專(zhuān)利名稱(chēng)：形狀測(cè)定傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在接觸式表面形狀測(cè)定中使用的形狀測(cè)定傳感器，更詳細(xì)地講，涉及能夠在更短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行表面形狀測(cè)定的形狀測(cè)定傳感器。本申請(qǐng)根據(jù)2010年11月10 日在日本提出的日本特愿2010-251970號(hào)主張優(yōu)先權(quán)，并在此引用其內(nèi)容。
背景技術(shù)：
以往，作為對(duì)透鏡或模具等光學(xué)關(guān)聯(lián)元件進(jìn)行表面形狀測(cè)定的裝置，使用接觸式形狀測(cè)定傳感器(以下有時(shí)簡(jiǎn)稱(chēng)為“形狀測(cè)定傳感器”)，該接觸式形狀測(cè)定傳感器采用使探針(觸針)接觸到光學(xué)關(guān)聯(lián)元件等檢查對(duì)象物的面上進(jìn)行追蹤的接觸掃描式的測(cè)定方法。在日本特許第3擬6793號(hào)公報(bào)中記載了通過(guò)使探針相對(duì)于水平方向傾斜而使其以規(guī)定的接觸力與檢查對(duì)象物接觸的所謂自重傾斜式的形狀測(cè)定傳感器。在該形狀測(cè)定傳感器中，具有如下的優(yōu)點(diǎn)檢查對(duì)象物表面上的各點(diǎn)的接觸力恒定，并且能夠以極其微小的接觸力進(jìn)行表面形狀測(cè)定。在日本特許第3擬6793號(hào)公報(bào)所記載的形狀測(cè)定傳感器中，當(dāng)使用直線(xiàn)導(dǎo)軌或空氣活塞等與探針之間產(chǎn)生的摩擦極小的單元作為支承探針的引導(dǎo)單元時(shí)，能夠進(jìn)行高精度的測(cè)定，是優(yōu)選的。但是，在日本特許第3926793號(hào)公報(bào)的形狀測(cè)定傳感器中，當(dāng)使探針傾斜時(shí)，探針前進(jìn)到可移動(dòng)范圍的極限，無(wú)法在可移動(dòng)范圍的中間位置停止探針。因此，通常在使用日本特許第3926793號(hào)公報(bào)的形狀測(cè)定傳感器時(shí)，首先使探針前進(jìn)到極限，然后使檢查對(duì)象物以每分鐘幾毫米左右的超低速移動(dòng)并與探針接觸，由此，防止由于探針而損傷檢查對(duì)象物的表面。然后，利用檢查對(duì)象物以該檢查對(duì)象物的測(cè)定所需要的行程量按壓探針并使其以超低速后退，然后開(kāi)始測(cè)定，所以依然存在包含前準(zhǔn)備在內(nèi)的總測(cè)定時(shí)間容易變長(zhǎng)的課題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠在更短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行表面形狀測(cè)定而不會(huì)損傷檢查對(duì)象物的形狀測(cè)定傳感器。根據(jù)本發(fā)明的第一方式，形狀測(cè)定傳感器用于測(cè)定檢查對(duì)象物的表面形狀，其中， 該形狀測(cè)定傳感器具有探針，其被支承為能夠沿自身的軸方向滑動(dòng)，通過(guò)沿所述軸方向進(jìn)行滑動(dòng)來(lái)追蹤所述檢查對(duì)象物的表面形狀；軸承部，其將所述探針支承為能夠沿所述軸方向滑動(dòng)；以及探針保持機(jī)構(gòu)，其能夠?qū)⑺鎏结樓袚Q為定位保持在其滑動(dòng)范圍內(nèi)的中間部的期望位置的第一狀態(tài)和不干涉所述探針的滑動(dòng)的第二狀態(tài)。所述探針保持機(jī)構(gòu)也可以具有主體側(cè)卡定部，該主體側(cè)卡定部卡定設(shè)在所述探針上的軸側(cè)卡定部，所述探針保持機(jī)構(gòu)通過(guò)與所述軸方向平行地移動(dòng)，對(duì)所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)進(jìn)行切換。
并且，也可以是，向所述軸承部與所述探針之間供給流體，所述探針保持機(jī)構(gòu)通過(guò)控制所述流體的供給，對(duì)所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)進(jìn)行切換。根據(jù)本發(fā)明的第一方式的形狀測(cè)定傳感器，能夠在更短的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行表面形狀測(cè)定而不會(huì)損傷檢查對(duì)象物。


圖1是示出本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的形狀測(cè)定傳感器的概略結(jié)構(gòu)的圖。圖2是利用局部剖面示出該形狀測(cè)定傳感器的觸針部和止擋部的圖。圖3是示出該形狀測(cè)定傳感器的使用時(shí)的動(dòng)作的圖。圖4是示出該形狀測(cè)定傳感器的使用時(shí)的動(dòng)作的圖。圖5是示出該形狀測(cè)定傳感器的使用時(shí)的動(dòng)作的圖。圖6是示出該形狀測(cè)定傳感器的使用時(shí)的動(dòng)作的圖。圖7是示出該形狀測(cè)定傳感器的使用時(shí)的動(dòng)作的圖。
具體實(shí)施例方式參照?qǐng)D1 圖7說(shuō)明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。另外，只要沒(méi)有特別說(shuō)明，則“前方” 和“后方”分別指圖1所示的ζ軸的負(fù)方向和正方向。圖1是示出本實(shí)施方式的形狀測(cè)定傳感器1的圖。形狀測(cè)定傳感器1用于測(cè)定檢查對(duì)象物的表面形狀。形狀測(cè)定傳感器1具有安裝有探針11的觸針部10、支承檢查對(duì)象物100的檢查對(duì)象物保持部20、用于使觸針部10移動(dòng)的y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30、用于使檢查對(duì)象物保持部20移動(dòng)的χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40、進(jìn)行形狀測(cè)定傳感器1整體的動(dòng)作控制和所取得的表面形狀數(shù)據(jù)的處理的個(gè)人計(jì)算機(jī)50、以及對(duì)探針11進(jìn)行定位的止擋部(探針保持機(jī)構(gòu))60。觸針部10具有通過(guò)沿自身的軸方向進(jìn)行滑動(dòng)來(lái)追蹤檢查對(duì)象物100的表面形狀的探針11、使探針11以能夠沿自身的軸方向滑動(dòng)的方式插通的靜壓軸承(軸承部)12、以及調(diào)整探針11相對(duì)于水平方向的傾斜角的傾斜角調(diào)整部13。探針11可以適當(dāng)選擇采用如下的公知結(jié)構(gòu)具有接觸檢查對(duì)象物100來(lái)進(jìn)行追蹤的前端部11A、以及在前端側(cè)安裝有前端部IlA的大致圓柱狀的軸部11B。在圖1中，作為探針的一例，示出了前端部IlA尖銳的金剛石觸針。探針11以能夠在靜壓軸承12內(nèi)順暢地滑動(dòng)的方式插通在靜壓軸承12中。靜壓軸承12固定在基體平板14上，使得所插通的探針11的前端部IlA朝向配置有檢查對(duì)象物100的前方。在軸部IlB的后方側(cè)安裝有用于檢測(cè)探針11的變位量的變位計(jì)15。圖2是示出觸針部10和止擋部60的構(gòu)造的圖，利用局部剖面示出從形狀測(cè)定傳感器1的上方(圖1所示的y軸正側(cè))觀察探針11的狀態(tài)。靜壓軸承12的外形為大致長(zhǎng)方體狀，具有徑向截面為矩形的貫通孔12A。探針11 的軸部IlB插通在貫通孔12A中。在貫通孔12A的內(nèi)表面與軸部IlB的外周面之間，在貫通孔12A的端面兩側(cè)確保幾微米(ym)左右的間隙。并且，在靜壓軸承12上連接有空氣供給線(xiàn)12B，從未圖示的供給源供給空氣等氣體(流體)。所供給的氣體作為氣流通過(guò)形成在靜壓軸承12內(nèi)的未圖示的管路，從形成在貫通孔12A的內(nèi)表面的未圖示的多個(gè)送氣孔供給到貫通孔12A與軸部IlB之間的空間。通過(guò)該氣流，降低了在探針11與靜壓軸承12之間產(chǎn)生的摩擦力，探針11被支承為能夠在靜壓軸承12的貫通孔12A內(nèi)順暢地滑動(dòng)。如圖1所示，傾斜角調(diào)整部13具有前方的支點(diǎn)13A和能夠沿y軸方向伸縮的伸縮部13B。在傾斜角調(diào)整部13中改變探針11的傾斜角而使探針11向前方滑動(dòng)。作為伸縮部 13B，例如可以采用壓電致動(dòng)器、由螺釘和角度調(diào)整部件構(gòu)成的機(jī)構(gòu)等。檢查對(duì)象物保持部20具有安裝在基臺(tái)2上的基體21和安裝在基體21上的擺動(dòng)部22。檢查對(duì)象物100固定在擺動(dòng)部22上并與探針11相對(duì)配置。擺動(dòng)部22能夠相對(duì)于基體11進(jìn)行擺動(dòng)，通過(guò)改變擺動(dòng)部22和基體21的位置關(guān)系，能夠改變安裝在擺動(dòng)部22上的檢查對(duì)象物100和探針11所成的角度。另外，在本實(shí)施方式中，示出所測(cè)定的表面為球面狀的檢查對(duì)象物，但是，所測(cè)定的表面的形狀沒(méi)有特別限制。y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30設(shè)置在觸針部10與基臺(tái)2之間。y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30通過(guò)沿y軸方向移動(dòng)，能夠在保持傾斜角調(diào)整部13所設(shè)定的探針11的傾斜角的狀態(tài)下，使觸針部10和止擋部60上下移動(dòng)。在y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30的后方設(shè)有用于檢測(cè)y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30的移動(dòng)量的變位計(jì)31。 χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40設(shè)置在檢查對(duì)象物保持部20的基體21與基臺(tái)2之間。χ軸 ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40通過(guò)沿χ軸方向和ζ軸方向移動(dòng)，能夠使檢查對(duì)象物保持部20整體沿χ軸方向和ζ軸方向移動(dòng)。在χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40的前方設(shè)有用于檢測(cè)檢查對(duì)象物保持部20 的χ軸方向的變位的變位計(jì)41。通過(guò)y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30和χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40，探針11和保持在檢查對(duì)象物保持部20上的檢查對(duì)象物100能夠沿χ軸方向、y軸方向和ζ軸方向相對(duì)移動(dòng)。個(gè)人計(jì)算機(jī)50具有受理使用者的輸入和指示等的輸入部51以及顯示各種信息的顯示部52。個(gè)人計(jì)算機(jī)50與傾斜角調(diào)整部13、擺動(dòng)部22、y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30、χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40和止擋部60連接，能夠?qū)@些各機(jī)構(gòu)的動(dòng)作進(jìn)行控制。并且，個(gè)人計(jì)算機(jī)50還與各變位計(jì)15、31和41連接，進(jìn)行接收它們的檢測(cè)值并取得檢查對(duì)象物100整體的表面形狀數(shù)據(jù)的處理。進(jìn)而，雖然省略圖示，但是，個(gè)人計(jì)算機(jī)50還與空氣供給線(xiàn)12Β連接。通過(guò)個(gè)人計(jì)算機(jī)50控制針對(duì)靜壓軸承12的氣體供給。如圖1和圖2所示，止擋部60設(shè)置在基體平板14上。止擋部60具有卡定探針11 的主體側(cè)卡定部61和用于使主體側(cè)卡定部61與探針11的軸方向平行地移動(dòng)的導(dǎo)軌62。主體側(cè)卡定部61在基體平板14上突出，能夠通過(guò)未圖示的電動(dòng)機(jī)等移動(dòng)機(jī)構(gòu)在導(dǎo)軌62上移動(dòng)并在期望位置停止。導(dǎo)軌62在基體平板14上與靜壓軸承12的長(zhǎng)度方向 (貫通孔12Α的軸線(xiàn)方向)平行地延伸，與插通在靜壓軸承12中的探針11的軸方向大致平行。當(dāng)主體側(cè)卡定部61位于靜壓軸承12的后端的后方時(shí)，通過(guò)卡定安裝在探針11的軸部 IlB上的軸側(cè)卡定部16，能夠在滑動(dòng)范圍內(nèi)將探針11定位在除了前端和后端以外的中間部的期望位置(第一狀態(tài))。另一方面，當(dāng)主體側(cè)卡定部61位于靜壓軸承12的后端的前方時(shí)，主體側(cè)卡定部61和軸側(cè)卡定部16不發(fā)生干涉，主體側(cè)卡定部61不干涉探針11的滑動(dòng) (第二狀態(tài))。
下面，對(duì)具有上述結(jié)構(gòu)的形狀測(cè)定傳感器1的使用時(shí)的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，使用者將檢查對(duì)象物100支承固定在檢查對(duì)象物保持部20的擺動(dòng)部22上， 使得要進(jìn)行形狀測(cè)定的面與觸針部10相對(duì)。接著，使用者根據(jù)檢查對(duì)象物100的厚度等各部尺寸和要進(jìn)行形狀測(cè)定的面的大致形狀等，選擇檢查對(duì)象物100的形狀測(cè)定所需要的探針11的行程，經(jīng)由輸入部51輸入到個(gè)人計(jì)算機(jī)50。個(gè)人計(jì)算機(jī)50決定使止擋部60的主體側(cè)卡定部61停止的規(guī)定位置，以確保所輸入的行程量，并且驅(qū)動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使主體側(cè)卡定部61沿導(dǎo)軌62移動(dòng)。如圖3所示，主體側(cè)卡定部61與探針11的軸方向大致平行地移動(dòng)并在規(guī)定位置停止。圖3中的虛線(xiàn)Ll示出為了確保該行程量而使探針11的前端移動(dòng)的位置。接著，使用者對(duì)靜壓軸承12供給氣體，并經(jīng)由輸入部51操作傾斜角調(diào)整部13，使基體平板14的后部向上方移動(dòng)。于是，基體平板14以支點(diǎn)13A為支點(diǎn)傾斜，由靜壓軸承12 保持的探針11由于自身重力而在靜壓軸承12內(nèi)順暢地滑動(dòng)。探針11通過(guò)滑動(dòng)而朝向檢查對(duì)象物100前進(jìn)，如圖4所示，軸側(cè)卡定部16與主體側(cè)卡定部61卡定，由此在探針11的前端移動(dòng)到虛線(xiàn)Ll的位置的狀態(tài)下被定位并停止。為了確保所輸入的行程量，例如可以預(yù)先使探針11位于可滑動(dòng)范圍的后端、即后退到極限，然后前進(jìn)該行程量即可，考慮安全，更加優(yōu)選前進(jìn)在該行程量上加上規(guī)定量而得到的長(zhǎng)度。在探針11被定位并停止后，使用者借助個(gè)人計(jì)算機(jī)50使χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40動(dòng)作，如圖5所示，使保持在檢查對(duì)象物保持部20上的檢查對(duì)象物100以接近探針11的方式移動(dòng)。此時(shí)，探針11停止，也沒(méi)有前進(jìn)的可能性，所以不需要使檢查對(duì)象物100以上述超低速移動(dòng)。使用者使檢查對(duì)象物100以更快的速度(例如每秒幾mm左右)移動(dòng)到非常接近探針11的前端部IlA而不與前端部IlA接觸的位置。在檢查對(duì)象物100移動(dòng)到非常接近前端部IlA后，使用者降低檢查對(duì)象物100的移動(dòng)速度，如圖6所示，以即使與探針11的前端接觸也不會(huì)損傷檢查對(duì)象物100的表面的程度的超低速接近探針11，使前端部IlA與檢查對(duì)象物100的表面接觸。在探針11與檢查對(duì)象物100的表面接觸后，如圖7所示，使用者使主體側(cè)卡定部 61向靜壓軸承12的后端的前方移動(dòng)，使其退避到不干涉探針11的滑動(dòng)的位置，將止擋部 60切換為第二狀態(tài)。在主體側(cè)卡定部61退避后，使用者通過(guò)個(gè)人計(jì)算機(jī)50驅(qū)動(dòng)χ軸ζ軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)40 和y軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30，使檢查對(duì)象物100和探針11相對(duì)移動(dòng)，從而通過(guò)探針11掃描檢查對(duì)象物100的表面。探針11的掃描方向是與χ軸平行的方向，一邊通過(guò)ι軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)30改變前端部IlA的高度，一邊掃描檢查對(duì)象物100的整個(gè)表面。各變位計(jì)15、31和41的檢測(cè)值被輸入到個(gè)人計(jì)算機(jī)50，依次測(cè)定并記錄檢查對(duì)象物100的表面形狀。根據(jù)本實(shí)施方式的形狀測(cè)定傳感器1，由于具有止擋部60，因此能夠在使探針11 傾斜的狀態(tài)下，在滑動(dòng)范圍的中間部的期望位置進(jìn)行定位并保持。在以往的自重傾斜式形狀測(cè)定傳感器中，除了由于自重而產(chǎn)生的重力以外，在滑動(dòng)的探針上幾乎不作用外力，所以無(wú)法在滑動(dòng)范圍的中間停止。因此，當(dāng)在使檢查對(duì)象物接近的狀態(tài)下使探針傾斜時(shí)，可能由于滑動(dòng)的探針的前端而損傷檢查對(duì)象物的表面，為了可靠地防止該情況，如上所述，需要使探針前進(jìn)到滑動(dòng)范圍的前端，在處于無(wú)法進(jìn)一步前進(jìn)的狀態(tài)后使檢查對(duì)象物接近。與此相對(duì)，在形狀測(cè)定傳感器1中，如果在使探針11前進(jìn)能夠確保行程量的最低限度量的狀態(tài)下通過(guò)止擋部60對(duì)探針11進(jìn)行定位，則探針11無(wú)法進(jìn)一步前進(jìn)。因此，即使使保持在檢查對(duì)象物保持部20上的檢查對(duì)象物100以更快的速度移動(dòng)到探針11附近， 也不可能損傷檢查對(duì)象物100的表面，使檢查對(duì)象物100以超低速移動(dòng)的距離可以是從探針11附近到與探針11接觸的極短距離。其結(jié)果，能夠顯著縮短包含測(cè)定的前準(zhǔn)備在內(nèi)的檢查對(duì)象物100的形狀測(cè)定所需要的總時(shí)間，能夠高效地進(jìn)行測(cè)定。并且，在以往的自重傾斜式形狀測(cè)定傳感器中，要確保的行程量越多，使檢查對(duì)象物以超低速移動(dòng)的距離越長(zhǎng)，測(cè)定的前準(zhǔn)備所需要的時(shí)間越長(zhǎng)，但是，在形狀測(cè)定傳感器1 中，能夠使檢查對(duì)象物高速移動(dòng)到探針前端附近，所以即使要確保的行程量變化，使檢查對(duì)象物以超低速移動(dòng)的距離也基本不變。因此，與要確保的行程量無(wú)關(guān)，始終能夠高效地進(jìn)行測(cè)定。并且，要確保的行程量越大，形狀測(cè)定傳感器1發(fā)揮的測(cè)定時(shí)間縮短效果越顯著。并且，止擋部60的主體側(cè)卡定部61在探針11的滑動(dòng)方向前方與安裝在探針11 上的軸側(cè)卡定部16抵接，從而對(duì)探針11進(jìn)行定位，所以在定位時(shí)，不會(huì)在與探針11的滑動(dòng)方向交叉的方向上對(duì)探針11施加力。因此，幾乎不會(huì)對(duì)探針11的滑動(dòng)造成影響，能夠高精度地進(jìn)行形狀測(cè)定。以上說(shuō)明了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，但是，本發(fā)明的技術(shù)范圍不限于上述實(shí)施方式，能夠在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)施加各種變更。例如，本實(shí)施方式的形狀測(cè)定傳感器中的探針保持機(jī)構(gòu)不限于上述止擋部60這種結(jié)構(gòu)。作為一例，也可以在針對(duì)靜壓軸承12的空氣供給路徑中設(shè)置電磁閥，通過(guò)停止供給空氣或者控制成使空氣供給量減少到使滑動(dòng)停止的程度，將該電磁閥從探針11順暢地滑動(dòng)的第二狀態(tài)切換為第一狀態(tài)，進(jìn)行探針11的定位。并且，通過(guò)使個(gè)人計(jì)算機(jī)執(zhí)行預(yù)先生成的程序等，也可以使形狀測(cè)定傳感器自動(dòng)進(jìn)行從在檢查對(duì)象物保持部上安裝檢查對(duì)象物到使探針與檢查對(duì)象物接觸的一連串的動(dòng)作。進(jìn)而，本發(fā)明的形狀測(cè)定傳感器的結(jié)構(gòu)還能夠應(yīng)用于實(shí)施方式的自重傾斜式以外的形狀測(cè)定傳感器。因此，例如，即使是使探針沿垂直方向進(jìn)退的形狀測(cè)定傳感器，通過(guò)設(shè)置止擋部，也同樣能夠縮短測(cè)定所需要的總時(shí)間。
權(quán)利要求
1.一種形狀測(cè)定傳感器，該形狀測(cè)定傳感器用于測(cè)定檢查對(duì)象物的表面形狀，其中，該形狀測(cè)定傳感器具有探針，其被支承為能夠沿自身的軸方向滑動(dòng)，通過(guò)沿所述軸方向進(jìn)行滑動(dòng)來(lái)追蹤所述檢查對(duì)象物的表面形狀；軸承部，其將所述探針支承為能夠沿所述軸方向滑動(dòng)；以及探針保持機(jī)構(gòu)，其能夠?qū)⑺鎏结樓袚Q為定位保持在其滑動(dòng)范圍內(nèi)的中間部的期望位置的第一狀態(tài)和不干涉所述探針的滑動(dòng)的第二狀態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)定傳感器，其中，所述探針保持機(jī)構(gòu)具有主體側(cè)卡定部，該主體側(cè)卡定部卡定設(shè)在所述探針上的軸側(cè)卡定部，所述探針保持機(jī)構(gòu)通過(guò)與所述軸方向平行地移動(dòng)，對(duì)所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)進(jìn)行切換。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀測(cè)定傳感器，其中， 向所述軸承部與所述探針之間供給流體，所述探針保持機(jī)構(gòu)通過(guò)控制所述流體的供給，對(duì)所述第一狀態(tài)和所述第二狀態(tài)進(jìn)行切
全文摘要
本發(fā)明提供一種形狀測(cè)定傳感器，用于測(cè)定檢查對(duì)象物(100)的表面形狀，該形狀測(cè)定傳感器(1)具有探針(11)，其被支承為能夠沿自身的軸方向滑動(dòng)，通過(guò)沿軸方向進(jìn)行滑動(dòng)來(lái)追蹤所述檢查對(duì)象物(100)的表面形狀；靜壓軸承(12)，其將所述探針(11)支承為能夠沿軸方向滑動(dòng)；以及止擋部(60)，其能夠?qū)⑺鎏结?11)切換為定位保持在其滑動(dòng)范圍內(nèi)的中間部的期望位置的第一狀態(tài)和不干涉所述探針(11)的滑動(dòng)的第二狀態(tài)。
文檔編號(hào)G01B21/20GK102564382SQ20111032904
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月10日
發(fā)明者小林宏史, 長(zhǎng)池康成 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社