專利名稱：鍵合掃描儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及微缺陷掃描儀技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及在深景深顯微系統(tǒng)下實(shí)現(xiàn)快速掃描拼圖，對(duì)于金絲的缺線、斷線、彎線及交叉無(wú)遺漏檢測(cè)的鍵合掃描儀。
技術(shù)背景在現(xiàn)代微電子工業(yè)中，在芯片的封裝階段有一個(gè)非常重要的工藝環(huán)節(jié)一金絲鍵合工藝。該工藝的作用是將芯片上的導(dǎo)電觸點(diǎn)與基片相連，金絲的直徑一般為25微米左右(一般人頭發(fā)的直徑為70微米)。在這個(gè)工藝環(huán)節(jié)中，鍵合金絲的缺、斷線等缺陷會(huì)造成器件的使用功能障礙，以致器件報(bào)廢。鍵合掃描儀的核心功能就是檢測(cè)鍵合金絲工藝中鍵合金絲的缺、斷線以及彎線、交叉線等缺陷?，F(xiàn)有的檢測(cè)設(shè)備大多是顯微鏡加人工目測(cè)的組合，即在顯微鏡下由人工檢測(cè)鍵合金絲的缺陷，通過(guò)手動(dòng)調(diào)焦加人工判別實(shí)現(xiàn)對(duì)金絲的缺線、斷線等檢測(cè)。其核心缺陷如下I、在顯微鏡下手動(dòng)對(duì)焦時(shí)，因器件的封裝過(guò)高以及顯微鏡對(duì)焦的工作距離短而造成無(wú)法對(duì)金絲的檢測(cè)實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確對(duì)焦，從而影響檢測(cè)精度。2、人眼在顯微鏡下的觀測(cè)疲勞時(shí)間較短，在長(zhǎng)時(shí)間的顯微觀測(cè)工作下，視覺(jué)疲勞易對(duì)檢測(cè)易造成極大影響，從而無(wú)法保證無(wú)遺漏檢測(cè)。3、單一的光源配置，入射角的范圍有限，無(wú)法照亮金絲的全部反光面，影響觀察效果
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供鍵合掃描儀，它為大批量鍵合金線的快速掃描檢測(cè)提供了一種穩(wěn)定、可靠的手段，可確保無(wú)漏檢，克服了現(xiàn)有檢測(cè)方式中效率低下，漏檢率高的缺點(diǎn)。為了解決背景技術(shù)所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案它包含工業(yè)攝像頭I、顯微鏡2、聚焦升降部3、聚焦馬達(dá)4、光源5、全自動(dòng)工作平臺(tái)6、光柵尺7、大理石平臺(tái)8、隔震系統(tǒng)9、配電箱10、柜架11、電腦主機(jī)12、懸臂13、電腦顯示器14、底座15和輸入設(shè)備16，工業(yè)攝像頭I與顯微鏡2通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡2的主體通過(guò)中間件與聚焦升降部3相連，聚焦馬達(dá)4通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部3相連，光源5通過(guò)環(huán)形卡口與顯微鏡2的筒相連，全自動(dòng)工作平臺(tái)6通過(guò)中間件連接在底座15上，光柵尺7固定在全自動(dòng)工作平臺(tái)6的邊緣上，底座15通過(guò)螺紋連接固定在大理石平臺(tái)8上，大理石平臺(tái)8與柜架11之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)9，懸臂13通過(guò)螺紋卡口固定在柜架11的側(cè)面，其懸臂13分別連接有電腦顯示器14和輸入設(shè)備16，配電箱10和電腦主機(jī)12均設(shè)置于柜架11內(nèi)。所述的顯微鏡2達(dá)到成像的目的。所述的聚焦馬達(dá)4通過(guò)馬達(dá)控制從而達(dá)到聚焦的目的。所述的全自動(dòng)工作平臺(tái)6用以放置樣品。所述的光柵尺7用以反饋?zhàn)钥匦盘?hào)。[0013]本實(shí)用新型采用超深景深顯微組合，以超長(zhǎng)工作距離實(shí)現(xiàn)薄膜、厚膜及深腔等各類器件缺陷掃描。本實(shí)用新型采用自動(dòng)化快速掃描拼圖檢測(cè)標(biāo)注及自動(dòng)化全圖回檢的方式相結(jié)合，確保無(wú)遺漏檢測(cè)。本實(shí)用新型采用專用組合環(huán)形光源照明方式，可照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。本實(shí)用新型為大批量鍵合金線的快速掃描檢測(cè)提供了一種穩(wěn)定、可靠的手段，可確保無(wú)漏檢，克服了現(xiàn)有檢測(cè)方式中效率低下，漏檢率高的缺點(diǎn)；保障了鍵合金線這一核心半導(dǎo)體封裝工藝的穩(wěn)定性，提升生產(chǎn)線的效率和良率，從而提升了終端產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的主視圖。圖3為圖2的俯視圖。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)DI-圖3，本具體實(shí)施方式
采用以下技術(shù)方案它包含工業(yè)攝像頭I、顯微鏡
2、聚焦升降部3、聚焦馬達(dá)4、光源5、全自動(dòng)工作平臺(tái)6、光柵尺7、大理石平臺(tái)8、隔震系統(tǒng)
9、配電箱10、柜架11、電腦主機(jī)12、懸臂13、電腦顯不器14、底座15和輸入設(shè)備16,工業(yè)攝像頭I與顯微鏡2通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡2的主體通過(guò)中間件與聚焦升降部3相連，聚焦馬達(dá)4通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部3相連，光源5通過(guò)環(huán)形卡口與顯微鏡2的筒相連，全自動(dòng)工作平臺(tái)6通過(guò)中間件連接在底座15上，光柵尺7固定在全自動(dòng)工作平臺(tái)6的邊緣上，底座15通過(guò)螺紋連接固定在大理石平臺(tái)8上，大理石平臺(tái)8與柜架11之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)9，懸臂13通過(guò)螺紋卡口固定在柜架11的側(cè)面，其懸臂13分別連接有電腦顯不器14和輸入設(shè)備16,配電箱10和電腦主機(jī)12均設(shè)置于柜架11內(nèi)。所述的顯微鏡2達(dá)到成像的目的。所述的聚焦馬達(dá)4通過(guò)馬達(dá)控制從而達(dá)到聚焦的目的。所述的全自動(dòng)工作平臺(tái)6用以放置樣品。所述的光柵尺7用以反饋?zhàn)钥匦盘?hào)。本具體實(shí)施方式
采用超深景深顯微組合，以超長(zhǎng)工作距離實(shí)現(xiàn)薄膜、厚膜及深腔等各類器件缺陷掃描。本具體實(shí)施方式
采用自動(dòng)化快速掃描拼圖檢測(cè)標(biāo)注及自動(dòng)化全圖回檢的方式相結(jié)合，確保無(wú)遺漏檢測(cè)。本具體實(shí)施方式
采用專用組合環(huán)形光源照明方式，可照亮金絲及器件的全部反光面，保障檢測(cè)效果。本具體實(shí)施方式
為大批量鍵合金線的快速掃描檢測(cè)提供了一種穩(wěn)定、可靠的手段，可確保無(wú)漏檢，克服了現(xiàn)有檢測(cè)方式中效率低下，漏檢率高的缺點(diǎn)；保障了鍵合金線這一核心半導(dǎo)體封裝工藝的穩(wěn)定性，提升生產(chǎn)線的效率和良率，從而提升了終端產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。
權(quán)利要求1.鍵合掃描儀，其特征在于它包含工業(yè)攝像頭(I)、顯微鏡(2)、聚焦升降部(3)、聚焦馬達(dá)(4)、光源(5)、全自動(dòng)工作平臺(tái)(6)、光柵尺(7)、大理石平臺(tái)(8)、隔震系統(tǒng)(9)、配電箱(10)、柜架(11)、電腦主機(jī)(12)、懸臂(13)、電腦顯不器(14)、底座(15)和輸入設(shè)備(16)，工業(yè)攝像頭(I)與顯微鏡(2)通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)C接口進(jìn)行螺紋連接，顯微鏡(2)的主體通過(guò)中間件與聚焦升降部(3)相連，聚焦馬達(dá)(4)通過(guò)聯(lián)軸器與聚焦升降部(3)相連，光源(5)通過(guò)環(huán)形卡口與顯微鏡(2)的筒相連，全自動(dòng)工作平臺(tái)(6)通過(guò)中間件連接在底座(15)上，光柵尺(7)固定在全自動(dòng)工作平臺(tái)￠)的邊緣上，底座(15)通過(guò)螺紋連接固定在大理石平臺(tái)(8)上，大理石平臺(tái)(8)與柜架(11)之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)(9)，懸臂(13)通過(guò)螺紋卡口固定在柜架(11)的側(cè)面，其懸臂(13)分別連接有電腦顯示器(14)和輸入設(shè)備(16)，配電箱(10)和電腦主機(jī)(12)均設(shè)置于柜架(11)內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鍵合掃描儀，其特征在于所述的鍵合掃描儀采用超深景深顯微組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鍵合掃描儀，其特征在于所述的鍵合掃描儀采用專用組合環(huán)形光源照明方式。
專利摘要鍵合掃描儀，它涉及掃描儀技術(shù)領(lǐng)域。全自動(dòng)工作平臺(tái)(6)通過(guò)中間件連接在底座(15)上，光柵尺(7)固定在全自動(dòng)工作平臺(tái)(6)的邊緣上，底座(15)通過(guò)螺紋連接固定在大理石平臺(tái)(8)上，大理石平臺(tái)(8)與柜架(11)之間設(shè)置有隔震系統(tǒng)(9)，懸臂(13)通過(guò)螺紋卡口固定在柜架(11)的側(cè)面，其懸臂(13)分別連接有電腦顯示器(14)和輸入設(shè)備(16)，配電箱(10)和電腦主機(jī)(12)均設(shè)置于柜架(11)內(nèi)。它為大批量鍵合金線的快速掃描檢測(cè)提供了一種穩(wěn)定、可靠的手段，可確保無(wú)漏檢，克服了現(xiàn)有檢測(cè)方式中效率低下，漏檢率高的缺點(diǎn)；保障了鍵合金線這一核心半導(dǎo)體封裝工藝的穩(wěn)定性，提升生產(chǎn)線的效率和良率，從而提升了終端產(chǎn)品的競(jìng)爭(zhēng)力。
文檔編號(hào)G01N21/01GK202471573SQ201120527630
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月16日
發(fā)明者謝歷銘 申請(qǐng)人:蘇州愛(ài)特盟光電有限公司