專(zhuān)利名稱(chēng)：重疊關(guān)聯(lián)成像術(shù)中探測(cè)的校準(zhǔn)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于提供圖像數(shù)據(jù)的方法和設(shè)備，該圖像數(shù)據(jù)是這種類(lèi)型的圖像數(shù)據(jù)，它可以用于構(gòu)造目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像。尤其是，但不是排他地，本發(fā)明涉及使用利用了未知的探測(cè)函數(shù)的迭代過(guò)程來(lái)提供這種圖像數(shù)據(jù)的方法。
背景技術(shù)：
用于得出目標(biāo)對(duì)象(有時(shí)稱(chēng)作為試樣)的空間信息的許多類(lèi)型的成像技術(shù)是已知的。然而，通過(guò)例如明視場(chǎng)顯微術(shù)的常規(guī)手段對(duì)目標(biāo)試樣進(jìn)行直接成像往往是不可能的。例如，在傳統(tǒng)的透射成像中，通過(guò)平面波照明來(lái)照射對(duì)象。被對(duì)象散射的波通過(guò)透鏡再次干涉以形成圖像。在很短的波長(zhǎng)成像(X-射線或電子)的情況下，該技術(shù)具有與透鏡引入的像差和不穩(wěn)定性相關(guān)的許多已知的困難，其限制了作為結(jié)果的圖像的分辨率和解釋性。一般可獲得的分辨率比理論極限大許多倍。已知的還有其他類(lèi)型的成像技術(shù)，但這些成像技術(shù)中許多都有這樣的問(wèn)題，例如分辨率限制、長(zhǎng)的數(shù)據(jù)采集時(shí)間或者對(duì)復(fù)雜和昂貴儀器的需要。在許多情況下，通過(guò)測(cè)量試樣散射入射輻射的路線，可得出試樣的一些性能。散射的輻射在距試樣某一距離處的分布稱(chēng)為衍射圖案，如果輻射是充分相干的，從其衍射圖案的測(cè)量形成試樣的圖像是可能的。用于形成這種圖像的一種技術(shù)被命名為重疊關(guān)聯(lián)成像術(shù)(ptychography)。在這里，通過(guò)被稱(chēng)為“探測(cè)”的充分相干的波前來(lái)照亮目標(biāo)試樣，其強(qiáng)度集中在與試樣相互作用的局限化的橫向區(qū)域內(nèi)。然后，由一個(gè)或多個(gè)檢測(cè)器記錄一組衍射圖案，其中每個(gè)圖案對(duì)應(yīng)于試樣和探測(cè)的不同的相對(duì)橫向位置。選擇這些位置，使得試樣的感興趣區(qū)域被探測(cè)的多個(gè)重疊位置所覆蓋。在W02005/1065312005/106531中已經(jīng)公開(kāi)了用于高分辨率成像的這種技術(shù)的例子，就所有目的而言，通過(guò)引用將其結(jié)合在此。在W02005/1065312005/106531中公開(kāi)的技術(shù)現(xiàn)在被本領(lǐng)域技術(shù)人員稱(chēng)為重疊關(guān)聯(lián)迭代引擎(ptychographical iterative engine或PIE)。這涉及在目標(biāo)對(duì)象處提供來(lái)自福射源的入射輻射；通過(guò)至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)由目標(biāo)對(duì)象散射的輻射的強(qiáng)度，并提供響應(yīng)于所檢測(cè)的強(qiáng)度的圖像數(shù)據(jù)，而無(wú)需入射輻射的高分辨率定位或相對(duì)于所述目標(biāo)對(duì)象的后目標(biāo)對(duì)象孔徑；以及使用所檢測(cè)的強(qiáng)度來(lái)產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)，該圖像數(shù)據(jù)用于構(gòu)造目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像。利用使用可移動(dòng)的輕柔變化的探測(cè)函數(shù)(例如透射函數(shù)或照射函數(shù))的迭代過(guò)程，可產(chǎn)生圖像數(shù)據(jù)。PIE提供了一種強(qiáng)大的技術(shù)，用于從一組衍射圖案的測(cè)量恢復(fù)涉及對(duì)象的區(qū)域的圖像數(shù)據(jù)。通過(guò)用相干輻射的已知波前照射對(duì)象來(lái)形成每個(gè)衍射圖案，相干輻射的已知波前具有這樣的必要條件，即該波前的強(qiáng)度集中在與該對(duì)象相互作用的局限化的橫向區(qū)域內(nèi)。這樣的波前的例子將會(huì)是在被平面波照射時(shí)生成超出孔徑的短距離，或者是用平面波照射時(shí)由凸透鏡生成的焦斑。該技術(shù)還適用的情景是，目標(biāo)由平面波輻射照射以及后目標(biāo)對(duì)象孔徑被用于選擇對(duì)象的區(qū)域散射的照射。在這個(gè)意義上，衍射圖案是由超出對(duì)象某一距離的光學(xué)配置并在垂直于照射波前的傳播方向的平面上產(chǎn)生的強(qiáng)度分布。這個(gè)平面被指定為測(cè)量平面，在該平面進(jìn)行的測(cè)量表示為‘《HU| ,其中U是合適的坐標(biāo)向量。要注意的是，當(dāng)測(cè)量平面與樣本平面之間的距離小時(shí)，衍射圖案被稱(chēng)為近場(chǎng)衍射圖案。當(dāng)該距離大時(shí)，衍射圖案被稱(chēng)為遠(yuǎn)場(chǎng)衍射圖案。重疊關(guān)聯(lián)成像術(shù)(ptychography)利用在測(cè)量平面上使用諸如(XD攝像機(jī)或諸如此類(lèi)的適當(dāng)記錄裝置記錄的若干衍射圖案。對(duì)象的橫向位置和局限化的照明波前對(duì)每個(gè)圖案是不同的。PIE的限制是這樣的必要條件，即為了提供有用的圖像數(shù)據(jù)，探測(cè)函數(shù)的特征(例如，與后目標(biāo)對(duì)象孔徑關(guān)聯(lián)的透射函數(shù)或與入射輻射關(guān)聯(lián)的照明函數(shù))必須是已知的或估計(jì)的。這需要耗時(shí)的創(chuàng)立技術(shù)，并且如果所使用的探測(cè)函數(shù)不準(zhǔn)確的話，可導(dǎo)致不準(zhǔn)確性。PIE的這種限制可以通過(guò)在W02010/064051中公開(kāi)的技術(shù)來(lái)解決，就所有目的而言，通過(guò)引用將其結(jié)合在此。在W02010/064051中描述的技術(shù)被稱(chēng)為擴(kuò)展的重疊關(guān)聯(lián)迭代引擎(extended Ptychographical Iterative Engine)或 ePIE。這種技術(shù)以探測(cè)波前的粗略初始估計(jì)和目標(biāo)試樣的粗略初始估計(jì)開(kāi)始。ePIE的每一次迭代產(chǎn)生探測(cè)的和試樣的更新的估計(jì)。初始估計(jì)不需要是精確的；對(duì)該算法來(lái)說(shuō)，產(chǎn)生只給出探測(cè)形狀的粗略初始猜測(cè)的圖像是可能的。然而，可能的是該算法未能產(chǎn)生精確的圖像。在某些情況下，ePIE的每次迭代將會(huì)產(chǎn)生比先前的迭代產(chǎn)生的那些更不準(zhǔn)確的試樣的和探測(cè)的估計(jì)，并且該算法據(jù)說(shuō)會(huì)發(fā)散。本發(fā)明的目的是至少部分地減輕上述問(wèn)題。重疊關(guān)聯(lián)成像術(shù)適用于在反射模式(其中照明光束從目標(biāo)試樣被反射)或者透射模式(其中照明光束透射通過(guò)目標(biāo)試樣)中執(zhí)行的成像。在此，當(dāng)使用透射/透射的/透射過(guò)時(shí)，應(yīng)當(dāng)理解可同樣使用反射/反射的/使反射。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明，提供一種提供圖像數(shù)據(jù)的方法，該圖像數(shù)據(jù)用于構(gòu)造目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像，包括:提供參考目標(biāo)對(duì)象的參考衍射圖案；基于所述參考衍射圖案確定探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)；以及通過(guò)基于探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)和目標(biāo)函數(shù)的初始猜測(cè)的迭代過(guò)程，確定響應(yīng)于由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射的強(qiáng)度的目標(biāo)對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。參考衍射圖案可以基于由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射的強(qiáng)度?？梢詮膮⒖寄繕?biāo)對(duì)象反射由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射，或者由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射可以透射通過(guò)參考目標(biāo)對(duì)象。探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)可用于確定一個(gè)或多個(gè)目標(biāo)對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。參考目標(biāo)對(duì)象可以是確定圖像數(shù)據(jù)的第一目標(biāo)對(duì)象。參考目標(biāo)對(duì)象可以是只用于校準(zhǔn)目的的目標(biāo)對(duì)象。確定探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)可包括:基于參考衍射圖案，估計(jì)入射在參考目標(biāo)對(duì)象的探測(cè)區(qū)域上的輻射的功率，以及選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)，使得探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)具有的平均強(qiáng)度等于估計(jì)的平均強(qiáng)度。估計(jì)平均強(qiáng)度可以包括:對(duì)參考衍射圖案執(zhí)行快速傅立葉變換，以產(chǎn)生復(fù)數(shù)的矩陣，以及對(duì)復(fù)數(shù)的絕對(duì)值求和以產(chǎn)生實(shí)數(shù)，其中選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)包括:取所述實(shí)數(shù)的平方根，以產(chǎn)生實(shí)值的數(shù)N，選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)P，使P = MN / K，其中M是代表探測(cè)區(qū)域的矩陣，K是歸一化因子。
K可以是矩陣M中的值的總和?？商峁┨綔y(cè)區(qū)域的估計(jì)，其中在估計(jì)的探測(cè)區(qū)域之外矩陣M中的值為零，并且在估計(jì)的探測(cè)區(qū)域之內(nèi)矩陣M中的值為1，以及K等于矩陣M中的I值的數(shù)目。本發(fā)明的一個(gè)方面提供了一種機(jī)器可讀的數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)，包括計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，當(dāng)由計(jì)算機(jī)執(zhí)行時(shí)，其執(zhí)行上述的方法。通過(guò)提供探測(cè)函數(shù)的迭代細(xì)化期間發(fā)散可能性的降低或消除，本發(fā)明的實(shí)施例可用于改進(jìn)ePIE方法和系統(tǒng)的性能。


下面僅通過(guò)示例，參照附圖來(lái)描述本發(fā)明的實(shí)施例，其中:
圖1示出了在目標(biāo)對(duì)象上的入射；
圖2示出了帶有目標(biāo)對(duì)象的衍射圖案的形成和探測(cè)函數(shù)；
圖3示出了相位恢復(fù)算法；以及 圖4示出了沒(méi)有目標(biāo)對(duì)象的衍射圖案的形成和探測(cè)函數(shù)；
圖5示出了帶有校準(zhǔn)對(duì)象的衍射圖案的形成和探測(cè)函數(shù)；
圖6示出了用于提供可用來(lái)構(gòu)建目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的高分辨率圖像的圖像數(shù)據(jù)的設(shè)備。
具體實(shí)施例方式在附圖中相同的附圖標(biāo)記指相同的部件。圖1示出了如何顯影散射圖案以及如何使用散射圖案來(lái)確定對(duì)應(yīng)于目標(biāo)對(duì)象結(jié)構(gòu)的信息的圖像數(shù)據(jù)。將會(huì)理解，術(shù)語(yǔ)目標(biāo)對(duì)象是指放置在入射輻射路徑中、弓丨起該輻射散射的任何試樣或物品。將會(huì)理解，目標(biāo)對(duì)象對(duì)入射輻射應(yīng)該是至少部分透明的。目標(biāo)對(duì)象可能會(huì)或可能不會(huì)具有一些重復(fù)的結(jié)構(gòu)。作為選擇，目標(biāo)對(duì)象可以是全部或部分反射的，在這種情況下，基于反射的輻射來(lái)測(cè)量散射圖案。使入射輻射10落在目標(biāo)對(duì)象11上。將會(huì)理解，術(shù)語(yǔ)輻射應(yīng)被廣義地解釋為來(lái)自輻射源的能量。這將包括:包含X射線的電磁輻射，諸如電子和/或聲波的發(fā)射的粒子。這樣的輻射可以用波函數(shù)表示。如本領(lǐng)域技術(shù)人員所理解的，這種波函數(shù)包括實(shí)部和虛部。這可以用波函數(shù)的模數(shù)和相位表示。Wrr是ψ(/}的復(fù)共軛，并且TW Ψ(".= !V(r),其中是強(qiáng)度，它對(duì)于波函數(shù)是可測(cè)量的。入射輻射10在通過(guò)并超出試樣11時(shí)被散射。于是，在從試樣出射時(shí)入射輻射的波函數(shù)將相對(duì)于試樣的目標(biāo)前側(cè)的入射輻射的波函數(shù)，在幅度和相位上都會(huì)有改變。發(fā)生的散射可包括:傅立葉衍射，折射和/或菲涅耳衍射，以及其中作為試樣之后傳播的結(jié)果改變?nèi)肷漭椛涞奶匦缘娜魏纹渌问降纳⑸?。如果諸如CCD檢測(cè)器12這樣的檢測(cè)器的陣列被布置成距試樣有一個(gè)長(zhǎng)的距離，則在衍射平面13形成衍射圖案。如果檢測(cè)器12定位成距試樣有距離D，其中D對(duì)于待形成的衍射圖案來(lái)說(shuō)有效地距點(diǎn)源足夠長(zhǎng)，將形成傅立葉衍射圖案。如果形成的衍射平面更接近試樣，通過(guò)將檢測(cè)器定位成更靠近，則形成菲涅耳衍射圖案。入射輻射10落在目標(biāo)對(duì)象11的第一表面上。入射輻射在試樣中被散射，并且透射的輻射傳播直到形成衍射圖案的衍射平面13。圖2更詳細(xì)地示出了圖1的過(guò)程。輻射10例如由弱透鏡粗略地聚焦，使得目標(biāo)對(duì)象的第一表面的區(qū)域被照射。當(dāng)然，弱透鏡可包括任何適當(dāng)?shù)木劢乖O(shè)備，例如用于電子束或X射線的反射表面的一組板和電壓源。弱聚焦足以基本上限制了探測(cè)輻射束。因此，沒(méi)有必要對(duì)輻射進(jìn)行銳聚焦，當(dāng)然，盡管可以使用強(qiáng)聚焦的輻射。在此，目標(biāo)對(duì)象提供目標(biāo)函數(shù)0(r)，它表示由于穿過(guò)感興趣對(duì)象的結(jié)果而引入入射波的相位和幅度的變化。入射在目標(biāo)對(duì)象上的照射輻射表示探測(cè)函數(shù)P (r)，其P (r)，其形成如由透鏡或其他光學(xué)部件形成的焦散或照明分布所生成的照射函數(shù)。P(r)是在對(duì)象平面處計(jì)算的這種波場(chǎng)的復(fù)平穩(wěn)值。當(dāng)從目標(biāo)對(duì)象的下游表面出射時(shí)，出射波函數(shù)定義散射的輻射。由于這種出射波傳播通過(guò)空間，它會(huì)在衍射平面13形成衍射圖案YM ο將會(huì)理解，未聚焦的輻射可以與后目標(biāo)孔徑一起使用，而不是對(duì)象上的弱(或確實(shí)強(qiáng))聚焦照射?？讖轿挥谀繕?biāo)對(duì)象之后以便因此選擇目標(biāo)的區(qū)域以供調(diào)查。該孔徑形成在掩模中，以使該孔徑限定“支承”。支承是函數(shù)不為零的該函數(shù)的區(qū)域。換句話說(shuō)，在該支承之外，函數(shù)為零。在該支承之外，掩模阻擋輻射的透射。術(shù)語(yǔ)孔徑描述了輻射的局限化的透射函數(shù)。這可以用具有在O和I之間的模數(shù)值的二維復(fù)變量來(lái)表示。一種例子是具有變化透射率的物理孔徑區(qū)的掩模。入射輻射因此落在試樣的上游側(cè)，并且在透過(guò)試樣時(shí)被試樣散射。作為與對(duì)象相互作用后的輻射的出射波函數(shù)因此形成由此形成試樣波0(r)。這樣，0(r)表示二維復(fù)函數(shù)，使得0(r)中的每個(gè)點(diǎn)與復(fù)數(shù)相關(guān)聯(lián)，0(r)中的每個(gè)點(diǎn)與其相關(guān)一個(gè)復(fù)數(shù)，其中r是二維坐標(biāo)。0(r)在物理上表示從平面波照射的對(duì)象發(fā)出的出射波。例如，在電子散射的情況下，0(r)代表作為穿過(guò)感興趣對(duì)象的結(jié)果的、引入入射波的相位和幅度的改變。該孔徑提供探測(cè)函數(shù)P(r)(或透射函數(shù))，其選擇對(duì)象出射波函數(shù)的一部分以供分析。將會(huì)理解，透射光柵或其他這樣的濾波函數(shù)可位于目標(biāo)函數(shù)的下游，而不是選擇孔徑。探測(cè)函數(shù)P (r-R)是孔徑透射函數(shù)，其中孔徑在位置R處。探測(cè)函數(shù)可表示為具有復(fù)值的復(fù)函數(shù)，其復(fù)值由模數(shù)和相位給出，該模數(shù)和相位表示由探測(cè)引入到入射在其上的完全平面波的模數(shù)和相位的改變。 出射波函數(shù)w(r,R: 是輻射離開(kāi)孔徑時(shí)輻射的出射波函數(shù)。這種出射波V(r.R)在衍射平面形成衍射圖案。在此，r是實(shí)空間中的向量坐標(biāo)，u是衍射空間中的向量坐標(biāo)。將會(huì)理解，利用關(guān)于圖1和2描述的孔徑形成的實(shí)施例和非孔徑實(shí)施例，如果檢測(cè)到散射輻射的衍射平面移近試樣，則會(huì)檢測(cè)到菲涅耳衍射圖案而非傅立葉衍射圖案。在這樣的情況下，從出射波至衍射圖案T(W)的傳播函數(shù)將會(huì)是菲涅耳變換，而非傅立葉變換。圖3示出了按照本發(fā)明實(shí)施例的迭代過(guò)程，其可用于恢復(fù)這種類(lèi)型的圖像數(shù)據(jù)，即它可被用來(lái)從一組衍射圖案構(gòu)造對(duì)象的區(qū)域的圖像。圖示的迭代過(guò)程30開(kāi)始于對(duì)象猜測(cè)31和所使用的探測(cè)函數(shù)形式的猜測(cè)32。隨后，這些初始猜測(cè)被迭代過(guò)程中運(yùn)行猜測(cè)所取代。圖像函數(shù)的初始猜測(cè)可以是隨機(jī)分布，或者可以是基于其他測(cè)量或先前的計(jì)算而預(yù)先計(jì)算的近似值。下面，更詳細(xì)地描述探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)。在許多采樣點(diǎn)模擬猜測(cè)，并因此用矩陣表示猜測(cè)。這樣的矩陣可以由計(jì)算機(jī)或其他這樣的處理單元存儲(chǔ)和操縱。適當(dāng)?shù)兀蓸狱c(diǎn)等距隔開(kāi)，并形成矩形陣列。k次迭代后的探測(cè)函數(shù)估計(jì)表示為Pk(r)，以及Ok(r)表示k次迭代后恢復(fù)的圖像表示為Ok (r)。因此，探測(cè)函數(shù)和目標(biāo)函數(shù)的原始猜測(cè)分別是P。(r)和OtlOO，其中r是適當(dāng)?shù)淖鴺?biāo)向量。如果與探測(cè)函數(shù)和對(duì)象的相對(duì)位置有關(guān)的當(dāng)前平移向量表示為RK，則猜測(cè)的對(duì)象分布和探測(cè)函數(shù)之間的相互作用用下式模擬:
權(quán)利要求
1.一種提供圖像數(shù)據(jù)的方法，所述圖像數(shù)據(jù)用于構(gòu)造目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像，所述方法包括: 提供參考目標(biāo)對(duì)象的參考衍射圖案； 基于參考衍射圖案確定探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)；以及 通過(guò)基于探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)和目標(biāo)函數(shù)的初始猜測(cè)的迭代過(guò)程，確定響應(yīng)于至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射強(qiáng)度的目標(biāo)對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述參考衍射圖案基于由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射的強(qiáng)度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射反射自參考目標(biāo)對(duì)象。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中由至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射透射通過(guò)所述參考目標(biāo)對(duì)象。
5.根據(jù)前述的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)用于確定一個(gè)或多個(gè)目標(biāo)對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。
6.根據(jù)前述的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述參考目標(biāo)對(duì)象是確定圖像數(shù)據(jù)的第一目標(biāo)對(duì)象。
7.根據(jù)前述的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中所述參考目標(biāo)對(duì)象是只用于校準(zhǔn)目的的目標(biāo)對(duì)象。
8.根據(jù)前述的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法，其中確定探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)包括: 基于參考衍射圖案，估計(jì)入射在參考目標(biāo)對(duì)象的探測(cè)區(qū)域上的輻射的功率，以及 選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)，使得探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)具有的平均強(qiáng)度等于估計(jì)的平均強(qiáng)度。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中估計(jì)平均強(qiáng)度包括: 對(duì)參考衍射圖案執(zhí)行快速傅立葉變換，以產(chǎn)生復(fù)數(shù)的矩陣，以及 對(duì)復(fù)數(shù)的絕對(duì)值求和，以產(chǎn)生實(shí)數(shù),并且其中 選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)包括: 取所述實(shí)數(shù)的平方根，以產(chǎn)生實(shí)值的數(shù)N， 選擇探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)P，使P = MN/ K，其中M是代表探測(cè)區(qū)域的矩陣，以及K是歸一化因子。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中K是矩陣M中的值的總和。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，進(jìn)一步包括提供探測(cè)區(qū)域的估計(jì)，其中 矩陣M中的值在估計(jì)的探測(cè)區(qū)域以外是零，以及在估計(jì)的探測(cè)區(qū)域內(nèi)是1，以及 K等于矩陣M中I值的數(shù)目。
12.一種機(jī)器可讀數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)，包括計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令，當(dāng)由計(jì)算機(jī)執(zhí)行時(shí)，所述計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令執(zhí)行按照前述的任何一項(xiàng)權(quán)利要求所述的方法。
全文摘要
一種提供圖像數(shù)據(jù)的方法，所述圖像數(shù)據(jù)用于構(gòu)造目標(biāo)對(duì)象的區(qū)域的圖像，該方法包括提供參考目標(biāo)對(duì)象的參考衍射圖案；基于參考衍射圖案確定探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)；以及通過(guò)基于探測(cè)函數(shù)的初始猜測(cè)和目標(biāo)函數(shù)的初始猜測(cè)的迭代過(guò)程，確定響應(yīng)于至少一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)到的輻射強(qiáng)度的目標(biāo)對(duì)象的圖像數(shù)據(jù)。
文檔編號(hào)G01T1/29GK103201648SQ201180032119
公開(kāi)日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2011年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月28日
發(fā)明者安德魯·邁登 申請(qǐng)人:相位聚焦有限公司