專利名稱：固定研磨樣品的工具的制作方法
技術(shù)領域：
本實用新型涉及一種半導體失效分析工具，具體涉及一種固定研磨樣品的工具。
背景技術(shù)：
在半導體失效分析的過程中，Delayer (分層)是經(jīng)常采用的一種手段。在Delayer 過程中，由于力度不容易控制，時常遇到樣品研磨不均勻，或者遇到一些小樣品在研磨過程和清洗過程容易丟失等情況。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種固定研磨樣品的工具，它可以提高研磨的均勻度，避免樣品的丟失。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型固定研磨樣品的工具的技術(shù)解決方案為包括底座、樣品盤，樣品盤設置于底座的底部；樣品盤的中心通過樣品盤連接桿與底座的中心連接；樣品盤通過多個調(diào)節(jié)螺絲連接底座；底座的頂部中心通過連接螺絲孔連接手指固定器。所述樣品盤連接桿包括連接桿，連接桿的頂端與底座固定連接，連接桿的底端設有連接球；所述樣品盤的頂部中心設有與連接球相配合的凹槽，樣品盤連接桿通過連接球與樣品盤的中心活動連接。所述樣品盤凸出于底座。所述多個調(diào)節(jié)螺絲相對于樣品盤的中心圓周均布。本實用新型可以達到的技術(shù)效果是本實用新型通過熱熔膠將樣品固定于樣品盤上，能夠防止樣品的丟失。本實用新型通過多個調(diào)節(jié)螺絲調(diào)節(jié)水平，能夠提高研磨的均勻度。本實用新型的樣品盤連接桿通過連接球與樣品盤連接，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品盤的全方位調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)動。本實用新型能夠提高研磨的均勻度；并且能夠避免由于小樣品丟失而造成的無法估計的損失。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本實用新型作進一步詳細的說明

圖1是本實用新型固定研磨樣品的工具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的俯視圖；圖3是本實用新型的手指固定器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實用新型的樣品盤連接桿與樣品盤的連接示意圖。圖中附圖標記說明1為底座，2為樣品盤，[0021]3為樣品盤連接桿，32為連接球，5為連接螺絲孔，52為螺絲。
31為連接桿， 4為調(diào)節(jié)螺絲， 51為固定手指，
具體實施方式
如圖1、圖2所示，本實用新型固定研磨樣品的工具，包括底座1、樣品盤2，樣品盤 2設置于底座1的底部，樣品盤2凸出于底座1 ；如圖4所示，樣品盤2的中心通過樣品盤連接桿3與底座1的中心連接#品盤2 通過多個調(diào)節(jié)螺絲4連接底座1，多個調(diào)節(jié)螺絲4相對于樣品盤2的中心圓周均布；樣品盤連接桿3包括連接桿31，連接桿31的頂端與底座1固定連接，連接桿31的底端設有連接球32，樣品盤2的頂部中心設有與連接球32相配合的凹槽，樣品盤連接桿3 通過連接球32與樣品盤2的中心活動連接；底座1的頂部中心通過連接螺絲孔5連接手指固定器；如圖3所示，手指固定器包括固定手指51，固定手指51的底部設有螺絲52 ；手指固定器的作用是在研磨時控制底座的穩(wěn)定。本實用新型的使用方法如下1、將需要處理的樣品用熱熔膠固定于樣品盤2的底面；2、通過調(diào)節(jié)螺絲4調(diào)節(jié)樣品盤2的各方向水平；3、將手指固定器安裝到底座1上；4、進行研磨，如發(fā)現(xiàn)有不均勻的地方，再用調(diào)節(jié)螺絲4進行水平調(diào)整。本實用新型是一種用于Delayer的輔助工具，能夠把樣品固定在樣品盤上進行 Delayer，避免樣品的丟失；并且樣品盤的各方向可以調(diào)節(jié)控制，能夠使研磨的均勻度得到提尚。
權(quán)利要求1.一種固定研磨樣品的工具，其特征在于包括底座、樣品盤，樣品盤設置于底座的底部；樣品盤的中心通過樣品盤連接桿與底座的中心連接；樣品盤通過多個調(diào)節(jié)螺絲連接底座；底座的頂部中心通過連接螺絲孔連接手指固定器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定研磨樣品的工具，其特征在于所述樣品盤連接桿包括連接桿，連接桿的頂端與底座固定連接，連接桿的底端設有連接球；所述樣品盤的頂部中心設有與連接球相配合的凹槽，樣品盤連接桿通過連接球與樣品盤的中心活動連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定研磨樣品的工具，其特征在于所述樣品盤凸出于底座。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的固定研磨樣品的工具，其特征在于所述多個調(diào)節(jié)螺絲相對于樣品盤的中心圓周均布。
專利摘要本實用新型公開了一種固定研磨樣品的工具，包括底座、樣品盤，樣品盤設置于底座的底部；樣品盤的中心通過樣品盤連接桿與底座的中心連接；樣品盤通過多個調(diào)節(jié)螺絲連接底座；底座的頂部中心通過連接螺絲孔連接手指固定器。所述樣品盤連接桿包括連接桿，連接桿的頂端與底座固定連接，連接桿的底端設有連接球；所述樣品盤的頂部中心設有與連接球相配合的凹槽，樣品盤連接桿通過連接球與樣品盤的中心活動連接。本實用新型能夠提高研磨的均勻度，并且能夠避免樣品的丟失。
文檔編號G01N1/32GK201945493SQ20112000791
公開日2011年8月24日 申請日期2011年1月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月12日
發(fā)明者吳長亮, 芮志賢, 賴華平, 龔玉梅 申請人:上海華虹Nec電子有限公司