專利名稱：X射線熒光光譜儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及測量儀器領(lǐng)域技術(shù)，尤其是指一種測量精確度高的X射線熒光光譜儀。
背景技術(shù)：
用X射線照射被測樣品，被測樣品可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線，需要把混合的X射線按波長或能量分開，分別測量不同波長或能量的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析。而為此使用的儀器就是X射線熒光光譜儀。現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀的結(jié)構(gòu)比較簡單，其主要包括有機(jī)箱以及安裝于機(jī)箱上的X射線發(fā)生器、探測器和載物平臺，該載物平臺位于X射線發(fā)生器和探測器的上方，通過將被測樣品防止于載物平臺上，利用χ射線發(fā)生器發(fā)射出的χ射線射向被測樣品，利用被測樣品發(fā)射出的X射線射向探測器，并由探測器接收到反射回來的X射線，該探測器即刻向其他處理設(shè)備傳輸信號，并由處理設(shè)備進(jìn)行分析出來得出測量值，然后測量值由輸出設(shè)備(如顯示器)輸出，以此完成測量作業(yè)。上述現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀結(jié)構(gòu)，雖可提供給使用者對被測樣品進(jìn)行快速測量的作用，確實具有進(jìn)步性，但是在實際使用時卻發(fā)現(xiàn)其自身結(jié)構(gòu)和使用性能上仍存在有諸多不足，造成現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀在實際應(yīng)用上，未能達(dá)到最佳的使用效果和工作效能，現(xiàn)將其缺點歸納如下首先，由于被測樣品只是簡單地放置于載物平臺上，使得被測樣品暴露于空氣中， 致使在對被測樣品進(jìn)行測量的過程中，很容易受空氣中氮?dú)饣蚱渌镔|(zhì)的影響，使得測量的最終結(jié)果容易出現(xiàn)誤差，測量的精確度不能得到有效保證。其次，現(xiàn)有的X射線熒光光譜儀其散熱效果較差，同樣使得測量的結(jié)果受到影響，容易出現(xiàn)偏差。

實用新型內(nèi)容有鑒于此，本實用新型針對現(xiàn)有技術(shù)存在之缺失，其主要目的是提供一種X射線熒光光譜儀，其能有效解決現(xiàn)有之X射線熒光光譜儀受空氣影響使得測量結(jié)果容易出現(xiàn)誤差、精確度低的問題。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下之技術(shù)方案一種X射線熒光光譜儀，包括機(jī)箱、用于承載被測樣品的載物平臺、用于朝向被測樣品發(fā)射X射線的X射線發(fā)生器以及用于接收X射線的探測器；該載物平臺、X射線發(fā)生器和探測器均設(shè)置于機(jī)箱內(nèi)，針對該被測樣品設(shè)置有真空樣品室，該載物平臺設(shè)置于真空樣品室內(nèi)。作為一種優(yōu)選方案，進(jìn)一步包括有真空泵和電磁閥，該真空樣品室上設(shè)置有通氣口，該通氣口通過管路與該電磁閥的進(jìn)氣口連通，該電磁閥的出氣口與真空泵連通。作為一種優(yōu)選方案，所述電磁閥設(shè)置于機(jī)箱的內(nèi)部，該真空泵設(shè)置于機(jī)箱外。作為一種優(yōu)選方案，所述真空樣品室由底座和上蓋圍合形成，該底座的內(nèi)底面上位于載物平臺的正下方下凹形成有容置腔，并于底座外形成有兩斜面；該上蓋和底座之間夾設(shè)有密封圈。作為一種優(yōu)選方案，所述X射線發(fā)生器和探測器交叉式分別安裝于前述兩斜面上，該X射線發(fā)生器的發(fā)射端和探測器的接收端均密封式伸入到前述容置腔中。作為一種優(yōu)選方案，所述機(jī)箱包括有主體和封蓋于該主體之上端開口的蓋體，前述真空樣品室的上蓋固定于該蓋體的內(nèi)側(cè)面上，且該密封圈固定于該上蓋的內(nèi)側(cè)面上。作為一種優(yōu)選方案，所述主體與蓋體之間設(shè)置有用于使蓋體相對主體自動打開或合上的驅(qū)動缸體。作為一種優(yōu)選方案，所述驅(qū)動缸體的一端與該主體樞接，驅(qū)動缸體的另一端可活動地伸出有活塞桿，該活塞桿的末端與蓋體的一側(cè)樞接，該蓋體的另一側(cè)與該主體樞接。作為一種優(yōu)選方案，所述機(jī)箱采用鋁質(zhì)材料制成。作為一種優(yōu)選方案，進(jìn)一步包括有電氣控制箱，該電氣控制箱固定于機(jī)箱的外側(cè)面上。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果，具體而言，由上述技術(shù)方案可知一、通過針對被測樣品設(shè)置有真空樣品室，利用真空樣品室使得被測樣品隔絕外界并處于真空環(huán)境中，使得在測量過程中，完全避免受空氣中氮?dú)饣蚱渌s質(zhì)的影響，測量結(jié)果更加精確，有效保證了測量的精確度。二、通過于真空樣品室上設(shè)置有通氣孔，并配合利用真空泵和電磁閥將真空樣品室中的空氣抽出以形成真空，結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，有利于提高測量的效率。三、通過于機(jī)箱的蓋體和主體之間設(shè)置有驅(qū)動缸體，利用驅(qū)動缸體使使蓋體相對主體自動打開或合上，并且利用上蓋固定于蓋體上，使得上蓋隨蓋體同步移動而相對底座打開或合上，結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高，免去了人工將機(jī)箱打開或合上，使用方便。四、該機(jī)箱通過由鋁質(zhì)材料制成，利用鋁制材料具有優(yōu)良的散熱性能，使得本實用新型的散熱性能大大提高，更加有效減少測量誤差的出現(xiàn)，使測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。為更清楚地闡述本實用新型的結(jié)構(gòu)特征和功效，
以下結(jié)合附圖與具體實施例來對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。


圖1是本實用新型之較佳實施例的組裝立體示意圖； 圖2是本實用新型之較佳實施例打開狀態(tài)下的示意圖； 圖3是圖2中主體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4是圖2的另一角度示意圖； 圖5是圖4中主體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6是本實用新型之較佳實施例的截面圖。 附圖標(biāo)識說明
10、機(jī)箱11、主體
12、蓋體13、驅(qū)動缸體
131、活塞桿20、真空樣品室[0034]21、底座23、密封圈202、斜面204、管路
22 λ上蓋 201、容置腔 203、通氣孔 30、載物平臺 41、發(fā)射端 51、探測端 70、電磁閥 72、出氣口 40、X射線發(fā)生器50、探測器60、真空泵71、進(jìn)氣口 80、電氣控制箱
90、被測樣品。
具體實施方式
請參照圖1至圖6所示，其顯示出了本實用新型之較佳實施例的具體結(jié)構(gòu)，包括有機(jī)箱10以及設(shè)置于機(jī)箱10內(nèi)的真空樣品室20、載物平臺30、Χ射線發(fā)生器40和探測器50。其中，該機(jī)箱10采用鋁質(zhì)材料制成，具有較好的散熱性能，其包括有主體11和蓋體12，該蓋體12封蓋住該主體11的上端開口，蓋體12與主體11之間設(shè)置有驅(qū)動缸體13， 該驅(qū)動缸體13用于使蓋體12相對主體11自動打開或合上，針對蓋體12的左右兩側(cè)均設(shè)置有驅(qū)動缸體13，該驅(qū)動缸體13為氣壓式驅(qū)動缸體，每一驅(qū)動缸體13的一端與主體11樞接，驅(qū)動缸體13的另一端可活動地伸出有活塞桿131，該活塞桿131的末端與蓋體12的前側(cè)樞接，該蓋體12的后側(cè)與該主體11樞接，當(dāng)驅(qū)動缸體13作用使活塞桿131伸出時，該蓋體12相對主體11自動打開，當(dāng)驅(qū)動缸體13作用使活塞桿131縮回時，該蓋體12相對主體 11自動合上。該真空樣品室20系針對被測樣品而設(shè)置的，以使被測樣品置于一個真空的環(huán)境中，防止受空氣中的氮?dú)庥绊憸y量的準(zhǔn)確度。該真空樣品室20由底座21和上蓋22圍合形成，該底座21的內(nèi)底面下凹形成有容置腔201，并于底座21外形成有兩斜面202，其該兩斜面202相對交叉形成一夾角。該上蓋22用于封蓋住底座21的上端開口，該上蓋22固定于前述蓋體12的內(nèi)側(cè)面上，該上蓋22隨蓋體12同步運(yùn)動而相對底座21合上或打開，當(dāng)蓋體 12相對主體11打開時，該上蓋22相對底座21打開，當(dāng)蓋體12相對主體11合上時，該上蓋 22也相對底座21合上，且該上蓋22和底座21之間夾設(shè)有密封圈23，以使得該上蓋22與底座21合上時形成較好的密封結(jié)構(gòu)，該密封圈23固定于上蓋22的內(nèi)側(cè)面上隨上蓋22同步運(yùn)動。以及，針對該真空樣品室20設(shè)置有真空泵60和電磁閥70，該真空泵60和電磁閥 70的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有成熟技術(shù)，在此對真空泵60和電磁閥70的具體結(jié)構(gòu)不作詳細(xì)敘述，如圖6所示，該真空泵60設(shè)置于機(jī)箱10外，該電磁閥70固定于機(jī)箱10內(nèi)部，同時，該真空樣品室20之底座21的后側(cè)壁上設(shè)置有三個通氣孔203，通氣孔203的數(shù)量以及設(shè)置的位置不限，該通氣孔203通過管路204與電磁閥70的進(jìn)氣口 71連通，該電磁閥70的出氣口 72與真空泵60連通。當(dāng)上蓋22相對底座21合上時，通過真空泵60和電磁閥70的配合作用將真空樣品室20變成真空，當(dāng)然使真空樣品室20變成真空的方法有很多，不局限于通過真空泵60和電磁閥70的配合作用。該載物平臺30用于承載被測樣品，載物平臺30的具體結(jié)構(gòu)為現(xiàn)有成熟技術(shù)，在此對載物平臺30的具體結(jié)構(gòu)不作詳細(xì)敘述。該載物平臺30設(shè)置于前述真空樣品室20之底座21的內(nèi)底面上，且載物平臺30位于前述容置腔201的正上方。
5[0048]該X射線發(fā)生器40和探測器50的具體結(jié)構(gòu)均為現(xiàn)有成熟技術(shù)，在此對X射線發(fā)生器40和探測器50的具體結(jié)構(gòu)不作詳細(xì)敘述，該X射線發(fā)生器40用于朝向被測樣品發(fā)射 X射線，該探測器50用于接收從被測樣品反射出的X射線，然后經(jīng)過運(yùn)算處理得出測量結(jié)構(gòu)。如圖6所示，該X射線發(fā)生器40和探測器50交叉式地分別安裝固定于前述底座21的兩斜面202上，該X射線發(fā)生器40的發(fā)射端41和探測器50的探測端51均密封式伸入到真空樣品室20的容置腔201中，前述載物平臺30位于該發(fā)射端41和探測端51的正上方， 當(dāng)X射線發(fā)生器40向被測樣品發(fā)射出X射線后，經(jīng)被測樣品反射射向探測器50，然后經(jīng)過探測器50接收到X射線，并向其他設(shè)備傳輸信號，最后經(jīng)過軟件的分析處理得出測量值。以及，進(jìn)一步包括有電氣控制箱80，該電氣控制箱80固定于機(jī)箱10的外側(cè)面上， 前述驅(qū)動缸體13、X射線發(fā)生器40、探測器50、真空泵60和電磁閥70均由該電氣控制箱80 控制，該電氣控制器80具備優(yōu)秀的人機(jī)對話界面，簡單易學(xué)，使用方便。詳述本實施例的使用方法如下本實用新型可應(yīng)用于電鍍層側(cè)厚、金屬成分分析以及RoHS (重金屬及有害元素)分析，針對銅、鐵、鋅、不銹鋼等任意基體做成份分析，同時可現(xiàn)實25種元素的分析結(jié)果。使用時，首先通過驅(qū)動缸體13作用使活塞桿131伸出，從而使蓋體12相對主體11 打開，該上蓋22隨蓋體12移動而將真空樣品室20打開。然后，將被測樣品90放置于真空樣品室20中的載物平臺30上，如圖6所示，該被測樣品90位于X射線發(fā)生器40和探測器 50的正上方。接著，通過驅(qū)動缸體13作用使活塞桿131縮回，從而使得蓋體12相對主體 11合上，該上蓋22隨蓋體12移動而將真空樣品室20合上，該密封圈23夾緊于上蓋22和底座21之間而使真空樣品室20形成密封。接著，通過電氣控制箱80控制真空泵60和電磁閥70工作，配合利用真空泵60和電磁閥70將真空樣品室20內(nèi)的空氣抽出，使得真空樣品室20形成真空。接著，使X射線發(fā)生器40和探測器50工作，由X射線發(fā)生器40發(fā)射出的X射線射向被測樣品90，然后X射線經(jīng)被測樣品90反射射向探測器50，并由探測器50 接收到X射線，接著經(jīng)過探測器50向其他設(shè)備傳輸信號，并經(jīng)過軟件的分析處理得出測量值，最后由輸出設(shè)備(如顯示器)輸出。本實用新型的設(shè)計重點在于首先，通過針對被測樣品設(shè)置有真空樣品室，利用真空樣品室使得被測樣品隔絕外界并處于真空環(huán)境中，使得在測量過程中，完全避免受空氣中氮?dú)饣蚱渌s質(zhì)的影響，測量結(jié)果更加精確，有效保證了測量的精確度。其次，通過于真空樣品室上設(shè)置有通氣孔，并配合利用真空泵和電磁閥將真空樣品室中的空氣抽出以形成真空，結(jié)構(gòu)簡單，操作簡便，有利于提高測量的效率。再者，通過于機(jī)箱的蓋體和主體之間設(shè)置有驅(qū)動缸體，利用驅(qū)動缸體使使蓋體相對主體自動打開或合上，并且利用上蓋固定于蓋體上，使得上蓋隨蓋體同步移動而相對底座打開或合上，結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高，免去了人工將機(jī)箱打開或合上，使用方便。最后，該機(jī)箱通過由鋁質(zhì)材料制成，利用鋁制材料具有優(yōu)良的散熱性能，使得本實用新型的散熱性能大大提高，更加有效減少測量誤差的出現(xiàn)，使測量結(jié)果更加準(zhǔn)確。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型的技術(shù)范圍作任何限制，故凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何細(xì)微修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種X射線熒光光譜儀，包括機(jī)箱、用于承載被測樣品的載物平臺、用于朝向被測樣品發(fā)射X射線的X射線發(fā)生器以及用于接收X射線的探測器；該載物平臺、X射線發(fā)生器和探測器均設(shè)置于機(jī)箱內(nèi)，其特征在于針對該被測樣品設(shè)置有真空樣品室，該載物平臺設(shè)置于真空樣品室內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于進(jìn)一步包括有真空泵和電磁閥，該真空樣品室上設(shè)置有通氣口，該通氣口通過管路與該電磁閥的進(jìn)氣口連通，該電磁閥的出氣口與真空泵連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述電磁閥設(shè)置于機(jī)箱的內(nèi)部，該真空泵設(shè)置于機(jī)箱外。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述真空樣品室由底座和上蓋圍合形成，該底座的內(nèi)底面上位于載物平臺的正下方下凹形成有容置腔，并于底座外形成有兩斜面；該上蓋和底座之間夾設(shè)有密封圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述X射線發(fā)生器和探測器交叉式分別安裝于前述兩斜面上，該X射線發(fā)生器的發(fā)射端和探測器的接收端均密封式伸入到前述容置腔中。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述機(jī)箱包括有主體和封蓋于該主體之上端開口的蓋體，前述真空樣品室的上蓋固定于該蓋體的內(nèi)側(cè)面上，且該密封圈固定于該上蓋的內(nèi)側(cè)面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述主體與蓋體之間設(shè)置有用于使蓋體相對主體自動打開或合上的驅(qū)動缸體。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述驅(qū)動缸體的一端與該主體樞接，驅(qū)動缸體的另一端可活動地伸出有活塞桿，該活塞桿的末端與蓋體的一側(cè)樞接， 該蓋體的另一側(cè)與該主體樞接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于所述機(jī)箱采用鋁質(zhì)材料制成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的X射線熒光光譜儀，其特征在于進(jìn)一步包括有電氣控制箱，該電氣控制箱固定于機(jī)箱的外側(cè)面上。
專利摘要本實用新型公開一種X射線熒光光譜儀，包括機(jī)箱、用于承載被測樣品的載物平臺、用于朝向被測樣品發(fā)射X射線的X射線發(fā)生器以及用于接收X射線的探測器；該載物平臺、X射線發(fā)生器和探測器均設(shè)置于機(jī)箱內(nèi)，針對該被測樣品設(shè)置有真空樣品室，該載物平臺設(shè)置于真空樣品室內(nèi)；藉此，通過針對被測樣品設(shè)置有真空樣品室，利用真空樣品室使得被測樣品隔絕外界并處于真空環(huán)境中，使得在測量過程中，完全避免受空氣中氮?dú)饣蚱渌s質(zhì)的影響，測量結(jié)果更加精確，有效保證了測量的精確度。
文檔編號G01N23/223GK202018430SQ20112007038
公開日2011年10月26日 申請日期2011年3月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月17日
發(fā)明者韓曉朋 申請人:東莞市善時電子科技有限公司