專利名稱：用于估計無重力形狀的方法和裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本公開內(nèi)容涉及用于估計柔性物體的無重力形狀的方法和裝置，所述柔性物體如用于顯示設(shè)備(例如液晶顯示器OXD))中的那類薄玻璃板。
背景技術(shù)：
諸如玻璃板之類的柔性物體的無重力形狀的知識就理解和控制以下項是有價值的1)用來制造該物體的過程，例如在玻璃板的情況下的下拉熔制法，和2、該物體在使用期間的性能，例如玻璃板在被真空夾持(chuck)至平坦平面時的性能。例如參見共同轉(zhuǎn)讓的美國專利7，509，218和PCT專利公布WO 2009/108302，該美國專利和PCT專利公布的內(nèi)容均以引用的方式全部被納入本文。隨著在顯示設(shè)備中用作襯底的玻璃板變得更大和更薄，確定所述板的無重力形狀變得尤其有挑戰(zhàn)性。例如，用于液晶顯示器的GEN 10襯底具有大于9平方米 (2, 880x3, 130mm)的面積和0. 7mm的厚度，甚至更薄的板變得越來越受歡迎。盡管美國專利7，509，218的“針床”(bed-of-nails) (BON)技術(shù)可用于這樣的更大和更薄的板，但是隨著玻璃板變得更大，獲得高分辨率所需的測量組件的數(shù)量(即，可調(diào)節(jié)釘與測壓元件組合的數(shù)量)變得相當(dāng)大。這又導(dǎo)致高設(shè)備成本。此外，隨著組件的數(shù)量增加，由于有缺陷的測量組件而導(dǎo)致的誤差變得更普遍。此外，美國專利7，509，218的用于調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)釘?shù)母叨鹊膬?yōu)選算法將所述釘中的三個釘?shù)奈恢霉潭?。實踐中，這樣的固定高度導(dǎo)致形狀誤差集中在固定高度的釘所支承的板的位置，這可能損害形狀確定的精確性。本公開內(nèi)容提供1)用于對于給定數(shù)量的測量組件獲得更高分辨率的方法和裝置，2)用于確認(rèn)形狀確定的可靠性的方法和裝置，以及幻用于將形狀誤差分?jǐn)傇谡M可調(diào)節(jié)釘/測壓元件組件上的方法和裝置。這些特征可單獨使用或組合使用，因而可用來解決與使用BON技術(shù)確定無重力形狀有關(guān)的上述問題中的一些或全部。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)第一方面，公開了一種獲得柔性物體(140)的無重力形狀的估計的方法，該方法包括(I)將柔性物體(140)支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘(110)上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟㈧和⑶調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘(110)的高度(A)測量在每個釘(110)處柔性物體(140)的重量(112)；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘(110)的高度(114)；(III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟(II)的迭代；(IV)在不從釘(110)上移走柔性物體(140)的情況下，在步驟(III)之后使用具有比任意兩個釘(110)之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)(200)測量柔性物體的形狀；以及(V)從步驟(IV)的測量形狀減去支撐在釘上的平坦物體的計算形狀，該平坦物體具有與柔性物體(140)相同的尺寸和機械性能，所得到的差為柔性物體(140)的無重力形狀的估計。根據(jù)第二方面，公開了一種獲得柔性物體(140)的無重力形狀的估計的方法，該柔性物體(140)具有相反的第一表面和第二表面，該方法包括(I)將柔性物體(140)的第一表面支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘(110)上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟㈧和⑶調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘(110)的高度(114)(A)測量在每個釘(110)處柔性物體(140)的重量(112)；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘(110)的高度(114)；(III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟(II)的迭代；(IV)在不從釘(110)上移走柔性物體(140)的情況下，在步驟(III)之后使用具有比任意兩個釘(Iio)之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)(200)測量柔性物體的形狀；(V)將柔性物體(140)的第二表面支撐在上述多個高度可調(diào)節(jié)的釘(110)上；(VI)通過迭代地執(zhí)行以下步驟㈧和⑶調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘(110)的高度(114)(A)測量在每個釘(110)處柔性物體(140)的重量(112)；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘(110)的高度(114)；(VII)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟(VI)的迭代；(VIII)在不從釘(110)上移走柔性物體(140)的情況下，在步驟(VII)之后使用具有比任意兩個釘之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)(200)測量柔性物體的形狀；(IX)基于柔性物體(140)的物理位置將步驟(IV)和(VIII)的測量數(shù)據(jù)對準(zhǔn)；以及(X)使用步驟(IX)的對準(zhǔn)數(shù)據(jù)計算柔性物體(140)的無重力形狀的估計。根據(jù)第三方面，公開了一種獲得柔性物體的無重力形狀的估計的方法，該方法包括(I)將柔性物體(140)支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘(110)上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟㈧和⑶調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘(110)的高度(114)(A)測量在每個釘(110)處柔性物體(140)的重量(112)；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘(110)的高度(114)；(III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟(II)的迭代；其中(i)釘(110)的高度(114)是柔性物體(140)的無重力形狀的估計；以及(ii)最小平方最小化方法用來將步驟(II) (A)的測量重量轉(zhuǎn)化成步驟(II) (B)的
5高度調(diào)節(jié)。在本公開內(nèi)容的各個方面的以上概述中使用的參考標(biāo)號僅為了讀者的便利，意不在并且不應(yīng)被解釋為限制本發(fā)明的范圍。更一般地，應(yīng)理解，前述一般描述和以下詳細(xì)描述都只是對本發(fā)明的示例，意在提供用于理解本發(fā)明的性質(zhì)和特性的概覽或框架。本發(fā)明的附加特征和優(yōu)點在接下來的詳細(xì)描述中進(jìn)行闡述，并且部分地根據(jù)所述描述對本領(lǐng)域技術(shù)人員來說將是易于明顯的或通過如本文中的描述所示例的那樣實施本發(fā)明將被認(rèn)識到。包括附圖以提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，所述附圖被納入該說明書并構(gòu)成該說明書的一部分。應(yīng)理解，該說明書中及圖中公開的本發(fā)明的各個特征可以無論什么組合使用。


圖1是應(yīng)用BON量具和具有比該BON量具精細(xì)的空間分辨率的第二量具的測量系統(tǒng)的一個實施方案的示意圖。圖2是使用BON量具和具有更精細(xì)分辨率的第二量具獲得的測量形狀的3D圖。圖3是在平板被放置在具有相同間距的釘陣列上并在該板上的與圖2中相同的點上使用第二量具對其進(jìn)行測量時為該平板計算的理論下陷模式的3D圖。圖4是通過從圖3中所示的理論下陷減去圖2中的數(shù)據(jù)計算的估計無重力板形狀的3D圖。所得到的形狀在釘之間顯示出一點下陷的跡象，并且平滑變化。圖5是A側(cè)形狀的2D輪廓圖。圖6是B側(cè)形狀的2D輪廓圖。圖7是鏡面反射后的圖6中的B側(cè)形狀的2D輪廓圖。圖8是將B側(cè)形狀鏡面反射和顛倒后的(A+B) /2的2D輪廓圖。圖9是圖8中的(A+B) /2數(shù)據(jù)的3D圖。圖10是將B側(cè)形狀鏡面反射和顛倒后的(A-B)/2的2D輪廓圖。(A-B)/2估計所計算的下陷。圖11是圖3中的所計算的(理論)下陷的2D輪廓圖。圖12是示出用于調(diào)節(jié)釘高度的固定釘方法的重量誤差與釘位置之間的關(guān)系的圖表。圖13是示出用于調(diào)節(jié)釘高度的最小平方最小化方法重量誤差與釘位置之間的關(guān)系的圖表。圖5-8和10-11中的圖例以毫米為單位。
具體實施例方式如上文所述，本公開內(nèi)容涉及用于確定柔性物體的無重力形狀的針床(BON)技術(shù)。為便于陳述，以下論述經(jīng)常具體提及玻璃板(或玻璃襯底)，應(yīng)理解，本發(fā)明不限于玻璃板/襯底，而是可用于期望了解其無重力形狀的任何柔性物體。圖1是示出可用于本公開內(nèi)容的實施中的BON測量系統(tǒng)100(在本文中也稱為 “Β0Ν量具”)的一個實施方案的示意圖。在該系統(tǒng)中，用一組釘從下面支撐所述板。所述釘能夠豎直運動并可測量源于板的支撐力。還可測量每個釘?shù)囊苿印?br> 更具體地，BON量具100可包括多個釘110、量具基底120和處理器130。柔性物體充當(dāng)測量對象140，在圖1中該測量對象140被示為玻璃襯底140。襯底140擱在多個釘 110的頂部，當(dāng)測量對象140在重力作用下屈曲時，每個釘110承受特定重量。每個釘110 包括測壓元件112以測量由該釘110支撐的特定重量。測壓元件112可安裝在高度調(diào)節(jié)器 114的頂部，該高度調(diào)節(jié)器114是一個以已知方式調(diào)節(jié)釘110的高度的設(shè)備，該設(shè)備優(yōu)選是機動的。可想到其它布置，諸如使測壓元件112在下面，慮及高度調(diào)節(jié)器114的重量等。每個測壓元件112可經(jīng)由電路116將有關(guān)所測得的釘力的測量信號132傳送至處理器130，然后處理器130可執(zhí)行算法(見下文)以為每個釘110計算必要的高度調(diào)節(jié)。處理器130可經(jīng)由電路116將調(diào)節(jié)信號134傳送至每個高度調(diào)節(jié)器114以執(zhí)行所計算的高度調(diào)節(jié)。如圖1中所示，在某些實施方案中，整個測量系統(tǒng)可包括第二測量系統(tǒng)200(在本文中也稱為“第二量具”)，該第二測量系統(tǒng)200可以具有比BON量具更精細(xì)的空間分辨率。 具體地，第二量具200可具有比任意兩個釘110之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率。量具200可包括傳感器頭74和控制器82，該傳感器頭74相對于襯底140被掃描，該控制器82 控制該傳感器頭的運動并從該傳感器接收關(guān)于所述襯底的形狀的測量數(shù)據(jù)。一般而言，特別是對于大襯底，掃描會包括在保持襯底140固定的同時移動傳感器頭74，不過如果期望， 襯底可相對于傳感器頭運動，或者襯底和傳感器頭都可運動。量具200可包括例如激光位移傳感器，不過如果期望，可使用本領(lǐng)域已知的用于測量距離的其它設(shè)備。激光設(shè)備可包括簡單的激光測距設(shè)備，或更復(fù)雜的設(shè)備，例如像邁克耳孫干涉儀。合適的傳感器例如是美國的Keyence Corporation(新澤西州伍德克利夫湖)出售的LT8110共焦激光位移傳感器。 合適的傳感器的其它制造商包括北卡羅來納州羅利的Micro-Epsilon(例如，第二量具可包括由Aerotech Inc.(賓夕法尼亞州匹茲堡)的臺架承載的Micro-Epsilon彩色共焦位移傳感器。概述而言，BON測量系統(tǒng)通過調(diào)節(jié)釘?shù)母叨戎钡矫總€釘支撐特定目標(biāo)重量來運作。 目標(biāo)重量通過在玻璃板被支撐在釘上時對其執(zhí)行應(yīng)力分析來確定，例如使用可買到的軟件如ANSYS he.(賓夕法尼亞州Canonsburg)出售的軟件執(zhí)行有限元應(yīng)力分析。當(dāng)所有釘處在其規(guī)定重量下時，所述釘正支撐處在無重力形狀下的特定襯底。此時所述釘?shù)呢Q直高度提供所述襯底的無重力形狀的估計，該估計的空間分辨率由所述釘之間的間距決定。如果期望具有更精細(xì)空間分辨率的估計，可以如下方法測量用可調(diào)節(jié)釘保持在其無重力形態(tài)下的襯底的形狀使用第二量具掃描襯底表面并測量整個表面上即所述釘處及其之間的高度。然后，可通過減去對于一個下陷模式來修正使用第二量具的測量，該下陷模式存在于用于完全平坦的板的釘之間，所述完全平坦的板與被測量的板具有基本相同的釘上位置(例如，標(biāo)稱位置)并具有基本相同的尺寸和機械性能。更具體地，在一個實施方案中，可使用例如以下流程圖估計柔性物體的無重力形狀，所述流程圖例如可與美國專利7，509，218中圖2和3中的流程圖以及圖4中的計算機系統(tǒng)的一般要素相結(jié)合來實施1. 0對于具有已知尺寸和機械性能的板的預(yù)計算1. 1使用例如有限元分析預(yù)計算目標(biāo)重量以慮及板懸垂；一般而言，該分析假設(shè)所述板具有恰當(dāng)?shù)某叽?，具有均勻的厚度和均勻的機械性能，并被放在釘上使得懸垂在各處(板的標(biāo)稱位置)都相同；如果期望，可以放松這些假設(shè)中的一個或多個，例如，可以基于每個待測量的板在釘上的實際對準(zhǔn)為該板計算預(yù)計算目標(biāo)重量。1. 2使用例如有限元分析預(yù)計算一個完全平坦的板的下陷模式，所述完全平坦的板具有待測量的板的標(biāo)稱尺寸和機械性能且在釘上具有標(biāo)稱位置。1. 3預(yù)計算“前向”矩陣，該“前向”矩陣、將第k個釘?shù)闹亓孔兓疉Wk與第j 個釘?shù)母叨茸兓ぁ⒙?lián)系起來。1. 4使用最小平方最小化技術(shù)預(yù)計算“逆”矩陣(^1，該“逆”矩陣( 估計最平滑的
一系列釘移動Δ~，其將使目標(biāo)重量誤差的平方和最小化。2. 0迭代釘高度直到釘重量與目標(biāo)重量相差一預(yù)定量和/或釘高度的最大變化小于某一預(yù)定量(例如，對于玻璃襯底為1微米)，和/或直到已經(jīng)完成預(yù)定數(shù)量的迭代。2.1 在每次迭代 i 中，氣(,·)= (/-1) + Ahj(I) = Hj(I-I) - G^AWk,
中“g”是通常小于1.0的增益參數(shù)；已經(jīng)發(fā)現(xiàn)，使用小于1. 0的增益參數(shù)提高測量對板中的熱應(yīng)力的靈敏度；如果增益等于1.0，系統(tǒng)初始可能不會發(fā)現(xiàn)熱應(yīng)力；當(dāng)然，如果期望，可以使用等于1.0 (或大于1. 0)的增益參數(shù)。3. 0用第二量具掃描板的形狀，使得以比釘間距更精細(xì)的空間尺度獲得板形狀的測量數(shù)據(jù)。3. 1從步驟3. 0的量具測量中減去來自步驟1. 2的所計算的下陷模式，以得到估計形狀。步驟1. 1中目標(biāo)重量的預(yù)計算以與美國專利7，509，218中所用的方式相似的方式執(zhí)行。因為板的尺寸(寬度/長度/厚度)是已知的，且BON釘陣列的位置也是已知的(N_ χ X N_y以及釘間距)，所以可以使用例如上文提到的商用ANSYS 有限元軟件計算具有已知尺寸的完全平坦的板的理論重量。這為k個釘中的每個賦予目標(biāo)重量Fk。如上文所述，在某些實施方案中，整個形狀測量系統(tǒng)可包括第二量具(例如激光量具)以在所有釘處在其最終位置之后測量板形狀，從而提供對板形狀的更詳細(xì)測量。該測量將不僅包含板的無重力形狀而且包含釘之間的下陷。步驟1. 2中預(yù)計算的下陷模式提供了一種將由第二量具測得的形狀的這兩個貢獻(xiàn)者分開的途徑。具體地，步驟1. 2中預(yù)計算的下陷模式針對特定釘間距和被測量的柔性物體提供釘間形狀，該釘間形狀可從總的測量減去以留下期望的無重力形狀。應(yīng)注意，為避免與將兩個具有相似大小的數(shù)字相減有關(guān)的問題，釘應(yīng)足夠近地在一起，使得所計算的釘間下陷模式適中，即相對于待用第二量具測量的物體的下陷模式別太大。在玻璃襯底的情況下，對于給定釘間距，釘間下陷的量將主要取決于玻璃的厚度，玻璃的硬度(楊氏模量) 起次要作用。步驟1. 2中預(yù)計算的下陷模式Smn = S (xffl, yn)是針對完全平坦的板。該下陷解例如可在執(zhí)行步驟1. 1的分析的同時獲得(例如，使用與用于步驟1. 1的相同的軟件包)。步驟1. 2中預(yù)計算的下陷模式用于步驟3. 1中，以“消除”平坦的板會具有的釘之間的下陷。 具體地，將針對平坦的板的預(yù)計算的下陷模式從第二量具所測得的下陷模式減去。如果所使用的唯一的形狀信息是釘高度，這樣的相減是不必要的，因為恰恰在釘處沒有下陷。為使該相減有效，需要以將用第二量具測量的格柵的精度計算下陷解或按該精度對下陷解進(jìn)行插值。因此，在某些實施方案中，步驟(2. 1)可具有兩個部分步驟(1.加)，其獲得下陷解；以及，步驟(1. 2b)，其按所考慮的測量格柵對該解進(jìn)行插值。以與美國專利7，509，218中所用的方式相似的方式，步驟1. 3預(yù)計算“前向”矩陣 Ekj，該“前向”矩陣、將第k個釘?shù)闹亓孔兓疉Wk與第j個釘?shù)母叨茸兓?、?lián)系起來
權(quán)利要求
1.一種獲得柔性物體的無重力形狀的估計的方法，包括(I)將柔性物體支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟(A)和(B)調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘?shù)母叨?A)測量在每個釘處柔性物體的重量；以及(B)基于測量重量來調(diào)節(jié)釘?shù)母叨龋?III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟 (II)的迭代；(IV)在不從釘上移走柔性物體的情況下，在步驟(III)之后使用具有比任意兩個釘之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)測量柔性物體的形狀；以及(V)從步驟(IV)的測量形狀減去支撐在釘上的平坦物體的計算形狀，該平坦物體具有與柔性物體相同的尺寸和機械性能，所得到的差為柔性物體的無重力形狀的估計。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，還包括(a)將柔性物體翻轉(zhuǎn)，并對翻轉(zhuǎn)的柔性物體執(zhí)行步驟(I)至(V)；以及(b)比較對于最初取向所估計的柔性物體的無重力形狀和對于翻轉(zhuǎn)取向所估計的柔性物體的無重力形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的方法，其中使用最小平方最小化方法執(zhí)行步驟 (II)。
4.一種獲得柔性物體的無重力形狀的估計的方法，所述柔性物體具有相反的第一表面和第二表面，所述方法包括(I)將柔性物體的第一表面支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟(A)和(B)調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘?shù)母叨?A)測量在每個釘處柔性物體的重量；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘?shù)母叨龋?III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟 (II)的迭代；(IV)在不從釘上移走柔性物體的情況下，在步驟(III)之后使用具有比任意兩個釘之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)測量柔性物體的形狀；(V)將柔性物體的第二表面支撐在上述多個高度可調(diào)節(jié)的釘上；(VI)通過迭代地執(zhí)行以下步驟(A)和(B)調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘?shù)母叨?A)測量在每個釘處柔性物體的重量；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘?shù)母叨龋?VII)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟 (VI)的迭代；(VIII)在不從釘上移走柔性物體的情況下，在步驟(VII)之后使用具有比任意兩個釘之間的最小間距更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)測量柔性物體的形狀；(IX)基于柔性物體上的物理位置將步驟(IV)和(VIII)的測量數(shù)據(jù)對準(zhǔn)；以及(X)使用步驟(IX)的對準(zhǔn)數(shù)據(jù)計算柔性物體的無重力形狀的估計。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中在步驟(X)中，對步驟(IV)和(VIII)的對準(zhǔn)數(shù)據(jù)取平均，該平均值為柔性物體的無重力形狀的估計。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的方法，還包括使用步驟(IX)的對準(zhǔn)數(shù)據(jù)計算步驟(I)至(IX)的可靠性的估計。
7.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的方法，其中計算對準(zhǔn)數(shù)據(jù)的差，所述差為步驟(I)至(IX)的可靠性的估計。
8.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的方法，其中從步驟(IV)和(VIII)的測量形狀減去支撐在釘上的平坦物體的計算形狀，該平坦物體具有與柔性物體相同的標(biāo)稱尺寸和機械性能。
9.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的方法，其中使用最小平方最小化方法執(zhí)行步驟(II)和(IV)中的每個。
10.根據(jù)權(quán)利要求4或權(quán)利要求5所述的方法，其中具有更精細(xì)的空間分辨率的測量系統(tǒng)是光學(xué)系統(tǒng)。
11.一種獲得柔性物體的無重力形狀的估計的方法，包括(I)將柔性物體支撐在多個高度可調(diào)節(jié)的釘上；(II)通過迭代地執(zhí)行以下步驟(A)和(B)調(diào)節(jié)可調(diào)節(jié)的釘?shù)母叨?A)測量在每個釘處柔性物體的重量；以及(B)基于測量重量調(diào)節(jié)釘?shù)母叨龋?III)當(dāng)?shù)螖?shù)、測量重量和/或高度變化滿足一個或多個預(yù)定標(biāo)準(zhǔn)時，終止步驟 (II)的迭代；其中(i)釘?shù)母叨仁侨嵝晕矬w的無重力形狀的估計；以及( )最小平方最小化方法用來將步驟(II) (A)的測量重量轉(zhuǎn)化成步驟(II) (B)的高度調(diào)節(jié)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括(a)將柔性物體翻轉(zhuǎn)，并對翻轉(zhuǎn)的柔性物體執(zhí)行步驟(I)至(III)；以及(b)比較對于最初取向所估計的柔性物體的無重力形狀和對于翻轉(zhuǎn)取向所估計的柔性物體的無重力形狀。
13.—種產(chǎn)品，包括計算機可讀存儲介質(zhì)，該計算機可讀存儲介質(zhì)具有包含在其中的計算機可讀代碼，用于執(zhí)行權(quán)利要求11的步驟(II)和(III)。
全文摘要
提供用于估計柔性物體(140)諸如薄玻璃板的無重力形狀的方法和裝置(100，200)。在某些實施方案中，使用針床(BON)量具(100)產(chǎn)生無重力形狀的估計，然后使用第二量具(200)以更高的空間分辨率測量所述形狀，同時從用第二量具測得的形狀減去BON量具的釘(110)之間的理論下陷。在其他實施方案中，在物體(140)的兩側(cè)執(zhí)行形狀測量，并且所述形狀測量用來估計無重力形狀估計的可靠性。在另外的實施方案中，針床量具(100)在調(diào)節(jié)釘(110)的高度時使用最小平方最小化方法。
文檔編號G01B21/20GK102435162SQ20111025302
公開日2012年5月2日 申請日期2011年8月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月27日
發(fā)明者C·R·尤斯坦內(nèi)克, D·R·哈維, J·S·艾伯特三世 申請人:康寧股份有限公司