專利名稱：對(duì)位裝置及對(duì)位方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種使用于檢查裝置的對(duì)位裝置及對(duì)位方法，該檢查裝置用于對(duì)例如平板顯示器用的玻璃基板、半導(dǎo)體基板、印刷電路板等進(jìn)行檢查。
背景技術(shù)：
以往，在液晶顯示器(LCD :Liquid Crystal Display)、PDP (等離子體顯示面板 Plasma Display I^anel)、有機(jī) EL(ElectroLuminescence)顯示器、表面?zhèn)鲗?dǎo)型電子發(fā)射兀件顯不器(SED :Surface-conduction Electro-emitter Display)等 FPD(Flat Panel Display)基板、半導(dǎo)體晶圓、印刷電路板等各種基板的制造中，為了提高其成品率，在各圖案處理之后，依次檢查是否存在布線的短路、連接不良、斷線、圖案不良等缺陷?；鍣z查裝置是用于一邊自基板所載置的浮起用板的下方對(duì)基板進(jìn)行照明一邊拍攝檢查對(duì)象的基板而進(jìn)行基板檢查的、所謂透射照明型的基板檢查裝置。此外，根據(jù)檢查對(duì)象的基板的不同， 也使用用于自拍攝基板的攝像元件側(cè)進(jìn)行照明的落射(印i-illumination)照明型的基板檢查裝置。但是，在用于對(duì)玻璃基板等具有較寬檢查對(duì)象面的基板進(jìn)行檢查、測量等處理的基板檢查裝置中，在對(duì)檢查對(duì)象面的特定位置進(jìn)行檢查時(shí)，參照根據(jù)登記在制程程序 (recipe)中的座標(biāo)而登記的模板來進(jìn)行檢查對(duì)象基板的對(duì)象圖案的圖案匹配，并進(jìn)行對(duì)位。但是，登記在制程程序中的對(duì)象圖案的座標(biāo)與臺(tái)上實(shí)際的對(duì)象圖案的座標(biāo)不一定一致， 根據(jù)情況的不同，必須使攝像部或基板移動(dòng)，重復(fù)進(jìn)行多次圖案匹配而檢索對(duì)象圖案。因此，公開有如下對(duì)位方法預(yù)先設(shè)定以高倍率獲取的第1模板、以及用于與縮小了包含檢索對(duì)象圖像在內(nèi)的較寬區(qū)域而成的圖像進(jìn)行圖案匹配的第2模板，在無法利用第 1模板進(jìn)行圖案匹配而獲得對(duì)象圖案的情況下，使用第2模板進(jìn)行圖案匹配(例如參照專利文獻(xiàn)1)。先行技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1 日本專利第3246616號(hào)公報(bào)但是，關(guān)于專利文獻(xiàn)1所公開的對(duì)位方法，在拍攝的圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下，當(dāng)在拍攝的位置將光學(xué)系統(tǒng)切換成低倍率而獲取了較寬范圍的低倍率圖像之后，需要再次進(jìn)行圖案匹配，因此導(dǎo)致檢查時(shí)間增加。此外，多次操作所引起的攝像部或基板的移動(dòng)也導(dǎo)致檢查時(shí)間增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而做成的，其目的在于提供一種即使在拍攝的檢查對(duì)象的圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下也能夠縮短檢查對(duì)象的對(duì)位所需的檢索時(shí)間、從而能夠抑制檢查時(shí)間的增加的對(duì)位裝置及對(duì)位方法。為了解決上述問題并達(dá)到目的，本發(fā)明提供一種對(duì)位裝置，其用于進(jìn)行用來檢查測量的基板的對(duì)位，其特征在于，上述對(duì)位裝置包括攝像部，其用于拍攝上述基板的圖像； 存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)利用上述攝像部拍攝的高倍制程程序圖像、以及利用上述攝像部拍攝的低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測量的測量部位， 該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場區(qū)域；檢索部，其用于檢索倍率與上述存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的上述高倍制程程序圖像相等的、利用上述攝像部拍攝的用于進(jìn)行上述檢查測量的檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；計(jì)算部，在上述檢索部的檢索的結(jié)果為上述測量部位偏離于上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)的情況下，該計(jì)算部用于計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及控制部，其根據(jù)上述計(jì)算部所計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。為了解決上述問題并達(dá)到目的，本發(fā)明提供一種對(duì)位方法，其是由對(duì)位裝置所進(jìn)行的對(duì)位方法，該對(duì)位裝置用于使基板圖像的位置對(duì)準(zhǔn)，該對(duì)位裝置包括攝像部，其用于拍攝用來檢查測量的上述基板圖像；以及存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)高倍制程程序圖像和低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測量的測量部位，該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場區(qū)域；其特征在于，上述對(duì)位方法包括以下步驟檢查圖像拍攝步驟，拍攝用于進(jìn)行檢查測量的檢查圖像，該檢查圖像是用于進(jìn)行測量的基板的圖像，且是以與上述高倍制程程序圖像相等的倍率拍攝的；檢索步驟，檢索上述檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；計(jì)算步驟，在上述檢索步驟中檢索的結(jié)果為上述測量部位偏離于上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)的情況下，計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及移動(dòng)拍攝步驟，根據(jù)在上述計(jì)算步驟中計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。本發(fā)明的對(duì)位裝置及對(duì)位方法起到如下效果預(yù)先登記包含測量部位的高倍制程程序圖像、以及包含高倍制程程序圖像并具有范圍比高倍制程程序圖像大的視場的低倍制程程序圖像，并在以高倍率獲取的檢查圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下，使檢查圖像的像素分辨率與低倍制程程序圖像的倍率相等，而檢索檢查圖像在低倍制程程序圖像中的位置， 因此即使在所拍攝的檢查對(duì)象的圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下，也能夠縮短檢查對(duì)象的對(duì)位所需的檢索時(shí)間，從而能夠抑制檢查時(shí)間的增加。


圖1是示意性地表示本發(fā)明的實(shí)施方式的平板顯示器(FPD)檢查裝置的結(jié)構(gòu)的示意圖。圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的制程程序圖像登記處理的流程圖。圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的FPD檢查裝置的制程程序圖像的示意圖。圖4是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的FPD檢查裝置的制程程序圖像的示意圖。圖5是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的線寬測量處理的流程圖。圖6是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的FPD檢查裝置的檢查圖像的示意圖。圖7是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的FPD檢查裝置的制程程序圖像及檢查圖像的示意圖。
圖8是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的FPD檢查裝置的制程程序圖像及檢查圖像的示意圖。
具體實(shí)施例方式以下，結(jié)合附圖詳細(xì)地說明用于實(shí)施本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，本發(fā)明不限于以下的實(shí)施方式。此外，在以下的說明中，所參照的各圖只是以能夠理解本發(fā)明的內(nèi)容的程度概略地表示出形狀、大小、以及位置關(guān)系。即，本發(fā)明不限于在各圖中例示的形狀、大小、以及位置關(guān)系。首先，參照附圖詳細(xì)地說明本發(fā)明的實(shí)施方式的檢查裝置。另外，在以下的說明中，以對(duì)位裝置為例說明用于使光學(xué)系統(tǒng)單元相對(duì)于檢查對(duì)象的基板移動(dòng)的類型的基板檢查裝置。但是，本實(shí)施方式不限于此，也可以適用于使基板相對(duì)于光學(xué)單元移動(dòng)的類型的基板檢查裝置。此外，說明了基板檢查裝置為離線型的情況，但也可以是在線型。圖1是表示本實(shí)施方式的平板顯示器(FPD)檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖 1所示，F(xiàn)PD檢查裝置1包括基板處理部la，其用于載置而檢查被輸送來的、呈矩形的基板 W;以及控制機(jī)構(gòu)lb，其用于進(jìn)行FPD檢查裝置1整體的控制。此外，基板處理部Ia包括作為架臺(tái)的基礎(chǔ)框架(baseframe) 11 ；基礎(chǔ)框架11的頂板即呈大致矩形的臺(tái)12;基板保持件13，其固定在臺(tái)12上，用于保持基板W;門型框架 14，其沿臺(tái)12的一個(gè)邊橫跨臺(tái)12 ；光學(xué)單元16，其保持于門型框架14 ；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)18，其用于使光學(xué)單元16與門型框架14 一起移動(dòng)。此外，將設(shè)置于門型框架14的移動(dòng)機(jī)構(gòu)18設(shè)置在例如臺(tái)12的下方。在臺(tái)12的下方也設(shè)置有沿與門型框架14的長度方向正交的方向(X方向)延伸的X軸構(gòu)件19。移動(dòng)機(jī)構(gòu)18在控制部20的控制下沿X軸構(gòu)件19移動(dòng)，從而使光學(xué)單元16與門型框架14 一起沿X方向移動(dòng)。門型框架14被稱作所謂的龍門載物臺(tái)，包括在與移動(dòng)機(jī)構(gòu)18的移動(dòng)方向 (X方向)正交的方向(Y方向)上設(shè)置的Y軸構(gòu)件15。光學(xué)單元16利用能夠使門型框架 14沿Y軸構(gòu)件15移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)17而保持于門型框架14。移動(dòng)機(jī)構(gòu)17用于在控制部20 的控制下使門型框架14沿Y軸構(gòu)件15移動(dòng)?；A(chǔ)框架11由例如組合塊狀的大理石、鋼材而成的框架等耐震性較高的構(gòu)件構(gòu)成。除此之外，在基礎(chǔ)框架11和設(shè)置面(例如地板)之間設(shè)置由例如彈簧、液壓減震器等構(gòu)成的振動(dòng)吸收機(jī)構(gòu)。由此進(jìn)一步防止臺(tái)12及光學(xué)單元16的振動(dòng)。臺(tái)12包括沿Y方向延伸并用于在輸送面上使基板W浮起而載置該基板W的、呈大致板狀的多個(gè)浮起用板。通過沿X方向排列浮起用板而形成基板W的輸送路徑。如此，臺(tái) 12具有各浮起用板沿X方向排列成簾子狀而成的構(gòu)造。在各浮起用板中設(shè)置多個(gè)吹出孔， 該多個(gè)吹出孔用于利用來自未圖示的空氣供給部的空氣供給而朝向鉛垂上方吹出空氣。另外，優(yōu)選吹出孔如拉格朗日點(diǎn)的間隔那樣以不會(huì)產(chǎn)生基板W的撓曲振動(dòng)的這種間隔配置。 此外，作為基板W的定位方法，可列舉使用升降銷(Iiftpin)及定位機(jī)構(gòu)等的方法，該升降銷用于支承被輸入到臺(tái)12上的基板W而使其載置于臺(tái)12，該定位機(jī)構(gòu)用于使載置于臺(tái)12 的基板W定位。光學(xué)單元16包括用于調(diào)節(jié)視場區(qū)域的顯微鏡161、以及用于對(duì)利用顯微鏡161調(diào)節(jié)了視場區(qū)域或焦點(diǎn)位置的基板W進(jìn)行拍攝的攝像部162。通過解析利用該光學(xué)單元16獲取的圖像，能夠檢測基板W是否存在缺陷。另外，光學(xué)單元16可以使用例如用于對(duì)基板 W的缺陷部分進(jìn)行激光照射修復(fù)、涂布修正等的修復(fù)單元、用于在預(yù)定的位置實(shí)施布線等的尺寸測量、膜厚測量、顏色測量等測量單元等的處理的處理單元。此外，光學(xué)單元16也可以是不具有顯微鏡161的攝像形態(tài)。顯微鏡161是用于縮小攝像部162的攝像視場而實(shí)現(xiàn)所希望的放大倍率的圖像獲取的放大光學(xué)系統(tǒng)。此外，攝像部162包括例如LED等照明部、聚光透鏡等光學(xué)系統(tǒng)、以及CMOS圖像傳感器或CCD等攝像元件。照明部用于向攝像元件的攝像視場發(fā)出白色光等照明光從而照亮攝像視場內(nèi)的被攝體。該光學(xué)系統(tǒng)用于使來自該攝像視場的反射光聚光到攝像元件的攝像面，從而使攝像視場的被攝體圖像(基板W圖像)成像于攝像元件的攝像面。攝像元件用于借助攝像面接收來自該攝像視場的反射光并對(duì)該接收的光信號(hào)進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換處理，從而對(duì)該攝像視場的被攝體圖像進(jìn)行拍攝。顯微鏡161具有自動(dòng)調(diào)焦功能，即， 在控制部20的控制下，使顯微鏡161自身或在內(nèi)部具有顯微鏡161的透鏡系統(tǒng)沿與基板W 的攝像面垂直的方向(Z方向)移動(dòng)而自動(dòng)地對(duì)被攝體進(jìn)行對(duì)焦。自動(dòng)調(diào)焦既可以是檢測對(duì)比度成為最大時(shí)的位置而進(jìn)行對(duì)焦，也可以是使用激光而進(jìn)行對(duì)焦。此外，F(xiàn)PD檢查裝置1只要包括如下的外殼，就能夠形成無塵室，故為優(yōu)選，該外殼至少包圍基板處理部la，并具有設(shè)置于光學(xué)單元16的上方并用于送入潔凈的空氣(以下稱作潔凈空氣)的FFU。該無塵室是除了基板的輸入口、搬出口及下部的管道以外被密閉的空間。FFU用于送出已去除了例如微粒等粉塵的潔凈空氣。其結(jié)果，特別是使光學(xué)單元 16的移動(dòng)區(qū)域成為粉塵較少的潔凈的狀態(tài)。此外，當(dāng)向光學(xué)單元16附近集中送出的潔凈的空氣在無塵室內(nèi)形成下降流(down flow)之后，自排氣口排出。控制機(jī)構(gòu)Ib包括控制部20、收發(fā)部21、輸入部22、輸出部23、檢索部24、計(jì)算部 25以及存儲(chǔ)部26。控制機(jī)構(gòu)Ib利用包括ROM、RAM等的計(jì)算機(jī)來實(shí)現(xiàn)?？刂撇?0用于進(jìn)行FPD檢查裝置1整體的控制。收發(fā)部21具有作為用于發(fā)送/ 接收遵循了規(guī)定的形式的信息這種接口的功能，并與例如光學(xué)單元16的攝像部161連接。 另外，也可以采用未圖示通信網(wǎng)絡(luò)。輸入部22使用鍵盤、鼠標(biāo)、麥克風(fēng)等而構(gòu)成，用于自外部獲取檢查體的分析所需要的各種信息、分析動(dòng)作的指示信息等。輸出部23使用顯示器、打印機(jī)、揚(yáng)聲器等而構(gòu)成。檢索部M用于檢索由光學(xué)單元16的攝像部161拍攝的基板W的高倍率圖像處于后述的低倍制程程序圖像D2內(nèi)的什么位置。此外，檢索部M用于根據(jù)檢索結(jié)果來判斷在高倍率圖像內(nèi)是否包含檢查對(duì)象的圖案。計(jì)算部25用于根據(jù)利用檢索部M檢索的高倍率圖像在低倍率制程程序圖像D2 的位置而計(jì)算出高倍率圖像和高倍制程程序圖像Dl之間的距離。另外，高倍制程程序圖像 Dl如后述那樣是放大了低倍制程程序圖像的一部分而成的圖像，是包含檢查對(duì)象的圖案的圖像。存儲(chǔ)部沈使用硬盤和存儲(chǔ)器而構(gòu)成，該硬盤用于磁存儲(chǔ)信息，該存儲(chǔ)器用于自硬盤加載而電存儲(chǔ)各種程序，該各種程序在基板處理部Ia執(zhí)行處理時(shí)與其處理有關(guān)，包含本實(shí)施方式的對(duì)位程序。此外，存儲(chǔ)部26存儲(chǔ)有在后述的線寬測量處理中使用的高倍制程程序圖像Dl及低倍制程程序圖像D2。
接著說明在圖案匹配中使用的制程程序圖像。圖2是表示FPD檢查裝置1所進(jìn)行的制程程序圖像登記處理的流程圖。此外，圖3、4是表示制程程序圖像的示意圖。首先，控制部20借助收發(fā)部21以高倍率(設(shè)倍率為Si)獲取利用攝像部161拍攝的、登記于制程程序的測量座標(biāo)中的包含測量對(duì)象的圖案的圖像(步驟S102)。所獲取的圖像為例如圖3 所示那樣至少包含測量對(duì)象的圖案Rl的高倍制程程序圖像D1。另外，在高倍制程程序圖像 Dl中，除了測量對(duì)象的圖案Rl之外，以使圖案R2的一部分也進(jìn)入幀內(nèi)的方式進(jìn)行拍攝，但也可以是圖案R2沒有進(jìn)入幀內(nèi)的圖像。在獲取高倍制程程序圖像Dl之后，在高倍制程程序圖像Dl上設(shè)定測量部位(步驟S104)。如圖3所示，設(shè)定用于測量圖案Rl中的線寬的作為測量部位的測量點(diǎn)PI、P2。 通過設(shè)定測量點(diǎn)P1、P2，而設(shè)定為在圖案Rl處于攝像圖像內(nèi)的情況下對(duì)測量點(diǎn)P1、P2之間的距離進(jìn)行測量。將測量點(diǎn)PI、P2設(shè)定在例如圖案Rl和基板表面之間的濃淡變化的交界部分。若結(jié)束高倍制程程序圖像Dl中的測量部位的設(shè)定，則控制部20使存儲(chǔ)部沈存儲(chǔ)該高倍制程程序圖像Dl (步驟S106)。接著，以低倍率(設(shè)倍率為S2(< Sl))獲取該測量座標(biāo)中的圖像(步驟S108)。 如圖4所示，所獲取的圖像為至少包含高倍制程程序圖像Dl的低倍制程程序圖像D2。此時(shí)，低倍制程程序圖像D2的視場區(qū)域的面積為高倍制程程序圖像Dl的視場區(qū)域的面積的 2倍以上。另外，如圖3、4所示，優(yōu)選高倍制程程序圖像Dl的視場中心Cl與低倍制程程序圖像D2的視場中心C2對(duì)齊。若獲取低倍制程程序圖像D2，則控制部20使存儲(chǔ)部沈存儲(chǔ)該低倍制程程序圖像 D2(步驟S110)。上述制程程序圖像登記處理是進(jìn)行有關(guān)于登記在制程程序中的測量座標(biāo)的處理的。在具有多個(gè)測量座標(biāo)的情況下，獲取并存儲(chǔ)與其測量座標(biāo)相應(yīng)的高倍制程程序圖像Dl及低倍制程程序圖像D2。另外，當(dāng)在基板W上形成多個(gè)相同的圖案的情況下，也可以分別共用高倍制程程序圖像及低倍制程程序圖像而1個(gè)圖像1個(gè)圖像地登記于各測量座標(biāo)。圖5是表示FPD檢查裝置1進(jìn)行線寬測量處理的流程圖。此外，圖6 8是表示檢查圖像及制程程序圖像的示意圖。首先，控制部20使光學(xué)單元16向測量座標(biāo)移動(dòng)(步驟S202)。然后，控制部20以高倍率(倍率Si)對(duì)測量座標(biāo)中的基板W的圖像進(jìn)行拍攝，并獲取圖6所示的作為檢查圖像30的圖像(步驟S204)。當(dāng)獲取檢查圖像30之后，控制部20將在步驟S204中獲取的檢查圖像30縮小(S2/ Si)倍(步驟S206)。利用該縮小處理使檢查圖像30的像素分辨率和低倍制程程序圖像D2
的像素分辨率相等?？刂撇?0使檢索部M檢索縮小了檢查圖像30而成的縮小圖像40在低倍制程程序圖像D2上位于什么位置(步驟S208)。如圖7所示，檢索部M檢索縮小圖像40在低倍制程程序圖像D2內(nèi)的位置并判斷檢查圖像30在低倍制程程序圖像D2上所處的位置。若結(jié)束縮小圖像40在低倍制程程序圖像D2內(nèi)的位置的檢索，則控制部20計(jì)算出檢查圖像30中的測量部位的位置(步驟S210)。此時(shí)，控制部20計(jì)算出例如檢查圖像30 的視場中心C3的座標(biāo)。若計(jì)算出檢查圖像30的視場中心C3的座標(biāo)，則控制部20根據(jù)計(jì)算出的座標(biāo)來判斷在檢查圖像30內(nèi)是否存在測量部位(步驟S212)。在這里，在判斷為在檢查圖像30內(nèi)存在測量部位的情況下(步驟S212 :Yes)，控制部20轉(zhuǎn)移至步驟S218而進(jìn)行測量部位的線寬測量處理?？刂撇?0測量例如圖3所示的測量點(diǎn)P1、P2之間的距離。當(dāng)結(jié)束線寬測量之后，控制部20在存在接下來的測量座標(biāo)的情況下(步驟S220 =Yes)轉(zhuǎn)移至步驟S202而進(jìn)行接下來的測量座標(biāo)中的線寬測量處理。此外，控制部20在不存在接下來的測量座標(biāo)的情況下(步驟S220 =No)結(jié)束處理。另一方面，控制部20在判斷為在檢查圖像30內(nèi)不存在測量部位(偏離于檢查區(qū)域)的情況下(步驟S212 :No)，計(jì)算出測量部位偏離于檢查圖像30的偏移量(步驟S214)。 具體地說，如圖8所示，控制部20使計(jì)算部25計(jì)算出縮小圖像40 (檢查圖像30)的視場中心C3和低倍制程程序圖像D2的視場中心C2之間的距離及方向。控制部20根據(jù)計(jì)算部25 所計(jì)算出的偏移量的距離及方向使光學(xué)單元16移動(dòng)以使高倍率(倍率Si)中的視場成為區(qū)域50。控制部20在使光學(xué)單元16移動(dòng)之后以高倍率(倍率Si)獲取圖像(步驟S216)。 當(dāng)獲取圖像之后，控制部20轉(zhuǎn)移至步驟S218而進(jìn)行線寬測量處理。根據(jù)上述本實(shí)施方式，由于預(yù)先登記包含測量部位的高倍制程程序圖像、以及包含高倍制程程序圖像并具有范圍比高倍制程程序圖像寬的視場的低倍制程程序圖像，并在以高倍率獲取的檢查圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下，使檢查圖像的像素分辨率與低倍制程程序圖像的倍率相等，檢索檢查圖像在低倍制程程序圖像中的位置，因此即使在檢查圖像偏離于檢查區(qū)域的情況下，也無需切換光學(xué)系統(tǒng)的倍率就能夠獲取包含測量部位在內(nèi)的檢查圖像。此外，無需進(jìn)行多次的重做及圖案匹配，僅用一次移動(dòng)動(dòng)作就能夠使光學(xué)單元移動(dòng)到包含測量部位在內(nèi)的檢查區(qū)域。由此，能夠縮短檢查對(duì)象的對(duì)位所需的檢索時(shí)間，從而能夠抑制檢查時(shí)間的增加。此外，通過將低倍制程程序圖像的視場區(qū)域設(shè)為高倍制程程序圖像的視場區(qū)域的 2倍以上，即使檢查圖像較大地偏離于測量部位，由于在低倍制程程序圖像內(nèi)存在檢查圖像，因此能夠可靠地進(jìn)行低倍制程程序圖像內(nèi)中的檢查圖像的檢索。另外，說明了計(jì)算部25以圖像的視場中心的座標(biāo)為基準(zhǔn)而計(jì)算出偏移量的情況， 但用于計(jì)算的基準(zhǔn)點(diǎn)(座標(biāo))也可以是圖像在幀內(nèi)的任意位置。例如，也可以將幀的角設(shè)為基準(zhǔn)點(diǎn)，還可以將與高倍制程程序圖像Dl內(nèi)的測量部位對(duì)應(yīng)的點(diǎn)設(shè)為基準(zhǔn)。如上所述，本發(fā)明的對(duì)位裝置及對(duì)位方法在高效地進(jìn)行圖案匹配從而縮短檢查時(shí)間這一點(diǎn)上是有用的。附圖標(biāo)記說明1、FPD檢查裝置；la、基板處理部；lb、控制機(jī)構(gòu)；11、基礎(chǔ)框架；12、臺(tái)；13、基板保持件；14、門型框架；15、Y軸構(gòu)件；16、光學(xué)單元；17、18、移動(dòng)機(jī)構(gòu)；19、X軸構(gòu)件；20、控制部；21、收發(fā)部；22、輸入部；23、輸出部；24、檢索部；25、計(jì)算部；26、存儲(chǔ)部；30、檢查圖像； 40、縮小圖像；161、顯微鏡；162、攝像部；Cl C3、視場中心；D1、高倍制程程序圖像；D2、低倍制程程序圖像；R1、R2、圖案；W、基板。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)位裝置，其用于進(jìn)行用來檢查測量的基板的對(duì)位，其特征在于，上述對(duì)位裝置包括攝像部，其用于拍攝上述基板的圖像；存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)利用上述攝像部拍攝的高倍制程程序圖像、以及利用上述攝像部拍攝的低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測量的測量部位，該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場區(qū)域；檢索部，其用于檢索倍率與上述存儲(chǔ)部所存儲(chǔ)的上述高倍制程程序圖像相等的、利用上述攝像部拍攝的用于進(jìn)行上述檢查測量的檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；計(jì)算部，在上述檢索部的檢索的結(jié)果為上述測量部位偏離于上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)的情況下，該計(jì)算部用于計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及控制部，其根據(jù)上述計(jì)算部所計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，上述檢索部用于將上述檢查圖像的像素分辨率縮小成與上述低倍制程程序圖像的像素分辨率相等而進(jìn)行檢索。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，上述低倍制程程序圖像的視場區(qū)域的面積是上述高倍制程程序圖像的視場區(qū)域的面積的2倍以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)位裝置，其特征在于，上述高倍制程程序圖像的視場中心的位置與上述低倍制程程序圖像的視場中心的位置對(duì)齊。
5.一種對(duì)位方法，其是由對(duì)位裝置所進(jìn)行的對(duì)位方法，該對(duì)位裝置用于使基板圖像的位置對(duì)準(zhǔn)，該對(duì)位裝置包括攝像部，其用于拍攝用來檢查測量的上述基板圖像；以及存儲(chǔ)部，其用于存儲(chǔ)高倍制程程序圖像和低倍制程程序圖像，該高倍制程程序圖像被設(shè)定了用于進(jìn)行上述檢查測量的測量部位，該低倍制程程序圖像包含上述高倍制程程序圖像的視場區(qū)域，并具有范圍比該高倍制程程序圖像大的視場區(qū)域；其特征在于，上述對(duì)位方法包括以下步驟檢查圖像拍攝步驟，拍攝用于進(jìn)行檢查測量的檢查圖像，該檢查圖像是用于進(jìn)行測量的基板的圖像，且是以與上述高倍制程程序圖像相等的倍率拍攝的；檢索步驟，檢索上述檢查圖像在上述低倍制程程序圖像內(nèi)的位置；計(jì)算步驟，在上述檢索步驟中檢索的結(jié)果為上述測量部位偏離于上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)的情況下，計(jì)算出包含該檢查圖像及上述測量部位的位置在內(nèi)的位置信息；以及移動(dòng)拍攝步驟，根據(jù)在上述計(jì)算步驟中計(jì)算出的上述位置信息，移動(dòng)了上述攝像部以使上述測量部位進(jìn)入上述檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)，之后使上述攝像部拍攝檢查圖像。
全文摘要
本發(fā)明提供即使在所拍攝的檢查對(duì)象的圖像偏離于檢查區(qū)域時(shí)也能縮短檢查對(duì)象的對(duì)位所需的檢索時(shí)間、能抑制檢查時(shí)間的增加的對(duì)位裝置及對(duì)位方法。對(duì)位裝置包括拍攝用來檢查測量的基板圖像的攝像部；存儲(chǔ)部，存儲(chǔ)被設(shè)定了進(jìn)行檢查測量的測量部位的高倍制程程序圖像及具有范圍比高倍制程程序圖像大的視場區(qū)域的低倍制程程序圖像；檢索倍率與高倍制程程序圖像相等的檢查圖像在低倍制程程序圖像內(nèi)的位置的檢索部；當(dāng)檢索的結(jié)果為測量部位偏離于檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)時(shí)計(jì)算出包含檢查圖像及測量部位的位置的位置信息的計(jì)算部；根據(jù)計(jì)算部所計(jì)算出的位置信息移動(dòng)了攝像部以使測量部位進(jìn)入檢查圖像的視場區(qū)域內(nèi)之后使攝像部拍攝檢查圖像的控制部。
文檔編號(hào)G01N21/892GK102565082SQ20111035302
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月9日
發(fā)明者加藤陽治 申請(qǐng)人:奧林巴斯株式會(huì)社