專利名稱：平面鏡反射面平整度的檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種光學(xué)檢測裝置，特別是ー種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，屬于光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
平面鏡在日常生活中就有廣泛的使用，目前，在檢測各種平面反射鏡時，采用的方法是在被檢測的平面上放ー個透明樣板，在透明樣板的一端墊ー個薄片使樣板的標(biāo)準(zhǔn)平面和被測平面之間形成ー個楔形空氣薄層；利用単色光從上面照射，空氣層的上下兩個表面反射的兩列光波發(fā)生干渉，根據(jù)干涉條紋判斷平面反射鏡反射面質(zhì)量。這種方法測量精度受到透明樣板的制作精度制約，同時透明樣板的反復(fù)使用，也可能導(dǎo)致本身的測量精度下降，導(dǎo)致測量誤差的疊加。 在實(shí)際生產(chǎn)中還有一種測量方法為線掃描的方式，利用靈敏的探頭掃描平面反射鏡反射面，根據(jù)平面反射鏡反射面的高低可以獲得鏡面的平整度，但由于測量時間的關(guān)系，此方法一般只測量一條直線，只能測量対稱的鏡面，在鏡子加工過程中如果出現(xiàn)非対稱的凹凸，有可能仍被認(rèn)為是合格產(chǎn)品，誤差極大。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供ー種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，可以測出平面反射鏡反射面的光滑程度，精確的判斷平面鏡質(zhì)量的好壞。本實(shí)用新型的采用的技術(shù)方案平面鏡反射面平整度的檢測裝置包括激光器I、擴(kuò)束鏡2、針孔3、準(zhǔn)值透鏡4、分束鏡5、待測平面鏡6、屏幕7 ;從左到右依次按直線放置，順序?yàn)榧す馄鱅、擴(kuò)束鏡2、針孔3、準(zhǔn)值透鏡4和分光鏡5，激光器I和擴(kuò)束鏡2兩者共軸，擴(kuò)束鏡2到針孔3的距離為擴(kuò)束鏡2的焦距，針孔3到準(zhǔn)值透鏡4的距離為準(zhǔn)值透鏡4的焦距。所述的分光鏡5的固定角度以及待測平面鏡6和屏幕7的固定位置，應(yīng)保證經(jīng)過平面鏡6反射的光路的光程是分光鏡5分開的另外一路光路光程的兩倍，同時減小兩路光的夾角。所述的激光器I、擴(kuò)束鏡2、針孔3、準(zhǔn)值透鏡4、分束鏡5、待測平面鏡6、屏幕7都是市售的普通元件。本實(shí)用新型的有益效果可以通過簡單的裝置測出反射鏡反射面的粗糙程度，同時測量精度高，使用方便，結(jié)構(gòu)簡単。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明屏幕上的標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋示意圖。圖中1_激光器、2-擴(kuò)束鏡、3-針孔、4-透鏡、5-分光器、6-待測平面鏡、7-帶標(biāo)準(zhǔn)條紋的屏幕。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)ー步說明。如圖I所示平面鏡反射面平整度的檢測裝置包括激光器I、擴(kuò)束鏡2、針孔3、準(zhǔn)值透鏡4、分束鏡5、待測平面鏡6、屏幕7 ;從左到右依次按直線放置，順序?yàn)榧す馄鱅、擴(kuò)束鏡2、針孔3、準(zhǔn)值透鏡4和分光鏡5，激光器I和擴(kuò)束鏡2兩者共軸，擴(kuò)束鏡2到針孔3的距離為擴(kuò)束鏡2的焦距，針孔3到準(zhǔn)值透鏡4的距離為準(zhǔn)值透鏡4的焦距。所述的分光鏡5的固定角度以及待測平面鏡6和屏幕7的固定位置，應(yīng)保證經(jīng)過平面鏡6反射的光路的光程是分光鏡5分開的另外一路光路光程的兩倍，同時減小兩路光的夾角。平面鏡反射面平整度的檢測裝置完成以后按照如下所述的方法進(jìn)行I、調(diào)整準(zhǔn)值透鏡4的位置；將檢測平行光的平晶放置于準(zhǔn)值透鏡4的右方光軸上，沿光軸移動準(zhǔn)值透鏡4的位置，使得平晶的反射光斑只有一條干涉條紋，此時可得到平行光;2、利用分束鏡5將所得的平行光分成a和P兩束光線；3、將其中a光線經(jīng)過待測平面鏡6反射到達(dá)屏幕7，^光線直接到達(dá)屏幕7，調(diào)整分束鏡5的角度以及待測平面鏡6的位置，使得a光線的光程為P光線的兩倍，此時在屏幕7上兩束光會發(fā)生干渉，形成干涉條紋；4、根據(jù)光的波長以及a與0兩束光的夾角，用理想絕對光滑的平面鏡，利用計算機(jī)MATLAB程序在屏幕7上模擬生成如圖2所示的標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋；5、將干涉條紋與接收屏幕7上計算機(jī)模擬的干涉條紋進(jìn)行對比，兩者相似程度越高，說明待測平面鏡越平整。本實(shí)用新型是通過具體實(shí)施過程進(jìn)行說明的，在不脫離本實(shí)用新型范圍的情況 下，還可以對實(shí)用新型進(jìn)行各種變換及等同代替，因此，本實(shí)用新型不局限于所公開的具體實(shí)施過程，而應(yīng)當(dāng)包括落入本實(shí)用新型權(quán)利要求范圍內(nèi)的全部實(shí)施方案。
權(quán)利要求1.ー種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，其特征在于檢測裝置包括激光器(I)，擴(kuò)束鏡(2)，針孔(3)，準(zhǔn)值透鏡(4)，分束鏡(5)，待測平面鏡(6)，屏幕(7);從左到右依次按直線放置，順序?yàn)榧す馄?1)，擴(kuò)束鏡(2)，針孔(3)，準(zhǔn)值透鏡(4)和分光鏡(5)，激光器(I)和擴(kuò)束鏡(2)兩者共軸，擴(kuò)束鏡(2)到針孔(3)的距離為擴(kuò)束鏡(2)的焦距，針孔(3)到準(zhǔn)值透鏡(4)的距離為準(zhǔn)值透鏡(4)的焦距。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，其特征在于分光鏡(5)的固定角度以及待測平面鏡(6)和屏幕(7)的固定位置，應(yīng)保證經(jīng)過平面鏡(6)反射的光路的光程是分光鏡(5)分開的另外一路光路光 程的兩倍，同時減小兩路光的夾角。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種平面鏡反射面平整度的檢測裝置，屬于光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域；裝置包括激光器、擴(kuò)束鏡、針孔、準(zhǔn)值透鏡、分束鏡、待測平面鏡、屏幕；從左到右依次按直線放置，順序?yàn)榧す馄?、擴(kuò)束鏡、針孔、準(zhǔn)值透鏡和分光鏡，激光器和擴(kuò)束鏡兩者共軸，擴(kuò)束鏡到針孔的距離為擴(kuò)束鏡的焦距，針孔到準(zhǔn)值透鏡的距離為準(zhǔn)值透鏡的焦距；本實(shí)用新型可以通過簡單的裝置測出反射鏡反射面的粗糙程度，同時測量精度高，使用方便，結(jié)構(gòu)簡單。
文檔編號G01B11/30GK202403679SQ20112053544
公開日2012年8月29日 申請日期2011年12月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月20日
發(fā)明者張永安, 蔣鑫巍 申請人:昆明理工大學(xué)