專利名稱：微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于工業(yè)自動(dòng)控制中的自動(dòng)測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
隨著材料與制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對(duì)產(chǎn)品的微小化和加工質(zhì)量提出了越來越高的要求，尋求有效的微測量手段已經(jīng)成為國內(nèi)外研究的熱點(diǎn)之一。尤其在精密加工行業(yè)中，常常需要對(duì)微結(jié)構(gòu)的三維尺寸進(jìn)行準(zhǔn)確和快速的測量。然而在微結(jié)構(gòu)的三維尺寸中，垂直方向尺寸相對(duì)于平面尺寸的測量較為困難。特別在工業(yè)現(xiàn)場，受環(huán)境溫度、沖擊和振動(dòng)等因素的影響，要實(shí)現(xiàn)微小深度尺寸的自動(dòng)測量更加困難。傳統(tǒng)的測量微小深度尺寸的儀器有很多，如機(jī)械儀表、觸針式儀器和體視顯微鏡等，都無法滿足現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的高效率和自動(dòng)化的檢測要求。近年來，隨著光電檢測技術(shù)和數(shù)字圖像處理技術(shù)的快速發(fā)展，圖像測量技術(shù)被越來越多的應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)中，如精密加工、電子、機(jī)械裝備、醫(yī)藥、印刷和食品等。精密加工行業(yè)運(yùn)用圖像測量技術(shù)對(duì)微小深度尺寸進(jìn)行非接觸測量時(shí)，常常需要對(duì)被測工件進(jìn)行精密的位置定位。目前雖然成熟的圖像測量系統(tǒng)和位置運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)已屢見不鮮，但結(jié)合圖像測量功能和位置運(yùn)動(dòng)控制于一體，能自動(dòng)、快速的測量微小深度尺寸的裝置還沒有出現(xiàn)，國內(nèi)外對(duì)這種測量裝置的需求將逐漸增大。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種高效、精確、自動(dòng)的微小深度尺寸圖像測量系統(tǒng)，要解決現(xiàn)有的微小深度尺寸測量儀器自動(dòng)化程度不高、測量參數(shù)單一、無法自動(dòng)精密定位等技術(shù)問題。為了實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明采取以下設(shè)計(jì)方案本發(fā)明主要組成部分包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)以及運(yùn)行在計(jì)算機(jī)中的專業(yè)圖像處理軟件等組成。測量微小深度尺寸時(shí)，被測表面的輪廓光帶信號(hào)經(jīng)由微小深度尺寸測量光路成像在電子目鏡的CMOS面陣上，計(jì)算機(jī)通過USB接口采集電子目鏡上的光帶圖像信號(hào)， 利用數(shù)字圖像處理技術(shù)，對(duì)圖像進(jìn)行預(yù)處理，判斷被測對(duì)象是否定位在最佳成像位置；四軸運(yùn)動(dòng)控制卡根據(jù)圖像處理結(jié)果和軟件指令，向步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)工作臺(tái)到達(dá)到最佳成像位置，然后進(jìn)行微小深度尺寸的高精度測量。計(jì)算機(jī)通過PC104總線接口(插座)與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)與微小深度尺寸測量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中，專業(yè)圖像處理軟件安裝在計(jì)算機(jī)中。微小深度尺寸測量光路主要由半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡組成。半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測表面上形成一條寬度很窄的紅色光帶。光帶經(jīng)過反射或漫反射，通過濾光片濾去雜光，然后通過顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理。計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡和電子目鏡構(gòu)成了本發(fā)明的最核心部分，它們負(fù)責(zé)系統(tǒng)軟件的運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)屏幕顯示、按鍵輸入、圖像采集和處理、4個(gè)位移平臺(tái)(電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái))的運(yùn)動(dòng)控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡通過接插件與步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，根據(jù)系統(tǒng)軟件指令對(duì)步進(jìn)電機(jī)實(shí)施控制，并對(duì)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)的各種狀態(tài)進(jìn)行在線監(jiān)測。整個(gè)系統(tǒng)的執(zhí)行單元主要是由電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)，以及與它們相連的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡對(duì)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，控制信號(hào)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器放大處理后直接驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸與電動(dòng)位移平臺(tái)上的機(jī)械傳動(dòng)裝置相連，電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過機(jī)械傳動(dòng)裝置帶動(dòng)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)完成各自的運(yùn)動(dòng)。專業(yè)的圖像處理軟件主要由圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、自動(dòng)調(diào)焦模塊、X-Y 方向定位模塊、參數(shù)設(shè)置模塊和圖像測量模塊組成。圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；圖像預(yù)處理模塊包括圖像灰度化、 濾波、閾值分割、數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作；自動(dòng)調(diào)焦模塊包括調(diào)焦函數(shù)計(jì)算、粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦操作； X-Y方向定位模塊包括特征點(diǎn)提取、X方向定位和Y方向定位操作；參數(shù)設(shè)置模塊包括設(shè)置測量參數(shù)(如表面粗糙度、刻痕深度和量塊厚度差等)以及步進(jìn)電機(jī)參數(shù)操作；圖像測量模塊包括邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。系統(tǒng)軟件工作流程微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)通電后首先進(jìn)行初始化，加載計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器以及與之相連的各種設(shè)備；加載結(jié)束后，進(jìn)行系統(tǒng)完整性測試，驗(yàn)證各個(gè)設(shè)備狀態(tài)，通過測試后，系統(tǒng)軟件啟動(dòng)完畢，進(jìn)入圖像采集狀態(tài)。 首先對(duì)采集到得圖像進(jìn)行預(yù)處理，包括圖像灰度化、中值濾波、閾值分割和數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)處理。然后根據(jù)預(yù)處理后的圖像判斷出被測對(duì)象是否定位在最佳成像位置上，當(dāng)被測對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測量模塊。否則，需要進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作。調(diào)焦過程為首先計(jì)算調(diào)焦函數(shù)，然后根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制Z方向電動(dòng)升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來依次完成粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦。X-Y方向定位過程為首先提取圖像中的特征點(diǎn)，然后根據(jù)特征點(diǎn)的二維坐標(biāo)來控制X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向定位控制。 調(diào)焦和X-Y方向定位操作完成后，再判斷此時(shí)的被測對(duì)象是否處于最佳成像位置，當(dāng)被測對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測量模塊，進(jìn)行邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。否則，需要再次進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作，直到被測對(duì)象被判斷為處于最佳成像位置為止。系統(tǒng)持續(xù)運(yùn)行直至關(guān)機(jī)，正常關(guān)機(jī)前保存當(dāng)前數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)和配置文件寫入系統(tǒng)的內(nèi)置存儲(chǔ)器中。本套測量系結(jié)合了圖像測量功能和自動(dòng)定位控制功能于一體，能完成多種微小深
4度參數(shù)的測量，如表面粗糙度、刻痕深度以及量塊厚度差等，能大大提高測量精度及測量效率。同時(shí)，由于本套系統(tǒng)是基于非接觸的光學(xué)檢測方法，對(duì)測量環(huán)境要求不高，能運(yùn)用于現(xiàn)場測量和在線測量中，為高精度的加工行業(yè)提供了關(guān)鍵技術(shù)的保障。


圖1為本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意框圖2為本發(fā)明中微小深度尺寸測量光路圖； 圖3為本發(fā)明中圖像處理軟件模塊圖； 圖4為本發(fā)明軟件流程圖中，1.計(jì)算機(jī)、2.四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、3.微小深度尺寸測量光路、4.電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、5. Z 方向電動(dòng)升降臺(tái)、6. Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、7. X方向電動(dòng)平移臺(tái)、8 11.步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、 12 15.步進(jìn)電機(jī)。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)進(jìn)行詳細(xì)的描述。1、硬件部分
本發(fā)明的微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)如圖1所示，包括計(jì)算機(jī)1、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡 2、微小深度尺寸測量光路3、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)4、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)5、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)6、X方向電動(dòng)平移臺(tái)7、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器8、9、10、11、步進(jìn)電機(jī)12、13、14、15以及運(yùn)行在計(jì)算機(jī)中的專業(yè)圖像處理軟件等組成。微小深度尺寸測量光路如圖2所示，主要由半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡組成。半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測表面上形成一條寬度很窄的紅色光帶。光帶經(jīng)過反射或漫反射，通過濾光片濾去雜光，然后通過顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理。計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡和電子目鏡構(gòu)成了本發(fā)明的最核心部分，它們負(fù)責(zé)系統(tǒng)軟件的運(yùn)行，實(shí)現(xiàn)屏幕顯示、按鍵輸入、圖像采集和處理、4個(gè)位移平臺(tái)(電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和Z方向電動(dòng)升降臺(tái))的運(yùn)動(dòng)控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡采用研華PCI-1243U的4軸智能步進(jìn)電機(jī)控制卡，該卡使用了 P⑶-4541運(yùn)動(dòng)控制器，可以執(zhí)行各種運(yùn)動(dòng)控制指令。每個(gè)軸都可以通過板卡上的I/O寄存器直接控制。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡有1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的PC104總線接口(插針)，通過它與計(jì)算機(jī)相連； 對(duì)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制分別由4個(gè)插件與步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連，運(yùn)動(dòng)控制信號(hào)采用位置控制方式，即脈沖、方向控制。整個(gè)系統(tǒng)的執(zhí)行單元主要是由電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)，以及與它們相連的步進(jìn)電機(jī)和步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器構(gòu)成。電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用賽凡7SRA160電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，Z方向電動(dòng)升降臺(tái)用賽凡7SVA160電動(dòng)升降臺(tái)，Y方向電動(dòng)平移臺(tái)采用賽凡7STA0450A電動(dòng)平移臺(tái)，X方向電動(dòng)平移臺(tái)采用賽凡7STA04200A電動(dòng)平移臺(tái)， 4個(gè)電動(dòng)臺(tái)的標(biāo)配電機(jī)都為42步進(jìn)電機(jī)。四軸運(yùn)動(dòng)控制卡對(duì)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器發(fā)出控制信號(hào)，控制信號(hào)經(jīng)由驅(qū)動(dòng)器放大處理后直接驅(qū)動(dòng)對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)。步進(jìn)電機(jī)的旋轉(zhuǎn)軸與電動(dòng)位移平臺(tái)上的機(jī)械傳動(dòng)裝置相連，電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)通過機(jī)械傳動(dòng)裝置帶動(dòng)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)完成各自的運(yùn)動(dòng)。2、軟件部分
專業(yè)的圖像處理軟件主要由圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、自動(dòng)調(diào)焦模塊、X-Y方向定位模塊、參數(shù)設(shè)置模塊和圖像測量模塊組成，軟件界面如圖3所示。圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；圖像預(yù)處理模塊包括圖像灰度化、 濾波、閾值分割、數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作；自動(dòng)調(diào)焦模塊包括調(diào)焦函數(shù)計(jì)算、粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦操作； X-Y方向定位模塊包括特征點(diǎn)提取、X方向定位和Y方向定位操作；參數(shù)設(shè)置模塊包括設(shè)置測量參數(shù)(如表面粗糙度、刻痕深度和量塊厚度差等)以及步進(jìn)電機(jī)參數(shù)操作；圖像測量模塊包括、邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。系統(tǒng)軟件工作流程微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)通電后首先進(jìn)行初始化，加載計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器以及與之相連的各種設(shè)備；加載結(jié)束后，進(jìn)行系統(tǒng)完整性測試，驗(yàn)證各個(gè)設(shè)備狀態(tài)，通過測試后，系統(tǒng)軟件啟動(dòng)完畢，進(jìn)入圖像采集狀態(tài)。 首先對(duì)采集到得圖像進(jìn)行預(yù)處理，包括圖像灰度化、中值濾波、閾值分割和數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)處理。然后根據(jù)預(yù)處理后的圖像判斷出被測對(duì)象是否定位在最佳成像位置上，當(dāng)被測對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測量模塊。否則，需要進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作。調(diào)焦過程為首先計(jì)算調(diào)焦函數(shù)，然后根據(jù)計(jì)算結(jié)果控制Z方向電動(dòng)升降臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來依次完成粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦。X-Y方向定位過程為首先提取圖像中的特征點(diǎn)，然后根據(jù)特征點(diǎn)的二維坐標(biāo)來控制X方向電動(dòng)平移臺(tái)和Y方向電動(dòng)平移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)來實(shí)現(xiàn)兩個(gè)方向定位控制。 調(diào)焦和X-Y方向定位操作完成后，再判斷此時(shí)的被測對(duì)象是否處于最佳成像位置，當(dāng)被測對(duì)象處于最佳成像位置時(shí)，程序直接進(jìn)入圖像測量模塊，進(jìn)行邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。否則，需要再次進(jìn)行調(diào)焦和X-Y方向定位操作，直到被測對(duì)象被判斷為處于最佳成像位置為止。系統(tǒng)持續(xù)運(yùn)行直至關(guān)機(jī)，正常關(guān)機(jī)前保存當(dāng)前數(shù)據(jù)，并將數(shù)據(jù)和配置文件寫入系統(tǒng)的內(nèi)置存儲(chǔ)器中，軟件運(yùn)行流程如圖4所示。
權(quán)利要求
1.微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)，包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)以及圖像處理軟件，其特征在于計(jì)算機(jī)通過PC104總線接口與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)通過USB 口與微小深度尺寸測量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與四個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，每個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中，圖像處理軟件安裝在計(jì)算機(jī)中；所述的微小深度尺寸測量光路包括半導(dǎo)體激光器、柱面鏡、濾光片、顯微物鏡以及電子目鏡；半導(dǎo)體激光器發(fā)出的光經(jīng)過柱面鏡形成一個(gè)平面光投射在工件表面上，在被測表面上形成一條紅色光帶；紅色光帶經(jīng)過反射或漫反射，通過濾光片濾去雜光，然后通過顯微物鏡后在電子目鏡中的CMOS面陣上成像，圖像信號(hào)經(jīng)由USB信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)中進(jìn)行保存和處理；所述的圖像處理軟件包括圖像采集模塊、圖像預(yù)處理模塊、自動(dòng)調(diào)焦模塊、X-Y方向定位模塊、參數(shù)設(shè)置模塊和圖像測量模塊；所述的圖像采集模塊包括圖像采集、顯示及保存操作；所述的圖像預(yù)處理模塊包括圖像灰度化、圖像濾波、圖像閾值分割及圖像數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)操作；所述的自動(dòng)調(diào)焦模塊包括調(diào)焦函數(shù)計(jì)算、粗調(diào)焦和細(xì)調(diào)焦操作；所述的X-Y方向定位模塊包括特征點(diǎn)提取、X方向定位和Y方向定位操作；所述的參數(shù)設(shè)置模塊包括設(shè)置測量參數(shù)以及步進(jìn)電機(jī)參數(shù)操作；所述的圖像測量模塊包括邊緣提取、細(xì)化、公式計(jì)算和圖像標(biāo)定操作。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種微小深度尺寸自動(dòng)圖像測量系統(tǒng)。本發(fā)明包括計(jì)算機(jī)、四軸運(yùn)動(dòng)控制卡、微小深度尺寸測量光路、電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)、X方向電動(dòng)平移臺(tái)、步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、步進(jìn)電機(jī)以及圖像處理軟件。計(jì)算機(jī)通過PC104總線接口與四軸運(yùn)動(dòng)控制卡相連接，計(jì)算機(jī)通過USB口與微小深度尺寸測量光路相連接，四軸運(yùn)動(dòng)控制卡與四個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連接，每個(gè)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器與對(duì)應(yīng)的步進(jìn)電機(jī)相連接，步進(jìn)電機(jī)分別安裝在電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)、Z方向電動(dòng)升降臺(tái)、Y方向電動(dòng)平移臺(tái)和X方向電動(dòng)平移臺(tái)中，圖像處理軟件安裝在計(jì)算機(jī)中。本發(fā)明結(jié)合了圖像測量功能和自動(dòng)定位控制功能于一體，能完成多種微小深度參數(shù)的測量。
文檔編號(hào)G01B11/22GK102419157SQ20111024141
公開日2012年4月18日 申請日期2011年8月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月22日
發(fā)明者余桂英, 周敏, 張波, 徐永明, 黃柳 申請人:中國計(jì)量學(xué)院, 杭州富光科技有限公司