專(zhuān)利名稱(chēng)：一種溫度傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于傳感器 技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及ー種溫度傳感器。
背景技術(shù)：
利用物質(zhì)各種物理性質(zhì)隨溫度變化的規(guī)律把溫度轉(zhuǎn)換為電量的是溫度傳感器。溫度傳感器是溫度測(cè)量?jī)x表的核心部分，品種繁多。按測(cè)量方式可分為接觸式和非接觸式兩大類(lèi)，按照傳感器材料及電子元件特性分為熱電阻和熱電偶兩類(lèi)?，F(xiàn)有的溫度傳感器多為鉬溫度傳感器，該溫度傳感器在一個(gè)陶瓷襯底上施加了 ー個(gè)鉬薄膜電阻，陶瓷襯底通常由氧化鋁組成，在構(gòu)成鉬薄膜電阻的區(qū)域中，在陶瓷襯底的表面設(shè)有ー層保護(hù)釉，其中鉬薄膜電阻通常被構(gòu)成波狀的鉬層附帯地具有連接面，該連接面與導(dǎo)線連接形成導(dǎo)電連接以取得傳感器信號(hào)，而為了固定端子導(dǎo)線設(shè)有ー個(gè)釉層。以上結(jié)構(gòu)，選擇陶瓷襯底制作難度較大，而且陶瓷材料易于損壞從而造成傳感器的壽命縮短。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供ー種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單新穎，制作容易、測(cè)量精度高的溫度傳感器。本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下ー種溫度傳感器，其要點(diǎn)是包括硅片襯底，在所述硅片襯底上設(shè)有ー層絕緣層，在所述絕緣層上設(shè)置有鉬薄膜電阻和引線層，所述鉬薄膜電阻兩端分別連接有所述引線層。采用以上結(jié)構(gòu)，選用硅片作為襯底，選材容易，制作難度小，同時(shí)硅片襯底在受熱情況下不易損壞，使用壽命長(zhǎng)。作為優(yōu)選為了提高本實(shí)用新型的測(cè)量精度，所述鉬薄膜電阻呈方形的鋸齒結(jié)構(gòu)。作為優(yōu)選為了實(shí)現(xiàn)傳感器信號(hào)的可靠傳輸，所述引線層的材料為金。有益效果本實(shí)用新型采用硅片襯底以及分別設(shè)置鉬薄膜電阻和引線層，從而使得本實(shí)用新型容易制作，同時(shí)提高了傳感器的測(cè)量精度和靈敏度；本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全可靠、計(jì)量準(zhǔn)確等特點(diǎn)。

圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步的說(shuō)明。請(qǐng)參見(jiàn)圖I :ー種溫度傳感器，包括硅片襯底1，在所述硅片襯底I上設(shè)有ー層絕緣層2，在所述絕緣層2上設(shè)置有鉬薄膜電阻3和引線層4，所述鉬薄膜電阻3呈方形的鋸齒結(jié)構(gòu)，該鉬薄膜電阻3兩端分別連接有所述引線層4，所述引線層4的材料為金。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不以本實(shí)用新型為限制，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之
權(quán)利要求1.ー種溫度傳感器,其特征在于包括娃片襯底(I)，在所述娃片襯底(I)上設(shè)有ー層絕緣層(2)，在所述絕緣層(2)上設(shè)置有鉬薄膜電阻(3)和引線層(4)，所述鉬薄膜電阻(3)兩端分別連接有所述引線層(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種溫度傳感器，其特征在于所述鉬薄膜電阻(3)呈方形的鋸齒結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種溫度傳感器，其特征在干所述引線層(4)的材料為金。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種溫度傳感器，包括硅片襯底，在所述硅片襯底上設(shè)有一層絕緣層，在所述絕緣層上設(shè)置有鉑薄膜電阻和引線層，所述鉑薄膜電阻兩端分別連接有所述引線層。采用以上結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型選用硅片作為襯底，選材容易，制作難度小，同時(shí)硅片襯底在受熱情況下不易損壞，使用壽命長(zhǎng)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安全可靠、計(jì)量準(zhǔn)確等特點(diǎn)。
文檔編號(hào)G01K7/18GK202403827SQ20112054933
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月23日
發(fā)明者汪松林 申請(qǐng)人:重慶市偉岸測(cè)器制造股份有限公司