專利名稱：?jiǎn)喂庾V大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬光學(xué)領(lǐng)域，涉及ー種透鏡焦距測(cè)試裝置，尤其涉及單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
隨著神光III主機(jī)裝置大科學(xué)工程的深入發(fā)展，神光III主機(jī)裝置中大口徑長(zhǎng)焦距光學(xué)元件大量應(yīng)用，大口徑光學(xué)元件焦距的加工質(zhì)量，直接影響著各部分光路的對(duì)接及 對(duì)接后整個(gè)激光光束傳輸質(zhì)量。因此，大口徑長(zhǎng)焦距光學(xué)元件焦距的測(cè)量十分重要。目前在對(duì)大口徑長(zhǎng)焦距光學(xué)元件的焦距進(jìn)行測(cè)量時(shí)，常用方法有三種放大率法、精密測(cè)角法與自準(zhǔn)直法。放大率法要求使用平行光管，平行光管的有效通光口徑要大于被測(cè)光學(xué)系統(tǒng)的通光口徑，且平行光管的焦距要大于被測(cè)光學(xué)元件的2 5倍。在神光III主機(jī)裝置中部分光學(xué)元件焦距已達(dá)到20m以上，研制大口徑長(zhǎng)焦距的平行光管耗時(shí)耗力，且造價(jià)十分昂貴。精密測(cè)角法需要在被測(cè)透鏡焦面上放置分劃板，由經(jīng)緯儀測(cè)量刻線對(duì)應(yīng)的角度。神光III主機(jī)裝置中，光學(xué)元件一般都工作在紅外或紫外波段，且單個(gè)透鏡很難成完善像，焦面位置確定困難，常規(guī)的光電經(jīng)緯儀不能直接測(cè)量。自準(zhǔn)直法一般采用有經(jīng)驗(yàn)的測(cè)試人員通過觀測(cè)刀口上的近軸陰影圖，進(jìn)而確定被測(cè)透鏡的焦距，此方法對(duì)測(cè)試人員的要求較高，且僅適用于可見光波段。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決背景技術(shù)中存在的上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種可對(duì)大口徑長(zhǎng)焦距光學(xué)元件的焦距進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)試、測(cè)量精度高、適用范圍廣以及自動(dòng)化程度高的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)解決方案是本實(shí)用新型提供了ー種單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特殊之處在于所述單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置包括激光器、分光鏡、球面反射鏡、遮光罩、平面反射鏡以及探測(cè)處理系統(tǒng)；所述分光鏡置于激光器的出射光路上并將入射激光分為透射光與反射光；所述平面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的透射光路上，所述平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透過后由分光鏡反射至探測(cè)處理系統(tǒng)；所述球面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的反射光路上，所述球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射至探測(cè)處理系統(tǒng)；所述遮光罩置于球面反射鏡與分光鏡之間。上述激光器是光纖激光器，或一般激光器經(jīng)耦合將激光耦入光纖，使輸出激光為光纖點(diǎn)源。上述探測(cè)處理系統(tǒng)包括中繼放大鏡、用于采集經(jīng)過中繼放大鏡后的光強(qiáng)信息的CCD探測(cè)器、采集控制計(jì)算機(jī)以及用于監(jiān)視平面反射鏡的角度信息的自準(zhǔn)直平行光管；所述平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透過后至分光鏡并由分光鏡反射，與所述標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射，兩波面干渉，產(chǎn)生干渉條紋；所述自準(zhǔn)直平行光管以及CCD探測(cè)器分別與采集控制計(jì)算機(jī)連接。上述探測(cè)處理系統(tǒng)還包括電控平移臺(tái)；所述中繼放大鏡以及CXD探測(cè)器置于電控平移臺(tái)上；所述采集控制計(jì)算機(jī)與電控平移臺(tái)連接，通過電控平移臺(tái)的移動(dòng)，使CCD探測(cè)器采集到清晰的圖像。上述球面反射鏡是在定焦時(shí)可提供標(biāo)準(zhǔn)球面波的標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡，通過標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡的反射，可使光纖點(diǎn)源成標(biāo)準(zhǔn)會(huì)聚球面波，與平面反射鏡反射后經(jīng)被測(cè)透鏡的球面波產(chǎn)生干渉，可準(zhǔn)確確定焦面，定焦精度可達(dá)到微米量級(jí)。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型提供了ー種單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，該裝置利用激光器、分光鏡、自準(zhǔn)直平行光管、平面反射鏡、標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡、中繼放大鏡、電控平移臺(tái)和 CCD探測(cè)器組合，采用自準(zhǔn)直法與精密測(cè)角法的測(cè)焦優(yōu)點(diǎn)相結(jié)合，準(zhǔn)確測(cè)量焦距10米以上的透鏡焦距；采用CCD探測(cè)器測(cè)試干涉條紋找焦面，優(yōu)于一般自準(zhǔn)直法中采用的刀ロ陰影圖找焦面，焦面位置的準(zhǔn)確性可達(dá)到微米量級(jí)，同時(shí)可測(cè)試出被測(cè)透鏡的透射波前；利用自準(zhǔn)直平行光管測(cè)試平面鏡旋轉(zhuǎn)角度，比精密測(cè)角法中采用測(cè)角轉(zhuǎn)臺(tái)精度更高，更經(jīng)濟(jì)；利用CCD探測(cè)器可對(duì)近紅外、可見光及紫外工作波段的單光譜透鏡進(jìn)行測(cè)試，同時(shí)此方法也適合對(duì)光學(xué)系統(tǒng)焦距的測(cè)試，測(cè)量適用范圍更廣。采用本實(shí)用新型所提供的裝置，被測(cè)透鏡的焦距測(cè)量結(jié)果置信度高，自動(dòng)化程度高，適合批量化測(cè)試，使用非常方便。

圖I是本實(shí)用新型所提供的大口徑長(zhǎng)焦距透鏡焦距的測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；其中I-激光器；2_分光鏡；3_球面反射鏡；4_遮光罩；5-中繼放大鏡；6_(XD探測(cè)器；
7-電控平移臺(tái)；8_采集控制計(jì)算機(jī)；9_自準(zhǔn)直平行光管；10_平面反射鏡；11_被測(cè)透鏡。
具體實(shí)施方式
參見圖I，本實(shí)用新型提供了 ー種單光譜大ロ徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，該裝置包括激光器I、分光鏡2、球面反射鏡3、用于在定焦面時(shí)移出光路以及在測(cè)焦距時(shí)移入光路的遮光罩4、平面反射鏡10以及探測(cè)處理系統(tǒng)；分光鏡2置于激光器I的出射光路上并將入射激光分為透射光以及反射光；平面反射鏡10置于經(jīng)分光鏡2的透射光路上，平面反射鏡10將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡11透過后至分光鏡2并由分光鏡2反射至探測(cè)處理系統(tǒng)；球面反射鏡3置于經(jīng)分光鏡2的反射光路上，球面反射鏡3將反射光反射至分光鏡2并由分光鏡4透射至探測(cè)處理系統(tǒng)；遮光罩4置于球面反射鏡3與分光鏡2之間，球面反射鏡3是標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡。激光器I可以是光纖激光器或一般激光器經(jīng)耦合將激光耦入光纖，使輸出激光為光纖點(diǎn)源。探測(cè)處理系統(tǒng)包括中繼放大鏡5、CXD探測(cè)器6、采集控制計(jì)算機(jī)8以及自準(zhǔn)直平行光管9 ;平面反射鏡10將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡11透過后至分光鏡2并由分光鏡2反射與球面反射鏡3將反射光反射至分光鏡2，兩波面干渉，產(chǎn)生干涉條紋；自準(zhǔn)直平行光管9通過采集控制計(jì)算機(jī)8采集平面反射鏡的旋轉(zhuǎn)角度；CCD探測(cè)器6采集經(jīng)過中繼放大鏡5后的干渉條紋。中繼放大鏡置于經(jīng)平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透射后至分光鏡并由分光鏡反射的反射光路以及經(jīng)球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射的透射光路上。探測(cè)處理系統(tǒng)還包括電控平移臺(tái)7 ;中繼放大鏡5以及CXD探測(cè)器6置于電控平移臺(tái)7上；采集控制計(jì)算機(jī)8與電控平移臺(tái)7連接。本實(shí)用新型在具體工作時(shí)，首先將被測(cè)透鏡11置于分光鏡2與平面反射鏡10之間，開啟激光器I，通過分光 鏡2,將激光分成兩束一束光透過分光鏡2與被測(cè)透鏡11,經(jīng)平面反射鏡10反回，再經(jīng)分光鏡2反射，會(huì)聚于中繼放大鏡5前；另一束光通過分光鏡2反射，經(jīng)球面反射鏡3反回，經(jīng)分光鏡2透射，也匯聚于中繼放大鏡5前。通過調(diào)整平面反射鏡10的姿態(tài)及被測(cè)透鏡11至分光鏡2的距離，直到CCD探測(cè)器6可采集到清晰的干涉條紋為止，此時(shí)，像面已調(diào)整到位。將遮光罩4移入分光鏡2與球面反射鏡3之間，干涉條紋消失，在水平方向旋轉(zhuǎn)平面反射鏡10，由自準(zhǔn)直平行光管9監(jiān)視平面反射鏡10的旋轉(zhuǎn)角度，同時(shí)由CCD探測(cè)器6監(jiān)視光斑移動(dòng)的距離，由采集控制計(jì)算機(jī)8采集平面反射鏡10旋轉(zhuǎn)角度信息與光斑移動(dòng)距離信息，通過精密測(cè)角法計(jì)算透鏡焦距。
權(quán)利要求1.一種單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特征在于所述單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置包括激光器、分光鏡、球面反射鏡、用于在定焦面時(shí)移出光路以及在測(cè)焦距時(shí)移入光路的遮光罩、平面反射鏡以及探測(cè)處理系統(tǒng)；所述分光鏡置于激光器的出射光路上并將入射激光分為透射光以及反射光；所述平面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的透射光路上，所述平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透射后至分光鏡并由分光鏡反射至探測(cè)處理系統(tǒng)；所述球面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的反射光路上，所述球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射至探測(cè)處理系統(tǒng)；所述遮光罩置于球面反射鏡與分光鏡之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特征在于所述探測(cè)處理系統(tǒng)包括中繼放大鏡、CCD探測(cè)器、采集控制計(jì)算機(jī)以及用于監(jiān)視平面反射鏡的角度信息的自準(zhǔn)直平行光管；所述中繼放大鏡置于經(jīng)所述平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透射后至分光鏡并由分光鏡反射的反射光路以及經(jīng)所述球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射的透射光路上；所述自準(zhǔn)直平行光管以及CCD探測(cè)器分別與采集控制計(jì)算機(jī)連接；所述CCD探測(cè)器采集經(jīng)過中繼放大鏡后的光強(qiáng)信息。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特征在于所述探測(cè)處理系統(tǒng)還包括電控平移臺(tái)；所述中繼放大鏡以及CCD探測(cè)器置于電控平移臺(tái)上；所述采集控制計(jì)算機(jī)與電控平移臺(tái)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特征在于所述球面反射鏡是在定焦時(shí)可提供標(biāo)準(zhǔn)球面波的標(biāo)準(zhǔn)球面反射鏡。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，其特征在于所述激光器是光纖激光器。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置，該裝置包括激光器、分光鏡、球面反射鏡、遮光罩、平面反射鏡以及探測(cè)處理系統(tǒng)；分光鏡置于激光器的出射光路上并將入射激光分為透射光與反射光；平面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的透射光路上，平面反射鏡將透射光反射經(jīng)被測(cè)透鏡透過后由分光鏡反射至探測(cè)處理系統(tǒng)；球面反射鏡置于經(jīng)分光鏡的反射光路上，球面反射鏡將反射光反射至分光鏡并由分光鏡透射至探測(cè)處理系統(tǒng)；遮光罩置于球面反射鏡與分光鏡之間。本實(shí)用新型提供了一種可對(duì)大口徑長(zhǎng)焦距光學(xué)元件的焦距進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)試、測(cè)量精度高、適用范圍廣以及自動(dòng)化程度高的單光譜大口徑長(zhǎng)焦距透鏡的焦距測(cè)量裝置。
文檔編號(hào)G01M11/02GK202420818SQ20112045218
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月15日
發(fā)明者李坤, 段亞軒, 胡丹丹, 趙建科, 陳永權(quán) 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所