專利名稱：裝載器分解裝置及裝載器分解方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)為了測(cè)試電子元件而臨時(shí)安裝電子元件的測(cè)試用裝載器進(jìn)行分解的裝載器分解裝置及裝載器分解方法。
背景技術(shù)：
作為臨時(shí)安裝由半導(dǎo)體晶片切片而成的裸片的測(cè)試用裝載器(carrier)，已知通過(guò)薄膜和殼體夾住裸片的測(cè)試用裝載器。(參照例如專利文獻(xiàn)1)。[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)][專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)平7463504號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在上述的技術(shù)中，為了將測(cè)試結(jié)束的裸片作為產(chǎn)品進(jìn)行最終封裝，需要對(duì)測(cè)試用裝載器進(jìn)行分解。本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，提供一種能夠分解測(cè)試用裝載器的裝載器分解裝置及裝載器分解方法。用于解決技術(shù)問(wèn)題的技術(shù)方案本發(fā)明的裝載器分解裝置為分解具有將電子元件夾在之間的覆蓋構(gòu)件及基底構(gòu)件的測(cè)試用裝載器的裝載器分解裝置，其特征在于，具備保持前述覆蓋構(gòu)件的保持頭、保持前述基底構(gòu)件的第1保持臺(tái)、使前述保持頭遠(yuǎn)離前述第1保持臺(tái)并使前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件分離的分離部件，前述保持頭具有在前述保持頭和前述覆蓋構(gòu)件之間形成第1密閉空間的第1密閉部件，前述第1保持臺(tái)具有在前述第1保持臺(tái)和前述基底構(gòu)件之間形成第2密閉空間的第2密閉部件，前述裝載器分解裝置還具備對(duì)前述第1密閉空間進(jìn)行降壓的第1降壓部件和對(duì)前述第2密閉空間進(jìn)行降壓的第2降壓部件(參照權(quán)利要求1)。上述發(fā)明中可以這樣前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的容納前述電子元件的容納空間與外界空氣比較氣壓較低(參照權(quán)利要求2)。上述發(fā)明中可以這樣前述第1密閉部件具有形成有比前述電子元件大的第1開(kāi)口的有底筒狀，前述第2密閉部件具有形成有比前述電子元件大的第2開(kāi)口的凹狀，前述第 1開(kāi)口被前述覆蓋構(gòu)件封蓋，由此形成前述第1密閉空間，前述第2開(kāi)口被前述基底構(gòu)件封蓋，由此形成前述第2密閉空間(參照權(quán)利要求3)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解裝置還具備設(shè)置在前述第2密閉部件的凹狀結(jié)構(gòu)中并借助前述基底構(gòu)件保持前述電子元件的保持部件(參照權(quán)利要求4)。上述發(fā)明中可以這樣前述分離部件使夾在被降壓的前述第1密閉空間和被降壓的前述第2密閉空間之間的前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件與前述基底構(gòu)件分離(參照權(quán)利要求5)。
上述發(fā)明中可以這樣前述分離部件具有使前述保持頭相對(duì)于前述第1保持臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件(參照權(quán)利要求6)。上述發(fā)明中可以這樣前述覆蓋構(gòu)件具有第1剛性板，前述基底構(gòu)件具有具有中央開(kāi)口的第2剛性板；和具有撓性且與前述第2剛性板的含前述中央開(kāi)口的部分貼合的薄膜狀構(gòu)件，前述裝載器分解裝置還具備經(jīng)由前述中央開(kāi)口推壓前述第1剛性板的推壓部件 (參照權(quán)利要求7)。上述發(fā)明中可以這樣前述推壓部件具有具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分面接觸的抵接平面的抵接構(gòu)件；和使前述抵接構(gòu)件相對(duì)于前述薄膜狀構(gòu)件進(jìn)退的進(jìn)退部件(參照權(quán)利要求8)。上述發(fā)明中可以這樣前述推壓部件具有具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分實(shí)質(zhì)上線接觸或點(diǎn)接觸的抵接部的抵接構(gòu)件；和使前述抵接構(gòu)件相對(duì)于前述薄膜狀構(gòu)件進(jìn)退的進(jìn)退部件(參照權(quán)利要求9)。上述發(fā)明中可以這樣前述推壓部件具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分抵接的抵接構(gòu)件和向前述薄膜狀構(gòu)件對(duì)前述抵接構(gòu)件施力的施力部件，在將前述測(cè)試用裝載器載置在前述第1保持臺(tái)上時(shí)，前述抵接構(gòu)件經(jīng)由前述中央開(kāi)口抵接前述薄膜狀構(gòu)件(參照權(quán)利要求10)。上述發(fā)明中可以這樣所述第1密閉部件具有抵接前述覆蓋構(gòu)件的頂端部，前述頂端部形成有與前述第1降壓部件連通的吸附孔(參照權(quán)利要求11)。上述發(fā)明中可以這樣前述第1保持臺(tái)具有容納前述基底構(gòu)件的容納部，前述容納部的底面形成有與前述第2降壓部件連通的吸附孔(參照權(quán)利要求12)。上述發(fā)明中可以這樣前述第1保持臺(tái)具有容納前述基底構(gòu)件的容納部，前述裝載器分解裝置還具備具有配置在前述容納部的周圍的抽吸口的集塵裝置(參照權(quán)利要求 13)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解裝置還具備具有抽吸口和與前述抽吸口連通的集塵蓋的集塵裝置(參照權(quán)利要求14)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解裝置還具備將板狀構(gòu)件插入前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的插入部件；和保持前述基底構(gòu)件的第2保持臺(tái)(參照權(quán)利要求 15)。上述發(fā)明中可以這樣前述第1保持臺(tái)和前述第2保持臺(tái)為同一保持臺(tái)(參照權(quán)利要求16)。本發(fā)明的裝載器分解方法為分解具有將電子元件夾在之間的覆蓋構(gòu)件及基底構(gòu)件的測(cè)試用裝載器的裝載器的分解方法，其特征在于，具備在前述覆蓋構(gòu)件上形成第1密閉空間的第1密閉工序；對(duì)前述第1密閉空間進(jìn)行降壓的第1降壓工序；在前述基底構(gòu)件上形成第2密閉空間的第2密閉工序；對(duì)前述第2密閉空間進(jìn)行降壓的第2降壓工序；和將夾在被降壓的前述第1密閉空間和被降壓的前述第2密閉空間之間的前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件分離的分離工序(參照權(quán)利要求17)。上述發(fā)明中可以這樣前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的容納前述電子元件的容納空間與外界空氣比較氣壓較低(參照權(quán)利要求18)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法的前述分離工序中，使前述覆蓋構(gòu)件相對(duì)于前述基底構(gòu)件旋轉(zhuǎn)(參照權(quán)利要求19)。上述發(fā)明中可以這樣前述覆蓋構(gòu)件具有第1剛性板，前述基底構(gòu)件具有形成有中央開(kāi)口的第2剛性板；和具有撓性且與前述第2剛性板上包含前述中央開(kāi)口的部分貼合的薄膜狀構(gòu)件，前述裝載器分解方法還具備經(jīng)由前述中央開(kāi)口推壓前述第1剛性板的推壓工序(參照權(quán)利要求20)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法還具備將板狀構(gòu)件插入前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的插入工序(參照權(quán)利要求21)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法還具備吸出在分解前述測(cè)試用裝載器時(shí)產(chǎn)生的塵埃的集塵工序(參照權(quán)利要求22)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法中，在借助前述基底構(gòu)件保持前述電子元件的同時(shí)，實(shí)行前述分離工序(參照權(quán)利要求23)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法的前述第1降壓工序中，在對(duì)前述第1 密閉空間進(jìn)行降壓的同時(shí)，吸附前述覆蓋構(gòu)件(參照權(quán)利要求24)。上述發(fā)明中可以這樣前述裝載器分解方法的前述第2降壓工序中，在對(duì)前述第2 密閉空間進(jìn)行降壓的同時(shí)，吸附前述基底構(gòu)件(參照權(quán)利要求25)。發(fā)明的效果本發(fā)明中，由于在第1降壓部件對(duì)第1密閉空間進(jìn)行降壓的同時(shí)，第2降壓部件對(duì)第2密閉空間進(jìn)行降壓，且分離部件使覆蓋構(gòu)件和基底構(gòu)件分離，所以能夠分解測(cè)試用裝載器。


圖1為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的器件制造工序的一部分的流程圖；圖2為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器的分解立體圖；圖3為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器的剖面圖；圖4為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器的分解剖面圖；圖5為圖4中V處的放大剖面圖；圖6為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的裝載器分解裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖；圖7為沿圖6中VII-VII線的剖面圖；圖8為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的保持頭及保持臺(tái)的立體圖；圖9為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的保持頭的仰視圖；圖10為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的保持頭及保持臺(tái)的變形例的剖面圖；圖11為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的第1搬送臂的變形例的剖面圖；圖12為本發(fā)明的第1實(shí)施方式的保持臺(tái)的平面圖；圖13為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的推壓裝置的第1變形例的剖面圖；圖14為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的推壓裝置的第2變形例的剖面圖；圖15為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的推壓裝置的第3變形例的剖面圖；圖16為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的推壓裝置的第3變形例的放大剖面圖；圖17為圖15的XVII處的放大剖面圖；圖18為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的集塵裝置的變形例的剖面圖；圖19為顯示圖1的分解工序的流程圖20為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的裝載器分解裝置的動(dòng)作的剖面圖(其1) 圖21為顯示本發(fā)明的第1實(shí)施方式的裝載器分解裝置的動(dòng)作的剖面圖(其2) 圖22為圖21中XXII處的放大剖面圖23為顯示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的裝載器分解裝置的剖面圖； 圖M為圖23中XXIV處的放大剖面圖25為顯示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的裝載器分解方法的流程圖沈?yàn)轱@示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的裝載器分解裝置的第1變形例的剖面圖
圖27為顯示本發(fā)明的第2實(shí)施方式的裝載器分解裝置的第2變形例的剖面圖
圖觀為顯示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的裝載器分解裝置的剖面圖四為顯示本發(fā)明的第3實(shí)施方式的裝載器分解方法的流程圖。
1,1a, lb...裝載器分解裝置
10. 11. 12. 122 13. 16. 20. 21. 211 212 22. 24.30.
31. 311 40. 50. 60. 61.70.
71. 74. 80. 81. 82. 90.
裝載器移動(dòng)部保持頭
第1密閉構(gòu)件(第1密閉部件)
開(kāi)口(第1開(kāi)口) 第1密閉空間第1搬送臂(分離部件) 保持臺(tái)
第2密閉構(gòu)件(第2密閉部件) 凹部
開(kāi)口(第2開(kāi)口) 容納部
第2密閉空間推壓裝置(推壓部件) 抵接構(gòu)件抵接面
集塵裝置(集塵部件) 取出部
測(cè)試用裝載器裸片(電子元件) 基底構(gòu)件
剛性板(第2剛性板) 薄膜狀構(gòu)件覆蓋構(gòu)件
剛性板(第1剛性板) 薄膜狀構(gòu)件
真空泵
110...插入裝置(插入部件)111...板狀構(gòu)件120...靜電卡盤(保持部件)
具體實(shí)施例方式以下基于附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明?！兜?實(shí)施方式》圖1為顯示本實(shí)施方式的器件制造工序的一部分的流程圖。本實(shí)施方式中，在對(duì)半導(dǎo)體晶片進(jìn)行切片之后(圖1中步驟SlO之后)且在最終封裝之前(步驟S50之前)，對(duì)植入裸片的電路元件進(jìn)行測(cè)試(步驟S20 S40)。此時(shí)，本實(shí)施方式中，首先將裸片61臨時(shí)安裝在測(cè)試用裝載器60上(步驟S20)。接著，借助該測(cè)試用裝載器60將裸片61與測(cè)試裝置(未圖示)電氣連接，由此對(duì)植入裸片61的電路元件實(shí)行測(cè)試(步驟S30)。然后，在該測(cè)試結(jié)束后，對(duì)測(cè)試用裝載器60進(jìn)行分解(步驟S40)，并對(duì)裸片61進(jìn)行真正的封裝，將器件制成最終產(chǎn)品(步驟S50)。首先，對(duì)本實(shí)施方式中為了測(cè)試而臨時(shí)安裝(暫時(shí)封裝)裸片61的測(cè)試用裝載器 60的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式的裸片61相當(dāng)于本發(fā)明的電子元件的一個(gè)舉例。圖2 圖5為顯示本實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器的圖。本實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器60形成有布線圖案76、78 (參照?qǐng)D5)，并具備安裝裸片61的基底構(gòu)件70和覆蓋在該基底構(gòu)件70上的覆蓋構(gòu)件80，如圖2 圖4所示。該測(cè)試用裝載器60通過(guò)將裸片61夾在基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間保持裸片61?；讟?gòu)件70具備形成有中央開(kāi)口 71a的剛性板71和層疊在包含中央開(kāi)口 71a的剛性板71的整個(gè)表面上的薄膜狀構(gòu)件74。該薄膜狀構(gòu)件74的中央部可發(fā)生變形，而其外周部在剛性板71的作用下不發(fā)生變形，能夠更好地處理測(cè)試用裝載器60。此外，本實(shí)施方式的剛性板71相當(dāng)于本發(fā)明的第2剛性板的一個(gè)舉例，本實(shí)施方式的中央開(kāi)口 71a相當(dāng)于本發(fā)明的中央開(kāi)口的一個(gè)舉例。剛性板71由例如聚酰胺亞胺樹(shù)脂、陶瓷、玻璃等構(gòu)成。而薄膜狀構(gòu)件74由例如聚酰亞胺樹(shù)脂等具有撓性的材料構(gòu)成。薄膜狀構(gòu)件74具有形成第2布線圖案76的基底薄膜75和遮蓋該基底薄膜75的覆蓋層77，如圖5所示。圖5顯示的第1布線圖案78例如通過(guò)噴墨印刷形成在覆蓋層77上。另外，第2 布線圖案76例如通過(guò)蝕刻層疊在基底薄膜75上的銅箔形成。此外，該布線圖案76、78的形成方法不受具體限制。例如，可以通過(guò)蝕刻層疊在基底薄膜75上的銅箔，形成基底構(gòu)件70的所有的布線圖案。或者可以通過(guò)在覆蓋層77上噴墨印刷布線圖案，形成基底構(gòu)件70的所有的布線圖案。該第1布線圖案78的一端，借助形成在覆蓋層77上的通孔77a，與第2布線圖案 76的一端連接。另外，第1布線圖案78的另一端，形成有與裸片61的輸入輸出端子611的連接的墊781。在剛性板71上與第2布線圖案76的另一端對(duì)應(yīng)的位置貫穿有通孔72。第2布線圖案76，借助基底薄膜75上形成的通孔7 與通孔72連接，該通孔72與剛性板71下面形成的連接端子73連接。在對(duì)植入裸片61的電路元件進(jìn)行測(cè)試時(shí)，測(cè)試裝置的接觸銷與該連接端子73接觸。此外，可以使第2布線圖案76的另一端位于剛性板71的中央開(kāi)口 71a的內(nèi)側(cè)，將連接端子73形成在薄膜狀構(gòu)件74的里面。另外，可以使第2布線圖案76的另一端露出上側(cè)，將連接端子73形成在薄膜狀構(gòu)件74的上面?；氐綀D2 圖4，覆蓋構(gòu)件80具備形成有中央開(kāi)口 81a的剛性板81和層疊在該剛性板81上的薄膜狀構(gòu)件82。薄膜狀構(gòu)件82的中央部可發(fā)生變形，而其外周部在剛性板81 的作用下不發(fā)生變形。此外，本實(shí)施方式的剛性板81相當(dāng)于本發(fā)明的第1剛性板的一個(gè)舉例。另外，本實(shí)施方式中，如圖3所示，覆蓋構(gòu)件80的中央開(kāi)口 81a比基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a小，剛性板81 —部分配置在基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a上。剛性板81由例如聚酰胺亞胺樹(shù)脂、陶瓷、玻璃等構(gòu)成。另外，薄膜狀構(gòu)件82由例如聚酰亞胺樹(shù)脂等具有撓性的材料構(gòu)成。此外，可以僅通過(guò)未形成中央開(kāi)口 81a的剛性板81構(gòu)成覆蓋構(gòu)件80。另外，本實(shí)施方式中，布線圖案未全部形成在覆蓋構(gòu)件80上，但不受限于此，可以僅在覆蓋構(gòu)件80上而不在基底構(gòu)件70上形成布線圖案，或既在基底構(gòu)件70又在覆蓋構(gòu)件80上形成布線圖案。以如下方式組裝以上說(shuō)明的測(cè)試用裝載器60。即，在將輸入輸出端子611與墊781 重合的狀態(tài)下將裸片61載置在基底構(gòu)件70上之后，在降壓的情況下使覆蓋構(gòu)件80重合在基底構(gòu)件70上。此外，本實(shí)施方式中，沒(méi)有通過(guò)焊料等將裸片61的輸入輸出端子611與薄膜狀構(gòu)件74的墊781固定。接著，在將裸片61夾在基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間的狀態(tài)下回到外界空氣中，在基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間的容納空間60a(參照?qǐng)D3)與外界空氣(大氣壓) 比較處于降壓的狀態(tài)。由此，在測(cè)試用裝載器60的外側(cè)與內(nèi)側(cè)(容納空間60a)的氣壓差的作用下，裸片61夾在基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間而保持在容納空間60a中，且裸片 61的輸入輸出端子611與薄膜狀構(gòu)件74的墊781相互接觸。順帶提及，在裸片61比較厚的情況下，與圖3顯示的構(gòu)成不同，可以將基底構(gòu)件70 和覆蓋構(gòu)件80層疊，以便剛性板71和剛性板81直接接觸。另外，如圖2 圖5所示，為了防止位置偏離并提高密閉性，可以通過(guò)粘接劑741 使基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80相互固定，但不受限于此。以下對(duì)分解工序S40中采用的裝載器分解裝置1進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下說(shuō)明的裝載器分解裝置僅為一個(gè)舉例，本發(fā)明的裝載器分解裝置不受限于此。圖6為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解裝置的整體結(jié)構(gòu)的平面圖，圖7為沿圖6中 VII-VII線的剖面圖，圖8為本實(shí)施方式的保持頭及保持臺(tái)的立體圖，圖9為本實(shí)施方式的保持頭的仰視圖，圖10為顯示本實(shí)施方式的保持頭及保持臺(tái)的變形例的剖面圖，圖11為顯示本實(shí)施方式的第1搬送臂的變形例的剖面圖，圖12為本實(shí)施方式的保持臺(tái)的平面圖，圖 13 圖15為顯示本實(shí)施方式的推壓裝置的第1 第3變形例的剖面圖，圖16為顯示本實(shí)施方式的推壓裝置的第3變形例的放大剖面圖，圖17為圖15中XVII處的放大剖面圖，圖 18為顯示本實(shí)施方式的集塵裝置的變形例的剖面圖。
本實(shí)施方式的裝載器分解裝置1是為了從測(cè)試結(jié)束的測(cè)試用裝載器60取出裸片 61而將測(cè)試用裝載器60分解成基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80并從測(cè)試用裝載器60取出裸片 61的裝置。該裝載器分解裝置1具備裝載器移動(dòng)部10、保持臺(tái)20、推壓裝置30、集塵裝置40 和取出部50，如圖6及圖7所示。裝載器移動(dòng)部10從裝載器供給部IOa接收測(cè)試用裝載器60將其搬送至保持臺(tái) 20，并與保持臺(tái)20共同分解測(cè)試用裝載器60。而且，裝載器移動(dòng)部10將從測(cè)試用裝載器 60分離的覆蓋構(gòu)件80搬送至儲(chǔ)料器17。該裝載器移動(dòng)部10具有保持覆蓋構(gòu)件80的保持頭11和使保持頭11三維移動(dòng)的第1搬送臂16。保持頭11具有在其與覆蓋構(gòu)件80之間形成第1密閉空間13的第1密閉構(gòu)件12， 如圖7及圖8所示。此外，本實(shí)施方式的第1密閉構(gòu)件12相當(dāng)于本發(fā)明的第1密閉部件的
一個(gè)舉例。該第1密閉構(gòu)件12呈形成有開(kāi)口 122的有底筒狀。本實(shí)施方式中，該開(kāi)口 122由覆蓋構(gòu)件80封蓋而形成第1密閉空間13。此外，本實(shí)施方式的開(kāi)口 122相當(dāng)于本發(fā)明的第 1開(kāi)口的一個(gè)舉例。這里，本實(shí)施方式的第1密閉構(gòu)件12的頂端123的全周安裝有密封構(gòu)件124，如圖 7 圖9所示，以便實(shí)現(xiàn)第1密閉構(gòu)件12與覆蓋構(gòu)件80的密封連接。此外，作為該密封構(gòu)件124的具體例，例如能夠列舉出襯墊、0形環(huán)等。另外，在該第1密閉構(gòu)件12的里面開(kāi)有借助第1抽吸管線91與真空泵90連通的抽吸孔14。因此，真空泵90能夠?qū)τ傻?密閉構(gòu)件12和覆蓋構(gòu)件80形成的第1密閉空間13進(jìn)行降壓。如果真空泵90對(duì)第1密閉空間13內(nèi)進(jìn)行降壓，那么覆蓋構(gòu)件80吸附保持在保持頭11上。這樣，雖然本實(shí)施方式中通過(guò)對(duì)第1密閉空間13內(nèi)進(jìn)行降壓將覆蓋構(gòu)件80保持在保持頭11上，但是也可以在此基礎(chǔ)上，在第1密閉構(gòu)件12的頂端123形成借助第2抽吸管線92與真空泵90連通的吸附孔15，并借助該吸附孔15吸附保持覆蓋構(gòu)件80的上表面， 如圖10所示。這里，從圖9顯示的平面(底面)觀察，本實(shí)施方式的第1密閉構(gòu)件12呈與覆蓋構(gòu)件80的形狀對(duì)應(yīng)的矩形，第1密閉構(gòu)件12的頂端123可沿覆蓋構(gòu)件80的外緣抵接覆蓋構(gòu)件80。另外，本實(shí)施方式的第1密閉構(gòu)件12的開(kāi)口 122形成為比裸片61大，并與剛性板81的中央開(kāi)口 81a對(duì)應(yīng)。因此，如果真空泵90對(duì)第1密閉空間13內(nèi)進(jìn)行降壓，那么測(cè)試用裝載器60的薄膜狀構(gòu)件82從中央開(kāi)口 81a露出的部分的內(nèi)側(cè)(容納空間60a(參照?qǐng)D22))與外側(cè)(第1密閉空間13)的氣壓差變小。如圖6及圖7所示，第1搬送臂16具有沿圖中X方向設(shè)置的X方向軌道161、可在該X方向軌道161上沿X方向移動(dòng)的Y方向軌道162、安裝在Y方向軌道162下部且可沿Y 方向移動(dòng)的Z方向促動(dòng)器163。保持頭11安裝在該Z方向促動(dòng)器163上。因此，第1搬送臂16能夠借助保持頭11使測(cè)試用裝載器60三維移動(dòng)。另外，本實(shí)施方式中，Z方向促動(dòng)器163，使保持覆蓋構(gòu)件80的保持頭11上升，進(jìn)而使其遠(yuǎn)離保持基底構(gòu)件70的保持臺(tái)20，由此使覆蓋構(gòu)件80與基底構(gòu)件70分離。此外，本實(shí)施方式的第1搬送臂16相當(dāng)于本發(fā)明的分離部件的一個(gè)舉例。另外，也可以這樣將可以Z方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器164設(shè)置在Z方向促動(dòng)器 163和保持頭11之間，如圖11所示。該情況下，可以通過(guò)使旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器164旋轉(zhuǎn)，一邊使覆蓋構(gòu)件80 (保持頭11)相對(duì)于基底構(gòu)件70 (保持臺(tái)20)旋轉(zhuǎn)(扭轉(zhuǎn))，一邊使覆蓋構(gòu)件80 與基底構(gòu)件70分離。同理，可以將旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器安裝在保持臺(tái)20的下部(未具體圖示)，使基底構(gòu)件70相對(duì)于覆蓋構(gòu)件80旋轉(zhuǎn)(扭轉(zhuǎn))。此外，本實(shí)施方式的旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器164相當(dāng)于本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)部件的一個(gè)舉例。保持臺(tái)20通過(guò)保持基底構(gòu)件70，與裝載器移動(dòng)部10共同分解測(cè)試用裝載器60。該保持臺(tái)20具有在其與基底構(gòu)件70之間形成第2密閉空間24(參照?qǐng)D22)的第 2密閉構(gòu)件21，如圖7所示。此外，本實(shí)施方式的第2密閉構(gòu)件21相當(dāng)于本發(fā)明的第2密閉部件的一個(gè)舉例。該第2密閉構(gòu)件21呈凹狀，其具有形成有開(kāi)口 212的凹部211，如圖7所示。本實(shí)施方式中，該開(kāi)口 212由基底構(gòu)件70封蓋，以便形成第2密閉空間對(duì)(參照?qǐng)D22)。此外， 本實(shí)施方式的開(kāi)口 212相當(dāng)于本發(fā)明的第2開(kāi)口的一個(gè)舉例。這里，本實(shí)施方式的保持臺(tái)20中，可容納基底構(gòu)件70的容納部22配置在凹部211 上方。密封構(gòu)件23全周安裝在該容納部22的底面221上，如圖7及圖12所示，以便實(shí)現(xiàn)保持臺(tái)20與基底構(gòu)件70的密封連接。此外，作為該密封構(gòu)件23的具體例，能夠列舉出例如襯墊、0形環(huán)等。另外，本實(shí)施方式的容納部22為凹部，但不受限于此。例如，可以在保持臺(tái)20的上面設(shè)置與基底構(gòu)件70的外形對(duì)應(yīng)的銷或肋而構(gòu)成容納部。另外，該凹部211的底面213上開(kāi)有借助第3抽吸管線93與真空泵90連通的抽吸孔214。亦即，第2密閉構(gòu)件21的凹部211與真空泵90連接，真空泵90可對(duì)由凹部211 和基底構(gòu)件70形成的第2密閉空間M(圖22參照)內(nèi)進(jìn)行降壓。如果真空泵90對(duì)第2 密閉空間M內(nèi)進(jìn)行降壓，那么基底構(gòu)件70將吸附保持在保持臺(tái)20上。雖然本實(shí)施方式中以上述方式通過(guò)對(duì)第2密閉空間24 (參照?qǐng)D22)內(nèi)進(jìn)行降壓， 將基底構(gòu)件70保持在保持臺(tái)20上，但也可以在此基礎(chǔ)上，在保持臺(tái)20的容納部22的底面 221上開(kāi)設(shè)借助第4抽吸管線94與真空泵90連通的吸附孔25，并借助該吸附孔25吸附基底構(gòu)件70的下表面，如圖10所示。另外，本實(shí)施方式中，如圖12所示，凹部211的開(kāi)口 212形成為比裸片61大，并與剛性板71的中央開(kāi)口 71a對(duì)應(yīng)。因此，如果真空泵90對(duì)第2密閉空間M內(nèi)進(jìn)行降壓，那么薄膜狀構(gòu)件74的從中央開(kāi)口 71a露出的露出部分74a的內(nèi)側(cè)(容納空間60a)與外側(cè)(第 2密閉空間24)的氣壓差將變小(參照?qǐng)D22)。這里，本實(shí)施方式中，利用一臺(tái)真空泵90對(duì)第1密閉空間13和第2密閉空間M兩者進(jìn)行降壓，但不受限于此。例如，可以分別設(shè)置對(duì)第1密閉空間13進(jìn)行降壓的真空泵和對(duì)第2密閉空間M進(jìn)行降壓的真空泵。此外，該真空泵90相當(dāng)于本發(fā)明的第1及第2降壓部件的一個(gè)舉例。推壓裝置30借助基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a推壓覆蓋構(gòu)件80 (參照?qǐng)D22)。本實(shí)施方式中，推壓裝置30所產(chǎn)生的推壓力作為一種觸發(fā)力，使覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70 分離。
該推壓裝置30容納在保持臺(tái)20的凹部211內(nèi)，具有抵接構(gòu)件31和Z方向促動(dòng)器 32，如圖7所示。如圖7及圖12所示，抵接構(gòu)件31上端具有與薄膜狀構(gòu)件74的從中央開(kāi)口 71a露出的露出部分74a(參照?qǐng)D2 面接觸的抵接平面311。另外，在該抵接平面311的中央部分形成有凹部312。因此，能夠在抵接平面311與露出部分7 面接觸時(shí)，避免抵接構(gòu)件31 與裸片61的干涉，抑制裸片61損傷。Z方向促動(dòng)器32為使抵接構(gòu)件31沿Z方向移動(dòng)的裝置，使抵接構(gòu)件31可相對(duì)于容納在容納部22內(nèi)的基底構(gòu)件70的薄膜狀構(gòu)件74(參照?qǐng)D21)進(jìn)退。本實(shí)施方式的Z方向促動(dòng)器32下端固定在凹部211的底面213上，上端固定在抵接構(gòu)件31下端，如圖7所示。 此外，本實(shí)施方式的Z方向促動(dòng)器32相當(dāng)于本發(fā)明的進(jìn)退部件的一個(gè)舉例。這里，本實(shí)施方式中，抵接構(gòu)件31與薄膜狀構(gòu)件74面接觸，但不受限于此。例如可以使抵接平面311a傾斜，使抵接平面311a的上端與露出部分7 實(shí)質(zhì)上線接觸，如圖13所示。此外，該情況下，抵接平面311a的上端相當(dāng)于本發(fā)明的抵接部的一個(gè)舉例。另外，也可以這樣抵接構(gòu)件31由板狀構(gòu)件313和設(shè)置在板狀構(gòu)件313的上面的銷314構(gòu)成，并使銷314的頂端31 與露出部分7 實(shí)質(zhì)上點(diǎn)接觸，如圖14所示。此外， 該情況下，銷314的頂端31 相當(dāng)于本發(fā)明的抵接部的一個(gè)舉例?；蛘?，可以這樣推壓裝置30a由抵接構(gòu)件31a、施力構(gòu)件3 和導(dǎo)向構(gòu)件33構(gòu)成， 如圖15及圖16所示。該推壓裝置30a中，通過(guò)導(dǎo)向構(gòu)件33的導(dǎo)向孔33a朝薄膜狀構(gòu)件74引導(dǎo)抵接構(gòu)件31a，并通過(guò)施力構(gòu)件3 對(duì)抵接構(gòu)件31a施力。此外，本實(shí)施方式中，施力構(gòu)件32a由線圈狀的彈簧構(gòu)成，但不受限于此，例如，施力構(gòu)件3 可以由板狀的彈簧或橡膠構(gòu)成。此外， 本實(shí)施方式的施力構(gòu)件3 相當(dāng)于本發(fā)明的施力部件的一個(gè)舉例。另外，本實(shí)施方式中，如圖17所示，在測(cè)試用裝載器60容納在保持臺(tái)20的容納部 22內(nèi)的狀態(tài)下，從容納部22的底面221到薄膜狀構(gòu)件74的下表面的高度為Ha。另外，抵接構(gòu)件31a配置成從容納部22的底面221到抵接構(gòu)件31a的頂端31b的高度為Hb，本實(shí)施方式中，高度Hb比高度Ha大(Hb>Ha)。由此，在將基底構(gòu)件70容納在容納部22內(nèi)時(shí)，能夠?qū)⒏采w構(gòu)件80推壓在抵接構(gòu)件31a上，沒(méi)有必要為了推壓覆蓋構(gòu)件80而設(shè)置Z方向促動(dòng)器等動(dòng)力源。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)裝載器分解裝置1的低成本化。這樣，雖然本實(shí)施方式的裝載器分解裝置1設(shè)置有推壓裝置30、30a，但不受限于此。例如，可以在基底構(gòu)件70與覆蓋構(gòu)件80的密封連接狀態(tài)比較薄弱的情況下等，不設(shè)置推壓裝置30、30a，通過(guò)第1搬送臂16使保持頭11上升，使覆蓋構(gòu)件80和基底構(gòu)件70分
1 O集塵裝置40具有集塵裝置本體41和塊42，如圖7所示。該集塵裝置本體41通過(guò)集塵抽吸管線41a與塊42連接。塊42配置在保持臺(tái)20的容納部22的周圍，如圖7及圖8所示。該塊42形成有向容納部22開(kāi)口的抽吸口 421、將該抽吸口 421與集塵抽吸管線41a連通的連通通路422。 因此，在分解測(cè)試用裝載器60時(shí)，能夠通過(guò)使集塵裝置本體41動(dòng)作，借助該抽吸口 421吸入塵埃(例如將基底構(gòu)件70與覆蓋構(gòu)件80粘接的粘接劑741)。由此，在分解測(cè)試用裝載器60之后，能夠抑制塵埃附著在裸片61上。另外，本實(shí)施方式中，由于抽吸口 421(塊42)配置在容納部22的周圍，所以覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70分離時(shí)，可除去基底構(gòu)件70與覆蓋構(gòu)件80之間的塵埃。由此，能夠進(jìn)一步抑制塵埃附著在裸片61上。本實(shí)施方式中，設(shè)置有塊42，但不受限于此。例如，可以將集塵蓋423安裝在保持頭11上以便覆蓋保持頭11，將與集塵抽吸管線41a連通的抽吸口 421a形成在集塵蓋423 上，如圖18所示。這樣，通過(guò)安裝集塵蓋423，容易將塵埃引導(dǎo)至抽吸口 421a。取出部50具有第2搬送臂51和第3搬送臂52，如圖6所示。第2搬送臂51，從被分解的測(cè)試用裝載器60取出裸片61，并將裸片61搬送至容納在儲(chǔ)料器53內(nèi)的空托盤(未圖示)。該第2搬送臂51具有沿圖中Y方向設(shè)置的Y方向軌道511、可在該Y方向軌道511上沿Y方向移動(dòng)的X方向軌道512和安裝在X方向軌道 512下部且可沿X方向移動(dòng)的Z方向促動(dòng)器513。該Z方向促動(dòng)器513安裝有可吸附裸片 61的吸附墊(未圖示)。因此，第2搬送臂51能夠借助吸附墊使裸片61三維移動(dòng)。第3搬送臂52從被分解的測(cè)試用裝載器60取出基底構(gòu)件70，并將基底構(gòu)件70搬送至容納在儲(chǔ)料器M內(nèi)的空托盤(未圖示)。該第3搬送臂52具有沿圖中Y方向設(shè)置的 Y方向軌道521、可在該Y方向軌道521上沿Y方向移動(dòng)的X方向軌道522和安裝在X方向軌道522下部且可沿X方向移動(dòng)的Z方向促動(dòng)器523。該Z方向促動(dòng)器523安裝有可吸附基底構(gòu)件70的吸附墊(未圖示)。因此，第3搬送臂52能夠借助該吸附墊使基底構(gòu)件70 三維移動(dòng)。此外，本實(shí)施方式中，如上所述，裝載器移動(dòng)部10，接收測(cè)試用裝載器60并將其搬送至保持臺(tái)20，與保持臺(tái)20共同分解測(cè)試用裝載器60，并將從測(cè)試用裝載器60分離的覆蓋構(gòu)件80搬送至儲(chǔ)料器17，但不受限于此。例如，可以分別設(shè)置接收測(cè)試用裝載器并將其搬送至保持臺(tái)的裝載器搬送部、與保持臺(tái)共同分解測(cè)試用裝載器的分解部和將覆蓋構(gòu)件搬送至儲(chǔ)料器的覆蓋搬送部。以下參照?qǐng)D19 圖22對(duì)本實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器的分解方法進(jìn)行說(shuō)明。圖19為顯示圖1的分解工序的流程圖，圖20及圖21為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解裝置的動(dòng)作的剖面圖，圖22為圖21中XXII處的放大剖面圖。如圖19所示，本實(shí)施方式的裝載器分解方法具備第1密閉工序S102、第1降壓工序S104、第2密閉工序S106、第2降壓工序S108、推壓工序S110、分離工序S112和集塵工序 S114。第1密閉工序S102中，如圖20所示，首先，第1搬送臂16將保持頭11移動(dòng)到裝載器供給部IOa的測(cè)試用裝載器60上，使保持頭11的頂端123和測(cè)試用裝載器60的覆蓋構(gòu)件80密封連接。由此，保持頭11的開(kāi)口 122被覆蓋構(gòu)件80密閉而形成第1密閉空間13。接著，第1降壓工序S104中，真空泵90對(duì)第1密閉空間13內(nèi)進(jìn)行降壓，使其氣壓比外界空氣(大氣壓)低。由此，覆蓋構(gòu)件80吸附保持在保持頭11上。接著，第2密閉工序S106中，第1搬送臂16借助保持頭11將測(cè)試用裝載器60從裝載器供給部IOa搬送至保持臺(tái)20的容納部22。將基底構(gòu)件70載置在容納部22的底面 221上后，兩者密封連接，形成第2密閉空間24 (參照?qǐng)D22)。接著，第2降壓工序S108中，如圖21及圖22所示，真空泵90對(duì)第2密閉空間M內(nèi)進(jìn)行降壓，使其氣壓比外界空氣(大氣壓)低。由此，基底構(gòu)件70吸附保持在保持臺(tái)20 上。另外，由于測(cè)試用裝載器60處于夾在被降壓的第1密閉空間13和被降壓的第2 密閉空間M之間的狀態(tài)，所以測(cè)試用裝載器60的外側(cè)和內(nèi)側(cè)(容納空間60a)的氣壓差抵消(變小)，基底構(gòu)件70與覆蓋構(gòu)件80的密封連接變?nèi)酢Ｒ虼?，?搬送臂16容易使覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70分離。接著，推壓工序SllO中，如圖21及圖22所示，推壓裝置30經(jīng)由基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a推壓覆蓋構(gòu)件80。詳細(xì)地說(shuō)，推壓裝置30的Z方向促動(dòng)器32使抵接構(gòu)件31上升。由此，進(jìn)入基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a的抵接構(gòu)件31的抵接平面311，與薄膜狀構(gòu)件74的露出部分7 面接觸，并借助薄膜狀構(gòu)件74推壓覆蓋構(gòu)件80的剛性板81。這里，本實(shí)施方式中，由于基底構(gòu)件70的薄膜狀構(gòu)件74具有撓性，所以推壓裝置 30的推壓力主要傳遞至覆蓋構(gòu)件80。而且，由于基底構(gòu)件70吸附保持在保持臺(tái)20上，所以受該推壓力作用的覆蓋構(gòu)件80遠(yuǎn)離基底構(gòu)件70。因此，推壓裝置30推壓覆蓋構(gòu)件80將觸發(fā)覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70分離。此外，該推壓工序S110，可以在分離工序S112之前實(shí)施，也可以與分離工序S112 實(shí)質(zhì)上同時(shí)實(shí)施。接著，分離工序Sl 12中，第1搬送臂16的Z方向促動(dòng)器163，使保持覆蓋構(gòu)件80 的保持頭11上升，進(jìn)而使其遠(yuǎn)離保持基底構(gòu)件70的保持臺(tái)20，如圖21所示。由此，覆蓋構(gòu)件80與基底構(gòu)件70分離。此外，該分離工序S112中，可以在使保持頭11遠(yuǎn)離保持臺(tái)20時(shí)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器 164，使覆蓋構(gòu)件80 (保持頭11)以Z方向?yàn)檩S相對(duì)于基底構(gòu)件70(保持臺(tái)20)旋轉(zhuǎn)，如圖 11所示。接著，集塵工序Sl 14中，集塵裝置40收集在將覆蓋構(gòu)件80與基底構(gòu)件70分離時(shí)產(chǎn)生的塵埃。由此，能夠抑制在分離工序S112中附著在從覆蓋構(gòu)件80露出的裸片61上的塵埃。此外，該集塵工序S114至少與分離工序S112同時(shí)實(shí)施。接著，第1搬送臂16借助保持頭11將覆蓋構(gòu)件80搬送至儲(chǔ)料器17的空托盤，如圖6所示。同樣地，第2搬送臂51通過(guò)吸附墊吸附保持裸片61，并將裸片61搬送至儲(chǔ)料器 53的空托盤。接著，真空泵90解除對(duì)第2密閉空間M內(nèi)的降壓，以便基底構(gòu)件70可以被搬送。接著，第3搬送臂52通過(guò)吸附墊吸附保持基底構(gòu)件70，并將基底構(gòu)件70搬送至儲(chǔ)料器M的空托盤。此外，雖然本實(shí)施方式中，按照第1密閉工序S102—第1降壓工序S104—第2密閉工序S106—第2降壓工序S108的順序，如圖19所示，但不受限于此順序。例如，可以按照第2密閉工序S106 —第2降壓工序S108 —第1密閉工序S102 —第1降壓工序S104的順序?qū)嵤?。另外，雖然本實(shí)施方式中設(shè)置有推壓工序S110，但不受限于此。例如，在基底構(gòu)件 70與覆蓋構(gòu)件80之間沒(méi)有粘接劑，基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80的密封連接狀態(tài)比較弱的情況下，或者在容納空間60a內(nèi)的氣壓與大氣壓的氣壓差小，基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80的密封連接狀態(tài)比較弱的情況等，可以不設(shè)置推壓工序Sl 12。如上所述，本實(shí)施方式中，真空泵90不僅對(duì)第1密閉空間13進(jìn)行降壓，而且對(duì)第 2密閉空間M進(jìn)行降壓，由此使基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80容易分離。具體而言，本實(shí)施方式的測(cè)試用裝載器60中，基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間(容納空間60a)與外界空氣比較氣壓小，在測(cè)試用裝載器60的內(nèi)側(cè)(被降壓的容納空間60a) 與外側(cè)(大氣壓)的氣壓差的作用下，基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80保持裸片61。對(duì)于該測(cè)試用裝載器60，本實(shí)施方式中，在測(cè)試用裝載器60的外側(cè)與密閉空間13、對(duì)相接的狀態(tài)下， 對(duì)這些密閉空間13、24內(nèi)進(jìn)行降壓，使其氣壓比大氣壓小，以便測(cè)試用裝載器60的內(nèi)側(cè)和外側(cè)的氣壓差變小或者抵消，由此使測(cè)試用裝載器60的分解變得容易。另外，本實(shí)施方式中，在分解測(cè)試用裝載器60時(shí)，在將測(cè)試用裝載器60夾在被降壓的第1密閉空間13和被降壓的第2密閉空間M之間的狀態(tài)下，基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件 80更加容易分離。另外，本實(shí)施方式中，保持頭11的開(kāi)口 122及保持臺(tái)20的開(kāi)口 212形成為比裸片 61大。具體而言，保持頭11的開(kāi)口 122與覆蓋構(gòu)件80的中央開(kāi)口 81a對(duì)應(yīng)，保持臺(tái)20的開(kāi)口 212與基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a對(duì)應(yīng)。因此，真空泵90對(duì)密閉空間13、24內(nèi)進(jìn)行降壓時(shí)，從剛性板71、81的中央開(kāi)口 71a、81a露出的薄膜狀構(gòu)件74、82之間容易整體地分離，從而解除對(duì)裸片61的保持。另外，在此基礎(chǔ)上，本實(shí)施方式中，推壓裝置30借助基底構(gòu)件70的中央開(kāi)口 71a， 推壓覆蓋構(gòu)件80的剛性板81。因此，該推壓裝置30所產(chǎn)生的推壓力作為觸發(fā)力，能使基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80可靠地分離。另外，本實(shí)施方式中，由于不在裸片61上施加外力便能夠使測(cè)試用裝載器60分解，所以能夠抑制裸片61損傷。而且，本實(shí)施方式中，由于測(cè)試用裝載器60無(wú)需加工便可分解，所以易于循環(huán)使用基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80。尤其是剛性板71、81比薄膜狀構(gòu)件74、82昂貴，所以通過(guò)此循環(huán)使用能夠?qū)崿F(xiàn)測(cè)試用裝載器60的低成本化。另外，本實(shí)施方式中，在分解測(cè)試用裝載器60時(shí)，無(wú)需預(yù)先在測(cè)試用裝載器60上形成切割部，所以抑制了測(cè)試用裝載器60的高成本化。以下對(duì)第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明?！兜?實(shí)施方式》圖23為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解裝置的剖面圖，圖M為圖23中XXIV處的放大剖面圖，圖26及圖27為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解裝置的變形例的剖面圖。本實(shí)施方式的裝載器分解裝置Ia在還具備插入裝置110的方面與第1實(shí)施方式不同，其它的構(gòu)成與第1實(shí)施方式相同。以下對(duì)與第1實(shí)施方式不同的方面進(jìn)行說(shuō)明，與第 1實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)有相同的符號(hào)并省略其說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式中，關(guān)于推壓裝置30、30a的有無(wú)，與第1實(shí)施方式相同不受具體限制。本實(shí)施方式的插入裝置110具有板狀構(gòu)件111和移動(dòng)臂112，如圖23及圖M所示。此外，本實(shí)施方式的插入裝置110相當(dāng)于本發(fā)明的插入部件的一個(gè)舉例。板狀構(gòu)件111為插入基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間的構(gòu)件。該板狀構(gòu)件111形成為像例如刀、鏟等那樣可進(jìn)入比較狹窄的間隙。此外，雖然本實(shí)施方式中，板狀構(gòu)件111的頂端形成為銳角，但不受限于此。移動(dòng)臂112具有沿圖23中X方向設(shè)置的X方向軌道112a、可在該X方向軌道11加上沿X方向移動(dòng)的Y方向支承構(gòu)件112b、安裝在該Y方向支承構(gòu)件112b上的Z方向促動(dòng)器112c。板狀構(gòu)件111借助軸112d安裝在該Z方向促動(dòng)器112c的頂端。因此，該移動(dòng)臂 112可借助軸112d使板狀構(gòu)件111在X方向及Z方向上移動(dòng)。接著對(duì)本實(shí)施方式的裝載器分解方法進(jìn)行說(shuō)明。圖25為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解方法的流程圖。本實(shí)施方式的裝載器分解方法中，在還具備插入工序Slll的方面與第1實(shí)施方式不同，如圖25所示，其它的工序與第1實(shí)施方式相同。以下對(duì)與第1實(shí)施方式不同的方面進(jìn)行說(shuō)明，與第1實(shí)施方式相同的工序部分標(biāo)有相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式中，關(guān)于推壓工序SllO的有無(wú)，與第1實(shí)施方式相同，但不受具體限制。插入工序Slll在圖19顯示的第2降壓工序S108之后且在分離工序S112之前或與分離工序S112實(shí)質(zhì)上同時(shí)實(shí)施。詳細(xì)地說(shuō)，首先，移動(dòng)臂112使板狀構(gòu)件111移動(dòng)到在第2降壓工序S108中保持在保持臺(tái)20上的基底構(gòu)件70上。接著，使Y方向支承構(gòu)件112b在移動(dòng)臂112的X方向軌道11 上移動(dòng)，將板狀構(gòu)件111的頂端插入基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間。由此，如圖 23及圖M所示，覆蓋構(gòu)件80的外周部分從基底構(gòu)件70剝離。此外，可以在基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間通過(guò)粘接劑741粘接的情況下，通過(guò)板狀構(gòu)件111破壞硬化的粘接劑741。由此，分離工序Sl 12中，覆蓋構(gòu)件80容易從基底構(gòu)件70分離。另外，可以在將板狀構(gòu)件111插入基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間的狀態(tài)下，使Z 方向促動(dòng)器112上升，使覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70剝離?；蛘?，可以將使板狀構(gòu)件111以Y方向?yàn)檩S旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)促動(dòng)器11 ，設(shè)置在Z方向促動(dòng)器112c和軸112d之間，如圖沈所示。該情況下，在將板狀構(gòu)件111插入基底構(gòu)件70 和覆蓋構(gòu)件80之間的狀態(tài)下，使板狀構(gòu)件111向圖中X軸負(fù)方向旋轉(zhuǎn)，使覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70剝離。這里，雖然本實(shí)施方式中，移動(dòng)臂112使板狀構(gòu)件111移動(dòng)，將板狀構(gòu)件111的頂端插入基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件80之間，但是將板狀構(gòu)件111插入基底構(gòu)件70和覆蓋構(gòu)件 80之間的方法不受限于此。例如，如圖27所示，可以使保持臺(tái)20向板狀構(gòu)件111相對(duì)地移動(dòng)。該情況下，將X方向軌道26設(shè)置在保持臺(tái)20的下部，使保持臺(tái)20在X方向軌道沈上沿X方向移動(dòng)。另外，由于本實(shí)施方式中，在保持臺(tái)20上進(jìn)行插入工序S111，所以與為了實(shí)施插入工序Slll而專門設(shè)置保持基底構(gòu)件70的臺(tái)的情況比較，能夠?qū)崿F(xiàn)裝載器分解裝置Ia的低成本化，但不受限于此。以下對(duì)第3實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。《第3實(shí)施方式》圖28為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解裝置的剖面圖。本實(shí)施方式的裝載器分解裝置Ib在還具備靜電卡盤120的方面與第1實(shí)施方式不同，其它的構(gòu)成與第1實(shí)施方式相同。此外，本實(shí)施方式的靜電卡盤120相當(dāng)于本發(fā)明的保持部件的一個(gè)舉例。以下對(duì)與第1實(shí)施方式不同的方面進(jìn)行說(shuō)明，與第1實(shí)施方式相同的構(gòu)成部分標(biāo)有相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式中，關(guān)于推壓裝置30、30a的有無(wú)，與第1實(shí)施方式相同，但不受具體限制。另外，本實(shí)施方式的裝載器分解裝置Ib可以像第2實(shí)施方式那樣具備插入裝置。靜電卡盤120在分解測(cè)試用裝載器60時(shí)保持裸片61。靜電卡盤120在支承在支承構(gòu)件121上的狀態(tài)下容納在保持臺(tái)20的凹部211內(nèi)，如圖觀所示。該靜電卡盤120可通過(guò)庫(kù)倫力或Johnsen-Rahbek力借助基底構(gòu)件70保持裸片61。此外，在圖28中，省略了推壓裝置的圖示。以下對(duì)本實(shí)施方式的裝載器分解方法進(jìn)行說(shuō)明。圖四為顯示本實(shí)施方式的裝載器分解方法的流程圖。本實(shí)施方式的裝載器分解方法中，在還具備保持工序S109的方面與第1實(shí)施方式不同，其它的工序與第1實(shí)施方式相同，如圖四所示。以下對(duì)與第1實(shí)施方式不同的方面進(jìn)行說(shuō)明，與第1實(shí)施方式相同的工序部分標(biāo)有相同符號(hào)并省略其說(shuō)明。此外，本實(shí)施方式中，關(guān)于推壓工序SllO的有無(wú)，與第1實(shí)施方式相同，但不受限具體限制。另外，本實(shí)施方式的裝載器分解方法，可以像第2實(shí)施方式那樣具備插入工序。保持工序S109中，靜電卡盤120至少在分離工序S112的前后期間保持裸片61。 例如，靜電卡盤120在第2降壓工序S108之后開(kāi)始保持裸片61，并在分離工序Sl 12結(jié)束之后且第2搬送臂51的吸附墊吸附裸片61時(shí)，靜電卡盤120解除對(duì)裸片61的保持。亦即， 本實(shí)施方式中，在靜電卡盤120借助基底構(gòu)件70保持裸片61的同時(shí)，第1搬送臂16實(shí)行分離工序S112。由此，即使在覆蓋構(gòu)件80從基底構(gòu)件70分離時(shí)，基底構(gòu)件70稍微移動(dòng)，裸片61 也不容易從基底構(gòu)件70落下，抑制了裸片61的損傷。另外，通過(guò)將裸片61保持在規(guī)定位置，第2搬送臂51的吸附墊能夠可靠地吸附裸片61，能夠可靠地搬送裸片61。以上說(shuō)明的實(shí)施方式是為了使本發(fā)明容易理解而記載的，而不是用于限定本發(fā)明而記載的。因而，上述實(shí)施方式公開(kāi)的各要素旨在包含屬于本發(fā)明的技術(shù)的范圍的所有的設(shè)計(jì)變更、等同物。
權(quán)利要求
1.一種分解具有將電子元件夾在之間的覆蓋構(gòu)件及基底構(gòu)件的測(cè)試用裝載器的裝載器分解裝置，其特征在于，具備保持前述覆蓋構(gòu)件的保持頭； 保持前述基底構(gòu)件的第1保持臺(tái)；和使前述保持頭遠(yuǎn)離前述第1保持臺(tái)并使前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件分離的分離部件，前述保持頭具有在前述保持頭和前述覆蓋構(gòu)件之間形成第1密閉空間的第1密閉部件，前述第1保持臺(tái)具有在前述第1保持臺(tái)和前述基底構(gòu)件之間形成第2密閉空間的第2 密閉部件，前述裝載器分解裝置還具備對(duì)前述第1密閉空間進(jìn)行降壓的第1降壓部件；和對(duì)前述第2密閉空間進(jìn)行降壓的第2降壓部件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的容納前述電子元件的容納空間與外界空氣比較氣壓較低。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述第1密閉部件具有形成有比前述電子元件大的第1開(kāi)口的有底筒狀， 前述第2密閉部件具有形成有比前述電子元件大的第2開(kāi)口的凹狀， 前述第1開(kāi)口被前述覆蓋構(gòu)件封蓋，由此形成前述第1密閉空間， 前述第2開(kāi)口被前述基底構(gòu)件封蓋，由此形成前述第2密閉空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述裝載器分解裝置還具備設(shè)置在前述第2密閉部件的凹狀結(jié)構(gòu)中并借助前述基底構(gòu)件保持前述電子元件的保持部件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述分離部件使夾在被降壓的前述第1密閉空間和被降壓的前述第2密閉空間之間的前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件與前述基底構(gòu)件分離。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述分離部件具有使前述保持頭相對(duì)于前述第1保持臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述覆蓋構(gòu)件具有第1剛性板，前述基底構(gòu)件具有具有中央開(kāi)口的第2剛性板；和具有撓性且與前述第2剛性板的含前述中央開(kāi)口的部分貼合的薄膜狀構(gòu)件；前述裝載器分解裝置還具備經(jīng)由前述中央開(kāi)口推壓前述第1剛性板的推壓部件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述推壓部件具有具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分面接觸的抵接平面的抵接構(gòu)件；和使前述抵接構(gòu)件相對(duì)于前述薄膜狀構(gòu)件進(jìn)退的進(jìn)退部件。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述推壓部件具有具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分實(shí)質(zhì)上線接觸或點(diǎn)接觸的抵接部的抵接構(gòu)件；和使前述抵接構(gòu)件相對(duì)于前述薄膜狀構(gòu)件進(jìn)退的進(jìn)退部件。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝載器分解裝置，其特征在于，前述推壓部件具有與前述薄膜狀構(gòu)件的從前述中央開(kāi)口露出的露出部分抵接的抵接構(gòu)件和向前述薄膜狀構(gòu)件對(duì)前述抵接構(gòu)件施力的施力部件，在將前述測(cè)試用裝載器載置在前述第1保持臺(tái)上時(shí)，前述抵接構(gòu)件經(jīng)由前述中央開(kāi)口抵接前述薄膜狀構(gòu)件。
11.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 所述第1密閉部件具有抵接前述覆蓋構(gòu)件的頂端部，前述頂端部形成有與前述第1降壓部件連通的吸附孔。
12.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述第1保持臺(tái)具有容納前述基底構(gòu)件的容納部，前述容納部的底面形成有與前述第2降壓部件連通的吸附孔。
13.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述第1保持臺(tái)具有容納前述基底構(gòu)件的容納部，前述裝載器分解裝置還具備具有配置在前述容納部的周圍的抽吸口的集塵裝置。
14.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述裝載器分解裝置還具備具有抽吸口和與前述抽吸口連通的集塵蓋的集塵裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述裝載器分解裝置還具備將板狀構(gòu)件插入前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的插入部件；和保持前述基底構(gòu)件的第2保持臺(tái)。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的裝載器分解裝置，其特征在于， 前述第1保持臺(tái)和前述第2保持臺(tái)為同一保持臺(tái)。
17.一種分解具有將電子元件夾在之間的覆蓋構(gòu)件及基底構(gòu)件的測(cè)試用裝載器的裝載器的分解方法，其特征在于，具備在前述覆蓋構(gòu)件上形成第1密閉空間的第1密閉工序； 對(duì)前述第1密閉空間進(jìn)行降壓的第1降壓工序； 在前述基底構(gòu)件上形成第2密閉空間的第2密閉工序； 對(duì)前述第2密閉空間進(jìn)行降壓的第2降壓工序；和將夾在被降壓的前述第1密閉空間和被降壓的前述第2密閉空間之間的前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件分離的分離工序。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝載器分解方法，其特征在于，前述測(cè)試用裝載器的前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的容納前述電子元件的容納空間與外界空氣比較氣壓較低。
19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的裝載器分解方法，其特征在于， 前述分離工序中，使前述覆蓋構(gòu)件相對(duì)于前述基底構(gòu)件旋轉(zhuǎn)。
20.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于， 前述覆蓋構(gòu)件具有第1剛性板，前述基底構(gòu)件具有形成有中央開(kāi)口的第2剛性板；和具有撓性且與前述第2剛性板上含前述中央開(kāi)口的部分貼合的薄膜狀構(gòu)件；前述裝載器分解方法還具備經(jīng)由前述中央開(kāi)口推壓前述第1剛性板的推壓工序。
21.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于，前述裝載器分解方法還具備將板狀構(gòu)件插入前述覆蓋構(gòu)件和前述基底構(gòu)件之間的插入工序。
22.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于，前述裝載器分解方法還具備吸出在分解前述測(cè)試用裝載器時(shí)產(chǎn)生的塵埃的集塵工序。
23.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于， 在借助前述基底構(gòu)件保持前述電子元件的同時(shí)，實(shí)行前述分離工序。
24.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于， 前述第1降壓工序中，在對(duì)前述第1密閉空間進(jìn)行降壓的同時(shí)，吸附前述覆蓋構(gòu)件。
25.根據(jù)權(quán)利要求17 19中任一項(xiàng)所述的裝載器分解方法，其特征在于， 前述第2降壓工序中，在對(duì)前述第2密閉空間進(jìn)行降壓的同時(shí)，吸附前述基底構(gòu)件。
全文摘要
提供了一種能夠分解測(cè)試用裝載器的裝載器分解裝置。分解測(cè)試用裝載器(60)的裝載器分解裝置(1)具備保持覆蓋構(gòu)件(80)的保持頭(11)、保持基底構(gòu)件(70)的保持臺(tái)(20)、使保持頭(11)遠(yuǎn)離保持臺(tái)(20)并使覆蓋構(gòu)件(80)和基底構(gòu)件(70)分離的第1搬送臂(16)，保持頭(11)具有在保持頭(11)和覆蓋構(gòu)件(80)之間形成第1密閉空間(13)的第1密閉構(gòu)件(12)，保持臺(tái)(20)具有在保持臺(tái)(20)和基底構(gòu)件(70)之間形成第2密閉空間(24)的第2密閉構(gòu)件(21)，裝載器分解裝置(1)還具備對(duì)密閉空間(13，24)進(jìn)行降壓的真空泵(90)。
文檔編號(hào)G01R1/04GK102288790SQ201110118319
公開(kāi)日2011年12月21日 申請(qǐng)日期2011年5月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月10日
發(fā)明者小暮吉成 申請(qǐng)人:株式會(huì)社愛(ài)德萬(wàn)測(cè)試