專利名稱：半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型屬于半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于晶體管參數(shù)測試的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，并可以把該測試系統(tǒng)推廣到其它類型半導(dǎo)體器件的參數(shù)測試中去。
背景技術(shù)：
目前，針對半導(dǎo)體參數(shù)測試有各種各樣的儀器，但基本都是分立的，即每臺儀器只能實現(xiàn)一個或者為數(shù)不多的幾個參數(shù)的測試，比如測伏安特性曲線需要伏安特性測試儀， 測電容-電壓特性曲線需要電容-電壓測試儀；并且，對不同類型的半導(dǎo)體器件需要不同的測試儀器，比如三極管測試儀器與二極管測試儀器是不同的；而且，國內(nèi)生產(chǎn)的測試儀器基本上還是采用指針式儀表和手動操作，此方法讀數(shù)慢而且不夠準(zhǔn)確，操作也比較繁瑣。國外半導(dǎo)體參數(shù)測試儀器雖在性能上有所提升，但是價格十分昂貴。這勢必會導(dǎo)致半導(dǎo)體測試系統(tǒng)的構(gòu)成裝置過于龐大，增加了測試時間，進(jìn)而增加了測試成本。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是為了克服現(xiàn)有的半導(dǎo)體參數(shù)測試中存在的弊端，使半導(dǎo)體測試過程變得更方便、更高效，并且在保證測試性能的前提下，大幅度地降低測試成本。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案一種半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，包括探針系統(tǒng)、數(shù)字源表、PC機(jī)、溫度控制裝置、抽真空裝置和軟件系統(tǒng)；所述抽真空裝置將半導(dǎo)體器件吸附在探針系統(tǒng)中的樣品臺上，所述探針系統(tǒng)中的傳輸線按照測試電路與數(shù)字源表的接線口相連；所述數(shù)字源表通過GPIB接口與PC機(jī)相連，所述數(shù)字源表同時具有電源和萬用表功能，利用數(shù)字源表的電源功能把電壓或電流通過探針加載在半導(dǎo)體器件的電極上，同時利用數(shù)字源表的萬用表功能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；所述樣品臺中設(shè)有加熱絲和熱電偶棒， 通過溫度控制裝置對樣品臺的溫度進(jìn)行控制，所述溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連。進(jìn)一步地，所述探針系統(tǒng)中的探針三維調(diào)節(jié)裝置通過可控磁性的吸盤與鐵座之間的磁力固定在鐵座上，所述探針通過帶BNC接口的傳輸線與數(shù)字源表的接線口相連。進(jìn)一步地，所述樣品臺中的真空泵接口與抽真空裝置相連，通過吸氣口和吸氣槽把半導(dǎo)體器件吸附在樣品臺，所述樣品臺固定在樣品臺三維調(diào)節(jié)裝置上。進(jìn)一步地，所述樣品臺上方設(shè)有顯微鏡及顯微鏡高度調(diào)節(jié)裝置，所述顯微鏡高度調(diào)節(jié)裝置固定在與底座連接的固定桿上；在所述顯微鏡物鏡的上方設(shè)有LED光源和CCD攝像頭。進(jìn)一步地，所述樣品臺中設(shè)有電熱絲和四個電熱偶棒插槽，插入熱電偶棒，所述電熱絲外接溫度控制裝置，所述熱電偶棒為溫度控制裝置提供反饋溫度。進(jìn)一步地，所述的測試參數(shù)包括電流-電壓特性、轉(zhuǎn)移特性、跨導(dǎo)特性、開啟電壓值、漏極飽和電流值、溫度特性。本實用新型設(shè)計了一套探針系統(tǒng)，由于現(xiàn)在半導(dǎo)體工藝普遍采用微納光刻工藝，制造出的半導(dǎo)體器件都在微米級別，如本實用新型中的測試樣品為高電子遷移率晶體管 (HEMT)，其芯片尺寸僅為500微米*500微米，電極尺寸僅為60微米*60微米，所以必須設(shè)計出符合現(xiàn)代化半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝要求的探針系統(tǒng)。本實用新型采用兩臺Agilent U3606A數(shù)字源表構(gòu)成電源和數(shù)據(jù)采集單元，其特征在于該數(shù)字源表同時具有電源和萬用表功能。該數(shù)字源表能達(dá)到5位半的精度，電流能達(dá)到微安，電壓能達(dá)到微伏級別，并能通過GPIB接口與PC機(jī)進(jìn)行通訊，大大地減少了半導(dǎo)體參數(shù)測試中所要的測試儀器，而且利用PC機(jī)進(jìn)行控制，實現(xiàn)了自動化測試的目標(biāo)。利用數(shù)字源表的電源功能，通過PC機(jī)中編好的軟件系統(tǒng)發(fā)送指令直接控制數(shù)字源表的電壓、電流輸出，給晶體管加載所需的電壓或電流，并利用數(shù)字源表的萬用表功能實時采集測量值。采用的溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)進(jìn)行通訊，控制樣品臺的溫度。本實用新型中，在對每一個參數(shù)進(jìn)行測量前只需要采用不同的測試電路，即對數(shù)字源表采用不同的連線，就可實現(xiàn)對各種參數(shù)包括電流-電壓特性、轉(zhuǎn)移特性、跨導(dǎo)特性、 開啟電壓值、漏極飽和電流值、溫度特性的自動化測量。并可根據(jù)測試需要不斷地擴(kuò)展測試功能，具有很好的可擴(kuò)展性。本實用新型的有益效果是，可以使半導(dǎo)體測試成為自動化測試過程，使測試變得更方便、更高效的同時，大幅度地降低測試成本。由于其低成本、高效性和自動化測試過程能在高校實驗室及工廠中得到廣泛推廣。

圖1是本實用新型半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2a、圖2b是本實用新型半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)的總體示意圖。圖3a是本實用新型中樣品臺的結(jié)構(gòu)示意圖。圖北是圖3a的截面圖。圖4是本實用新型中對于HEMT器件的電流-電壓特性曲線、轉(zhuǎn)移特性曲線及跨導(dǎo)特性曲線、開啟電壓值、漏極飽和電流值、溫度特性的測試所用的電路示意圖。圖5是本實用新型中對HEMT器件的轉(zhuǎn)移特性、跨導(dǎo)特性、開啟電壓值、漏極飽和電流值的測試結(jié)果圖。圖6是本實用新型中對HEMT器件的溫度特性的測試結(jié)果圖。圖7是本實用新型中對HEMT器件的電流-電壓特性的測試結(jié)果圖。圖8為本實用新型中設(shè)計的軟件系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進(jìn)一步說明。在圖1中，通過抽真空裝置把半導(dǎo)體器件吸附在探針系統(tǒng)中的樣品臺上；探針系統(tǒng)中的傳輸線按照測試電路與數(shù)字源表的接線口相連，數(shù)字源表通過GPIB接口與PC機(jī)相連，利用數(shù)字源表的電源功能把電壓或電流通過探針加載在半導(dǎo)體器件的電極上，同時利用數(shù)字源表的萬用表功能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；樣品臺中有加熱絲和熱電偶棒，通過溫度控制裝置就能對樣品臺的溫度進(jìn)行控制，溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連；利用編寫的軟件系統(tǒng)，通過GPIB接口和RS232接口發(fā)出指令對儀器進(jìn)行控制。[0025]數(shù)字源表構(gòu)成了電源和數(shù)據(jù)采集單元，同時具有電源和萬用表功能，通過GPIB接口與PC機(jī)進(jìn)行通訊，利用數(shù)字源表的電源功能，通過軟件系統(tǒng)發(fā)送指令直接控制數(shù)字源表的電壓、電流輸出，給晶體管加載所需的電壓或電流，并利用數(shù)字源表的萬用表功能實時采集測量值。溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)進(jìn)行通信，通過樣品臺中的加熱絲和熱電偶對樣品臺進(jìn)行溫度的輸出和控制。整套測試系統(tǒng)最終通過用LabVIEW編程的軟件系統(tǒng)實現(xiàn)所需要的功能，進(jìn)而在電腦屏幕上即時地顯示出測量曲線或者測量值。在圖2a、圖2b所示實施例中，探針三維調(diào)節(jié)裝置1利用可控磁性的吸盤2與鐵座 3之間的磁性吸力固定在鐵座上，總共有三個相同的探針，探針4通過帶BNC接口的傳輸線 5與數(shù)字源表16中的數(shù)字源表的接線口 17相連，總共兩臺數(shù)字源表。并把探針與傳輸線的一頭通過螺絲固定在探針三維調(diào)節(jié)裝置上，這樣探針的位置可以通過三維調(diào)節(jié)裝置進(jìn)行調(diào)整。樣品臺8中的真空泵接口與抽真空裝置15相連，通過吸氣口 22和吸氣槽23把半導(dǎo)體器件7吸附在樣品臺。加熱絲25與溫度控制裝置相連，可對樣品臺進(jìn)行加熱。在四個熱電偶棒插槽M插入熱電偶棒，即可通過熱電偶棒為溫度控制裝置提供反饋溫度，用于對樣品臺溫度的控制。同時樣品臺固定在樣品臺三維調(diào)節(jié)裝置6上。通過調(diào)節(jié)樣品臺三維調(diào)節(jié)裝置，可以使測試樣品呈現(xiàn)在顯微鏡9的目鏡中央。均勻照明的LED光源10固定在顯微鏡的物鏡上方，提供顯微鏡所要的光源。CCD攝像頭11提供了除目鏡觀測外的另外一種觀測方式，顯微鏡高度調(diào)節(jié)裝置12與底座連接的固定桿13之間是螺紋連接，可以通過螺紋調(diào)節(jié)顯微鏡的高度。兩臺數(shù)字源表通過GPIB接口與PC機(jī)19相連，溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連，抽真空裝置、數(shù)字源表、溫度控制裝置18和PC機(jī)都放在儀器柜14中。在圖3a、圖北中，樣品臺提供了一個真空泵接口 20，外接抽真空裝置可以對真空室21進(jìn)行抽真空，通過吸氣口 22和吸氣槽23就可以把樣品吸在樣品臺上。在樣品臺中有加熱絲25，外接溫度控制裝置，可對樣品臺進(jìn)行加熱，同時提供了四個熱電偶棒插槽M，插入熱電偶棒，該熱電偶棒為溫度控制裝置提供反饋溫度，用于溫度控制裝置對樣品臺溫度的控制。按照圖4中的測試電路，第一臺數(shù)字源表的電源正極接線口通過連線與探針系統(tǒng)中一根帶BNC接口的傳輸線相連，并把與該傳輸線相連的探針加在晶體管的柵極；該數(shù)字源表的電源負(fù)極接線口與第二臺數(shù)字源表的電源負(fù)極接線口通過連線相連，而且把該負(fù)極接線口通過連線與探針系統(tǒng)中第二根帶BNC接口的傳輸線相連，并把與該傳輸線相連的探針加在晶體管的源極，第二臺數(shù)字源表的電源正極接線口與該數(shù)字源表的萬用表正極接線口通過連線相連，萬用表的負(fù)極接線口通過連線與探針系統(tǒng)中第三根帶BNC接口的傳輸線相連，并把與該傳輸線相連的探針加在晶體管的漏極。通過PC機(jī)中編好的軟件系統(tǒng)發(fā)送指令直接控制數(shù)字源表的電壓、電流輸出，給晶體管三個電極加載所需的電壓或電流，并利用數(shù)字源表的萬用表功能實時采集測量值。軟件系統(tǒng)發(fā)送指令控制溫度控制裝置，實現(xiàn)對樣品臺溫度的控制。進(jìn)而在PC屏幕上實時地顯示出測量曲線或者測量值。轉(zhuǎn)移特性、跨導(dǎo)特性、開啟電壓值、漏極飽和電流值的測試?yán)肞C機(jī)中軟件系統(tǒng)的用戶接口模塊，通過GPIB接口對數(shù)字源表發(fā)送指令，使得漏源電壓Vds = 0. 5V (視半導(dǎo)體器件類型而變)，柵源電壓Vgs = -1. 2V-0V，步長為0. 05V。 利用軟件系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集模塊采集在加載不同柵源電壓值Vgs情況下的漏電流Ids，最后在PC機(jī)上自動繪制出轉(zhuǎn)移特性(Ids-Vgs)曲線，如圖5中曲線1，其中橫坐標(biāo)χ軸表示柵源電壓Vgs，單位為伏，縱坐標(biāo)y軸表示漏電流Ids，單位為毫安。在轉(zhuǎn)移特性曲線上，當(dāng)柵源電壓Vgs為OV時，對應(yīng)的漏電流Ids值即為漏極飽和電流值(Idss)，即曲線1與縱坐標(biāo)y軸的交點(diǎn)所對應(yīng)的值。對轉(zhuǎn)移特性曲線中的各個離散點(diǎn)求導(dǎo)，即可繪制出跨導(dǎo)特性曲線(Gm-Vgs)，如圖 5中的曲線2，橫坐標(biāo)χ軸表示柵源電壓Vgs，單位為伏，縱坐標(biāo)y軸表示跨導(dǎo)Gm，單位為毫西。求出跨導(dǎo)特性曲線上最大跨導(dǎo)對應(yīng)的Vgs，在該Vgs值下的轉(zhuǎn)移特性曲線的坐標(biāo)點(diǎn)，即圖5中的虛線與曲線1的交點(diǎn)，求該點(diǎn)在轉(zhuǎn)移特性曲線上的切線，如圖5中的曲線3， 該切線與橫坐標(biāo)的交點(diǎn)即為開啟電壓(Vth)，其中橫坐標(biāo)χ軸表示柵源電壓Vgs，單位為伏，縱坐標(biāo)y軸表示漏電流電導(dǎo)，單位為毫西。圖5為PC上顯示的最終測試結(jié)果。溫度特性的測試?yán)肞C機(jī)中軟件系統(tǒng)的用戶接口模塊，通過RS232接口對溫度控制裝置發(fā)送指令，使得T = 25°C和T = 45°C。溫度特性測試設(shè)置和轉(zhuǎn)移特性的測試設(shè)置是一樣的，只是在不同溫度下測試轉(zhuǎn)移特性曲線，最終在同一坐標(biāo)系中繪制出兩條轉(zhuǎn)移特性曲線。曲線4 是在T = 25°C時測得的轉(zhuǎn)移特性曲線，曲線5為T = 45°C測得的轉(zhuǎn)移特性曲線，其中橫坐標(biāo)χ軸表示柵源電壓Vgs，單位為伏，縱坐標(biāo)y軸表示漏電流Ids，單位為毫安。圖6為PC上顯示的最終測試結(jié)果。電流-電壓特性(I-V特性)的測試?yán)肞C機(jī)中軟件系統(tǒng)的用戶接口模塊，通過GPIB接口對數(shù)字源表發(fā)送指令，使得Vgs = Vth-OV，步長為0. 2V。在相同柵源電壓Vgs下，使得漏源電壓Vds為可變量(Vds =0-0. 8V,步長為0. 05V)，利用軟件系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集模塊采集在加載相同Vgs電壓值，不同 Vds電壓值情況下的漏電流Ids電流值，并繪制出曲線。最后在PC機(jī)上自動繪制出多條在不同Vgs之下的電流-電壓特性(Ids-Vds)曲線。曲線6為Vgs = -0. 8V時的I-V特性曲線，曲線7為Vgs = -0. 6V時的I-V特性曲線，曲線8為Vgs = -0. 4V時的I-V特性曲線， 曲線9為Vgs = -0. 2V時的I-V特性曲線，曲線10為Vgs = OV時的I-V特性曲線，其中橫坐標(biāo)χ軸表示柵源電壓Vds，單位為伏，縱坐標(biāo)y軸表示漏電流Ids，單位為毫安。圖7為PC上顯示的最終測試結(jié)果。在此半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)中，利用高性能的探針系統(tǒng)可以對多種參數(shù)進(jìn)行測試工作，比如晶體管的電容-電壓特性(C-V特性)、0ff-state柵源擊穿電壓(BVgs) ,off-State 漏源擊穿電壓(BVds)、on-state擊穿電壓(BVon)；以及其它類型的半導(dǎo)體器件，比如二極管，只需要改變測試電路，使用探針系統(tǒng)中的2個探針，無需增加或改變測試儀器就可以實現(xiàn)參數(shù)測試工作。符號說明Vds:漏源電壓。Vgs:柵源電壓。Ids:漏電流。Idss:漏極飽和電流。Vth:開啟電壓。[0048]Gm:跨導(dǎo)。本實用新型中的軟件系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖如圖8，軟件系統(tǒng)是在Windows XP操作系統(tǒng)下采用LabVIEW 2009來實現(xiàn)的。具有以下模塊用戶接口模塊；數(shù)據(jù)采集模塊；分析計算模塊；數(shù)據(jù)顯示/打印/保存模塊；用戶接口模塊用戶接口模塊主要是讓具有GPIB或者RS232接口的儀器與PC機(jī)相連，通過該模塊發(fā)指令來控制儀器，實現(xiàn)人機(jī)交互功能，從而達(dá)到自動化測試目的。數(shù)據(jù)采集模塊本半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)中利用數(shù)字源表的萬用表功能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集工作，并通過 GPIB接口與PC機(jī)相連，自動地采集電壓或者電流值。分析計算模塊分析計算模塊是把數(shù)據(jù)采集模塊采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和計算工作。測試半導(dǎo)體的跨導(dǎo)特性，是對數(shù)據(jù)采集模塊采集到的轉(zhuǎn)移特性曲線求導(dǎo)，即是跨導(dǎo)特性曲線。測試漏極飽和電流，是在轉(zhuǎn)移特性(Ids-Vgs)曲線上，當(dāng)Vgs為OV時，對應(yīng)的Ids 值即為漏極飽和電流。測試開啟電壓，是先找出跨導(dǎo)特性曲線上最大跨導(dǎo)值對應(yīng)的Vgs，在該Vgs值下的轉(zhuǎn)移特性曲線的坐標(biāo)點(diǎn)，并求該點(diǎn)在轉(zhuǎn)移特性曲線上的切線，該切線與橫坐標(biāo)的交點(diǎn)即為開啟電壓。數(shù)據(jù)顯示/打印/保存模塊數(shù)據(jù)顯示/打印/保存模塊是把數(shù)據(jù)采集模塊采集到數(shù)據(jù)和分析計算模塊計算出來的結(jié)果實時顯示在PC機(jī)的屏幕上，或保存為文檔，能方便地調(diào)用原先的測試數(shù)據(jù)，或者打印出來，究竟采用哪種方式均由用戶自己選擇。實例本實例中，對中國科學(xué)院微電子研究所提供的高電子遷移率晶體管HEMT進(jìn)行測試，測試過程如下第一步樣品臺中的真空泵接口接上抽真空裝置，打開抽真空裝置，把HEMT器件放在探針系統(tǒng)中的樣品臺上，HEMT器件就被吸附在樣品臺上。通過調(diào)節(jié)顯微鏡的位置以及樣品臺三維調(diào)節(jié)裝置，使HEMT呈現(xiàn)在顯微鏡目鏡觀測到的中心位置。第二步按照測試電路，把數(shù)字源表的接線口通過連線和探針系統(tǒng)中的三根帶 BNC接口的傳輸線相連。第三步通過顯微鏡的目鏡觀測，調(diào)節(jié)探針三維調(diào)節(jié)裝置把三個探針加到HEMT器件的源極，漏極和柵極上。第四步四根熱電偶棒插入樣品臺中的熱電偶棒插槽中，兩臺數(shù)字源表通過GPIB 接口與PC機(jī)相連，溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連。第五步打開編寫的軟件系統(tǒng)，通過PC機(jī)中GPIB接口對數(shù)字源表發(fā)出指令，控制電壓的輸出以及對電壓和電流的采集。通過PC機(jī)中RS232接口對溫度控制裝置發(fā)出指令， 控制樣品臺的溫度。最終在PC機(jī)的屏幕上實時地顯示測試結(jié)果。根據(jù)需要進(jìn)行保存或者打印操作。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于包括探針系統(tǒng)、數(shù)字源表、PC機(jī)、溫度控制裝置、抽真空裝置和軟件系統(tǒng)；所述抽真空裝置將半導(dǎo)體器件吸附在探針系統(tǒng)中的樣品臺上，所述探針系統(tǒng)中的傳輸線按照測試電路與數(shù)字源表的接線口相連；所述數(shù)字源表通過 GPIB接口與PC機(jī)相連，所述數(shù)字源表同時具有電源和萬用表功能，利用數(shù)字源表的電源功能把電壓或電流通過探針加載在半導(dǎo)體器件的電極上，同時利用數(shù)字源表的萬用表功能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；所述樣品臺中設(shè)有加熱絲和熱電偶棒，通過溫度控制裝置對樣品臺的溫度進(jìn)行控制，所述溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于所述探針系統(tǒng)中的探針三維調(diào)節(jié)裝置通過可控磁性的吸盤與鐵座之間的磁力固定在鐵座上，所述探針通過帶BNC 接口的傳輸線與數(shù)字源表的接線口相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于所述樣品臺中的真空泵接口與抽真空裝置相連，通過吸氣口和吸氣槽把半導(dǎo)體器件吸附在樣品臺，所述樣品臺固定在樣品臺三維調(diào)節(jié)裝置上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于所述樣品臺上方設(shè)有顯微鏡及顯微鏡高度調(diào)節(jié)裝置，所述顯微鏡高度調(diào)節(jié)裝置固定在與底座連接的固定桿上；在所述顯微鏡物鏡的上方設(shè)有LED光源和CXD攝像頭。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于所述樣品臺中設(shè)有電熱絲和四個電熱偶棒插槽，插入熱電偶棒，所述電熱絲外接溫度控制裝置，所述熱電偶棒為溫度控制裝置提供反饋溫度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，其特征在于所述的測試參數(shù)包括電流-電壓特性、轉(zhuǎn)移特性、跨導(dǎo)特性、開啟電壓值、漏極飽和電流值、溫度特性。
專利摘要本實用新型屬于半導(dǎo)體測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于晶體管參數(shù)測試的半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)，包括探針系統(tǒng)、數(shù)字源表、PC機(jī)、溫度控制裝置、抽真空裝置和軟件系統(tǒng)；抽真空裝置將半導(dǎo)體器件吸附在探針系統(tǒng)中的樣品臺上；探針系統(tǒng)中的傳輸線按照測試電路與數(shù)字源表的接線口相連；數(shù)字源表通過GPIB接口與PC機(jī)相連，利用數(shù)字源表的電源功能把電壓或電流通過探針加載在半導(dǎo)體器件的電極上，同時利用數(shù)字源表的萬用表功能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集；樣品臺中設(shè)有加熱絲和熱電偶棒，通過溫度控制裝置對樣品臺的溫度進(jìn)行控制，溫度控制裝置通過RS232接口與PC機(jī)相連。整個測試系統(tǒng)都是由PC機(jī)進(jìn)行控制，最后在PC機(jī)上顯示、分析和保存測試數(shù)據(jù)。本實用新型可以使半導(dǎo)體測試成為自動化測試過程，使測試變得更方便、更高效的同時，大幅度地降低測試成本。
文檔編號G01R31/26GK202083773SQ201120015418
公開日2011年12月21日 申請日期2011年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月18日
發(fā)明者卞金鑫, 彭滟, 徐靜波, 朱亦鳴, 李洪, 杜少卿, 涂浩, 賈曉軒, 郭天義, 陳麟, 黃杰 申請人:上海理工大學(xué)