專(zhuān)利名稱(chēng)：硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種質(zhì)量檢測(cè)設(shè)備，尤其涉及一種硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)
直O(jiān)
背景技術(shù)：
硅片及硅太陽(yáng)電池片可能存在材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等故障，這些故障在后繼的制造過(guò)程或使用中，會(huì)使太陽(yáng)電池的性能劣化，所以需要在前期予以檢測(cè)。目前，太陽(yáng)電池生產(chǎn)線(xiàn)上，硅片及硅太陽(yáng)電池片的缺陷檢測(cè)手段大多是依靠人工目視的檢測(cè)方法，漏檢率和誤差率非常高，影響了太陽(yáng)電池生產(chǎn)的質(zhì)量和進(jìn)度。因此，無(wú)接觸式的動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)規(guī)模生產(chǎn)中硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷故障的狀況，在串焊和層壓之前對(duì)硅片及硅太陽(yáng)電池片可能的缺陷故障問(wèn)題進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析，對(duì)盡可能早地鑒別缺陷類(lèi)型及其可能的成因以便于能及時(shí)發(fā)現(xiàn)工藝或設(shè)備中的問(wèn)題而避免更多的成品率損失顯得非常必要。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的，就是為了提供一種硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，以實(shí)現(xiàn)在生產(chǎn)線(xiàn)上對(duì)硅片及硅太陽(yáng)電池片進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢測(cè)。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案一種硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，設(shè)置在生產(chǎn)線(xiàn)中硅片或硅太陽(yáng)電池片的路徑上，包括硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)；硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片及硅太陽(yáng)電池片的近旁激發(fā)硅片及硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的上方檢測(cè)硅片的發(fā)光信號(hào)并將其傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)通過(guò)安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片及硅太陽(yáng)電池片的缺陷參數(shù)。所述的硅片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括LED光源和第一光源電源，在LED光源前端設(shè)有第一濾光片，LED光源與第一濾光片連成一體設(shè)置在硅片的下方，LED光源將發(fā)出的光通過(guò)第一濾光片處理成特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)投射到硅片上激發(fā)硅片發(fā)光，第一光源電源與 LED光源相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括激光器和第二光源電源，激光器設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的斜上方，激光器將發(fā)出的光投射到硅片或硅太陽(yáng)電池片上激發(fā)硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，第二光源電源與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。所述的紅外成像機(jī)構(gòu)前端設(shè)有第二濾光片。本實(shí)用新型的硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置通過(guò)LED光源或激光器激發(fā)待測(cè)硅片或硅太陽(yáng)電池片產(chǎn)生特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)，通過(guò)紅外成像機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)檢測(cè)并處理硅片發(fā)出的特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)，得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。能方便快速地檢測(cè)出硅片材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等缺陷，并且實(shí)現(xiàn)了無(wú)接觸檢測(cè)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、缺陷參數(shù)檢測(cè)可靠精確等優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)。
圖1是本實(shí)用新型硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型硅片缺陷檢測(cè)裝置，設(shè)置在生產(chǎn)線(xiàn)中硅片或硅太陽(yáng)電池片1 的路徑上，包括硅片或硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2、紅外成像機(jī)構(gòu)3和計(jì)算機(jī)4。硅片或硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片1的近旁激發(fā)硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)3設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的上方檢測(cè)硅片或硅太陽(yáng)電池片的發(fā)光信號(hào)并將其傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)4通過(guò)安裝在其內(nèi)的圖像采集、 圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽(yáng)電池片的缺陷參數(shù)。本實(shí)用新型中的硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)2可以采用兩種結(jié)構(gòu)形式，兩種結(jié)構(gòu)形式的硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)可以并存設(shè)置，選擇使用。第一種結(jié)構(gòu)形式包括LED光源21和第一光源電源22，在LED光源21前端設(shè)有第一濾光片23， LED光源21與第一濾光片23連成一體設(shè)置在硅片1的下方，LED光源21將發(fā)出的光通過(guò)第一濾光片23處理成特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)投射到硅片或硅太陽(yáng)電池片1上激發(fā)硅片發(fā)光，第一光源電源22與LED光源21相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。第二種結(jié)構(gòu)形式包括激光器M和第二光源電源25，激光器M設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片1的斜上方，激光器M將發(fā)出的光投射到硅片1上激發(fā)硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，第二光源電源25與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。在紅外成像機(jī)構(gòu)3的前端設(shè)有第二濾光片31。在檢測(cè)過(guò)程中，首先利用LED光源或激光器發(fā)出的光激發(fā)待測(cè)硅片，LED光源發(fā)光強(qiáng)度的大小通過(guò)對(duì)第一光源電源的控制來(lái)實(shí)現(xiàn)；激光器發(fā)光強(qiáng)度的大小通過(guò)對(duì)第二光源電源的控制來(lái)實(shí)現(xiàn)。由于硅片或硅太陽(yáng)電池片在被激發(fā)后會(huì)產(chǎn)生特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)，通過(guò)檢測(cè)并處理硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)出的特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)，從而得到其可靠的缺陷參數(shù)數(shù)據(jù)。
權(quán)利要求1.一種硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，設(shè)置在生產(chǎn)線(xiàn)中硅片或硅太陽(yáng)電池片的路徑上，其特征在于包括硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)； 硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的近旁激發(fā)硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的上方檢測(cè)硅片或硅太陽(yáng)電池片的發(fā)光信號(hào)并將其傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)通過(guò)安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽(yáng)電池片的缺陷參數(shù)。
2.如權(quán)利要求1所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括LED光源和第一光源電源，在LED光源前端設(shè)有第一濾光片，LED光源與第一濾光片連成一體設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的下方，LED光源將發(fā)出的光通過(guò)第一濾光片處理成特定波長(zhǎng)的發(fā)光信號(hào)投射到硅片上激發(fā)硅片或硅太陽(yáng)電池片發(fā)光，第一光源電源與LED光源相連向LED光源提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。
3.如權(quán)利要求2所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)包括激光器和第二光源電源，激光器設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的斜上方，激光器將發(fā)出的光投射到硅片或硅太陽(yáng)電池片上激發(fā)硅片發(fā)光，第二光源電源與激光器相連向激光器提供電能并控制其發(fā)光強(qiáng)度。
4.如權(quán)利要求1所述的硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于所述的紅外成像機(jī)構(gòu)前端設(shè)有第二濾光片。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置，它包括硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)、紅外成像機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)；硅片及硅太陽(yáng)電池片光致發(fā)光激發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的近旁激發(fā)硅片發(fā)光，紅外成像機(jī)構(gòu)設(shè)置在硅片或硅太陽(yáng)電池片的上方檢測(cè)硅片或硅太陽(yáng)電池片的發(fā)光信號(hào)并將其傳輸?shù)接?jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)通過(guò)安裝在其內(nèi)的圖像采集、圖像處理及數(shù)據(jù)分析軟件得出硅片或硅太陽(yáng)電池片的缺陷參數(shù)。本實(shí)用新型的硅片及硅太陽(yáng)電池片缺陷檢測(cè)裝置能方便快速地檢測(cè)出硅片材料本身的缺陷、結(jié)晶缺陷、碎片、材料污染等缺陷，并且實(shí)現(xiàn)了無(wú)接觸檢測(cè)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、缺陷參數(shù)檢測(cè)可靠精確等優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202305422SQ201120392780
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月16日
發(fā)明者丁葉飛, 劉小宇, 張瀅清, 薛永勝 申請(qǐng)人:上海太陽(yáng)能工程技術(shù)研究中心有限公司