B常數(shù)輕松設(shè)定為大致相同。并且，與松葉型或芯片型的熱敏電阻相比能夠擴(kuò)大檢測面積，并且輕松設(shè)為與紅外線吸收膜及紅外線反射膜對應(yīng)的面積，且不易產(chǎn)生由面內(nèi)分布引起的測定誤差。并且，本發(fā)明的紅外線傳感器的特征在干，以俯視觀察時(shí)，所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件的外形設(shè)定為小于被粘結(jié)的所述粘結(jié)電極。即，該紅外線傳感器中，由于以俯視平面觀察時(shí)第I熱敏元件及第2熱敏元件的外形設(shè)定為小于被粘結(jié)的粘結(jié)電扱，因此因小型化而熱容量變得更小，且可得到更加優(yōu)異的熱響應(yīng)性。并且，本發(fā)明的紅外線傳感器的特征在于，在所述絕緣性薄膜的一面分別形成有一對由細(xì)線狀的粘結(jié)側(cè)圖案配線連接于所述粘結(jié)電極的粘結(jié)側(cè)端子電極、一對引線接合用電極、及一對由細(xì)線狀的引線側(cè)圖案配線連接于所述引線接合用電極的引線側(cè)端子電極，、未粘結(jié)的所述電極層和對應(yīng)的所述引線接合用電極由基于引線接合的金屬細(xì)線電性連接。S卩，該紅外線傳感器中，由于在電極的連接中采用細(xì)線狀的粘結(jié)側(cè)圖案配線及引線側(cè)圖案配線、基于引線接合的金屬細(xì)線，因此第I熱敏元件及第2熱敏元件的熱不易從配線傳導(dǎo)至粘結(jié)側(cè)端子電極及引線側(cè)端子電極，能夠抑制熱放出而得到更高的檢測靈敏度。因此，能夠防止如以往由導(dǎo)線與熱敏電阻之間的空間傳導(dǎo)引起的與其他部位的熱耦合。根據(jù)本發(fā)明得到如下效果。即，根據(jù)本發(fā)明所涉及的紅外線傳感器，由于其具備與第I熱敏元件對置且設(shè)置在絕緣性薄膜的另一面的紅外線吸收膜和與第2熱敏元件對置且設(shè)置在絕緣性薄膜的另一面的紅外線反射膜，因此能夠得到第I熱敏元件與第2熱敏元件的良好的溫度差分，且能夠謀求高靈敏度化，并且能夠小型且廉價(jià)地制作。另外，由于第I熱敏元件及第2熱敏元件具有板狀熱敏電阻素體與分別形成在該熱敏電阻素體的表面及背面且其中一方粘結(jié)于粘結(jié)電極的ー對電極層，因此能夠通過向紅外線的行進(jìn)方向(厚度方向)的熱容量較小并且較寬的粘結(jié)電極及電極層傳熱之后使其熱傳導(dǎo)至熱敏電阻素體來改善熱響應(yīng)性及檢測靈敏度。


圖I是表示本發(fā)明所涉及的紅外線傳感器的第I實(shí)施方式的立體圖。圖2是表示第I實(shí)施方式中紅外線傳感器的主視圖。圖3是表示第I實(shí)施方式中第I熱敏元件及第2熱敏元件的截面圖。圖4是表示第I實(shí)施方式中紅外線傳感器的制造方法的エ序順序的仰視圖。圖5是表示本發(fā)明所涉及的紅外線傳感器的第2實(shí)施方式的立體圖。圖6是圖5的A-A線向視截面圖。符號說明1、21_紅外線傳感器，2-絕緣性薄膜，3A、23A_第I熱敏元件，3B、23B_第2熱敏元件，3a-熱敏電阻素體，3b-電極層，4-粘結(jié)電極，5-紅外線吸收膜，6-紅外線反射膜，7-粘結(jié)側(cè)端子電極，7a_粘結(jié)側(cè)圖案配線，8-引線接合用電極，9-引線側(cè)端子電極，9a_引線側(cè)圖案配線，27-筐體，27a-第I容納部，27b-第2容納部，Y-金屬細(xì)線。
具體實(shí)施例方式以下，參考圖I 圖4對本發(fā)明所涉及的紅外線傳感器的第I實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，以下說明中使用的各附圖中，為了將各部件設(shè)為能夠識別或容易識別的大小，適當(dāng)變更比例尺。如圖I及圖2所示，本實(shí)施方式的紅外線傳感器I具備有絕緣性薄膜2 ;第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B，在該絕緣性薄膜2的一面(下表面)相互隔開設(shè)置；一對粘結(jié)電極4，在絕緣性薄膜2的一面通過銅箔等圖案形成且分別粘結(jié)有第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B ;紅外線吸收膜5，與第I熱敏元件3A對置且設(shè)在絕緣性薄膜2的另一面(上表面)；及紅外線反射膜6，與第2熱敏元件3B對置且設(shè)在絕緣性薄膜2的另一面。S卩，上述紅外線吸收膜5配設(shè)在第I熱敏元件3A的正上方，并且上述紅外線反射膜6配設(shè)在第2熱敏元件3B的正上方。上述絕緣性薄膜2由紅外線透射性薄膜形成。另夕卜，本實(shí)施方式中，絕緣性薄膜2由聚酰亞胺樹脂片形成。 如圖3所示，上述第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B為具有板狀熱敏電阻素體3a和分別形成在該熱敏電阻素體3a的表面及背面且其中一方粘結(jié)于粘結(jié)電極4的I對電極層3b的所謂的薄片狀熱敏電阻。作為該熱敏電阻有NTC型、PTC型、CTR型等熱敏電阻，但本實(shí)施方式中，作為第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B例如采用NTC型熱敏電阻。該熱敏電阻由Mn-Co-Cu系材料、Mn-Co-Fe系材料等熱敏電阻材料形成熱敏電阻素體3a。制作上述薄片狀熱敏電阻的第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B時(shí)，例如通過分別在由上述熱敏電阻材料即陶瓷構(gòu)成的四角平板狀的平板素體中的上下兩面利用網(wǎng)版印刷等涂布玻璃漿料并進(jìn)行燒結(jié)來形成玻璃層3c。接著，將該平板素體切片成長條狀來作成多個(gè)棱柱素體，將這些以相互并排玻璃層3c的狀態(tài)，在未形成有玻璃層3c的兩側(cè)面也形成玻璃層3c，從而作成棱柱狀體。接著，沿中心軸的正交方向?qū)υ谒袀?cè)面形成有玻璃層3c的棱柱狀體進(jìn)行切割來作成作為多個(gè)板狀體的熱敏電阻素體3a。另外，準(zhǔn)備上表面具有對準(zhǔn)熱敏電阻素體3a而形成的多個(gè)凹部的夾具，在凹部內(nèi)配設(shè)熱敏電阻素體3a。以該狀態(tài)在凹部內(nèi)通過網(wǎng)版印刷等涂布Au或Ag漿料等導(dǎo)電性漿料并進(jìn)行燒結(jié)，在熱敏電阻素體3a的表面形成電極層3b。另外，同樣在熱敏電阻素體3a的背面也形成電極層3b。由此制作作為薄片狀熱敏電阻的第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B。并且，如圖4的(a)所示，絕緣性薄膜2的一面(背面)分別形成有一對由細(xì)線狀的粘結(jié)側(cè)圖案配線7a連接于粘結(jié)電極4的粘結(jié)側(cè)端子電極7、一對引線接合用電極8、及ー對由細(xì)線狀的引線側(cè)圖案配線9a連接于引線接合用電極8的引線側(cè)端子電極9。另外，未粘結(jié)的電極層3b和對應(yīng)的引線接合用電極8由基于引線接合的金線等金屬細(xì)線Y電性連接。另外，以俯視觀察時(shí)，第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的外形設(shè)定為小于被粘結(jié)的粘結(jié)電極4。即，熱敏電阻素體3a的表面及背面成為小于被粘結(jié)的粘結(jié)電極4的面積。上述紅外線吸收膜5由具有高于絕緣性薄膜2的紅外線吸收率的材料形成，例如由包含炭黑等紅外線吸收材料的薄膜或紅外線吸收性玻璃膜(含有71%的ニ氧化硅的硼硅酸玻璃膜等)形成。即，通過該紅外線吸收膜5吸收基于來自測定對象物的輻射的紅外線。并且，正下方的第I熱敏元件3A的溫度因從吸收紅外線并發(fā)熱的紅外線吸收膜5經(jīng)由絕緣性薄膜2的熱傳導(dǎo)而發(fā)生變化。該紅外線吸收膜5形成為以大于第I熱敏元件3A及粘結(jié)電極4的尺寸覆蓋它們。上述紅外線反射膜6由具有高于絕緣性薄膜2的紅外線放射率的材料形成，例如由鏡面的鋁蒸鍍膜或鋁箔等形成。該紅外線反射膜6形成為以大于第2熱敏元件3B及粘結(jié)電極4的尺寸覆蓋它們。
制作本實(shí)施方式的紅外線傳感器I時(shí)，首先，如圖4的(a)所示，在絕緣性薄膜2的一面(背面)分別圖案形成粘結(jié)電極4、粘結(jié)側(cè)圖案配線7a、粘結(jié)側(cè)端子電極7、引線接合用電極8及引線側(cè)端子電極9。接著，如圖4的(b)所示，在絕緣性薄膜2的另一面(表面)，分別與對應(yīng)的粘結(jié)電極4對置而圖案形成紅外線吸收膜5及紅外線反射膜6。接著，如圖4的(c)所示，在對應(yīng)的粘結(jié)電極4上通過焊錫或?qū)щ娦哉辰Y(jié)劑分別粘結(jié)第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B。另外，用基于引線接合的金屬細(xì)線Y連接第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的未連接的電極層3b與引線接合用電極8。由此制作紅外線傳感器I。如此，本實(shí)施方式的紅外線傳感器I由于具備有與第I熱敏元件3A對置且設(shè)置在絕緣性薄膜2的另一面的紅外線吸收膜5和與第2熱敏元件3B對置且設(shè)置在絕緣性薄膜2的另一面的紅外線反射膜6，因此，通過基于紅外線吸收膜5的局部性紅外線吸收和基于紅外線反射膜6的局部性紅外線反射，能夠在較薄且熱傳導(dǎo)性較低的絕緣性薄膜2上得到第I熱敏元件3A與第2熱敏元件3B的良好的溫度差分。S卩，如圖2所示，即使為膜中未含有紅外線吸收材料等的低熱傳導(dǎo)性的絕緣性薄膜2，也能夠通過紅外線吸收膜5僅對絕緣性薄膜2的第I熱敏元件3A的正上方部分傳導(dǎo)基于紅外線吸收的熱。尤其，由于夾著較薄的絕緣性薄膜2傳導(dǎo)紅外線吸收膜5的熱，因此不會(huì)發(fā)生靈敏度劣化，具有較高的響應(yīng)性。并且，由于能夠任意設(shè)定紅外線吸收膜5的面積，因此能夠通過面積來設(shè)定相應(yīng)于與測定對象物的距離的紅外線檢測的視角，且能夠得到較高的受光效率。并且，能夠通過紅外線反射膜6反射絕緣性薄膜2的第2熱敏元件3B的正上方部分中的紅外線來阻止其吸收。另外，由于絕緣性薄膜2上形成有紅外線吸收膜5和紅外線反射膜6，因此傳導(dǎo)紅外線吸收膜5和紅外線反射膜6之間的熱的介質(zhì)除了是空氣以外，僅成為這些膜對置的空間的絕緣性薄膜2，傳導(dǎo)的截面積變小。因此，很難傳遞熱敏元件彼此的熱，干擾變少而檢測靈敏度提高。這樣，具有如下結(jié)構(gòu)，即在低熱傳導(dǎo)性的絕緣性薄膜2上被相互抑制熱影響的第I熱敏元件3A和第2熱敏元件3B分別測定紅外線吸收膜5的正下方、與紅外線反射膜6的正下方的絕緣性薄膜2的局部性溫度。因此，可得到成為紅外線探測用的第I熱敏元件3A與成為溫度補(bǔ)償用的第2熱敏元件3B的良好的溫度差分，井能夠謀求高靈敏度化。并且，由于第I熱敏元件3A與第2熱敏元件3B的熱耦合較低，因此還能夠相互靠近配置，井能夠謀求整體的小型化。而且，因?yàn)椴⒎峭ㄟ^基于框體或殼體的遮光結(jié)構(gòu)而是通過紅外線反射膜6防止紅外線的吸收，所以能夠廉價(jià)地制作。而且，即使紅外線吸收膜5及紅外線反射膜6由導(dǎo)電性材料構(gòu)成，也確保了與夾著絕緣性薄膜2設(shè)置的第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的絕緣，因此不論膜的絕緣性如何都能夠選擇效率良好的材料。另外，由于絕緣性薄膜2由紅外線透射性薄膜形成，因此能夠極カ抑制基于紅外線吸收膜5及紅外線反射膜6的周圍的絕緣性薄膜2自身的紅外線吸收，降低因來自周圍的熱傳導(dǎo)引起的對第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的影響。另外，由于第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B具有板狀熱敏電阻素體3a與分別形成在該熱敏電阻素體3a的表面及背面且其中一方粘結(jié)于粘結(jié)電極4的ー對電極層3b，因此能夠通過向紅外線的行進(jìn)方向(厚度方向)的熱容量較小并且較寬的粘結(jié)電極4及電極層3b傳熱之后使其熱傳導(dǎo)至熱敏電阻素體3a來改善熱響應(yīng)性及檢測靈敏度。S卩，由于是熱敏電阻素體3a為板狀且通過電極層3b粘結(jié)于較寬的粘結(jié)電極4的所謂薄片狀熱敏電阻，因此與如芯片熱敏電阻具有較厚的芯片狀熱敏電阻素體且在端部具
有電極的熱敏電阻相比，能夠得到更加優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性且較高的熱響應(yīng)性及檢測靈敏度。另外，當(dāng)為薄片狀熱敏電阻吋，一般能夠從相同的平板素體選擇熱敏電阻素體3a，因此將2個(gè)熱敏元件3A、3B的電阻值及B常數(shù)輕松設(shè)定為大致相同。并且，以俯視觀察時(shí)，第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的外形設(shè)定為小于被粘結(jié)的粘結(jié)電極4，因此因小型化而熱容量變得更小，且可得到更加優(yōu)異的熱響應(yīng)性。另外，由于在電極的連接中采用細(xì)線狀的粘結(jié)側(cè)圖案配線7a及引線側(cè)圖案配線9a、基于引線接合的金屬細(xì)線Y，因此第I熱敏元件3A及第2熱敏元件3B的熱不易從配線傳導(dǎo)至粘結(jié)側(cè)端子電極7及引線側(cè)端子電極9，能夠抑制熱放出而得到更高的檢測靈敏度。因此，能夠防止如以往由導(dǎo)線與熱敏電阻之間的空間傳導(dǎo)引起的與其他部位的熱耦合。接著，以下參考圖4及圖5對本發(fā)明所涉及的紅外線傳感器的第2實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，在以下實(shí)施方式的說明中，對已在上述實(shí)施方式中說明的相同的結(jié)構(gòu)要件附加相同的符號并省略其說明。第2實(shí)施方式的紅外線傳感器21與第I實(shí)施方式的不同點(diǎn)在于,具備固定于絕緣性薄膜2的一面且支承該絕緣性薄膜2的筐體27，該筐體27上設(shè)置有分別獨(dú)立容納第I熱敏元件23A及第2熱敏元件23B且通過熱傳導(dǎo)率低于絕緣性薄膜2的空氣覆蓋的第I容納部27a及第2容納部27b。并且，第2實(shí)施方式的第I熱敏元件23A及第2熱敏元件23B的外形，與第I實(shí)施方式相比設(shè)定為以俯視觀察時(shí)更小于被粘結(jié)的粘結(jié)電極4。上述筐體27例如為樹脂制，優(yōu)選為熱傳導(dǎo)性低于絕緣性薄膜2的材料，以免將絕緣性薄膜2的熱散熱至必要以上。并且，上述第I容納部27a及第2容納部27b為分別與第I熱敏元件23A及第2熱敏元件23B的位置對應(yīng)而形成的截面矩形的孔部，在內(nèi)部密封空氣的狀態(tài)下開ロ部被絕緣性薄膜2堵塞。如此，第2實(shí)施方式的紅外線傳感器21中，由于通過第I容納部27a及第2容納部27b分別獨(dú)立容納第I熱敏元件23A及第2熱敏元件23B，并且由熱傳導(dǎo)率低于絕緣性薄膜2的空氣覆蓋這些熱敏元件，因此能夠進(jìn)ー步抑制第I熱敏元件23A與第2熱敏元件23B之間的熱傳導(dǎo)。并且，由于第I熱敏元件23A及第2熱敏元件23B的外形與第I實(shí)施方式相比設(shè)定為以俯視觀察時(shí)更小于被粘結(jié)的粘結(jié)電極4，因此可以得到更高的熱響應(yīng)性。另外，本發(fā)明的技術(shù)范圍不限定于上述各實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明宗g的范圍內(nèi)能夠加以各種變更。產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明能夠提供一種能夠小型化且具有廉價(jià)的結(jié)構(gòu)的紅外線傳感器。
權(quán)利要求
1.一種紅外線傳感器，其特征在于，該紅外線傳感器具備 絕緣性薄膜； 在該絕緣性薄膜的一面相互隔開設(shè)置的第I熱敏元件及第2熱敏元件； 形成在所述絕緣性薄膜的一面且分別粘結(jié)有所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件的ー對粘結(jié)電極； 與所述第I熱敏元件對置且設(shè)置在所述絕緣性薄膜的另一面的紅外線吸收膜；及 與所述第2熱敏元件對置且設(shè)置在所述絕緣性薄膜的另一面的紅外線反射膜， 所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件具有板狀熱敏電阻素體與分別形成在該熱敏電阻素體的表面及背面且其中一方粘結(jié)于所述粘結(jié)電極的ー對電極層。
2.如權(quán)利要求I所述的紅外線傳感器，其特征在干， 以俯視觀察時(shí)，所述第I熱敏元件及所述第2熱敏元件的外形設(shè)定為小于被粘結(jié)的所述粘結(jié)電極。
3.如權(quán)利要求I或2所述的紅外線傳感器，其特征在干， 在所述絕緣性薄膜的一面分別形成有一對由細(xì)線狀的粘結(jié)側(cè)圖案配線連接于所述粘結(jié)電極的粘結(jié)側(cè)端子電極、一對引線接合用電極、及一對由細(xì)線狀的引線側(cè)圖案配線連接于所述弓I線接合用電極的弓I線側(cè)端子電極， 未粘結(jié)的所述電極層和對應(yīng)的所述引線接合用電極由基于引線接合的金屬細(xì)線電性連接。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可在紅外線探測用與溫度補(bǔ)償用的熱敏元件之間得到較高的溫度差分并且能夠小型化、且具有廉價(jià)的結(jié)構(gòu)的紅外線傳感器。本發(fā)明的紅外線傳感器具備絕緣性薄膜(2)、在該絕緣性薄膜(2)的一面相互隔開設(shè)置的第1熱敏元件(3A)及第2熱敏元件(3B)、形成在絕緣性薄膜(2)的一面且分別粘結(jié)有第1熱敏元件(3A)及第2熱敏元件(3B)的一對粘結(jié)電極(4)、與第1熱敏元件(3A)對置且設(shè)置在絕緣性薄膜(2)的另一面的紅外線吸收膜(5)、及與第2熱敏元件(3B)對置且設(shè)置在絕緣性薄膜(2)的另一面的紅外線反射膜(6)，第1熱敏元件(3A)及第2熱敏元件(3B)具有板狀熱敏電阻素體(3a)與分別形成在該熱敏電阻素體(3a)的表面及背面且其中一方粘結(jié)于粘結(jié)電極(4)的一對電極層。
文檔編號G01J1/02GK102667431SQ20108005801
公開日2012年9月12日 申請日期2010年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者中村賢蔵, 北口誠, 石川元貴 申請人:三菱綜合材料株式會(huì)社