專利名稱：矩形板狀物的裂紋檢查方法及檢查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及玻璃板等矩形板狀物的裂紋檢查方法及檢查裝置，特別是涉及能夠不等待玻璃板等矩形板狀物的切斷結(jié)束而迅速進(jìn)行裂紋檢查的檢查方法。
背景技術(shù)：
以往，在品質(zhì)管理方面，要求檢查玻璃板等矩形板狀物的端面的裂紋，作為滿足該要求的裝置，提出有如下檢查裝置例如對透明基板的端面進(jìn)行拍攝，使用該拍攝得到的圖像來檢測透明基板的端面的缺陷等(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。專利文獻(xiàn)1 國際公開第04/079352號手冊

發(fā)明內(nèi)容
但是，專利文獻(xiàn)1中記載的檢查裝置所具有的構(gòu)成是，在切斷透明基板后，對該切斷后的透明基板的端面進(jìn)行拍攝，并基于該拍攝得到的圖像中的光的強(qiáng)度(濃度等)來檢測裂紋等缺陷。因此具有的問題是，為了檢查透明基板的端面，必須等待透明基板的切斷結(jié)束，從而不能迅速地檢查端面。本發(fā)明正是鑒于這樣的情況而進(jìn)行，目的在于提供一種能夠不等待玻璃板等矩形板狀物的切斷結(jié)束而迅速地進(jìn)行裂紋檢查的檢查方法。技術(shù)方案1中記載的發(fā)明，提供一種檢查方法，使用具有刀具的切割機(jī)檢查作為切割折斷對象的矩形板狀物的裂紋，所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸，從該一端面向其相反側(cè)的另一端面移動，同時在所述矩形板狀物的表面切出作為切割折斷的起點(diǎn)的切痕，在到達(dá)所述另一端面時解除與所述表面及另一端面的接觸， 其特征在于，包括檢測所述刀具是否與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的步驟；檢測所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置的步驟；比較所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的步驟；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面是否存在裂紋的步驟。根據(jù)技術(shù)方案1所述的發(fā)明，檢測刀具與作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，作為作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置， 比較該檢測出的作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍，并基于該比較的結(jié)果來判定在作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面是否存在裂紋，因此， 能夠不等待矩形板狀物的切斷結(jié)束，而在矩形板狀物的切斷中途就檢查在矩形板狀物的一端面是否存在裂紋，即，能夠在作為切割折斷對象的矩形板狀物的表面切出作為切割折斷起點(diǎn)的切痕的同時，檢測在該作為切割折斷對象的矩形板狀物是否存在裂紋。另外，由于刀具與作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸來進(jìn)行裂紋的檢測，因此，與在非接觸的條件下進(jìn)行檢測的情況相比，能夠減少錯誤判定。
技術(shù)方案2所述的發(fā)明，在技術(shù)方案1所述的發(fā)明中，其特征在于，包括檢測所述刀具與所述表面及另一端面的接觸是否被解除的步驟；檢測所述刀具與所述表面及另一端面的接觸被解除的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置的步驟；比較所述檢測出的所述切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的步驟；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面是否存在裂紋的步驟。根據(jù)技術(shù)方案2所述的發(fā)明，檢測刀具與作為切割折斷對象的矩形板狀物的表面及另一端面的接觸被解除的時刻的該刀具的位置，作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置，比較該檢測出的切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍，并基于該比較結(jié)果來判定在作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面是否存在裂紋，因此，能夠不等待矩形板狀物的切割結(jié)束，而在矩形板狀物的切斷中途就檢查在矩形板狀物的另一端面是否存在裂紋，即，能夠在作為切割折斷對象的矩形板狀物的表面切出作為切割折斷起點(diǎn)的切痕的同時，檢測在該切割折斷對象的矩形板狀物是否存在裂紋。另外，在上述的技術(shù)方案1或2所述的發(fā)明中，矩形板狀物優(yōu)選為FPD用玻璃基板。這是因?yàn)槟軌蛞愿呔冗M(jìn)行端面的加工。另外，技術(shù)方案3所述的發(fā)明，提供一種檢查裝置，使用具有刀具的切割機(jī)檢查作為切割折斷對象的矩形板狀物的裂紋，所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸，從該一端面向其相反側(cè)的另一端面移動，同時在所述矩形板狀物的表面切出作為切割折斷的起點(diǎn)的切痕，在到達(dá)所述另一端面時解除與所述表面及另一端面的接觸，其特征在于，具有檢測所述刀具是否與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的單元；檢測所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置的單元；比較所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的單元；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面是否存在裂紋的單元。根據(jù)技術(shù)方案3所述的發(fā)明，能夠提供一種檢查方法及檢查裝置，其不使用復(fù)雜構(gòu)成的切斷裝置，能夠使維護(hù)容易并縮短工序中的處理時間，且可靠性高。本發(fā)明能夠應(yīng)用于矩形板狀物的切割折斷工序，適于制造要求形狀品質(zhì)或端面品質(zhì)的精度的電子設(shè)備用玻璃板。特別是適于制造FPD用玻璃基板。發(fā)明效果如以上所說明的，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠不等待玻璃板等矩形板狀物的切斷結(jié)束而迅速進(jìn)行裂紋檢查的檢查方法。


圖1是作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的玻璃板的裂紋檢查方法所使用的玻璃切割機(jī)10中使用的玻璃刀具部的動作的說明圖。圖2是作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的玻璃板的裂紋檢查方法所使用的玻璃切割機(jī)10的系統(tǒng)構(gòu)成圖。圖3是玻璃板的制造工序(切斷以后的后工序)的說明圖。
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圖4是用于說明用于檢查玻璃板20的裂紋的方法的流程圖。圖5是作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的玻璃板的裂紋檢查方法所使用的玻璃切割機(jī)10中使用的玻璃刀具部的動作(變形例)的說明圖。標(biāo)號說明10…玻璃切割機(jī)、1 口^…玻璃刀具部、14X1 丨知…刀具驅(qū)動機(jī)構(gòu)、16···控制裝置、18···存儲裝置、20···玻璃基板
具體實(shí)施例方式以下參考附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的玻璃板的裂紋檢查方法的優(yōu)選實(shí)施方式。圖1是用于說明作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的玻璃板的裂紋檢查方法所使用的玻璃切割機(jī)10中使用的玻璃刀具部的動作的圖。圖2是作為本發(fā)明的一個實(shí)施方式的玻璃板的裂紋檢查方法所使用的玻璃切割機(jī)10的系統(tǒng)構(gòu)成圖。圖3是玻璃板的一般的制造工序的說明圖。[玻璃切割機(jī)的概要]如圖3所示，平板顯示器用的玻璃板(例如，液晶顯示器(LCD)用的玻璃板、場致發(fā)射顯示器用的玻璃板、有機(jī)EL顯示器或有機(jī)EL平面光源用的玻璃板)一般經(jīng)由以下所述的工序來制造將制造為規(guī)定厚度的玻璃板切割折斷為規(guī)定尺寸的切割折斷工序(T1)； 使用磨削砂輪或研磨砂輪對該切割折斷后的玻璃板的端面進(jìn)行倒角加工的倒角工序(T2)； 對該倒角加工后的玻璃板進(jìn)行清洗、干燥的清洗、干燥工序(T3)；測定該清洗、干燥后的玻璃板的外形形狀的測定工序(T4)等。如圖1所示，玻璃切割機(jī)10為具有刀具12b的裝置。刀具12b是用于與作為切割折斷對象的玻璃板20的一端面(例如20a)相接觸，從該一端面(例如20a)向其相反一側(cè)的另一端面(例如20b)移動，同時在該作為切割折斷對象的玻璃板20的表面切出作為折斷起點(diǎn)的切痕的裝置。玻璃切割機(jī)10設(shè)置于切割折斷工序的上游側(cè)。作為切割折斷對象的玻璃板20為矩形的玻璃板(例如約長數(shù)mX寬數(shù)mX厚數(shù)mm)，由公知的搬運(yùn)單元(未圖示)搬運(yùn)，定位并載置于玻璃切割機(jī)10的工作臺(未圖示)上。玻璃切割機(jī)10使用刀具12b在定位并載置于該工作臺上的作為切割折斷對象的玻璃板20的表面切出作為折斷起點(diǎn)的切痕。另外，能夠與此同時地檢測在該作為切割折斷對象的玻璃板20是否存在裂紋。[玻璃切割機(jī)的構(gòu)成]如圖1、圖2所示，本例中的玻璃切割機(jī)10與玻璃板20的四邊對應(yīng)而具有四個玻璃刀具部U5il 12Υ2、四個刀具驅(qū)動機(jī)構(gòu)H5il 14Υ2、控制裝置16、存儲裝置18等。如圖2所示，玻璃刀具部12Χ1 分別具有刀具座12a ；以能夠上下移動的方式安裝于該刀具座1 的刀具12b (例如金剛石刀頭)；及作為接觸傳感器的開關(guān)(未圖示) 等，該作為接觸傳感器的開關(guān)在該刀具12b與玻璃板20的端面(例如20a)相接觸等并相對于刀具座12a以規(guī)定量向上方移動的情況下通電，并在該接觸被解除而刀具12b相對于刀具座1 返回原狀態(tài)的情況下不通電。玻璃刀具部UX1、12X2分別以自由滑動移動的方式安裝于例如隔開一定間隔配置的在X方向上延伸的兩根導(dǎo)向構(gòu)件(未圖示)。同樣地，玻璃刀具部12Y1、12K以自由滑動移動的方式安裝于例如隔開一定間隔配置的在Y方向上延伸的兩根導(dǎo)向構(gòu)件(未圖示)。刀具驅(qū)動機(jī)構(gòu)14X1、14X2是用于分別使玻璃刀具部UX1、12X2沿在X方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件(未圖示)在X方向上直線移動的機(jī)構(gòu)。是包括例如與玻璃刀具部12X1、12X2相連接的在X方向上延伸的滾珠絲杠、用于使該滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)的伺服電動機(jī)(均未圖示)等的伺服機(jī)構(gòu)。同樣地，刀具驅(qū)動機(jī)構(gòu)14Y1、14K是用于分別使玻璃刀具部12Y1、12K沿在Y方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件在Y方向上直線移動的機(jī)構(gòu)。是包括例如與玻璃刀具部12Υ1、12Κ相連接的在Y方向上延伸的滾珠絲杠、用于使該滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)的伺服電動機(jī)(均未圖示)等的伺服機(jī)構(gòu)?？刂蒲b置16具有MPU、CPU等運(yùn)算、控制單元，作為如下的控制單元等發(fā)揮功能通過該運(yùn)算、控制單元執(zhí)行讀入到存儲裝置18中的規(guī)定程序，以使玻璃刀具部U5il 從原點(diǎn)位置移動到指令位置的方式來分別控制伺服電動機(jī)。存儲裝置18為RAM等存儲裝置，且預(yù)先儲存有預(yù)定的設(shè)定范圍(例如，無裂紋的正常的玻璃板的端面的位置士數(shù)毫米的范圍)。[玻璃板的裂紋檢查方法]然后，使用上述的玻璃切割機(jī)10，參考附圖對用于檢查玻璃板的裂紋的方法進(jìn)行說明。圖4是用于說明該方法的流程圖。以下的處理主要通過控制裝置16執(zhí)行讀入到存儲裝置18中的規(guī)定程序來實(shí)現(xiàn)。在以下的處理中，設(shè)作為切割折斷對象的玻璃板20定位并載置于玻璃切割機(jī)10 的工作臺(未圖示)上?？刂蒲b置12以使玻璃刀具部U5il 12Υ2(的刀具12b)從原點(diǎn)位置移動到指令位置的方式來控制各伺服電動機(jī)(步驟S10)。各伺服電動機(jī)按照來自控制裝置16的控制旋轉(zhuǎn)，并使?jié)L珠絲杠旋轉(zhuǎn)。由此，玻璃刀具部12X1、12X2W原點(diǎn)位置沿在X方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件在X方向(彼此相對的方向)上滑動移動，玻璃刀具部12Y1、12K從原點(diǎn)位置沿在Y方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件在Y方向(彼此相對的方向)上滑動移動(參考圖1)。稍后玻璃刀具部12Χ1、12Χ2各自的刀具12b與玻璃板20的一端面20a、20b相接觸， 成為坐在玻璃板20表面上的形態(tài)(參考圖2)。由此，玻璃刀具部1知、12X2各自的刀具12b 相對于刀具座12a以規(guī)定量向上方移動，作為接觸傳感器的開關(guān)通電。同樣地，稍后玻璃刀具部12Y1、12K各自的刀具12b與玻璃板20的端面20c、20d相接觸，成為坐在玻璃板20表面上的形態(tài)(參考圖2)。由此，玻璃刀具部12Y1、各自的刀具12b相對于刀具座12a以規(guī)定量向上方移動，作為接觸傳感器的開關(guān)通電?？刂蒲b置16通過檢查作為接觸傳感器的開關(guān)各自的通電狀態(tài)(步驟SU)，來檢測玻璃刀具部U5il 各自的刀具12b是否與玻璃板20的一端面20a 20d相接觸?？刂蒲b置16在檢測出該開關(guān)通電的情況下(步驟S14 “是”的方向的分支)，即， 在檢測出玻璃刀具部12X1 各自的刀具12b與玻璃板20的一端面20a 20d相接觸的情況下，檢測該通電時刻的玻璃刀具部12X1 各自的刀具12b的位置(該位置例如從控制裝置16取得)，作為玻璃板20的一端面20a 20d的位置(步驟S16)。然后，控制裝置16通過比較該檢測出的玻璃板20的一端面20a 20d的各自的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍(例如，在存儲裝置18中預(yù)先儲存的無裂紋的正常的玻璃板的端面的位置士數(shù)毫米的范圍)，來進(jìn)行玻璃板20的裂紋判定(步驟S18)。S卩，若該檢測出的玻璃板20的一端面20a 20d的位置處于預(yù)定的設(shè)定范圍外， 則控制裝置16判定為在該檢測的玻璃板20的一端面20a 20d存在裂紋(步驟S18 向 “否”的方向的分支)，并通過顯示警報等來通知該情況(步驟S30)。另一方面，若該檢測出的玻璃板20的一端面20a 20d的位置處于預(yù)定的設(shè)定范圍內(nèi)，則控制裝置16判定為在該檢測的玻璃板20的一端面20a 20d不存在裂紋(步驟 S18 向“是”的方向的分支)，并控制各伺服電動機(jī)以使玻璃刀具部U5il 移動到指令位置(步驟S20)。各伺服電動機(jī)按照來自控制裝置16的控制旋轉(zhuǎn)，并使?jié)L珠絲杠旋轉(zhuǎn)。由此，玻璃刀具部12Χ1、12Χ2沿在X方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件在X方向(彼此相對的方向)上滑動移動， 玻璃刀具部12Υ1、12Κ沿在Y方向上延伸的導(dǎo)向構(gòu)件在Y方向(彼此相對的方向)上滑動移動(參考圖1)。玻璃刀具部口…口^在玻璃板20表面切出在X方向上延伸的切痕的同時滑動移動，稍后各自的刀具12b到達(dá)玻璃板20的另一端面20b、20a，與玻璃板20表面及端面20b、 20a的接觸被解除。由此，玻璃刀具部12X1、12X2各自的刀具12b返回原狀態(tài)(即各自的刀具12b相對于刀具座12a以規(guī)定量向下方移動)，作為接觸傳感器的開關(guān)不通電。同樣地，玻璃刀具部12Y1、12Y2在玻璃板20表面切出在Y方向上延伸的切痕的同時滑動移動，稍后各自的刀具12b到達(dá)玻璃板20的另一端面20d、20e，與玻璃板20表面及端面20d、20e的接觸被解除。由此，玻璃刀具部12Y1、12K各自的刀具12b返回原狀態(tài)(即各自的刀具12b相對于刀具座12a以規(guī)定量向下方移動)，作為接觸傳感器的開關(guān)不通電。
控制裝置16通過檢查作為接觸傳感器的開關(guān)各自的通電狀態(tài)(步驟S2》，來檢測玻璃刀具部U5il 各自的刀具12b與玻璃板20的表面及另一端面20a 20d的接觸是否被解除?？刂蒲b置16在檢測出該開關(guān)不通電的情況下(步驟S24 向“是”的方向的分支)， 即，在檢測出玻璃刀具部U5il 各自的刀具12b與玻璃板20的表面及另一端面20a 20d的接觸被解除的情況下，檢測成為該不通電的時刻的玻璃刀具部U5il 各自的刀具12b的位置(該位置例如從控制裝置16取得)，作為玻璃板20的另一端面20a 20d的位置(步驟S26)。然后，控制裝置16通過比較該檢測出的玻璃板20的另一端面20a 20d的各自的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍(例如，在存儲裝置18中預(yù)先儲存的無裂紋的正常的玻璃板的端面的位置士數(shù)毫米的范圍)，來進(jìn)行玻璃板20的裂紋判定(步驟S28)。S卩，若該檢測出的玻璃板20的另一端面20a 20d的位置處于預(yù)定的設(shè)定范圍外，則控制裝置16判定為在該檢測的玻璃板20的另一端面20a 20d存在裂紋(步驟S28 向“否”的方向的分支)，并通過顯示警報等來通知該情況(步驟S30)。另一方面，若該檢測出的玻璃板20的另一端面20a 20d的位置處于預(yù)定的設(shè)定范圍內(nèi)，則控制裝置16判定為在該檢測的玻璃板20的另一端面20a 20d不存在裂紋(步驟S28 向“是”的方向的分支)，并結(jié)束處理。如以上所述，本實(shí)施方式的玻璃切割機(jī)10使用刀具12b，在作為切割折斷對象的玻璃板20的表面切出作為切割折斷起點(diǎn)的切痕，同時，檢測在該作為切割折斷對象的玻璃板20是否存在裂紋。如以上說明的，根據(jù)本實(shí)施方式，檢測刀具12b與作為切割折斷對象的矩形板狀物即玻璃板20的一端面20a等相接觸的時刻的該刀具12b的位置，作為玻璃板20的一端面 20a等的位置，比較該檢測出的玻璃板20的一端面20a等的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍(步驟 S18)，并基于該比較的結(jié)果來判定在玻璃板20的一端面20a等是否存在裂紋(步驟S18)， 因此，能夠不等待玻璃板20的切斷結(jié)束，而在玻璃板20的切斷中途檢查在該玻璃板20的一端面20a等是否存在裂紋。另外，由于刀具12b與作為切割折斷對象的玻璃板20的一端面20a等相接觸而進(jìn)行裂紋的檢測，因此，與在非接觸的條件下進(jìn)行檢測的情況相比，能夠減少錯誤判定。另外，根據(jù)本實(shí)施方式，檢測刀具12b與作為切割折斷對象的矩形板狀物即玻璃板20的表面及另一端面20b等的接觸被解除的時刻的該刀具12b的位置，作為玻璃板20 的另一端面20b等的位置，比較該檢測出的玻璃板20的另一端面20b等的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍，并基于該比較的結(jié)果來判定在玻璃板20的另一端面20b等是否存在裂紋(步驟 S28)，因此，能夠不等待玻璃板20的切斷結(jié)束，而在玻璃板20的切斷中途檢查在該玻璃板 20的另一端面20b等是否存在裂紋。然后，對本發(fā)明的變形例進(jìn)行說明。在上述實(shí)施方式中，對作為切割折斷對象的玻璃板20為平板顯示器用的玻璃板的示例進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此。例如，能夠以汽車用的玻璃板或樹脂板等所有矩形板狀物作為切割折斷對象。另外，在上述實(shí)施方式中，如圖1所示，以在彼此相對的方向上移動的方式分別說明了玻璃刀具部12X1、12X2 (玻璃刀具部12Y1、12K也同樣)，但是本發(fā)明并不限定于此。例如，如圖5所示，也可以以在同一方向上移動的方式分別控制玻璃刀具部12Χ1、12Χ2(玻璃刀具部1、、12κ也同樣)。另外，在上述實(shí)施方式中，對分別設(shè)置4個玻璃刀具部U5il 的示例進(jìn)行了說明，但是本發(fā)明并不限定于此。例如，即使為1 3個或5個以上的玻璃刀具部也同樣能夠適用。上述實(shí)施方式在所有方面都只不過是示例。本發(fā)明不應(yīng)由這些記載而限定性地解釋。本發(fā)明能夠不脫離其精神或主要特征而以其它各種形式進(jìn)行實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種矩形板狀物的裂紋檢查方法，使用具有刀具的切割機(jī)檢查作為切割折斷對象的矩形板狀物的裂紋，所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸， 從該一端面向其相反側(cè)的另一端面移動，同時在所述矩形板狀物的表面切出作為切割折斷的起點(diǎn)的切痕，在到達(dá)所述另一端面時解除與所述表面及另一端面的接觸，其特征在于，包括檢測所述刀具是否與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的步驟；檢測所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置的步驟；比較所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的步驟；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面是否存在裂紋的步驟。
2.如權(quán)利要求1所述的矩形板狀物的裂紋檢查方法，其特征在于，包括檢測所述刀具與所述表面及另一端面的接觸是否被解除的步驟；檢測所述刀具與所述表面及另一端面的接觸被解除的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置的步驟；比較所述檢測出的所述切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的步驟；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的另一端面是否存在裂紋的步驟。
3.一種矩形板狀物的裂紋檢查裝置，使用具有刀具的切割機(jī)檢查作為切割折斷對象的矩形板狀物的裂紋，所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸， 從該一端面向其相反側(cè)的另一端面移動，同時在所述矩形板狀物的表面切出作為切割折斷的起點(diǎn)的切痕，在到達(dá)所述另一端面時解除與所述表面及另一端面的接觸，其特征在于，具有檢測所述刀具是否與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的單元；檢測所述刀具與所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，視作所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置的單元；比較所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的單元；及基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的所述作為切割折斷對象的矩形板狀物的一端面是否存在裂紋的單元。
全文摘要
本發(fā)明提供矩形板狀物的裂紋檢查方法及檢查裝置，用于檢查玻璃板有無裂紋。該檢查方法，使用具有刀具的切割機(jī)檢查玻璃基板的裂紋，所述刀具與作為切割折斷對象的玻璃板的一端面相接觸，從該一端面向其相反側(cè)的另一端面移動，同時在玻璃板的表面切出作為切割折斷的起點(diǎn)的切痕，在到達(dá)所述另一端面時解除與所述表面及另一端面的接觸，其特征在于，包括檢測所述刀具是否與玻璃基板的一端面相接觸的步驟；檢測所述刀具與玻璃基板的一端面相接觸的時刻的該刀具的位置，視作玻璃基板的一端面的位置的步驟；比較所述檢測出的玻璃基板的一端面的位置與預(yù)定的設(shè)定范圍的步驟；基于所述比較的結(jié)果來判定在所述檢測出的玻璃基板一端面是否存在裂紋的步驟。
文檔編號G01N33/38GK102192972SQ20111004974
公開日2011年9月21日 申請日期2011年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月26日
發(fā)明者今里祐介, 大川潤 申請人:旭硝子株式會社