專(zhuān)利名稱(chēng)：探針卡檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種探針卡檢測(cè)裝置，尤指一種自動(dòng)檢測(cè)探針卡的接腳位置是否正確的裝置。
背景技術(shù)：
圖6所示為習(xí)用的探針卡檢測(cè)裝置，在檢測(cè)時(shí)可利用治具將探針卡定位在平臺(tái)90 上，此平臺(tái)90上具有模擬晶圓各個(gè)接腳墊的位置標(biāo)示，藉由平臺(tái)90上方的顯微鏡觀測(cè)器91 觀測(cè)探針卡的接腳位置是否符合各個(gè)接腳墊的位置，此時(shí)顯微鏡觀測(cè)器91所觀測(cè)到的影像傳輸至電腦裝置92，并由顯示器93顯示所觀測(cè)到的影像，檢測(cè)者若由顯示器93觀測(cè)出探針卡的接腳位置與接腳墊的標(biāo)示有誤，便將探針卡由平臺(tái)90取出至校正裝置調(diào)校接腳至正確位置。然而，以此探針卡檢測(cè)裝置觀測(cè)探針卡的接腳位置時(shí)，必須將整個(gè)探針卡的所有接腳區(qū)分為多個(gè)待測(cè)區(qū)塊再一一檢視，而探針卡在觀測(cè)與調(diào)校時(shí)必須由不同裝置進(jìn)行，故須在不同裝置間拆裝探針卡，故除了調(diào)校動(dòng)作繁雜之外，檢測(cè)者必須在檢測(cè)過(guò)程中記錄區(qū)塊檢測(cè)的順序，若檢測(cè)人員在拆裝過(guò)程中未謹(jǐn)慎記錄，則可能造成某區(qū)塊被重復(fù)檢測(cè)或遺漏檢測(cè)，前者造成檢測(cè)時(shí)間的浪費(fèi)及檢測(cè)效率不佳，后者則造成探針卡的檢測(cè)率不穩(wěn)定。因此，如何解決習(xí)用探針卡檢測(cè)裝置的問(wèn)題，即為本實(shí)用新型的重點(diǎn)所在。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于解決上述的問(wèn)題而提供一種探針卡檢測(cè)裝置，令探針卡的接腳檢測(cè)更準(zhǔn)確，且在校正時(shí)可達(dá)到快速及方便的功效。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案一種探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于，它包括一機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)上具有一平臺(tái)，該平臺(tái)上設(shè)有一第一滑臺(tái)，該第一滑臺(tái)上設(shè)有一第二滑臺(tái)，該第一滑臺(tái)與第二滑臺(tái)在該平臺(tái)上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺(tái)上設(shè)有一供受測(cè)的探針卡放置的固定座；一影像擷取單元，該影像擷取單元結(jié)合在一第三滑臺(tái)上，該第三滑臺(tái)滑動(dòng)地設(shè)在一佇立在該平臺(tái)上的第一支架上，而令該影像擷取單元在該平臺(tái)上縱向地滑動(dòng)；一控制單元，該控制單元用以控制該第一滑臺(tái)、第二滑臺(tái)及該第三滑臺(tái)在平臺(tái)上的滑動(dòng)，且控制該影像擷取單元擷取影像，并該控制單元內(nèi)建有一量測(cè)軟件，影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置并以該量測(cè)軟件判斷接腳位置是否正確；一觀測(cè)裝置，該觀測(cè)裝置在校正探針卡的錯(cuò)位接腳時(shí)觀測(cè)，該觀測(cè)裝置包括一移動(dòng)結(jié)構(gòu)及一顯微鏡觀測(cè)單元，該移動(dòng)結(jié)構(gòu)架設(shè)在一佇立于該平臺(tái)上的第二支架上，且該顯微鏡觀測(cè)單元隨該移動(dòng)結(jié)構(gòu)在該平臺(tái)上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是1、利用控制單元控制第一滑臺(tái)、第二滑臺(tái)及第三滑臺(tái)的位移，并控制影像擷取單元擷取探針卡的接腳影像，并由控制單元內(nèi)建的正確位置資料判斷受測(cè)探針卡的接腳位置是否正確，通過(guò)控制單元自動(dòng)化程序判斷探針卡的接腳位置，而避免人為檢測(cè)的錯(cuò)誤發(fā)生， 檢測(cè)正確性相對(duì)更為準(zhǔn)確。2、若探針卡的接腳位置錯(cuò)誤時(shí)，檢測(cè)者可通過(guò)控制單元控制該第一滑臺(tái)平移，而直接將探針卡平移至顯微鏡觀測(cè)單元下方，便可由顯微鏡觀測(cè)單元觀測(cè)位置錯(cuò)誤的接腳， 并將接腳校正回正確位置，而非習(xí)用的檢測(cè)裝置那樣必須將探針卡拆下，再在校正設(shè)備上安裝調(diào)校，故本實(shí)用新型的探針卡檢測(cè)裝置在對(duì)探針卡的接腳校正時(shí)，可達(dá)到快速、方便的功效。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例的立體外觀構(gòu)造圖。圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例的探針卡以部分接腳為檢測(cè)區(qū)塊的示意圖。圖3是圖2中區(qū)塊A的放大示意圖。圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例的探針卡隨第一滑臺(tái)平移至顯微鏡觀測(cè)單元下方后定位的示意圖。圖5是本實(shí)用新型實(shí)施例的探針卡的接腳調(diào)校示意圖。圖6是習(xí)用探針卡檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖1至圖5，圖中所示為本實(shí)用新型所選用的實(shí)施例結(jié)構(gòu)，此僅供說(shuō)明之用，在專(zhuān)利申請(qǐng)上并不受此種結(jié)構(gòu)限制。本實(shí)施例提供一種探針卡檢測(cè)裝置，如圖1所示，此探針卡檢測(cè)裝置包括一機(jī)臺(tái) 1、一影像擷取單元2、一控制單元3及一觀測(cè)裝置4，其中如圖1所示，該機(jī)臺(tái)1上具有一平臺(tái)10，此平臺(tái)10上設(shè)有一第一滑臺(tái)11，此第一滑臺(tái)11上設(shè)有一第二滑臺(tái)12，該第一滑臺(tái)11與第二滑臺(tái)12可在該平臺(tái)10上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺(tái)12上設(shè)有一供受測(cè)的探針卡放置的固定座13。如圖1所示，該平臺(tái)10上設(shè)有兩個(gè)X軸導(dǎo)軌100，且平臺(tái)10在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿101，該第一滑臺(tái)11底部設(shè)有兩個(gè)滑座110，可滑動(dòng)地設(shè)于該兩個(gè)X軸導(dǎo)軌100上，且第一滑臺(tái)11在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座111，此導(dǎo)引座111穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿101上，且該導(dǎo)螺桿101 的一端設(shè)有一伺服馬達(dá)102，以此伺服馬達(dá)102驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)螺桿101轉(zhuǎn)動(dòng)，而使導(dǎo)引座111隨導(dǎo)螺桿101轉(zhuǎn)動(dòng)而在導(dǎo)螺桿101上滑移，且第一滑臺(tái)11經(jīng)該導(dǎo)引座111帶動(dòng)而在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸平移。如圖1所示，該第一滑臺(tái)11上設(shè)有兩個(gè)Y軸導(dǎo)軌112，且第一滑臺(tái)11在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿113，該第二滑臺(tái)12底部設(shè)有兩個(gè)滑座120，可滑動(dòng)地設(shè)于該兩個(gè)Y軸導(dǎo)軌112 上，且第二滑臺(tái)12在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座121，且該導(dǎo)螺桿113的一端設(shè)有一伺服馬達(dá)114， 以此伺服馬達(dá)114驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)螺桿113轉(zhuǎn)動(dòng)，而使導(dǎo)引座121隨導(dǎo)螺桿113轉(zhuǎn)動(dòng)而在導(dǎo)螺桿 113上滑移，且經(jīng)該導(dǎo)引座121帶動(dòng)，第二滑臺(tái)12在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的Y軸平移。如圖1所示，在該平臺(tái)10上佇立一第一支架14，一第三滑臺(tái)15設(shè)于該第一支架 14上，此第三滑臺(tái)15呈直立地設(shè)于該第一支架14上，且第三滑臺(tái)15可在第一支架14上縱向地滑動(dòng)，該影像擷取單元2結(jié)合在此第三滑臺(tái)15上，故此影像擷取單元2可隨第三滑臺(tái) 15在該平臺(tái)上縱向位移。在本實(shí)施例中，該第一支架14頂端設(shè)有一伺服馬達(dá)140，以此伺服馬達(dá)140帶動(dòng)該第三滑臺(tái)15縱向滑動(dòng)。該控制單元3用以控制該第一滑臺(tái)11、第二滑臺(tái)12及該第三滑臺(tái)15在平臺(tái)上的滑動(dòng)，即利用控制單元3操控該伺服馬達(dá)102、伺服馬達(dá)114及該伺服馬達(dá)140的動(dòng)作，而控制第一滑臺(tái)11、第二滑臺(tái)12及該第三滑臺(tái)15的滑動(dòng)行程?？刂茊卧?還控制該影像擷取單元2擷取影像，此控制單元3內(nèi)建一量測(cè)軟件，影像擷取單元2擷取探針卡所有接腳位置并以該量測(cè)軟件判斷接腳位置是否正確。如圖1所示，本實(shí)施例的影像擷取單元2所擷取的影像以一顯示器20顯示。如圖1所示，該觀測(cè)裝置4包括一移動(dòng)結(jié)構(gòu)40及一顯微鏡觀測(cè)單元41，該移動(dòng)結(jié)構(gòu)40架設(shè)在一第二支架16上，而此第二支架16佇立于該平臺(tái)10上，且顯微鏡觀測(cè)單元41 隨移動(dòng)結(jié)構(gòu)40可在該平臺(tái)10上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，藉此觀測(cè)裝置4 在校正探針卡的錯(cuò)位接腳時(shí)觀測(cè)。如圖1所示，本實(shí)施例的移動(dòng)結(jié)構(gòu)40包括一 X軸滑軌400、一 Y軸滑軌401、一第四滑臺(tái)402及一第五滑臺(tái)403，該X軸滑軌400設(shè)于該第二支架16頂端，該第四滑臺(tái)402設(shè)于 X軸滑軌400上，Y軸滑軌401設(shè)于第四滑臺(tái)402上，而第五滑臺(tái)403設(shè)于此Y軸滑軌401 上，該顯微鏡觀測(cè)單元41裝設(shè)在第五滑臺(tái)403的前端，在該第五滑臺(tái)403上鄰近該顯微鏡觀測(cè)單元41的位置設(shè)有兩個(gè)握柄404。本實(shí)施例的探針卡檢測(cè)裝置在操作時(shí)，使用者先將探針卡5以固定座13固定，通過(guò)控制單元3控制該伺服馬達(dá)102而使第一滑臺(tái)11在X軸平移、控制該伺服馬達(dá)114而使第二滑臺(tái)12在Y軸平移及控制該伺服馬達(dá)140而使第三滑臺(tái)15縱向地滑移，從而令該探針卡5移動(dòng)至該影像擷取單元2的下方。當(dāng)探針卡5定位在檢測(cè)的預(yù)備位置后，開(kāi)始將探針卡5的所有接腳50區(qū)分出多個(gè)如圖2所示的待測(cè)區(qū)塊A，藉由控制單元3記錄被定義出的多個(gè)待測(cè)區(qū)塊A，并以?xún)?nèi)建正確位置資料開(kāi)始對(duì)待測(cè)區(qū)塊A自動(dòng)檢測(cè)探針卡5的接腳50 位置，直至所有的區(qū)塊檢測(cè)完成后停止，此時(shí)可由該顯示器20顯示出該影像擷取單元2所擷取的影像。當(dāng)探針卡5的接腳50與該正確位置資料比對(duì)，而在區(qū)塊A中發(fā)現(xiàn)如圖2 3所示位置錯(cuò)誤的接腳50’時(shí)，便可如圖4所示，通過(guò)控制單元3直接控制該第一滑臺(tái)11在X軸上平移至該顯微鏡觀測(cè)單元41下方，此時(shí)檢測(cè)者便可手握該兩個(gè)握柄404，而藉由第四滑臺(tái)402的X軸位移及第五滑臺(tái)403的Y軸位移，帶動(dòng)該顯微鏡觀測(cè)單元41觀測(cè)該探針卡5 的接腳50位置錯(cuò)誤之處，使位置錯(cuò)誤的接腳50’被顯微放大，檢測(cè)者便可如圖5所示，利用工具6將該位置錯(cuò)誤的接腳50’校正至正確位置。故，由上述說(shuō)明可見(jiàn)本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于1、利用控制單元3控制第一滑臺(tái)11、第二滑臺(tái)12及第三滑臺(tái)15的位移，并控制影像擷取單元2擷取探針卡5的接腳50影像，并由控制單元3內(nèi)建的正確位置資料判斷受測(cè)探針卡5的接腳50位置是否正確，通過(guò)控制單元3自動(dòng)化程序判斷探針卡的接腳位置，而避免人為檢測(cè)的錯(cuò)誤發(fā)生，檢測(cè)正確性相對(duì)更為準(zhǔn)確。2、若探針卡5的接腳50位置錯(cuò)誤時(shí)，檢測(cè)者可通過(guò)控制單元3控制該第一滑臺(tái)11 平移，而直接將探針卡5平移至顯微鏡觀測(cè)單元41下方，便可由顯微鏡觀測(cè)單元41觀測(cè)位置錯(cuò)誤的接腳50’，并將接腳50’校正回正確位置，而非習(xí)用的檢測(cè)裝置那樣必須將探針卡拆下，再在校正設(shè)備上安裝調(diào)校，故本實(shí)用新型的探針卡檢測(cè)裝置在對(duì)探針卡5的接腳50’ 校正時(shí)，可達(dá)到快速、方便的功效。 以上所述是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例及其所運(yùn)用的技術(shù)原理，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不背離本實(shí)用新型的精神和范圍的情況下，任何基于本實(shí)用新型技術(shù)方案基礎(chǔ)上的等效變換、簡(jiǎn)單替換等顯而易見(jiàn)的改變，均屬于本實(shí)用新型保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于，它包括一機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)上具有一平臺(tái)，該平臺(tái)上設(shè)有一第一滑臺(tái)，該第一滑臺(tái)上設(shè)有一第二滑臺(tái)，該第一滑臺(tái)與第二滑臺(tái)在該平臺(tái)上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移，在該第二滑臺(tái)上設(shè)有一供受測(cè)的探針卡放置的固定座；一影像擷取單元，該影像擷取單元結(jié)合在一第三滑臺(tái)上，該第三滑臺(tái)滑動(dòng)地設(shè)在一佇立在該平臺(tái)上的第一支架上，而令該影像擷取單元在該平臺(tái)上縱向地滑動(dòng)；一控制單元，該控制單元用以控制該第一滑臺(tái)、第二滑臺(tái)及該第三滑臺(tái)在平臺(tái)上的滑動(dòng)，且控制該影像擷取單元擷取影像，并該控制單元內(nèi)建有一量測(cè)軟件，影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置并以該量測(cè)軟件判斷接腳位置是否正確；一觀測(cè)裝置，該觀測(cè)裝置在校正探針卡的錯(cuò)位接腳時(shí)觀測(cè)，該觀測(cè)裝置包括一移動(dòng)結(jié)構(gòu)及一顯微鏡觀測(cè)單元，該移動(dòng)結(jié)構(gòu)架設(shè)在一佇立于該平臺(tái)上的第二支架上，且該顯微鏡觀測(cè)單元隨該移動(dòng)結(jié)構(gòu)在該平臺(tái)上以二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸與Y軸正交平移。
2.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述平臺(tái)上設(shè)有兩個(gè)X軸導(dǎo)軌， 且所述平臺(tái)在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿，所述第一滑臺(tái)底部設(shè)有兩個(gè)滑座，該兩個(gè)滑座滑動(dòng)地設(shè)于該兩個(gè)X軸導(dǎo)軌上，且所述第一滑臺(tái)在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座，該導(dǎo)引座被帶動(dòng)地穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿上，且該導(dǎo)螺桿的一端設(shè)有一伺服馬達(dá)，以該伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)且經(jīng)該導(dǎo)引座帶動(dòng)所述第一滑臺(tái)在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的X軸平移。
3.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述第一滑臺(tái)上設(shè)有兩個(gè)Y軸導(dǎo)軌，且所述第一滑臺(tái)在一側(cè)樞設(shè)有一導(dǎo)螺桿，所述第二滑臺(tái)底部設(shè)有兩個(gè)滑座，該兩個(gè)滑座滑動(dòng)地設(shè)于該兩個(gè)Y軸導(dǎo)軌上，且所述第二滑臺(tái)在側(cè)向伸設(shè)一導(dǎo)引座，該導(dǎo)引座被帶動(dòng)地穿設(shè)于該導(dǎo)螺桿上，且該導(dǎo)螺桿的一端設(shè)有一伺服馬達(dá)，以該伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)該導(dǎo)螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)且經(jīng)該導(dǎo)引座帶動(dòng)所述第二滑臺(tái)在二維坐標(biāo)系統(tǒng)的Y軸平移。
4.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述第一支架設(shè)有一伺服馬達(dá)， 該伺服馬達(dá)帶動(dòng)所述第三滑臺(tái)縱向滑動(dòng)。
5.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)在所述第二支架頂端設(shè)有一 X軸滑軌，在該X軸滑軌上設(shè)有一第四滑臺(tái)，且該第四滑臺(tái)上設(shè)有一 Y軸滑軌， 該Y軸滑軌上設(shè)有一第五滑臺(tái)，所述顯微鏡觀測(cè)單元裝設(shè)在該第五滑臺(tái)的前端而位于所述平臺(tái)上。
6.如權(quán)利要求5所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述第五滑臺(tái)上鄰近所述顯微鏡觀測(cè)單元的位置設(shè)有兩個(gè)握柄。
7.如權(quán)利要求1所述的探針卡檢測(cè)裝置，其特征在于所述影像擷取單元所擷取的影像以一顯示器顯示。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種探針卡檢測(cè)裝置，該探針卡檢測(cè)裝置以控制單元控制第一滑臺(tái)、第二滑臺(tái)及第三滑臺(tái)在平臺(tái)上的滑動(dòng)，且控制影像擷取單元擷取影像，而令影像擷取單元擷取探針卡所有接腳位置，并以量測(cè)軟件自動(dòng)判斷接腳位置是否正確，若接腳位置錯(cuò)誤，可由顯微鏡觀測(cè)單元觀測(cè)錯(cuò)位的接腳并校正，藉此實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型更準(zhǔn)確地檢測(cè)探針卡以及更快速、方便地校正探針卡接腳的目的。
文檔編號(hào)G01R35/00GK202182939SQ20112028750
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月9日
發(fā)明者王金源 申請(qǐng)人:源臺(tái)精密科技股份有限公司