專利名稱：一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，尤其涉及一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置。
背景技術(shù)：
GIS由于其極強(qiáng)的帶電運(yùn)行穩(wěn)定性以及開斷電弧的能力，因而廣泛應(yīng)用于電力系統(tǒng)中。其在電力系統(tǒng)規(guī)劃中占據(jù)越來越重要的地位，因此對(duì)GIS進(jìn)行有效地狀態(tài)監(jiān)測(cè)是十分必要的。由于GIS在搬運(yùn)、運(yùn)行等過程中不可避免地存在細(xì)小金屬微粒污染以及各類放電現(xiàn)象，放電現(xiàn)象常常使得絕緣性能優(yōu)異的SF6氣體微量分解，使得氣體成份發(fā)生變化，這些微小的分解氣體反映著SF6氣體的絕緣性能，直接反映GIS運(yùn)行狀態(tài)的穩(wěn)定性，因而實(shí)時(shí)且及時(shí)地監(jiān)測(cè)GIS內(nèi)氣體成份有利于GIS絕緣狀態(tài)的評(píng)估。電弧和局部放電作用下SF6氣體分解產(chǎn)物主要有硫化物和氟化物。硫化物主要有S02、H2S, SF4, SO2F2, SOF2等；氟化物主要有HF、CF4和金屬氟化物。其中SF4、SOF2含量較大但不穩(wěn)定，很快在氧氣(O2)和水氣(H2O) 雜質(zhì)影響下產(chǎn)生穩(wěn)定的和HF，HF具有強(qiáng)腐蝕性，會(huì)與內(nèi)部金屬發(fā)生再反應(yīng)，通常開斷或故障后檢測(cè)到的氟化氫(HF)含量較小或檢測(cè)不到；CF4在新氣中含量就很大QOOul/1左右)，而在電弧作用下增加量卻相對(duì)較小，故不能作為檢測(cè)氣體。其它氣體分解物在設(shè)備內(nèi)部的含量極少。因此，利用質(zhì)譜儀的對(duì)氣體微量成份高分辨率的優(yōu)勢(shì)進(jìn)行GIS絕緣性能監(jiān)測(cè)是有效的方法。
發(fā)明內(nèi)容為了實(shí)現(xiàn)對(duì)六氟化硫氣體放電微量組分的檢測(cè)，本實(shí)用新型提供了一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，該裝置包括質(zhì)譜儀裝置1和質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2，質(zhì)譜儀裝置1包括GIS3、進(jìn)出氣口 6、氣路7、真空系統(tǒng)8、進(jìn)樣系統(tǒng)9、磁極10、接收極11、離子源12和檢測(cè)器13，在GIS3上設(shè)置有進(jìn)出氣口 6，該進(jìn)出氣口 6通過氣路7與真空系統(tǒng)8連接，真空系統(tǒng)8分別與進(jìn)樣系統(tǒng)9和離子源12連接，在離子源12內(nèi)設(shè)置有接收極11和檢測(cè)器13，在離子源兩端設(shè)置有磁極10 ；質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2包括計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)15和顯示器16 ；質(zhì)譜儀裝置1與質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2連接。本實(shí)用新型是一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，在設(shè)備不拆卸和不停電的情況下，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)六氟化硫氣體放電微量組分的檢測(cè)。

圖1是本實(shí)用新型的六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖詳細(xì)說明本實(shí)用新型的一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置。如圖1所示，本實(shí)用新型的一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，包括質(zhì)譜儀裝置1和質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2，質(zhì)譜儀裝置1包括GIS3、進(jìn)出氣口 6、氣路 7、真空系統(tǒng)8、進(jìn)樣系統(tǒng)9、磁極10、接收極11、離子源12和檢測(cè)器13，在GIS3上設(shè)置有進(jìn)出氣口 6，該進(jìn)出氣口 6通過氣路7與真空系統(tǒng)8連接，真空系統(tǒng)8分別與進(jìn)樣系統(tǒng)9和離子源12連接，在離子源12內(nèi)設(shè)置有接收極11和檢測(cè)器13，在離子源兩端設(shè)置有磁極10 ； 質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2包括計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)15和顯示器16 ；質(zhì)譜儀裝置1與質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2連接。質(zhì)譜儀裝置1通過進(jìn)樣系統(tǒng)9控制通過進(jìn)出氣口 6流入真空系統(tǒng)8腔體內(nèi)的樣氣， 然后通過離子源12轟擊氣體分子，根據(jù)帶電粒子在離子源12兩端配備的磁極10電磁場(chǎng)中能夠偏轉(zhuǎn)的原理，按物質(zhì)原子、分子或分子碎片的質(zhì)量差異進(jìn)行分離，檢測(cè)物質(zhì)成分。質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2由計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)15分析檢測(cè)出分子質(zhì)量，其分析結(jié)果通過顯示器16顯示。如圖1所示，由于GIS3內(nèi)放電源4導(dǎo)致六氟化硫氣體發(fā)生微量分解，生成氣體分解產(chǎn)物5。利用質(zhì)譜儀裝置1在線檢測(cè)氣體分解成份，將含有氣體分解產(chǎn)物5的混合氣體通過真空系統(tǒng)8進(jìn)入質(zhì)譜儀裝置1內(nèi)部，通過射線將混合氣體離子化，然后通過磁極10電場(chǎng)扭偏，最終基于質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)2得出氣體分解成份的質(zhì)譜圖，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)六氟化硫氣體放電微量組分的檢測(cè)。
權(quán)利要求1. 一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，其特征在于，所述裝置包括質(zhì)譜儀裝置和質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)，質(zhì)譜儀裝置包括GIS、進(jìn)出氣口、氣路、真空系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、磁極、接收極、離子源和檢測(cè)器，其連接結(jié)構(gòu)為在GIS上設(shè)置有進(jìn)出氣口，該進(jìn)出氣口通過氣路與真空系統(tǒng)連接，真空系統(tǒng)分別與進(jìn)樣系統(tǒng)和離子源連接，在離子源內(nèi)設(shè)置有接收極和檢測(cè)器，在離子源兩端設(shè)置有磁極；質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)和顯示器；質(zhì)譜儀裝置與質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，尤其涉及一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置。本實(shí)用新型的一種六氟化硫氣體放電微量組分的質(zhì)譜儀在線檢測(cè)裝置，包括質(zhì)譜儀裝置和質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)，質(zhì)譜儀裝置包括GIS、進(jìn)出氣口、氣路、真空系統(tǒng)、進(jìn)樣系統(tǒng)、磁極、接收極、離子源和檢測(cè)器，在GIS上設(shè)置有進(jìn)出氣口，該進(jìn)出氣口通過氣路與真空系統(tǒng)連接，真空系統(tǒng)分別與進(jìn)樣系統(tǒng)和離子源連接，在離子源內(nèi)設(shè)置有接收極和檢測(cè)器，在離子源兩端設(shè)置有磁極；質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)包括計(jì)算機(jī)分析系統(tǒng)和顯示器；質(zhì)譜儀裝置與質(zhì)譜儀分析顯示系統(tǒng)連接。本實(shí)用新型能夠在設(shè)備不拆卸和不停電的情況下，實(shí)現(xiàn)對(duì)六氟化硫氣體放電微量組分的檢測(cè)。
文檔編號(hào)G01N27/64GK202141696SQ201120241659
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者張微, 王科, 譚向宇, 趙現(xiàn)平, 陳磊 申請(qǐng)人:云南電力試驗(yàn)研究院(集團(tuán))有限公司