專利名稱：一種高精度調(diào)整裝置及高精度調(diào)整方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種高精度調(diào)整裝置及高精度調(diào)整方法。
背景技術(shù)：
目前，在機(jī)械和半導(dǎo)體行業(yè)中，重要的零部件之間機(jī)械調(diào)整精度(微米級(jí))及安裝精度多采用調(diào)整裝置來進(jìn)行調(diào)整及定位。例如安裝集成電路制造設(shè)備光刻機(jī)的零位傳感器部件也采用調(diào)整裝置來調(diào)整定位?，F(xiàn)在，多數(shù)精密機(jī)械的安裝都采用通用調(diào)整裝置或?qū)Ｓ谜{(diào)整裝置來完成?，F(xiàn)有技術(shù)的通用調(diào)整裝置或?qū)Ｓ谜{(diào)整裝置可以比較容易實(shí)現(xiàn)對工件進(jìn)行十微米及幾十微米的調(diào)整及定位。但是，當(dāng)工件安裝需要一兩個(gè)微米的調(diào)整及定位時(shí)現(xiàn)有技術(shù)的通用調(diào)整裝置或?qū)Ｓ谜{(diào)整裝置就很難實(shí)現(xiàn)。同時(shí)，當(dāng)裝置不是放置在零部件上而是懸掛在零部件上，或當(dāng)工件的設(shè)計(jì)(如尺寸和形狀有所變化時(shí))、加工(加工誤差)、安裝(安裝誤差)有所變化時(shí)，需要調(diào)整裝置能隨工件作相應(yīng)的變化，現(xiàn)有技術(shù)的通用調(diào)整裝置和專用調(diào)整裝置就不能同時(shí)滿足這些要求。同時(shí)，有些通用調(diào)整裝置和專用調(diào)整裝置對工件進(jìn)行微米級(jí)的定位時(shí)，要求裝置上零件的尺寸精確程度的等級(jí)很高，從而造成很高的加工成本，甚至有些較高的尺寸精度無法通過機(jī)械加工來實(shí)現(xiàn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種高精度調(diào)整裝置及高精度調(diào)整方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)的調(diào)整裝置無法有效實(shí)現(xiàn)對裝置進(jìn)行高精度調(diào)整的問題。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種高精度調(diào)整裝置，包括底板、調(diào)平臺(tái)、方鏡、連接支架部件；所述調(diào)平臺(tái)固定于所述底板之上；所述方鏡安裝于所述調(diào)平臺(tái)上，所述底板上固定有兩個(gè)或兩個(gè)以上所述連接支架部件；所述連接支架部件支撐待調(diào)整裝置并調(diào)整所述被測裝置的高度?？蛇x的，所述連接支架部件包括連接支架、導(dǎo)桿螺母、非標(biāo)螺母、O型圈、螺桿、定位螺釘；所述連接支架具有中心孔；所述導(dǎo)桿螺母具有中心孔；所述導(dǎo)桿螺母穿過所述連接支架的中心孔，其一端具有螺紋且突出于所述連接支架，另一端位于所述連接支架內(nèi)且具有圓環(huán)形凸臺(tái)；所述O型圈安裝在所述導(dǎo)桿螺母的圓環(huán)形凸臺(tái)之上；所述螺桿穿過所述導(dǎo)桿螺母的中心孔安裝于所述連接支架內(nèi)且其兩端突出于所述連接支架，所述螺桿的底端具有螺紋，中間設(shè)置有圓環(huán)形凸臺(tái)，所述導(dǎo)桿螺母圓環(huán)形凸臺(tái)的下端面同所述螺桿圓環(huán)形凸臺(tái)的上端面相接觸；所述非標(biāo)螺母安裝于所述導(dǎo)桿螺母上具有螺紋的位置處，第一螺釘安裝于所述非標(biāo)螺母上，對所述非標(biāo)螺母位置進(jìn)行固定；所述定位螺釘穿過所述底板通過所述螺桿底端的螺紋固定于所述螺桿上?？蛇x的，所述連接支架部件還包括第二螺釘，所述第二螺釘穿過所述連接支架安裝于所述底板上，將所述連接支架固定于所述底板上?？蛇x的，所述連接支架部件還包括內(nèi)螺紋圓柱銷，所述內(nèi)螺紋圓柱銷安裝于連接支架頂部的銷釘孔上?？蛇x的，所述連接支架部件還包括導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿安裝于所述連接支架內(nèi)且其頂端突出于所述連接支架。可選的，所述調(diào)平臺(tái)上互相垂直的兩個(gè)側(cè)面上固定有彈性定位座，所述底板上還固定有階梯銷和階梯偏心銷，所述階梯銷和所述階梯偏心銷位于所述調(diào)平臺(tái)上另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面，通過所述階梯銷和所述階梯偏心銷固定所述方鏡互相垂直的兩個(gè)側(cè)面的位置，同時(shí)通過所述彈性定位座固定所述方鏡另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面的位置，固定所述方鏡于所述調(diào)平臺(tái)上。可選的，所述連接支架部件的數(shù)量為三個(gè)且其位置呈三角分布于所述底板上?？蛇x的，所述連接支架具有的中心孔為階梯形式中心孔，所述中心孔的下端面有螺紋?？蛇x的，所述連接支架的一側(cè)面具有腰型孔，所述腰型孔的深度穿至所述中心孔；與所述腰型孔成一定角度的一側(cè)面具有兩個(gè)細(xì)長槽，所述細(xì)長槽的深度穿至所述腰型孔的一側(cè)面；所述兩個(gè)細(xì)長槽中間有兩個(gè)或多個(gè)通孔，所述通孔的深度穿至所述腰型孔一側(cè)面；每個(gè)所述通孔還對應(yīng)設(shè)置一個(gè)螺紋孔，每個(gè)所述螺紋孔同與其對應(yīng)的所述螺紋孔同心，所述螺紋孔的起始面是從腰型孔另一側(cè)面開始。本發(fā)明還提供一種使用上述的高精度調(diào)整裝置的高精度調(diào)整方法，采用三點(diǎn)確定一個(gè)平面的公理來測量一個(gè)基準(zhǔn)相對于另一個(gè)原始基準(zhǔn)的平行度，同時(shí)采用高精度裝置作為原始基準(zhǔn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行測校，包括以下步驟對所述高精度調(diào)整裝置導(dǎo)桿螺母的上端面的平面度進(jìn)行測量，如果平面度不滿足要求則旋轉(zhuǎn)所述非標(biāo)螺母，調(diào)整所述導(dǎo)桿螺母的上端面的高度，直至所述導(dǎo)桿螺母的上端面的平面度誤差達(dá)到微米級(jí)，擰緊所述第一螺釘使得所述非標(biāo)螺母的位置得到固定；將待調(diào)整裝置固定于所述高精度調(diào)整裝置的連接支架部件上，使得所述待調(diào)整裝置的底面同所述導(dǎo)桿螺母的上端面處于同一平面內(nèi)；使用至少三個(gè)光源，使所述光源發(fā)出的光照射到所述方鏡及所述待調(diào)整裝置上，通過每個(gè)所述光源計(jì)算出所述待調(diào)整裝置的下底面同所述方鏡上端面之間的距離H，判斷每個(gè)光源所對應(yīng)得到的H值之間的差值是否達(dá)到規(guī)定值，若沒有達(dá)到則調(diào)整所述待調(diào)整裝置的位置，直至每個(gè)光源所對應(yīng)得到的H值之間的差值達(dá)到規(guī)定值?？蛇x的，計(jì)算所述待調(diào)整裝置的下底面與所述方鏡上端面之間的距離H的方法為首先，光源發(fā)出的光從光源照射到所述待調(diào)整裝置的下底面，測量得到從光源至光在所述待調(diào)整裝置下底面的入射點(diǎn)之間的距離HA ;其次，光源發(fā)出的光經(jīng)過反射照射到所述方鏡上端面時(shí)，測量得到從光源至光在所述方鏡上端面的入射點(diǎn)之間的距離HB ;最后用HA減去HB即得到所述待調(diào)整裝置的下底面與所述方鏡上端面之間的距離H。本發(fā)明提供的高精度調(diào)整裝置通過高精度的調(diào)整連接支架部件中三個(gè)導(dǎo)桿螺母的三個(gè)端面的平面度，從而可實(shí)現(xiàn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行微米級(jí)的調(diào)整。該高精度調(diào)整裝置的定位精度可調(diào)，調(diào)整裝置可以通過調(diào)整獲得微米級(jí)定位精度，且調(diào)整方便，快速。同時(shí)待調(diào)整裝置的安裝基準(zhǔn)和調(diào)整基準(zhǔn)之間的距離可以很大，當(dāng)待調(diào)整裝置的設(shè)計(jì)、加工、安裝有所變化時(shí)本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置更能隨待調(diào)整裝置作相應(yīng)的調(diào)整。本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，重量輕，零件尺寸精確程度的等級(jí)不高，因此加工難度小，加工成本低。本發(fā)明提供的高精度調(diào)整方法，采用三點(diǎn)確定一個(gè)平面的公理來測量一個(gè)基準(zhǔn)相對于另一個(gè)原始基準(zhǔn)的平行度，同時(shí)采用高精度裝置作為原始基準(zhǔn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行測校。


圖1為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的右視結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖8為對本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置進(jìn)行調(diào)整時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為使用本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置對一待調(diào)整裝置進(jìn)行高精度調(diào)整的方法示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。本發(fā)明所述的高精度調(diào)整裝置及高精度調(diào)整方法可利用多種替換方式實(shí)現(xiàn)，下面是通過較佳的實(shí)施例來加以說明，當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員所熟知的一般的替換無疑涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。請首先結(jié)合參看圖1、圖2和圖3，圖1為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的側(cè)視結(jié)構(gòu)不意圖。如圖1、圖2和圖3所不,本發(fā)明的聞精度調(diào)整裝置包括底板100、調(diào)平臺(tái)110、方鏡120、連接支架部件130，所述連接支架部件130支撐待調(diào)整裝置并調(diào)整所述被測裝置的高度。所述調(diào)平臺(tái)110通過螺栓固定于所述底板100之上；所述調(diào)平臺(tái)110上互相垂直的兩個(gè)側(cè)面上固定有彈性定位座111，所述底板100上還通過螺釘固定有階梯銷101和階梯偏心銷102，所述階梯銷101和所述階梯偏心銷102位于所述調(diào)平臺(tái)110上另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面，所述方鏡120安裝于所述調(diào)平臺(tái)110上，通過所述階梯銷101和所述階梯偏心銷102固定所述方鏡120互相垂直的兩個(gè)側(cè)面的位置，同時(shí)通過所述彈性定位座111固定住所述方鏡120另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面的位置，從而使得所述方鏡120安裝于所述調(diào)平臺(tái)110上的位置得到固定；所述底板100上固定有三個(gè)所述連接支架部件130，且所述連接支架部件130的位置呈三角分布。請參看圖4，圖4為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的主視結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的右視結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中連接支架部件的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。如圖4、圖5、圖6和圖7所示，本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置中的連接支架部件130包括連接支架131、導(dǎo)桿螺母132、非標(biāo)螺母133、O型圈134、螺桿135、定位螺釘136、內(nèi)螺紋圓柱銷137、導(dǎo)向桿138。所述連接支架131具有中心孔，所述中心孔為階梯形式的中心孔，所述中心孔的下端面具有螺紋，所述中心孔的下端面還具有一凸臺(tái)；所述連接支架131的一側(cè)面具有腰型孔，所述腰型孔的深度穿至所述中心孔；與所述腰型孔成一定角度的一側(cè)面具有兩個(gè)細(xì)長槽，所述細(xì)長槽的深度穿至所述腰型孔的一側(cè)面；所述兩個(gè)細(xì)長槽中間有兩個(gè)或多個(gè)通孔，所述通孔的深度穿至所述腰型孔一側(cè)面；每個(gè)所述通孔還對應(yīng)設(shè)置一個(gè)螺紋孔，每個(gè)所述螺紋孔同與其對應(yīng)的所述螺紋孔同心，所述螺紋孔的起始面是從腰型孔另一側(cè)面開始。螺栓擰入至所述螺紋孔中，使所述腰型孔變小，從而緊固所述導(dǎo)桿螺母132。所述導(dǎo)桿螺母132具有中心孔，所述導(dǎo)桿螺母132穿過所述連接支架131的中心孔，一端具有螺紋且突出于所述連接支架131，另一端位于所述連接支架131內(nèi)且具有圓環(huán)形凸臺(tái)；所述O型圈134安裝在所述導(dǎo)桿螺母132的圓環(huán)形凸臺(tái)之上，所述O型圈134是一種360度或非360度圓環(huán)，其形狀可以是圓形、橢圓形、菱形、六邊形、五邊形等規(guī)則或非規(guī)則形狀，其材質(zhì)采用具有一定柔軟度的金屬材質(zhì)或非金屬材質(zhì)，金屬材質(zhì)中可以優(yōu)選采用銅；所述螺桿135穿過所述導(dǎo)桿螺母132的中心孔安裝于所述連接支架131內(nèi)且其兩端突出于所述連接支架131，所述螺桿135的底端具有螺紋，中間設(shè)置有圓環(huán)形凸臺(tái)，所述導(dǎo)桿螺母132圓環(huán)形凸臺(tái)的下端面同所述螺桿135圓環(huán)形凸臺(tái)的上端面相接觸；所述非標(biāo)螺母133安裝于所述導(dǎo)桿螺母132上具有螺紋的位置處，第一螺釘139A安裝于所述非標(biāo)螺母133上，起到固定所述非標(biāo)螺母133位置的作用；所述定位螺釘136穿過所述底板100通過所述螺桿135底端的螺紋固定于所述螺桿135上；第二螺釘139B穿過所述連接支架131安裝于所述底板100上，起到將所述連接支架131固定于所述底板100上的作用；所述內(nèi)螺紋圓柱銷137安裝于連接支架131頂部的銷釘孔上；所述導(dǎo)向桿138安裝于所述連接支架131內(nèi)且其頂端突出于所述連接支架131。如圖2所示，所述內(nèi)螺紋圓柱銷137和所述導(dǎo)向桿138共同起到在X方向和Y方向?qū)Ρ景l(fā)明的高精度調(diào)整裝置的位置進(jìn)行定位的作用。本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置在安裝完畢后，需對其進(jìn)行進(jìn)一步的調(diào)整。請參看圖8，圖8為對本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置進(jìn)行調(diào)整時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖8所示，首先，將本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置放置于標(biāo)準(zhǔn)大理石平板1002上，墊鐵1001放置于大理石平板1002及高精度調(diào)整裝置之間，通過所述墊鐵1001將高精度調(diào)整裝置墊起并固定。其次，采用三座標(biāo)測量本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的三個(gè)導(dǎo)桿螺母132的三個(gè)上端面132A的平面度，如果平面度不滿足要求則旋轉(zhuǎn)非標(biāo)螺母133，分別調(diào)整三個(gè)導(dǎo)桿螺母132的三個(gè)上端面132A的高度。因?qū)U螺母132上的O型圈134的材質(zhì)較軟且可隨著非標(biāo)螺母133旋轉(zhuǎn)，在所述導(dǎo)桿螺母132的擠壓下O型圈134會(huì)有所收縮，使得所述導(dǎo)桿螺母132相對于所述連接支架131的高度有所變化。由于O型圈134收縮量一般是微米級(jí)或納米級(jí)，因此三個(gè)導(dǎo)桿螺母132的上端面132A的高度的變化量也是微米級(jí)或納米級(jí)的。調(diào)整完畢后再次采用三座標(biāo)測量三個(gè)導(dǎo)桿螺母132的132A面的平面度，若誤差達(dá)到微米級(jí)時(shí)，則擰緊第一螺釘139A使得非標(biāo)螺母133的位置得到固定。最后，手工研磨導(dǎo)桿螺母132的三個(gè)上端面132A，進(jìn)一步提高導(dǎo)桿螺母132的三個(gè)上端面132A的平面度。由于三個(gè)上端面132A本身的高度誤差已經(jīng)很小，因此研磨量也是很小，研磨完畢檢測將會(huì)達(dá)到要求。在進(jìn)行完上述調(diào)整過程后再將方鏡120放置在于調(diào)平臺(tái)110上調(diào)平固定。請參看圖9，圖9為使用本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置對一待調(diào)整裝置進(jìn)行高精度調(diào)整的方法示意圖。如圖9所示，作為一種實(shí)施例，待調(diào)整裝置為物鏡1004，主基板1003固定于本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置的連接支架部件130上，用于固定物鏡1004，主基板1003的底面同所述導(dǎo)桿螺母132的上端面132A相貼合，物鏡1004固定于所述主基板1003上。采用三組檢測儀探頭作為三個(gè)光源1005，使其發(fā)出的光照射到方鏡120及物鏡1004上，通過測量入射光和反射光就可以計(jì)算出物鏡的下底面10041與方鏡上端面120A之間的距離H。計(jì)算物鏡的下底面10041與方鏡上端面120A之間的距離H的具體方法為首先，光源發(fā)出的光從光源照射到物鏡下底面10041，測量得到從光源至光在物鏡下底面10041的入射點(diǎn)之間的距離HA ;其次，光源發(fā)出的光經(jīng)過反射照射到方鏡上端面120A時(shí)，測量得到從光源至光在方鏡上端面120A的入射點(diǎn)之間的距離HB ;最后用HA減去HB即可得到物鏡的下底面10041與方鏡上端面120A之間的距離H。對于三組光源而言，可以分別得到Hl，H2，H3，即Hl = HAl-HBl,H2 = HA2-HB2,H3 = HA3-HB3。由三點(diǎn)確定一個(gè)平面的原理可知，若H1、H2、H3不等說明物鏡1004安裝沒有達(dá)到水平，這樣繼續(xù)調(diào)整物鏡，直到調(diào)整三個(gè)值Hl、H2、H3之間的差值達(dá)到規(guī)定的范圍即可。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種高精度調(diào)整裝置，包括底板、調(diào)平臺(tái)、方鏡、連接支架部件；所述調(diào)平臺(tái)固定于所述底板之上；所述方鏡安裝于所述調(diào)平臺(tái)上，其特征在于，所述底板上固定有兩個(gè)或兩個(gè)以上所述連接支架部件；所述連接支架部件支撐待調(diào)整裝置并調(diào)整所述被測裝置的高度。
2.如權(quán)利要求1所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架部件包括連接支架、導(dǎo)桿螺母、非標(biāo)螺母、O型圈、螺桿、定位螺釘； 所述連接支架具有中心孔； 所述導(dǎo)桿螺母具有中心孔； 所述導(dǎo)桿螺母穿過所述連接支架的中心孔，其一端具有螺紋且突出于所述連接支架，另一端位于所述連接支架內(nèi)且具有圓環(huán)形凸臺(tái)； 所述O型圈安裝在所述導(dǎo)桿螺母的圓環(huán)形凸臺(tái)之上； 所述螺桿穿過所述導(dǎo)桿螺母的中心孔安裝于所述連接支架內(nèi)且其兩端突出于所述連接支架， 所述螺桿的底端具有螺紋，中間設(shè)置有圓環(huán)形凸臺(tái)， 所述導(dǎo)桿螺母圓環(huán)形凸臺(tái)的下端面同所述螺桿圓環(huán)形凸臺(tái)的上端面相接觸 所述非標(biāo)螺母安裝于所述導(dǎo)桿螺母上具有螺紋的位置處，第一螺釘安裝于所述非標(biāo)螺母上，對所述非標(biāo)螺母位置進(jìn)行固定； 所述定位螺釘穿過所述底板通過所述螺桿底端的螺紋固定于所述螺桿上。
3.如權(quán)利要求1或2所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架部件還包括第二螺釘，所述第二螺釘穿過所述連接支架安裝于所述底板上，將所述連接支架固定于所述底板上。
4.如權(quán)利要求1或2所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架部件還包括內(nèi)螺紋圓柱銷，所述內(nèi)螺紋圓柱銷安裝于連接支架頂部的銷釘孔上。
5.如權(quán)利要求1或2所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架部件還包括導(dǎo)向桿，所述導(dǎo)向桿安裝于所述連接支架內(nèi)且其頂端突出于所述連接支架。
6.如權(quán)利要求1所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述調(diào)平臺(tái)上互相垂直的兩個(gè)側(cè)面上固定有彈性定位座，所述底板上還固定有階梯銷和階梯偏心銷，所述階梯銷和所述階梯偏心銷位于所述調(diào)平臺(tái)上另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面，通過所述階梯銷和所述階梯偏心銷固定所述方鏡互相垂直的兩個(gè)側(cè)面的位置，同時(shí)通過所述彈性定位座固定所述方鏡另外兩個(gè)相互垂直的側(cè)面的位置，固定所述方鏡于所述調(diào)平臺(tái)上。
7.如權(quán)利要求1所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架部件的數(shù)量為三個(gè)且其位置呈三角分布于所述底板上。
8.如權(quán)利要求2所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架具有的中心孔為階梯形式中心孔，所述中心孔的下端面有螺紋。
9.如權(quán)利要求2或8所述的高精度調(diào)整裝置，其特征在于，所述連接支架的一側(cè)面具有腰型孔，所述腰型孔的深度穿至所述中心孔；與所述腰型孔成一定角度的一側(cè)面具有兩個(gè)細(xì)長槽，所述細(xì)長槽的深度穿至所述腰型孔的一側(cè)面；所述兩個(gè)細(xì)長槽中間有兩個(gè)或多個(gè)通孔，所述通孔的深度穿至所述腰型孔一側(cè)面；每個(gè)所述通孔還對應(yīng)設(shè)置一個(gè)螺紋孔，每個(gè)所述螺紋孔同與其對應(yīng)的所述螺紋孔同心，所述螺紋孔的起始面是從腰型孔另一側(cè)面開始。
10.一種使用權(quán)利要求1所述的高精度調(diào)整裝置的高精度調(diào)整方法，采用三點(diǎn)確定一個(gè)平面的公理來測量一個(gè)基準(zhǔn)相對于另一個(gè)原始基準(zhǔn)的平行度，同時(shí)采用高精度裝置作為原始基準(zhǔn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行測校，包括以下步驟 對所述高精度調(diào)整裝置導(dǎo)桿螺母的上端面的平面度進(jìn)行測量，如果平面度不滿足要求則旋轉(zhuǎn)所述非標(biāo)螺母，調(diào)整所述導(dǎo)桿螺母的上端面的高度，直至所述導(dǎo)桿螺母的上端面的平面度誤差達(dá)到微米級(jí)，擰緊所述第一螺釘使得所述非標(biāo)螺母的位置得到固定； 將待調(diào)整裝置固定于所述高精度調(diào)整裝置的連接支架部件上，使得所述待調(diào)整裝置的底面同所述導(dǎo)桿螺母的上端面處于同一平面內(nèi)； 使用至少三個(gè)光源，使所述光源發(fā)出的光照射到所述方鏡及所述待調(diào)整裝置上，通過每個(gè)所述光源計(jì)算出所述待調(diào)整裝置的下底面同所述方鏡上端面之間的距離H，判斷每個(gè)光源所對應(yīng)得到的H值之間的差值是否達(dá)到規(guī)定值，若沒有達(dá)到則調(diào)整所述待調(diào)整裝置的位置，直至每個(gè)光源所對應(yīng)得到的H值之間的差值達(dá)到規(guī)定值。
11.如權(quán)利要求10所述的高精度調(diào)整方法，其特征在于，計(jì)算所述待調(diào)整裝置的下底面與所述方鏡上端面之間的距離H的方法為首先，光源發(fā)出的光從光源照射到所述待調(diào)整裝置的下底面，測量得到從光源至光在所述待調(diào)整裝置下底面的入射點(diǎn)之間的距離HA ；其次，光源發(fā)出的光經(jīng)過反射照射到所述方鏡上端面時(shí)，測量得到從光源至光在所述方鏡上端面的入射點(diǎn)之間的距離HB ;最后用HA減去HB即得到所述待調(diào)整裝置的下底面與所述方鏡上端面之間的距離H。
全文摘要
本發(fā)明提供一種高精度調(diào)整裝置，通過高精度的調(diào)整連接支架部件中三個(gè)導(dǎo)桿螺母的三個(gè)端面的平面度，從而可實(shí)現(xiàn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行微米級(jí)的調(diào)整。該高精度調(diào)整裝置的定位精度可調(diào)，調(diào)整裝置可以通過調(diào)整獲得微米級(jí)定位精度，且調(diào)整方便，快速。同時(shí)待調(diào)整裝置的安裝基準(zhǔn)和調(diào)整基準(zhǔn)之間的距離可以很大，當(dāng)待調(diào)整裝置的設(shè)計(jì)、加工、安裝有所變化時(shí)本發(fā)明的高精度調(diào)整裝置更能隨待調(diào)整裝置作相應(yīng)的調(diào)整。本發(fā)明還提供一種高精度調(diào)整方法，采用三點(diǎn)確定一個(gè)平面的公理來測量一個(gè)基準(zhǔn)相對于另一個(gè)原始基準(zhǔn)的平行度，同時(shí)采用高精度裝置作為原始基準(zhǔn)對待調(diào)整裝置進(jìn)行測校。
文檔編號(hào)G01B11/02GK103063140SQ20111032137
公開日2013年4月24日 申請日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者吳榮基, 袁志揚(yáng), 陳慧 申請人:上海微電子裝備有限公司