在測量工件的坐標時的誤差修正和/或避免本發(fā)明涉及在測量工件的坐標時的誤差的修正和/或避免。本發(fā)明尤其涉及用于測量工件的坐標的組件、用于制造這樣的組件的方法以及用于運行這樣的組件的方法。工件的坐標能夠以不同的方式說明和測量。所述坐標例如關(guān)系到參考系統(tǒng)如所謂實驗室系統(tǒng)，或者關(guān)系到基于工件或工件保持裝置的坐標系。但也可能的是，感測或說明工件的、關(guān)系到工件的至少兩個參考點的尺寸，例如長度、寬度或直徑。為了確定坐標，坐標測量儀(以下也縮寫為：KMG)或坐標測量儀的使用者因此被指示：識別用于探測工件的探測器的位置以及還多次識別其取向以及也識別工件的位置和取向或者識別所述位置和取向的至少一個可能的改變。尤其當(dāng)工件和探測器彼此相對運動以便能夠進行進一步的坐標測量時，可能出現(xiàn)位置和取向的改變。因此，如果用于測量工件的坐標組件的不同部分可彼此相對運動，則相應(yīng)的運動可能在測量工件坐標時導(dǎo)致誤差。這樣的相對運動的例子是旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)運動(這是本發(fā)明的第一方面的內(nèi)容)、在出于坐標測量的目的而調(diào)節(jié)用于探測工件的探測器或探測頭(其具有傳感裝置)的位置和/或取向時的運動(這是本發(fā)明的第二方面的內(nèi)容)和基于機械力的機械彎曲和/或用于坐標測量的組件或工具機的材料熱膨脹或熱收縮(這是本發(fā)明的第三方面的內(nèi)容)。所有這些可運動性除了可選擇地存在的探測器的、由該探測器在通過機械探觸來測量工件坐標期間(也就是說在探測器接觸工件期間)實施的運動之外附加地給出。尤其已知這種探測器，它在機械地探觸工件時基于在工件和探測器之間起作用的機械力而從中間位置偏轉(zhuǎn)出來，其中，該偏轉(zhuǎn)出于確定接觸點坐標的目的而被獲知和評估。因此，附加的可運動性導(dǎo)致坐標測量時的誤差。本發(fā)明的任務(wù)在于，提出一種開頭所述類型的組件以及方法，通過它們，在測量工件的坐標時修正和/或避免誤差。提出一種用于測量工件的坐標和/或用于加工工件的組件，其中，所述組件具有第一部分和可相對于所述第一部分運動的第二部分，其中，這些部分的可相對運動性除了可選地、附加地固定在所述組件上的探測器的可能發(fā)生的可運動性外附加地給出，所述可能發(fā)生的可運動性在機械地探測所述工件以便測量所述坐標時通過所述探測器從中間位置的偏轉(zhuǎn)出來來給出，其中，在第一或第二部分上布置有一測量體并且在另一部分上、也就是說在第二或第一部分上布置有至少一個傳感器，其中，所述傳感器構(gòu)型得用于相應(yīng)于所述測量體的位置、從而相應(yīng)于所述第一和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號。所述至少一個傳感器和所述至少一個配屬給所述傳感器的測量體是在所述組件上永久存在的元件。因此，與為了一次性或重復(fù)校準的目的而布置在組件上的測量系統(tǒng)不同，能夠在組件連續(xù)運行期間、尤其在坐標測量儀或工具機運行期間獲得測量值，并且能夠在組件運行期間獲知與所述部分的理想的和/或預(yù)給定的運動的偏差和/或不希望的運動。因此，可能的是，簡化組件的結(jié)構(gòu)并從而發(fā)生比希望的更大的、與理想的或預(yù)給定的運動的偏差或者更大的運動。在運行時、尤其測量工件的坐標時能夠考慮對這些運動或偏差的測量。一種考慮的可能性是對運動進行計算修正，尤其借助于數(shù)學(xué)模型。優(yōu)選，重復(fù)地感測并考慮所述至少一個傳感器的測量值。根據(jù)一種用于制造這樣的組件的相應(yīng)方法，提供該組件的第一部分和該組件的第二部分，并且將第一和第二部分構(gòu)造得可彼此相對運動。在此，這些部分的可相對運動性除了可選地附加固定在該組件上的探測器的可能發(fā)生的可運動性外附加地被允許，所述可能發(fā)生的可運動性在出于測量坐標的目的機械地探測工件時通過探測器從中間位置偏轉(zhuǎn)出來而給出。在第一或第二部分上布置有一測量體并且在另一部分上、也就是在第二或第一部分上布置有至少一個傳感器。該傳感器構(gòu)型用于在該組件運行時相應(yīng)于測量體的位置、從而相應(yīng)于第一和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號。根據(jù)一種用于運行這樣的組件的相應(yīng)方法，使該組件的第一部分和該組件的第二部分彼此相對運動，其中，這些部分的可相對運動性除了可選地附加固定在該組件上的探測器的可能發(fā)生的可運動性外附加地被允許，所述可能發(fā)生的可運動性在出于測量坐標的目的機械地探測工件時通過探測器從中間位置偏轉(zhuǎn)出來而給出。在第一或第二部分上布置有一測量體并且在另一部分上、也就是在第二或第一部分上布置有至少一個傳感器，其中，該傳感器構(gòu)型用于在該組件運行時相應(yīng)于測量體的位置、從而相應(yīng)于第一和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號。探測器尤其能夠布置在測量頭或探測頭上，該測量頭或探測頭使得能夠?qū)崿F(xiàn)探測器的可運動性并且尤其也能夠通過至少一個傳感器感測所述偏轉(zhuǎn)。傳感器例如可以是磁阻傳感器、根據(jù)電磁霍爾效應(yīng)起作用的霍爾傳感器、光學(xué)傳感器、根據(jù)壓電效應(yīng)起作用的傳感器、電容式傳感器、被構(gòu)型用于間距測量和/或相對位置測量的渦流傳感器或者是根據(jù)所提到的作用方式中的至少一個和/或未提到的作用方式中的至少一個工作的傳感器。尤其磁阻傳感器和霍爾傳感器也能夠多個地布置在共同的承載件上、例如類似于微芯片的微承載件上。共同承載件上的每個傳感器則尤其感測一個不同的運動自由度。例如通過兩個分別承載用于感測三個彼此線性不相關(guān)的自由度的三個傳感器并且布置在不同軸向位置上的承載件，能夠感測全部的運動自由度。通過承載件上的多個傳感器也能夠測量在承載件的地點上存在的磁場。光學(xué)傳感器例如感測在測量體上構(gòu)成的多個標記中的一個，當(dāng)該標記從傳感器的視野中運動經(jīng)過時。在另一類型光學(xué)傳感器中，例如實施激光三角測量和/或如在干涉儀中那樣實施與不受測量體影響的比較光束的比較。在又一類型的光學(xué)傳感器中，投影到測量體上的圖案被感測。測量體尤其根據(jù)傳感器的測量原理構(gòu)型。測量體例如能夠具有永磁性材料，以便能夠根據(jù)霍爾效應(yīng)或磁阻測量原理來測量。替換地或附加地，測量體(例如柱體或球形測量體)能夠具有用于電容式或電感式傳感器的導(dǎo)電表面和/或用于光學(xué)傳感器的用于反射測量射線的反射表面。反射的或部分反射的表面例如能夠構(gòu)造在柱形的、錐形的或環(huán)面形的測量體上。在任何情況下，傳感器產(chǎn)生包含關(guān)于測量體位置進而關(guān)于第一和第二部分相對位置的信息的信號。在有些測量原理中，如同例如在柵盤(該柵盤帶有多個柵格式的劃線形標記)作為測量體時，傳感器的單個信號可能還不足以能夠評估關(guān)于位置和相對位置的信息。附加地例如可能需要計數(shù)器狀態(tài)，該計數(shù)器狀態(tài)相應(yīng)于之前已經(jīng)感測的標記的數(shù)量，和/或需要第一和第二部分的初始位置。如果至少三個旋轉(zhuǎn)位置傳感器中的多個繞旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置并且分別由各個旋轉(zhuǎn)位置傳感器感測旋轉(zhuǎn)裝置的兩個可彼此相對旋轉(zhuǎn)的部分的一個旋轉(zhuǎn)位置，則由旋轉(zhuǎn)位置傳感器提供的測量信號能夠被用于獲知和/或考慮平移運動(也就是說兩個可彼此相對旋轉(zhuǎn)的部分在橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的方向上的運動)。對此還要詳細探討。在相同的情況下或者也在測量系統(tǒng)具有其它傳感器的情況下，可能需要對由測量體和傳感器構(gòu)成的傳感器組件進行校準，以便在運行用于測量工件坐標的該組件時能夠獲知測量體的坐標和/或第一和第二部分的相對位置。因此優(yōu)選，用于測量工件坐標的該組件在確定測量體的位置和/或第一和第二部分的相對位置方面進行校準，也就是說將傳感器的測量信號配屬給所述位置或相對位置的相應(yīng)值。在此，例如實施比較測量和/或使用在它們的尺寸和形狀以及相對于該組件的位置方面精確已知的校準標準。形狀誤差、也就是說測量體與理想的或預(yù)給定的形狀(例如球形形狀或柱形形狀)的偏差，能夠通過校準來確定并考慮，尤其進行計算修正。此外能夠校準傳感器，例如基于傳感器的測量信號和由該傳感器感測的測量參量之間的關(guān)系的非線性。如果設(shè)置有多于一個傳感器和/或多于一個測量體，以獲知第一或第二部分的位置并且尤其獲知第一和第二部分的相對位置，尤其與前面所述相同的情況適用于這些傳感器和/或測量體的特征。多個傳感器能夠或者布置在第一部分或者布置在第二部分上。替換地或附加地，能夠不僅在第一部分上而且在相對于該第一部分可運動的第二部分上分別布置有至少一個傳感器。相應(yīng)情況適用于對個測量體。多個測量體能夠利用另一部分上的至少一個測量體，以便共同產(chǎn)生信號。但也可能的是，給多個傳感器中的每個配屬一個單獨的測量體。還可能的是，一個傳感器構(gòu)件具有多于一個傳感器。因此，這樣的傳感器構(gòu)件例如能夠關(guān)于一個以上的運動自由度提供第一和第二部分的相對位置的信息。該組件的承載至少一個傳感器和/或一個測量體的承載部分優(yōu)選由具有低的熱膨脹系數(shù)或收縮系數(shù)的材料制成。此外優(yōu)選，這樣的承載部分抗變形剛性地構(gòu)造。這也適用于多個承載部分的組件。因此，外部的力和溫度差導(dǎo)致小的或可忽略地小的誤差。如果組件具有基底，組件的所有其它部分或大部分、例如基板直接或間接支撐在該基底上，則優(yōu)選傳感器和/或測量體的至少一個部分或者直接或者通過一個這樣的承載部分與基底連接。還說明了這樣的實施例：其中，承載部分是桿形的。在這種情況下，桿的一端部優(yōu)選固定到基底上。在旋轉(zhuǎn)裝置的情況下，傳感裝置(也就是所述至少一個傳感器/測量體對)的一部分，例如傳感器，布置在旋轉(zhuǎn)裝置的固定部分上。傳感裝置的相應(yīng)配屬部分、例如配屬的測量體優(yōu)選直接固定在旋轉(zhuǎn)裝置的可旋轉(zhuǎn)部分上。本發(fā)明允許，例如在(本發(fā)明的第一方面的)旋轉(zhuǎn)裝置中，所述旋轉(zhuǎn)裝置僅能夠?qū)崿F(xiàn)第一部分相對于第二部分或者反之的離散的旋轉(zhuǎn)位置，獲知實際旋轉(zhuǎn)位置或者獲知相應(yīng)的修正值，所述修正值相應(yīng)于實際旋轉(zhuǎn)位置與期望的離散旋轉(zhuǎn)位置的偏差。但是，如還要詳細解釋的那樣，本發(fā)明甚至能夠?qū)崿F(xiàn)，具有用于設(shè)定離散的旋轉(zhuǎn)位置的機械器件(例如具有所謂端面齒)的旋轉(zhuǎn)裝置由在其中不再存在這樣的機械器件的旋轉(zhuǎn)裝置取代。盡管如此，通過相應(yīng)地控制旋轉(zhuǎn)裝置仍能夠重復(fù)地設(shè)定一個或多個預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置。在相應(yīng)構(gòu)型控制裝置的情況下甚至能夠?qū)崿F(xiàn)，能夠精確地再現(xiàn)旋轉(zhuǎn)位置。為此，控制裝置能夠使用所述至少一個傳感器的測量信號，也就是說測量信號或從所述測量信號中得到的信息或信號被傳送給控制裝置，該控制裝置控制旋轉(zhuǎn)運動并且尤其控制旋轉(zhuǎn)裝置的至少一個驅(qū)動裝置(例如馬達)。如果例如不僅能夠設(shè)定離散的旋轉(zhuǎn)位置，然而控制裝置不能夠?qū)崿F(xiàn)精確地再現(xiàn)旋轉(zhuǎn)位置，則本發(fā)明允許獲知實際旋轉(zhuǎn)位置或者獲知上面提到的相應(yīng)修正值。在連續(xù)區(qū)域內(nèi)部的任意旋轉(zhuǎn)位置的設(shè)定例如在使用驅(qū)動旋轉(zhuǎn)運動的步進馬達的情況下是不可能的。用這樣的步進馬達精確地再現(xiàn)確定的旋轉(zhuǎn)位置也是不可能的，因為這些可設(shè)定的旋轉(zhuǎn)位置可能與外部情況相關(guān)。為驅(qū)動所使用的驅(qū)動機構(gòu)(例如具有用于傳遞轉(zhuǎn)矩的齒輪)也會引起可設(shè)定的旋轉(zhuǎn)位置的改變。在一般情況下，對于第一部分和第二部分預(yù)給定至少一個相對位置，該相對位置在運行組件時要調(diào)整，其中，設(shè)置一評估裝置，該評估裝置被構(gòu)型用于在使用該組件的傳感器的信號的情況下確定，如果預(yù)給定的相對位置已被調(diào)整，第一部分和第二部分處于哪個相對位置中。該組件尤其也可以設(shè)置在根據(jù)第二方面的構(gòu)型中。對于每個預(yù)給定的相對位置，能夠存在一相對位置范圍，預(yù)給定的相對位置能夠在該范圍內(nèi)部變化，也就是說，相對位置不是精確地根據(jù)預(yù)給定設(shè)定。在此，對于預(yù)給定的相對位置，這些相對位置變化范圍尤其能夠這樣程度地彼此離開，使得所述變化范圍明確地配屬給預(yù)給定的相對位置中的一個。這些變化范圍例如能夠在一個運動自由度方面通過一些區(qū)域分開，所述部分盡管例如能夠運動穿過這些區(qū)域，但在這些區(qū)域中不達到停止狀態(tài)。尤其是，對于第一部分和第二部分的多個預(yù)給定相對位置中的每個，能夠·設(shè)置至少一個(各自的、給相對位置)配屬的傳感器，也就是說例如在三個預(yù)給定的相對位置的情況下，存在兩個附加傳感器，即三個傳感器。但是，配屬給附加傳感器的測量體也被用于在其它相對位置中的相對位置測量。因此，該測量體這樣布置在所述兩個部分中的一個上，使得該測量體在兩個部分相對運動時到達一個位置，在該位置中該測量體與所述至少一個配屬的傳感器共同允許對相對位置進行測量?！せ蛘咴O(shè)置至少一個(各自的、給相對位置)配屬的測量體(或測量體對或組)，也就是說例如在三個預(yù)給定的相對位置的情況下，存在兩個附加的測量體(或測量體對或組)，即三個測量體(或測量體對或組)。但是，配屬給附加測量體的傳感器也被用于在其它相對位置中的相對位置測量。因此，該傳感器這樣布置在所述兩個部分中的一個上，使得該傳感器在兩個部分相對運動時到達一個位置，在該位置中該傳感器與所述至少一個配屬的測量體共同允許對相對位置進行測量。尤其是，對于預(yù)給定的相對位置中的至少一個可以存在大量配屬的傳感器(或大量配屬的測量體)，它們分別允許與測量體(或傳感器)共同關(guān)于(多個不同的中的)一個運動自由度進行相對位置測量。例如對于預(yù)給定的相對位置中的一個存在兩個配屬的傳感器，這些傳感器測量的不同運動自由度。本發(fā)明的(本發(fā)明第二方面的)另一優(yōu)點在于，能夠獲知用于探測工件的探測器在真正的探測過程之前的實際調(diào)整的位置和/或取向和/或能夠獲知相應(yīng)的修正信息，以便在位置和/或取向與預(yù)給定存在偏差時關(guān)于其對所獲知的坐標測量值的影響方面進行修正或考慮。本發(fā)明的(本發(fā)明第三方面的)另一優(yōu)點在于，在第一和第二部分意外地彼此相對運動時、尤其基于機械力和/或基于熱膨脹或熱收縮相對運動時，無意的不希望的運動能夠在其對第一和第二部分的相對位置的影響、從而(在KMG的情況下)對坐標測量的誤差的或結(jié)果的影響方面被獲知。如同也在本發(fā)明的其它方面中那樣，一方面可以修正和/或另一方面可以直接在確定工件坐標時考慮所述至少一個傳感器的測量信號。在工具機的情況下，在用于臂的結(jié)構(gòu)花費小的情況下提高加工工件時的精度。如果根據(jù)本發(fā)明的第一方面存在旋轉(zhuǎn)裝置和/或根據(jù)第二方面存在用于調(diào)整探測器的位置和/或取向的運動裝置，則基于由于相對于地球引力場運動而改變的重力(或者也基于其它外部影響如地面振動)，旋轉(zhuǎn)裝置或運動裝置的彈性彎曲可能變化。尤其能夠產(chǎn)生該彎曲。優(yōu)選考慮該彎曲的這種改變。由此，尤其能夠在與取向無關(guān)誤差的和與取向有關(guān)的誤差之間進行區(qū)分。為了修正該彈性變形，尤其能夠使用具有至少一個有限元的數(shù)學(xué)模型。這樣的數(shù)學(xué)模型已經(jīng)在DE10006753A1中被描述用于修正旋轉(zhuǎn)-擺動裝置的彈性彎曲。同樣的修正也在相應(yīng)的英語公開物US2001/0025427A1中描述。如在該英語文獻的第56段中描述并且在該文獻的圖9中所示的那樣，有限元能夠在數(shù)學(xué)上被如此處理，好像在這樣的有限元件的中心僅作用一個力矢量和一個力矩矢量，其中，該力矢量和該力矩矢量由外部負載、即重力和可能的其它外部力產(chǎn)生。該模型的前提在于，有限元的彈性中心通過它在空間中的位置和取向以及通過它的彈性參數(shù)包含變形了的構(gòu)件(在這里是長形延伸的元件)的彈性特性。此外，該變形必須與負載線性相關(guān)并且與在彈性中心作用的力和力矩成比例。此外必須適用疊加原理。有限元以變形修正矢量對力矢量和力矩矢量做出反應(yīng)，該變形修正矢量由平移矢量和旋轉(zhuǎn)矢量組成。相應(yīng)的變形修正矢量從該文獻的等式7中得出。根據(jù)本發(fā)明的第一方面，第一部分和第二部分是一旋轉(zhuǎn)裝置的部分，該部分具有繞至少一個旋轉(zhuǎn)軸線的可旋轉(zhuǎn)運動性，其中，第一部分和第二部分基于旋轉(zhuǎn)裝置的該可旋轉(zhuǎn)運動性能夠彼此相對旋轉(zhuǎn)運動，并且，第一或第二部分被構(gòu)型用于或者保持工件或者保持坐標測量裝置、例如探測器或探測頭，以便能夠?qū)崿F(xiàn)工件或坐標測量裝置的旋轉(zhuǎn)。因此，該第一方面也涉及旋轉(zhuǎn)裝置，這些旋轉(zhuǎn)裝置具有繞兩個旋轉(zhuǎn)軸線(例如具有具有兩個相互垂直地延伸的旋轉(zhuǎn)軸線的所謂旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈)或繞多于兩個旋轉(zhuǎn)軸線的可旋轉(zhuǎn)運動性。在第一實施方式中，第一或第二部分被構(gòu)型用于保持工件。另一部分尤其被構(gòu)型用于固定在組件的基底上和/或定位在基底上，從而所述部分相對于所述基底是不可運動的并且工件能夠隨該另一部分相對于基底旋轉(zhuǎn)。第一和第二部分例如可以是所謂旋轉(zhuǎn)臺的部分，工件布置在該旋轉(zhuǎn)臺上或上面，以便能夠被帶入不同的旋轉(zhuǎn)位置中并且在這些不同的旋轉(zhuǎn)位置中測量它的坐標。根據(jù)第二實施方式，第一或第二部分被構(gòu)型用于保持坐標測量裝置。在這種情況下，第一和第二部分通過相對運動使得能夠?qū)崿F(xiàn)坐標測量裝置的旋轉(zhuǎn)。例如所謂旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈是已知的，所述旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈允許關(guān)于兩個彼此橫向地并且尤其相互垂直地延伸的旋轉(zhuǎn)軸線的可旋轉(zhuǎn)運動性。但是，也已知僅允許關(guān)于唯一的旋轉(zhuǎn)軸線的可旋轉(zhuǎn)運動性或允許繞多于兩個旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置。下面的構(gòu)型在兩個實施方式中都是可能的：測量體構(gòu)型為第一和或第二部分的附加的、不是為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域和/或傳感器布置在第二或第一部分的附加的、不是為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域上。為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域尤其是旋轉(zhuǎn)軸承、保持或支撐旋轉(zhuǎn)軸承的材料區(qū)域以及為了穩(wěn)定的旋轉(zhuǎn)運動所需的材料區(qū)域，例如軸或其它轉(zhuǎn)子，該轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)運動被所述旋轉(zhuǎn)軸承支承。屬于為旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域還有在很多情況下存在的材料區(qū)域，這些材料區(qū)域被構(gòu)型用于承載和/或保持工件或探測器，使得工件或探測器在可旋轉(zhuǎn)運動部分旋轉(zhuǎn)運動時被轉(zhuǎn)動。在可旋轉(zhuǎn)運動部分旋轉(zhuǎn)運動時，該材料區(qū)域攜動工件或探測器。屬于為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域的還有一種可能的材料區(qū)域，該可能的材料區(qū)域被構(gòu)型用于連接旋轉(zhuǎn)裝置與該組件的其它部分。旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈例如典型地與坐標測量裝置的臂(例如頂尖套筒)連接，以便能夠使又安裝在旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈上的探測器相對于該臂擺動和旋轉(zhuǎn)。在旋轉(zhuǎn)臺中典型地構(gòu)造一材料區(qū)域，它能夠使旋轉(zhuǎn)臺放置到該組件的基底上和/或固定在其上。相反，附加的、不是為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域例如可以構(gòu)成球表面或球表面的部分、柱形外表面和/或圓面，其中，構(gòu)成的面在其相對于該傳感器的位置方面被傳感器感測。優(yōu)選，附加的材料區(qū)域至少在繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動的旋轉(zhuǎn)角度的預(yù)給定角度區(qū)域上相對于旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地成型和布置，如例如在半圓形的盤中對于圓中心點是這種情況。因此，當(dāng)在預(yù)給定的角度區(qū)域中旋轉(zhuǎn)運動時，傳感器能夠分別感測測量體的表面的一個部分區(qū)域或者受到測量體相應(yīng)于表面的所述部分區(qū)域的相對位置的影響，使得由傳感器產(chǎn)生的測量信號相應(yīng)于傳感器和表面的該部分區(qū)域之間的間距。測量體表面的旋轉(zhuǎn)對稱構(gòu)型導(dǎo)致傳感器在理想情況下，即當(dāng)測量體沒有誤差地相對于旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地成型和布置并且當(dāng)關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動沒有誤差(例如擺動誤差、端面跳動誤差、圓跳動誤差)地進行時，在測量體具有劃線柵格(見上)的情況下總是產(chǎn)生相同的測量信號或者總是產(chǎn)生測量信號的相同序列。與附加材料區(qū)域的旋轉(zhuǎn)對稱構(gòu)型的理想情況的偏差能夠通過校準來考慮，但該旋轉(zhuǎn)對稱構(gòu)型不歸因于旋轉(zhuǎn)軸線的誤差，從而在評估傳感器的測量信號時可進行相應(yīng)的修正，和/或可使其保持如此小，使得旋轉(zhuǎn)運動與理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差引起比測量體與理想旋轉(zhuǎn)對稱的構(gòu)型的偏差大得多的測量信號改變。例如球或柱體能夠作為測量體如此精確旋轉(zhuǎn)對稱地制造并且能夠關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線校正和/或校準，使得對于確定旋轉(zhuǎn)運動誤差的目的，誤差很小。附加材料區(qū)域例如可以是一長形延伸的材料區(qū)域，其在旋轉(zhuǎn)軸線的方向上延伸并且尤其相對于旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地(也就是說例如圓柱形地)成型和布置。下面的構(gòu)型尤其以旋轉(zhuǎn)裝置的一種實施方式為基礎(chǔ)，在該實施方式中，旋轉(zhuǎn)裝置的桿形軸為旋轉(zhuǎn)功能是必需的。測量體相對于旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線尤其能夠具有比第一或第二部分的相鄰的、為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的材料區(qū)域和/或布置有傳感器的附加材料區(qū)域更大的間距，能夠相對于旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線具有比第二或第一部分的相鄰的、為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的區(qū)域更大的間距。這樣，在該構(gòu)型中，構(gòu)成測量體或者在其上布置有傳感器的附加材料區(qū)域比相鄰的、為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的區(qū)域相對于旋轉(zhuǎn)軸線成更大的間距地布置。該附加材料區(qū)域通過旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)運動而相對于旋轉(zhuǎn)裝置的其它部分旋轉(zhuǎn)。由于與旋轉(zhuǎn)軸線的較大間距，旋轉(zhuǎn)運動的誤差(也就是說與繞旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差)更強烈地影響傳感器的測量信號，因為在與旋轉(zhuǎn)軸線成更大間距處比在較小間距處產(chǎn)生測量體和傳感器的更大的相對位置波動。因此，能夠感測旋轉(zhuǎn)運動的較小誤差和/或使用成本低廉的、對于對應(yīng)信號具有較大信號波動的傳感器。就旋轉(zhuǎn)裝置的特別穩(wěn)定的、不易出錯的構(gòu)型而言，旋轉(zhuǎn)裝置的另一結(jié)構(gòu)方式優(yōu)選作為前面兩段中的考慮的基礎(chǔ)：旋轉(zhuǎn)裝置的至少兩個可彼此相對旋轉(zhuǎn)的部分中的至少一個具有空心柱形的形狀，或者具有一這種形狀的區(qū)域。在空心柱形區(qū)域的端側(cè)軸向端部上尤其能夠有旋轉(zhuǎn)軸承，通過該旋轉(zhuǎn)軸承可旋轉(zhuǎn)地支承旋轉(zhuǎn)裝置的另一部分。該另一部分能夠任意地構(gòu)型，例如是圓盤形的。在空心柱體的內(nèi)部不必有為旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的部分，在該空心柱體的內(nèi)部現(xiàn)在是用于測量系統(tǒng)的位置。具體的實施例還在針對附圖的說明書中探討。尤其是，已經(jīng)提到的測量體可以是布置在第一軸向位置上的第一測量體，其中，在第一或第二部分上在與第一軸向位置隔開間距的第二軸向位置上布置有第二測量體。在這種情況下，傳感器或至少一個第二傳感器被構(gòu)型用于相應(yīng)于第二測量體的位置從而相應(yīng)于第一和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號。軸向位置可以是關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸線或者關(guān)于相對于旋轉(zhuǎn)軸線橫向或傾斜延伸的另一軸線或方向的軸向位置。在不同軸向位置上的測量例如允許測量基于旋轉(zhuǎn)裝置的可旋轉(zhuǎn)的和/或旋轉(zhuǎn)對稱的部分與預(yù)期的或希望的旋轉(zhuǎn)軸線的偏差的擺動誤差。因此，在擺動運動時旋轉(zhuǎn)裝置的至少一個部分或部分區(qū)域繞理想旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，其中，該部分或部分區(qū)域不是如期望的那樣或者說不是如在理想情況下那樣在旋轉(zhuǎn)運動期間相對于預(yù)期的或理想的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地旋轉(zhuǎn)。在擺動運動時，柱形軸的對稱軸線例如在一相對于理想旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地取向的錐的假想錐表面上運動。在與理想旋轉(zhuǎn)運動存在附加的偏差時，擺動運動可能還疊加有其它運動。當(dāng)然除了擺動誤差之外還可能出現(xiàn)其它誤差，從而對稱軸線在實際中也可能實施其它運動。例如除了擺動誤差還可能有圓跳動誤差加入進來，使得擺動誤差疊加了橢圓運動或不與旋轉(zhuǎn)軸線同心的圓形運動。當(dāng)在兩個不同軸向位置上的測量時，例如在兩個軸向位置中的每個上存在具有至少兩個傳感器的組件，這些傳感器分別測量傳感器和測量體在不同的、優(yōu)選相互垂直的方向上的相對位置，其中，這些方向例如能夠垂直于旋轉(zhuǎn)軸線取向。優(yōu)選，附加設(shè)置有至少一個傳感器/測量體對(在此例如可以是相同的測量體與不同的傳感器協(xié)同作用)，所述傳感器/測量體對被構(gòu)型用于測量測量體和傳感器之間的軸向位置的改變。因此，如果兩個這樣的附加傳感器/測量體對布置在不同的軸向位置上，能夠感測相應(yīng)的兩個運動自由度并且例如根據(jù)總共存在的信息來確定擺動誤差或其它誤差。在此，不是對于每個對必須存在一個單獨的測量體。而是同一測量體能夠例如被兩個傳感器、多個傳感器或所有傳感器利用。對于很多應(yīng)用，一個附加傳感器-/測量體對足夠用于確定軸向方向上的自由度，例如如果基于空氣軸承而整體以高精度排除了所述部分的相對運動，但例如要感測相對于旋轉(zhuǎn)軸線的傾翻運動或端面跳動誤差。優(yōu)選，處于不同的軸線位置上的測量體和傳感器通過在軸向方式上延伸的元件相互連接。該元件能夠由于它的軸向長度而實施機械振動。因此優(yōu)選，附加地設(shè)置用于阻尼所述元件的機械振動的減振裝置。該減振裝置優(yōu)選布置在至少一個大致在所述元件的軸向延伸的中部的區(qū)域中。作為減振裝置尤其考慮這樣的裝置：其中基于流體粘性產(chǎn)生阻尼。但特別優(yōu)選一種減振裝置，其中元件的運動產(chǎn)生渦流，從而基于渦流制動相對運動并進而出現(xiàn)對振動的希望的阻尼作用。例如渦流減振裝置的第一部分固定在所述元件上。該第一部分例如能夠從所述元件出發(fā)在徑向方向上、也就是說橫向于軸向方向延伸。在該組件的相對于所述元件可運動部分上，大致在相同的軸向位置上有渦流減振裝置的第二部分。在此，渦流減振裝置的第一和第二部分如此彼此相對布置，使得所述元件橫向于軸向方向的運動導(dǎo)致渦流減振裝置的第一和第二部分的相對運動。在該相對運動時產(chǎn)生渦流，并且如上面提到的達到阻尼作用。所述元件的振動的影響能夠替換地或附加地通過應(yīng)用低通濾波被降低到傳感器的重復(fù)感測的測量值的時間序列或消除。尤其是，上面提到的傳感器可以是第一傳感器，其布置在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的第一位置上，其中，在第一或第二部分上在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的、與第一位置隔開間距的第二位置上布置有第二傳感器，其中，第二傳感器也被構(gòu)型用于相應(yīng)于該測量體的或第二測量體的位置相應(yīng)于第一和第二部分的相對位置來產(chǎn)生測量信號。這樣的具有兩個布置在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的不同位置上的傳感器的組件，已經(jīng)在前面與擺動誤差確定相結(jié)合提到過。但是，這些分布在圓周方向上的傳感器不是必須用于確定軸向誤差，也就是說不是必須測量軸向方向上的相對位置改變。而是在傳感器相應(yīng)構(gòu)型(例如作為旋轉(zhuǎn)角度傳感器)以及所述至少一個測量體相應(yīng)構(gòu)型(例如具有多個繞旋轉(zhuǎn)軸線分布的標記)的情況下，所述傳感器能夠被構(gòu)型用于確定和/或考慮旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)位置和/或兩個可彼此相對旋轉(zhuǎn)運動的部分的平移相對位置。合適的測量體例如是已經(jīng)提到的柵盤，在該柵盤中，盤上的被傳感器在運動經(jīng)去時感測的多個標記在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上分布在該盤上。因此，取代盤也能夠使用環(huán)，該環(huán)承載所述標記。所述標記例如是在徑向延伸的劃線形標記，從而能夠稱為在圓周方向上延伸的劃線柵格。具體實施例還要詳細探討。為了對旋轉(zhuǎn)裝置的可彼此相對運動的部分的平移運動徑向上面已經(jīng)提到的考慮，提出一種方法，其中，第一部分相對于第二部分的旋轉(zhuǎn)位置和/或第二部分相對于第一部分的旋轉(zhuǎn)位置通過大量傳感器感測，這些傳感器圍繞旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置，并且相應(yīng)于被感測的旋轉(zhuǎn)位置分別產(chǎn)生一個測量信號，使得存在關(guān)于第一部分和第二部分的彼此相對旋轉(zhuǎn)位置的冗余信息。這些關(guān)于旋轉(zhuǎn)位置的冗余信息被這樣評估，使得第一和第二部分彼此相對的平移運動的影響被修正，其中，該平移運動橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線的延伸地走向。這些冗余信息在旋轉(zhuǎn)位置的感測方面是冗余的。但是，這些冗余信息也包含關(guān)于橫向于旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線的平移運動的信息。相應(yīng)的組件的一種構(gòu)型尤其具有：·多個傳感器，它們圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置并且構(gòu)型用于分別感測所述第一和第二部分彼此相對的旋轉(zhuǎn)位置并且用于產(chǎn)生相應(yīng)的測量信號，其中，尤其所述傳感器在所述旋轉(zhuǎn)軸線的軸向方向上布置在測量體的同一側(cè)或布置在測量體的軸向位置上，·評估裝置，所述評估裝置與所述傳感器連接以接收傳感器的測量信號并且所述評估裝置構(gòu)型用于這樣評估由所述傳感器感測的、所述第一和第二部分彼此相對的旋轉(zhuǎn)位置，使得修正所述第一和所述第二部分彼此相對的平移運動的影響，其中，所述平移運動橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線的延伸地走向。通過所述組件尤其可能的是，不僅考慮并且尤其修正第一和第二部分彼此相對的平移運動，而且還通過對所述傳感器中的至少一個的測量信號進行評估而獲知第一和第二部分彼此相對的旋轉(zhuǎn)位置。因此，該組件的測量系統(tǒng)僅需要小位置。此外，能夠設(shè)置至少一個傳感器，其被構(gòu)型用于感測測量體與另一部分在軸向方向上的間距或者通過考察測量體來感測第一部分和第二部分的軸向相對位置。通過關(guān)于軸向間距或軸向相對位置的信息能夠考慮旋轉(zhuǎn)裝置的其它運動自由度并且獲知和/或修正相應(yīng)的誤差(也就是說運動與理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差)。尤其當(dāng)存在兩個距離傳感器或用于確定軸向相對位置的傳感器，這些傳感器朝向測量體的不同區(qū)域取向時，可以在進一步考慮旋轉(zhuǎn)位置傳感器的測量信號的情況下(也就是說具有關(guān)于橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)位置和平移位置的信息)，尤其獲知旋轉(zhuǎn)裝置的擺動誤差。因為相同的測量體用于被用于感測旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)角度傳感器來觀察，并且用于被至少一個距離傳感器或用于確定軸向位置的傳感器來觀察，因此該組件的測量系統(tǒng)的構(gòu)型特別節(jié)省位置。這尤其適用于當(dāng)旋轉(zhuǎn)位置傳感器和所述至少一個距離傳感器或用于確定軸向位置的傳感器處于測量體(在軸向方向上觀察)的相同側(cè)時。測量體尤其可以是盤形的測量體，例如圓盤形的測量體或環(huán)形的測量體，其優(yōu)選關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地構(gòu)型或布置。在其它構(gòu)型中，取代所述或至少一個距離傳感器或用于確定軸向相對位置的傳感器，旋轉(zhuǎn)角度傳感器中的至少一個在軸向方向上與測量體隔開間距并且構(gòu)造得以其策略信號不僅提供關(guān)于旋轉(zhuǎn)位置的信息，而且提供關(guān)于傳感器和測量體之間軸向間距的信息。因此，該至少一個旋轉(zhuǎn)角度傳感器取代前面提到的附加傳感器。優(yōu)選，所有感測軸向間距或軸向相對位置的附加傳感器通過所述旋轉(zhuǎn)角度傳感器中的至少兩個來取代。由此節(jié)省用于附加傳感器的成本以及另外的位置。如果這些旋轉(zhuǎn)角度傳感器例如如已知的那樣構(gòu)型，用于在旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)運動進程中產(chǎn)生周期性的信號，其中，周期持續(xù)時間相應(yīng)于到達傳感器的觀察區(qū)域或者說感測區(qū)域或穿過該區(qū)域的標記的時間序列。尤其是，也可以多個標記同時處于感測區(qū)域中。在這種情況下，測量信號的周期持續(xù)時間相應(yīng)于測量體上的進入到感測區(qū)域中或從感測區(qū)域出去的標記的時間序列。典型地，這樣的周期性測量信號是正弦形的。取代測量信號的時間上的周期持續(xù)時間，周期性測量信號也可以被這樣內(nèi)插，使得周期相應(yīng)于前后相接的、繞旋轉(zhuǎn)軸線在圓周方向上分布的標記的間距。通常，所述周期或周期時間被用于確定旋轉(zhuǎn)位置或旋轉(zhuǎn)速度。但也可能的是，不僅評估測量信號的周期，而且評估測量信號的強度。在光學(xué)傳感器中，傳感器感測由測量體反射或穿過測量體的電磁射線(例如可見光或紅外射線)的輻射強度作為最初測量參量。在此，感測的輻射強度與旋轉(zhuǎn)位置相關(guān)。尤其已知，在確定的旋轉(zhuǎn)位置中測量體上的標記使被測量的輻射強度降低到接近零而在其它旋轉(zhuǎn)位置中使被測量的輻射強度變得最大并且以這種方式產(chǎn)生周期性的測量信號。但相應(yīng)的效果也能夠通過磁性標記和磁體傳感器達到。在兩種情況下都能夠觀察到，在旋轉(zhuǎn)運動期間產(chǎn)生的周期性測量信號的振幅與傳感器到測量體在軸向方向上的間距有關(guān)。因此，能夠從該周期性測量信號的振幅或者也能夠從例如在具有最大強度的旋轉(zhuǎn)位置上的測量信號強度來識別傳感器和測量體之間的間距，也就是說能夠根據(jù)測量信號的振幅和強度確定間距。當(dāng)然，軸向相對位置或軸向間距的確定也如在確定旋轉(zhuǎn)位置的的情況下時一樣不是通過傳感器本身進行，而是通過相應(yīng)的評估裝置進行。在此可以是傳感器的各自的評估裝置和/或傳感器的共同的評估裝置。為了能夠補償和/或修正測量體的誤差、組件的誤差、測量體和/或傳感器的定位和/或取向和/或至少一個傳感器/測量體對的另外的可選的系統(tǒng)誤差，提出，在另一位置上設(shè)置至少一個附加傳感器(和優(yōu)選兩個附加傳感器)設(shè)置，所述至少一個附加傳感器在該另一位置上產(chǎn)生測量信號，該測量信號相對于第一傳感器的測量信號是冗余的。對此理解為，原則上，關(guān)于旋轉(zhuǎn)裝置的第一和第二部分的相對位置的相同信息由兩個傳感器提供，也就是說包含在相應(yīng)的測量信號中。兩個傳感器例如測量在平行于旋轉(zhuǎn)軸線的軸向方向上的相對位置并且在此利用同一測量體，例如相對于旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地布置的盤。替代地，例如兩個傳感器都產(chǎn)生相應(yīng)于在垂直于旋轉(zhuǎn)軸線的線性方向上的相對位置的測量信號。為此，這些傳感器例如關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線彼此對置地布置。在上面描述的測量體上的標記在繞旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上分布、該測量體圍繞旋轉(zhuǎn)軸線延伸的情況下，冗余信息也能夠由此得到：在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的至少三個不同位置上分別布置一個傳感器，該傳感器探測從旁邊運動經(jīng)過的標記。在任何情況下冗余的信息能夠被用于，在測量和評估傳感器信號時降低或者甚至最大程度地消除系統(tǒng)誤差。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，第一或第二部分被構(gòu)型用于保持構(gòu)型為用于機械地探測工件的探測器和/或構(gòu)型為用于所述探測器的探測頭的坐標測量裝置，以便能夠?qū)崿F(xiàn)所述探測器和/或所述探測頭的可運動性，其中，傳感器和/或測量體除了用于確定第一和第二部分的相對可運動性外還構(gòu)型得用于在為了測量工件坐標的目的而機械地探測工件時測量所述探測器從中間位置的偏轉(zhuǎn)。用于保持探測器的方案尤其在于，該部分具有用于安裝探測器的接口。如在本發(fā)明的領(lǐng)域中已知的，在此可以是所謂可更換接口，其中，該探測器能夠從所述部分脫開并且能夠耦合上另一探測器。本發(fā)明的第二方面所基于的問題是，用于機械地探測工件的探測器應(yīng)該針對確定的測量任務(wù)可運動地構(gòu)型，以使探測器以不同的方式相對于坐標測量儀取向和/或定位。該運動從而取向和/或定位應(yīng)在真正探觸工件之前實施。尤其是，探測器應(yīng)該能夠繞至少一個旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。為此已知的是，探測器通過旋轉(zhuǎn)/擺動鉸鏈耦合到坐標測量儀上。為了能夠確定旋轉(zhuǎn)裝置的誤差如擺動誤差、圓跳動誤差和端面跳動誤差，可能的是，如上所述在旋轉(zhuǎn)裝置上使用一個或多個傳感器，所述傳感器測量旋轉(zhuǎn)裝置的可彼此相對運動的部分至少關(guān)于一個運動自由度的相對位置。如在現(xiàn)有技術(shù)中常見的那樣，在此，用于測量探測器在接觸工件時的偏轉(zhuǎn)的傳感裝置(至少一個傳感器/測量體對)從旋轉(zhuǎn)裝置的角度來看布置在探測器側(cè)，也就是說探測器通過傳感裝置與旋轉(zhuǎn)裝置連接。傳感裝置例如是標準探測頭，在其上能夠可更換地固定探測器。希望的是，旋轉(zhuǎn)裝置和傳感裝置在其尺寸方面緊湊，它們還應(yīng)該能夠整體具有盡可能小的質(zhì)量并且應(yīng)該能夠成本低廉地制造。為了解決問題，提出，至少一個傳感器或被構(gòu)型用于測量探測器在機械地探測工件時的運動的傳感裝置的至少一個測量體也用于測量旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)運動，該旋轉(zhuǎn)裝置被構(gòu)型用于使探測器相對于坐標測量儀的另一部分旋轉(zhuǎn)。這使得傳感裝置和旋轉(zhuǎn)裝置能夠集成于一個唯一的、共同的裝置中。由此能夠節(jié)省安裝空間和重量、尤其殼體部分和承載傳感器或測量體的承載部分的重量。此外，節(jié)省用于傳感器和/或測量體的費用，因為傳感器和/或測量體用于不同的測量任務(wù)。也能夠降低用于傳遞測量信號的電連接導(dǎo)線的數(shù)量。在運行所述組件時的過程如下：首先借助于旋轉(zhuǎn)裝置設(shè)定探測器的希望的旋轉(zhuǎn)位置。將至少一個傳感器用于獲知探測器的實際旋轉(zhuǎn)位置和/或旋轉(zhuǎn)裝置的誤差(例如擺動誤差、圓跳動誤差或端面跳動誤差)。因此，結(jié)果是，能夠精確地確定探測器相對于坐標測量儀的另一部分處于哪個旋轉(zhuǎn)位置中。替換地或附加地，在評估在緊接著借助探測器通過機械探測來測量工件時所獲得測量信號時，考慮關(guān)于之前設(shè)定的旋轉(zhuǎn)位置和/或關(guān)于旋轉(zhuǎn)裝置的誤差的信息。原則上可能的是，相對于該旋轉(zhuǎn)裝置替換地或附加地，使用一能夠使探測器線性運動的裝置，使得能夠關(guān)于探測器的至少一個線性運動自由度設(shè)定該探測器的位置。按照本發(fā)明的第二方面又有，至少一個傳感器或至少一個測量體不僅被用于確定所設(shè)定的線性位置，而且被用于測量探測器在機械地探測工件時的運動。優(yōu)選，探測器的旋轉(zhuǎn)位置或線性位置在探測工件之前被固定地設(shè)定，使得旋轉(zhuǎn)位置和/或線性位置不再改變。為此可以使用單獨的止動裝置，其例如使得探測器在設(shè)定的位置中被機械地止動。但也可以僅使用驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)運動或線性運動的驅(qū)動裝置(例如電動機)用于止動(例如當(dāng)沒有電流流過時電動機將該運動鎖止，或者設(shè)置一制動器，或者馬達調(diào)節(jié)裝置通過相應(yīng)控制馬達來調(diào)節(jié)位置)。在這種情況下，在探測工件時能夠發(fā)生旋轉(zhuǎn)位置和/或線性位置改變。因此優(yōu)選，在探測工件之后，如果在探測器和工件之間根本沒有傳遞力，檢查探測器的設(shè)定位置。為此使用在探測工件之前也被用于確定位置或確定誤差的相同傳感器。如果在探測工件期間探測器的位置改變了，或者可以修正探測工件的結(jié)果，或者可以摒棄該結(jié)果，并且可以例如在改善了位置止動的情況下重新探測工件。替換地，可以在探測工件期間測量旋轉(zhuǎn)位置和/或線性位置的改變，在此使用在探測工件之前也被用于確定位置或確定誤差的相同傳感器。換句話說，在傳感器的數(shù)量足夠的情況下，能夠與是驅(qū)動裝置還是例如在探觸工件時出現(xiàn)的外力否導(dǎo)致目前位置無關(guān)地確定探測器的位置。尤其在這種情況下也不是必定需要感測探測器在探觸工件之前的位置。此外，替換地，可以連續(xù)地、也就是說不斷地或可以說連續(xù)地(例如周期性重復(fù)地)感測探測器的位置。通常在探測器安裝于坐標測量儀上期間要校準探測器。為此通常使用至少一個校準體，其尺寸是精確已知的。在根據(jù)至少一個傳感器的在探測工件期間產(chǎn)生的測量信號確定工件坐標時使用校準結(jié)果。此外，在運行未集成到用于測量探測器偏轉(zhuǎn)的傳感裝置中的旋轉(zhuǎn)裝置時，已知的是，也校準旋轉(zhuǎn)裝置并且尤其也校準由旋轉(zhuǎn)裝置和探測器組成的組合。由此，例如對于探測器的多個旋轉(zhuǎn)位置分別產(chǎn)生一組校準數(shù)據(jù)，當(dāng)探測器處于相應(yīng)旋轉(zhuǎn)位置中時，該組校準數(shù)據(jù)被用于確定工件坐標。通過運動裝置和用于測量探測器偏轉(zhuǎn)的傳感裝置集成到共同的裝置中，減少了用于精確再現(xiàn)探測器在探測工件之前的旋轉(zhuǎn)位置或線性位置的附加誤差源。例如能夠省去旋轉(zhuǎn)裝置和傳感裝置之間的接口。此外能夠減少待傳遞的此號的數(shù)量。取消了電接口或者所述電接口的數(shù)量更少。此外能夠借助于傳感器/測量體組合優(yōu)選測量，探測器在探測工件之前處于哪個位置中。因此，甚至可以測量，是否實際設(shè)定了探測器的希望位置或者實際設(shè)定的位置與額定位置偏差多遠。因此可能的是，在使用至少一個測量探測器在探測工件之前實際設(shè)定的位置的傳感器的測量信號的情況下，修正或適配由校準得出的數(shù)據(jù)組。如果這樣的修正或適配會導(dǎo)致要確定的坐標的不準確結(jié)果，則可以通過評估所述至少一個傳感器在探測工件之前的測量信號來決定，在探測器的該設(shè)定位置中需要校準。在任何情況下，用于在為了確定坐標的目的而評估測量信號時的改變的花費相對于已知的組件是少的。已知的組件如上面所述例如具有旋轉(zhuǎn)裝置和通過附加傳感裝置耦合到旋轉(zhuǎn)裝置上的探測器。根據(jù)本發(fā)明的第三方面，第一部分和第二部分是坐標測量儀的或工具機的同一臂的區(qū)域，這些區(qū)域在該臂的縱軸線的方向上處于不同的軸向位置上，其中，這些部分的可相對運動性是基于臂的材料的機械彎曲和/或熱膨脹或熱收縮。測量體或傳感器固定在沿所述縱軸線的方向延伸的長形延伸的元件的第一軸向端部上。所述長形延伸的元件在其與第一軸向端部相反的第二軸向端部上與第一部分連接。所述至少一個傳感器(如果測量體固定在所述長形延伸的元件上)或者所述測量體(如果傳感器固定在所述長形延伸的元件上)固定在第二部分上。如果存在多個傳感器，則優(yōu)選這些傳感器布置在同一部分上。尤其是，根據(jù)本發(fā)明第三方面的組件能夠具有以下進一步特征或以下進一步特征的任意組合：-長形延伸的元件能夠在所述臂的內(nèi)部延伸。因此，所述臂能夠被稱為空心臂。-所述臂可以是坐標測量儀、例如門架結(jié)構(gòu)方式或桶架結(jié)構(gòu)方式的坐標測量儀的頂尖套筒。-替換地，所述臂可以是工具機的一個臂，例如機器人。-長形延伸的元件的第一軸向端部處于該臂的一個軸向位置中，第二部分在處于該位置上。替換地，所述元件的第一軸線端部可以處于所述臂的一個軸向位置上，該軸向位置僅與第二部分的一軸向位置具有小的間距。這樣的小間距例如是相當(dāng)于傳感器與配屬的測量體的距離的間距，其中，所述傳感器例如固定在所述元件的第一軸向端部上并且所述測量體固定在第二部分上(或者相反)。-第二部分能夠具有用于固定和連接探測頭、旋轉(zhuǎn)裝置、傳感裝置連同集成的根據(jù)本發(fā)明第二方面的旋轉(zhuǎn)裝置或者探測器的接口。-長形延伸的元件的第二軸向端部能夠在所述臂的一個軸向位置上與第一部分連接，用于測量所述臂的位置的刻度尺的參考點也處于該位置上。例如在坐標測量儀的頂尖套筒中，所述臂的位置相對于坐標測量儀的基底是可運動的，例如在豎直方向上。-替換地，長形延伸的元件能夠在軸向方向上在所述臂的整個長度上延伸或者甚至超出。因此，所述至少一個傳感器/測量體對處于所述臂的第一軸向端部的區(qū)域中并且處于長形延伸的元件的第一軸向端部的區(qū)域中。在這種情況下，所述長形延伸的元件的第二軸向端部固定在所述臂的相反的第二軸向端部上，該第二軸向端部構(gòu)成第一部分。-尤其如果如在前面描述的構(gòu)型中那樣長形延伸的元件在所述臂的整個度上延伸，或者也在長形延伸的元件基于它的軸向長度而可能實施機械振動的一般情況下，優(yōu)選附加地設(shè)置減振裝置用于阻尼長形延伸的元件的機械振動。所述減振裝置優(yōu)選布置在大致在長形延伸的元件的軸向延伸的中部的至少一個區(qū)域中。作為減振裝置尤其考慮這樣的裝置：在該裝置中基于流體的粘性產(chǎn)生阻尼。但特別優(yōu)選一種減振裝置，其中，長形延伸的元件相對于所述臂的運動產(chǎn)生渦流，從而基于所述渦流制動所述相對運動進而出現(xiàn)希望的振動阻尼作用。例如渦流減振裝置的第一部分固定在所述臂的內(nèi)部延伸的所述長形延伸的元件上。該第一部分例如能夠從所述長形延伸的元件出發(fā)在徑向方向上、也就是說橫向于軸向方向延伸。在所述臂上、尤其在所述臂的壁的內(nèi)側(cè)上，渦流減振裝置的第二部分大致處于相同的軸向位置上。在此，渦流減振裝置的第一和第二部分如此彼此相對布置，使得所述長形延伸的元件橫向于軸向方向的運動導(dǎo)致渦流減振裝置的第一和第二部分的相對運動。在該相對運動時產(chǎn)生渦流，并且(如上面提到的)實現(xiàn)阻尼作用。-長形延伸的元件的振動的影響能夠替換地或附加地通過應(yīng)用低通濾波器而被減小到傳感器的重復(fù)感測的測量值的時間序列上或者消除。-長形延伸的元件優(yōu)選由一種材料制成，該材料具有比第一部分和第二部分之間的所述臂的材料以及優(yōu)選第一和第二部分的材料小得多(尤其至少以因數(shù)100的關(guān)系小)的熱膨脹系數(shù)或熱收縮系數(shù)。因此，長形延伸的元件能夠被看作是溫度穩(wěn)定的。出于這種原因可能的是，借助于傳感器和測量體測量所述臂的熱膨脹或熱收縮的效果。但溫度穩(wěn)定的長形延伸的元件也具有該優(yōu)點：在不同的溫度下能夠測量基于作用到所述臂上的機械力引起的機械彎曲的效果。替換地或附加地，能夠測量長形延伸的元件的溫度或長形延伸的元件的周圍直接相鄰的環(huán)境中的溫度，并且能夠計算長形延伸的元件的熱膨脹或熱收縮的效果，以便在評估所述至少一個傳感器的測量信號時考慮該效果。-優(yōu)選，設(shè)置并且使用多于一個傳感器用于確定所述長形延伸的元件的第一軸向端部進而所述臂的第一軸向端部相對于所述臂的第二部分的相對位置，以便確定關(guān)于多個運動自由度的相對位置。優(yōu)選，至少確定三個運動自由度，也就是說兩個在不同的、優(yōu)選相互垂直的并且分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的方向上的線性自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性運動自由度。如果所述自由度被確定，尤其能夠在所述臂的第二部分的軸向位置上測量，第二部分基于機械力和/或熱效應(yīng)相對于起始位置或參考位置已經(jīng)在哪個方向上運動或走過多少位移。在很多情況下坐標測量儀的臂是抗彎曲的，使得能夠忽略另外的運動自由度，也就是說旋轉(zhuǎn)運動自由度。替換地，能夠以其它方式來考慮第二部分的小的旋轉(zhuǎn)運動的效果，例如通過校準直接或間接地固定在第二部分上的用于機械地探測工件的探測器。-如果所述臂相對于地球引力場的取向能夠改變，這通常基于作用的重力的方向改變而導(dǎo)致所述臂的彈性彎曲的改變。優(yōu)選，考慮這種彎曲的改變。由此尤其能夠在基于重力的與取向相關(guān)的影響與基于其它外力和/或溫度差的影響之間進行區(qū)分。為了修正該彈性變形，尤其能夠使用具有至少一個有限元的數(shù)學(xué)模型。這樣的數(shù)學(xué)模型已經(jīng)在DE10006753A1中為了修正旋轉(zhuǎn)擺動裝置的彈性彎曲而被描述。相同的修正也在相應(yīng)的英語公開物US2001/0025427A1中描述。如在該英語文獻的第56段中描述的并且如在該公開物的圖9中所示，有限元能夠在數(shù)學(xué)上被如此處理，好像在這樣的有限元件的中心僅作用一個力矢量和一個力矩矢量，其中，該力矢量和該力矩矢量由外部負載、即重力和可能的其它外部力產(chǎn)生。該模型的前提在于，有限元的彈性中心通過它在空間中的位置和取向以及通過它的彈性參數(shù)包含變形了的構(gòu)件(在這里是長形延伸的元件)的彈性特性。此外，該變形必須與負載線性相關(guān)并且與在彈性中心作用的力和力矩成比例。此外必須適用疊加原理。有限元以變形修正矢量對力矢量和力矩矢量做出反應(yīng)，該變形修正矢量由平移矢量和旋轉(zhuǎn)矢量組成。相應(yīng)的變形修正矢量從該文獻的等式7中得出。尤其當(dāng)如上面所述長形延伸的元件的第二軸向端部在刻度尺的參考點上或至少在參考點的軸向位置上與第一部分連接時，所述至少一個傳感器的測量結(jié)果可以直接并且以簡單的方式涉及參考點。例如在計算由探測器測量的工件的坐標時，以這種方式以少的費用實現(xiàn)修正，因為刻度尺的坐標系和第二部分的坐標系以明確的方式通過長形延伸的元件相互耦合。如果長形延伸的元件替換地或附加地在所述臂的內(nèi)部延伸，不增大該臂的安裝體積。此外，在這種情況下，測量體和傳感器優(yōu)選布置在所述臂的內(nèi)部并且由此防止外部影響，而不需要附加的殼體。本發(fā)明的第三方面具有該優(yōu)點：所述臂、例如頂尖套筒或機器人臂不必以高花費剛性抗變形地實施并且因此能夠降低成本和重量。而能夠測量或考慮所出現(xiàn)的、第一和第二部分的相對運動。相應(yīng)的情況適用于由熱引起的變形。所述臂本身不必由具有小的熱的膨系數(shù)或收縮系數(shù)的材料制成。此外，根據(jù)本發(fā)明，提出一種用于通過坐標測量儀測量工件的坐標和/或用于加工工件的、具有旋轉(zhuǎn)裝置的組件，其中，·所述旋轉(zhuǎn)裝置具有第一部分和能夠相對于所述第一部分繞一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)運動的第二部分，·所述第一部分或所述第二部分構(gòu)造得用于保持所述工件或者保持一用于探測工件的探測器，所述坐標測量儀的探測頭，或者所述坐標測量儀的一坐標測量裝置，·設(shè)置有多個傳感器，每個傳感器配屬有一個測量體，其中，所述測量體能夠作為共同的測量體可選地配屬給所述傳感器中的多個，·對于每個傳感器和配屬的測量體適用：所述配屬的測量體布置在所述第一部分或第二部分上而所述傳感器布置在另一部分上、即所述第二部分或第一部分上，其中，所述傳感器構(gòu)造得用于相應(yīng)于所述配屬的測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，·所述多個傳感器這樣布置，并且，設(shè)置有一評估裝置，該評估裝置在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少兩個運動自由度，即兩個繞分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向的旋轉(zhuǎn)自由度，并且·該組件構(gòu)造得在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行期間修正所述偏差。在組件中有利的是，所述多個傳感器這樣布置并且所述評估裝置這樣構(gòu)造，使得所述評估裝置在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少五個運動自由度，即在分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向上的兩個旋轉(zhuǎn)自由度和兩個線性自由度和沿所述旋轉(zhuǎn)軸線方向的一個線性自由度。在組件中有利的是，測量體或所述測量體之一構(gòu)造為所述第一或第二部分的不是為所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的附加材料區(qū)域和/或所述傳感器中的至少一個布置在所述第二或第一部分的一不是為所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)功能所需的附加材料區(qū)域上。在組件中有利的是，所述附加材料區(qū)域是長形延伸的材料區(qū)域，其在所述旋轉(zhuǎn)軸線的方向上延伸。在組件中有利的是，所述附加的測量體是布置在第一軸向位置上的第一測量體，并且，在所述第一部分或第二部分上在與所述第一軸向位置隔開間距的第二軸向位置上布置有第二測量體，其中，所述傳感器或一第二傳感器構(gòu)造得用于相應(yīng)于所述第二測量體的位置和取向并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置和取向而產(chǎn)生測量信號。在組件中有利的是，對于所述第一部分和所述第二部分預(yù)給定至少一個在所述組件運行中要設(shè)定的相對位置，并且，所述評估裝置構(gòu)造得用于在使用所述傳感器的測量信號的情況下確定：當(dāng)所述預(yù)給定的相對位置已被設(shè)定時，所述第一部分和所述第二部分實際處于哪個相對位置中。在組件中有利的是，第一測量體和第二測量體在所述旋轉(zhuǎn)軸線的軸線方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，并且，四個傳感器中的兩個配屬給所述第一測量體，四個傳感器中的兩個配屬給所述第二測量體。在組件中有利的是，所述第一測量體和第二測量體構(gòu)造在一共同的長形延伸的元件上，該元件的縱軸線在所述旋轉(zhuǎn)軸線的方向上、平行于所述旋轉(zhuǎn)軸線或者傾斜于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸。在組件中有利的是，所述長形延伸的元件布置在所述第一部分上并且沿其縱軸線延伸到所述第二部分的一接收室中。在組件中有利的是，所述傳感器中的兩個傳感器構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的軸向相對位置。在組件中有利的是，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器配屬有一個共同的測量體，其中，所述兩個傳感器布置得用于確定軸向相對位置。在組件中有利的是，用于獲知所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置的傳感器朝向所述共同的測量體的在圓周方向上延伸的外邊緣取向。在組件中有利的是，所述傳感器中的至少一個是一旋轉(zhuǎn)位置傳感器，該旋轉(zhuǎn)位置傳感器測量所述第一和第二部分繞所述旋轉(zhuǎn)軸線相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置。在組件中有利的是，所述傳感器中的多個傳感器圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置并且構(gòu)造得分別感測所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置并產(chǎn)生相應(yīng)的測量信號，其中，所述評估裝置構(gòu)造得這樣評估由圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器感測的、所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置，使得獲知所述第一和第二部分相對彼此的平移運動的效果，其中，所述平移運動橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線的延伸地走向。在組件中有利的是，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器和圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器配屬有一個共同的測量體。在組件中有利的是，在所述第二部分上固定有一磁體并且所述第二部分還具有一由可磁化的材料構(gòu)成的元件，使得在所述元件的一個區(qū)域與所述磁體之間保留一繞所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的環(huán)形縫隙，并且，至少一個用于測量所述第一部分和所述第二部分的徑向相對位置的傳感器布置在該環(huán)形縫隙中。根據(jù)本發(fā)明，提出一種用于制造如上所述的用于通過坐標測量儀測量工件的坐標的、具有旋轉(zhuǎn)裝置的組件的方法，其中，·提供該旋轉(zhuǎn)裝置的第一部分和該旋轉(zhuǎn)裝置的第二部分，并且將第一部分和第二部分構(gòu)造得可彼此相對旋轉(zhuǎn)運動，·設(shè)置多個傳感器，其中，為每個傳感器配屬一個測量體，所述測量體能夠作為共同的測量體可選地配屬給所述傳感器中的多個，·對于每個傳感器，配屬的測量體布置在所述第一部分或第二部分上而所述傳感器布置在另一部分上、即所述第二部分或第一部分上，使得所述傳感器構(gòu)造得在所述組件運行時相應(yīng)于所述測量體的位置和取向并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置和取向產(chǎn)生測量信號，·將所述多個傳感器這樣布置并且一評估裝置這樣構(gòu)造，使得該評估裝置在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少兩個運動自由度，即兩個繞分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向的旋轉(zhuǎn)自由度，并且·該組件構(gòu)造得在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行期間修正所述偏差。在該方法中有利的是，所述多個傳感器這樣布置并且所述評估裝置這樣構(gòu)造，使得所述評估裝置在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少五個運動自由度，即在分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向上的兩個旋轉(zhuǎn)自由度和兩個線性自由度和沿所述旋轉(zhuǎn)軸線方向的一個線性自由度。在該方法中有利的是，所述評估裝置構(gòu)造得還接收用于確定工件坐標的坐標測量裝置的至少一個坐標測量信號并從所述至少一個坐標測量信號計算出所述工件的坐標，該坐標在使用所述傳感器的測量信號的情況下在所述第一部分和所述第二部分的相對位置方面針對所述偏差被修正。在該方法中有利的是，第一測量體和第二測量體在所述旋轉(zhuǎn)軸線的軸線方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，并且，四個傳感器中的兩個配屬給所述第一測量體，四個傳感器中的兩個配屬給所述第二測量體。在該方法中有利的是，所述第一測量體和第二測量體構(gòu)造在一共同的長形延伸的元件上，該元件的縱軸線在所述旋轉(zhuǎn)軸線的方向上、平行于所述旋轉(zhuǎn)軸線或者傾斜于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸。在該方法中有利的是，所述長形延伸的元件布置在所述第一部分上，沿其縱軸線延伸到所述第二部分的一接收室中。在該方法中有利的是，所述傳感器中的兩個傳感器構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的軸向相對位置。在該方法中有利的是，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器配屬有一個共同的測量體，并且，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器布置在關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的不同位置上。在該方法中有利的是，用于測量所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置的傳感器朝向所述共同的測量體的在圓周方向上延伸的外邊緣取向。在該方法中有利的是，所述傳感器中的至少一個是旋轉(zhuǎn)位置傳感器，該旋轉(zhuǎn)位置傳感器測量所述第一和第二部分繞所述旋轉(zhuǎn)軸線相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置。在該方法中有利的是，所述傳感器中的多個傳感器圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置并且構(gòu)造得分別感測所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置并產(chǎn)生相應(yīng)的測量信號，其中，所述評估裝置構(gòu)造得這樣評估由圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器感測的、所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置，使得獲知所述第一和第二部分相對彼此的平移運動的效果，其中，所述平移運動橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線的延伸地走向。在該方法中有利的是，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器和圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器配屬有一個共同的測量體。在該方法中有利的是，在所述第二部分上固定有一磁體并且所述第二部分還設(shè)置有由可磁化的材料構(gòu)成的元件，使得在所述元件的一個區(qū)域與所述磁體之間保留一繞所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的環(huán)形縫隙，并且，至少一個用于測量所述第一部分和所述第二部分的徑向相對位置的傳感器布置在該環(huán)形縫隙中。根據(jù)本發(fā)明，還提出一種用于如上所述的用于測量工件坐標的具有旋轉(zhuǎn)裝置的組件的方法，其中，·具有一第一部分和一能夠相對于該第一部分繞一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)運動的第二部分的該旋轉(zhuǎn)裝置以該第一部分或第二部分或者保持所述工件，或者保持一用于探測工件的探測器、所述坐標測量儀的探測頭或所述坐標測量儀的坐標測量裝置，·使用多個傳感器，其中，為每個傳感器配屬一個測量體，所述測量體能夠作為共同的測量體可選地配屬給所述傳感器中的多個，·對于每個傳感器和配屬的測量體適用：所述配屬的測量體布置在所述第一部分或第二部分上運行而所述傳感器布置在另一部分上、即所述第二部分或第一部分上運行，其中，所述傳感器相應(yīng)于所述配屬的測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，·在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少兩個運動自由度，即兩個繞分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向的旋轉(zhuǎn)自由度，并且·在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行期間修正所述偏差。在該方法中有利的是，在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時根據(jù)所述多個傳感器的測量值確定與所述第一和第二部分相對彼此繞所述旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，確切地說關(guān)于至少五個運動自由度，即在分別垂直于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的、相互垂直的方向上的兩個旋轉(zhuǎn)自由度和兩個線性自由度和沿所述旋轉(zhuǎn)軸線方向的一個線性自由度。在該方法中有利的是，一評估裝置確定與理想旋轉(zhuǎn)運動的偏差，該評估裝置還接收用于確定工件坐標的坐標測量裝置的至少一個坐標測量信號并從所述至少一個坐標測量信號計算出所述工件的坐標，該坐標在使用所述傳感器的測量信號的情況下在所述第一部分和所述第二部分的相對位置方面針對所述偏差被修正。在該方法中有利的是，第一測量體和第二測量體在所述旋轉(zhuǎn)軸線的軸線方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得運行用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，并且，四個傳感器中的兩個配屬給所述第一測量體運行，四個傳感器中的兩個配屬給所述第二測量體運行。在該方法中有利的是，所述第一測量體和第二測量體在一共同的長形延伸的元件上運行，該元件的縱軸線在所述旋轉(zhuǎn)軸線的方向上、平行于所述旋轉(zhuǎn)軸線或者傾斜于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸。在該方法中有利的是，所述長形延伸的元件布置在所述第一部分上運行，使得該元件沿其縱軸線延伸到所述第二部分的一接收室中。在該方法中有利的是，所述傳感器中的兩個傳感器確定所述第一部分相對于所述第二部分的軸向相對位置。在該方法中有利的是，確定軸向相對位置的所述兩個傳感器配屬有一個共同的測量體，并且，確定軸向相對位置的所述兩個傳感器布置在關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上的不同位置上。在該方法中有利的是，用朝向所述共同的測量體的在圓周方向上延伸的外邊緣取向的傳感器測量所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置。在該方法中有利的是，所述傳感器中的至少一個作為旋轉(zhuǎn)位置傳感器運行，該旋轉(zhuǎn)位置傳感器測量所述第一和第二部分繞所述旋轉(zhuǎn)軸線相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置。在該方法中有利的是，所述傳感器中的多個傳感器圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布布置地運行，其中，所述傳感器中的多個傳感器分別感測所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置并產(chǎn)生相應(yīng)的測量信號，其中，這樣評估由圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器感測的、所述第一和第二部分相對彼此的旋轉(zhuǎn)位置，使得獲知所述第一和第二部分相對彼此的平移運動的效果，其中，所述平移運動橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線的延伸地走向。在該方法中有利的是，用于確定軸向相對位置的所述兩個傳感器和圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸線分布地布置的所述多個傳感器配屬有一個共同的測量體。在該方法中有利的是，作為測量體使用一在所述第二部分上固定的磁體以及還有所述第二部分設(shè)有的由可磁化的材料構(gòu)成的元件，使得在所述元件的一個區(qū)域與所述磁體之間保留一繞所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的環(huán)形縫隙，并且，至少一個用于測量所述第一部分和所述第二部分的徑向相對位置的傳感器布置在該環(huán)形縫隙中。根據(jù)本發(fā)明，還提出一種用于測量工件的坐標的組件，其中，該組件具有旋轉(zhuǎn)裝置，用于調(diào)整用于機械地探測工件的探測器的旋轉(zhuǎn)位置，·所述旋轉(zhuǎn)裝置具有第一部分和能夠相對于所述第一部分繞一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)運動的第二部分，該第二部分構(gòu)造得用于保持所述探測器，在第一或第二部分上布置有至少一個測量體并且在另一部分上、即第二或第一部分上布置有至少一個傳感器，其中，所述至少一個傳感器構(gòu)造得相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，設(shè)置有一評估裝置，評估裝置構(gòu)造得為了測量工件的坐標而使用至少一個布置在所述第二部分上的傳感器和/或測量體，除了用于確定在所述旋轉(zhuǎn)裝置運行時所述第一和第二部分的相對位置外還在機械地探測所述工件時用于測量所述探測器從中間位置的偏轉(zhuǎn)。有利的是，在旋轉(zhuǎn)裝置的至少一個旋轉(zhuǎn)位置中，多個傳感器中的每一個配屬有一個測量體，這些傳感器中的多個傳感器可選地配屬有一個共同的測量體，使得所述傳感器相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，其中，旋轉(zhuǎn)裝置的第二部分具有：·第一測量元件，其是所述測量體之一或所述傳感器之一，和·第二測量元件，其是所述測量體之一或所述傳感器之一，其中，第一測量元件和第二測量元件在橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的縱軸線的方向上布置在彼此隔開間距的軸向位置上。有利的是，第一測量元件和第二測量元件在探觸工件時以及所述探測器從中間位置偏轉(zhuǎn)出去。有利的是，在旋轉(zhuǎn)裝置的至少一個旋轉(zhuǎn)位置中，多個傳感器中的每一個配屬有一個測量體，這些傳感器中的多個傳感器可選地配屬有一個共同的測量體，使得所述傳感器相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，并且，所述評估裝置構(gòu)造得在旋轉(zhuǎn)裝置運行時從所述多個傳感器的測量值來確定所述第一和第二部分相對彼此關(guān)于至少五個運動自由度的位置和取向。在此有利的是，在旋轉(zhuǎn)裝置的多個預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中，分別給多個傳感器中的每一個配屬有一個測量體，這些傳感器中的多個傳感器可選地配屬有一個共同的測量體，使得所述傳感器相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，并且，所述評估裝置構(gòu)造得分別在旋轉(zhuǎn)裝置的一個大致相應(yīng)于旋轉(zhuǎn)裝置的所述預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置之一的位置中從所述多個傳感器的測量值來確定所述第一和第二部分相對彼此的位置和/或取向。也有利的是，設(shè)置有一夾緊裝置，通過該夾緊裝置能夠使旋轉(zhuǎn)裝置的所述第二部分的設(shè)定的旋轉(zhuǎn)位置在通過探測器探觸工件時被固定。根據(jù)本發(fā)明還提出一種具有上述組件的坐標測量儀，其中，探測器被旋轉(zhuǎn)裝置的所述第二部分保持。根據(jù)本發(fā)明還提出一種用于運行用于測量工件坐標的組件、尤其是上述組件的方法，其中，·通過使用旋轉(zhuǎn)裝置來調(diào)整用于機械地探測工件的探測器的旋轉(zhuǎn)位置，·該旋轉(zhuǎn)裝置具有第一部分和可相對于第一部分繞一旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)運動的第二部分，·該第二部分保持所述探測器，·通過使用至少一個布置在所述第一或第二部分上的測量體和至少一個布置在另一部分上、即所述第二部分或第一部分上的傳感器，相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生所述傳感器的測量信號，和·布置在所述第二部分上的至少一個傳感器和/或測量體除了用于在旋轉(zhuǎn)裝置運行時確定所述第一和第二部分的相對位置之外也構(gòu)造得用于在為了測量工件坐標而機械地探測工件時測量所述探測器從中間位置的偏轉(zhuǎn)。在該方法中有利的是，通過使用·第一測量元件，其是所述測量體之一或所述傳感器之一，和·第二測量元件，其是所述測量體之一或所述傳感器之一，其中，第一測量元件和第二測量元件布置在旋轉(zhuǎn)裝置的第二部分上并且在橫向于所述旋轉(zhuǎn)軸線延伸的縱軸線的方向上布置在彼此隔開間距的軸向位置上，對于所述兩個彼此隔開間距的軸向位置，相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號。在該方法中有利的是，第一測量元件和第二測量元件在探觸工件時以及所述探測器從中間位置偏轉(zhuǎn)出去。在該方法中有利的是，在旋轉(zhuǎn)裝置的至少一個旋轉(zhuǎn)位置中，通過評估分別配屬有一個測量體的多個傳感器的測量信號，確定所述第一和第二部分相對彼此關(guān)于至少五個運動自由度的位置和取向，其中，這些傳感器中的多個傳感器可選地配屬有一個共同的測量體。在該方法中還有利的是，在旋轉(zhuǎn)裝置的一個大致相應(yīng)于旋轉(zhuǎn)裝置的多個預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置之一的位置中，通過評估分別配屬有一個測量體的多個傳感器的測量信號，確定所述第一和第二部分相對彼此的位置和/或取向，其中，這些傳感器中的多個傳感器可選地配屬有一個共同的測量體。在該方法中還有利的是，在通過所述探測器探觸工件時將旋轉(zhuǎn)裝置的第二部分的設(shè)定的旋轉(zhuǎn)位置固定。根據(jù)本發(fā)明，還提出一種用于測量工件坐標和/或用于加工工件的組件，該組件具有第一部分和第二部分，其中，所述第一部分和第二部分是坐標測量儀的或工具機的同一臂的區(qū)域，這些區(qū)域在該臂的縱軸線的方向上處于不同的軸向位置上并且基于該臂的材料的機械彎曲和/或熱膨脹或熱收縮而能夠相對彼此運動，其中：·一長形延伸的、在縱軸線方向上延伸的元件具有第一軸向端部，該長形延伸的元件在所述縱軸線的方向上延伸直至該第一軸向端部并且該第一軸向端部在所述第一部分和第二部分相對運動時相對于該第二部分運動，·該長形延伸的元件在沿所述縱軸線方向與第一軸向端部相反的第二軸向端部上與所述第一部分連接，·至少一個測量體和/或至少一個傳感器固定在所述長形延伸的元件上，·如果所述測量體固定在所述長形延伸的元件上，則傳感器固定在所述第二部分上，或者，如果所述傳感器固定在所述長形延伸的元件上，則測量體固定在所述第二部分上，·在所述長形延伸的元件上和所述第二部分上總共固定有多個傳感器，其中，每個傳感器配屬有一個測量體，所述測量體可選地作為一個共同的測量體配屬給這些傳感器中的多個傳感器，所述傳感器相應(yīng)于配屬測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，并且·所述傳感器和配屬的測量體構(gòu)造得這樣測量所述第一部分和第二部分的相對位置，使得一評估裝置根據(jù)所述傳感器的測量信號確定所述第一和第二部分的相對位置和/或取向，確切地說至少關(guān)于三個運動自由度，即在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。在該組件中有利的是，傳感器與配屬的測量體構(gòu)造得這樣測量所述第一部分和第二部分的相對位置，使得所述評估裝置根據(jù)所述傳感器的測量信號確定所述第一和第二部分的相對位置，確切地說至少關(guān)于五個運動自由度，即在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度、繞分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向的兩個旋轉(zhuǎn)自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。在該組件中還有利的是，第一測量體和第二測量體在所述縱軸線的方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，并且，所述四個傳感器中的兩個配屬給所述第一測量體，所述四個傳感器中的兩個配屬給所述第二測量體。在此有利的是，第一和第二測量體構(gòu)造在所述長形延伸的元件上。在此有利的是，所述長形延伸的元件在所述臂的內(nèi)部延伸。在此有利的是，所述第二部分具有接口，用于固定和連接探測頭、旋轉(zhuǎn)裝置，集成有旋轉(zhuǎn)裝置的傳感裝置或探測器。在該組件中還有利的是，設(shè)置有減振裝置用于阻尼長形延伸的元件的機械振動。根據(jù)本發(fā)明，還提出一種用于制造用于測量工件坐標的組件、尤其前述組件的方法，其中，為該組件提供一坐標測量儀的或工具機的具有第一部分和第二部分的臂，其中，該第一部分和第二部分形成該臂的沿該臂縱軸線方向處于不同軸向位置上并且基于該臂的材料的機械彎曲和/或熱膨脹或熱壓縮而能夠相對彼此運動的區(qū)域，其中：·提供一長形延伸的元件，該元件在所述縱軸線方向上延伸至第一軸向端部，并且在所述第一部分和第二部分相對運動時所述第二部分相對于該第一軸向端部運動，·該長形延伸的元件在沿所述縱軸線方向與第一軸向端部相反的第二軸向端部上與所述第一部分連接，·至少一個測量體和/或至少一個傳感器固定在所述長形延伸的元件上，·如果所述測量體固定在所述長形延伸的元件上，則傳感器固定在所述第二部分上，或者，如果所述傳感器固定在所述長形延伸的元件上，則測量體固定在所述第二部分上，·在所述長形延伸的元件上和所述第二部分上總共固定有多個傳感器，其中，每個傳感器配屬有一個測量體，該測量體作為共同的測量體可選地配屬給這些傳感器中的多個傳感器，使得所述傳感器在該組件運行時相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，并且·所述傳感器和配屬的測量體構(gòu)造得這樣測量所述第一部分和第二部分的相對位置，使得一評估裝置根據(jù)所述傳感器的測量信號確定所述第一和第二部分的相對位置，確切地說至少關(guān)于三個運動自由度，即在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。在該方法中有利的是，傳感器連同配屬的測量體構(gòu)造得這樣測量所述第一部分和所述第二部分的相對位置，使得所述評估裝置從所述傳感器的測量信號確定所述第一部分和所述第二部分的相對位置，確切地說至少關(guān)于五個運動自由度，即兩個分別在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的線性自由度、兩個繞分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向的旋轉(zhuǎn)自由度和在所述臂的縱軸線的方向上的線性自由度。在該方法中有利的是，第一測量體和第二測量體在所述縱軸線的方向上相互隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，所述四個傳感器中的兩個配置給所述第一測量體并且所述四個傳感器中的兩個配置給所述第二測量體。在該方法中有利的是，所述第一測量體和所述第二測量體構(gòu)造在所述長形延伸的元件上。在該方法中有利的是，所述長形延伸的元件在所述臂的內(nèi)部延伸。在該方法中有利的是，所述第二部分設(shè)置有接口，用于固定和連接探測體、旋轉(zhuǎn)裝置、集成有旋轉(zhuǎn)裝置的傳感裝置或探測器。在該方法中有利的是，設(shè)置減振裝置用于減振所述長形延伸的元件的機械振動。根據(jù)本發(fā)明，還提出一種用于運行用于測量工件的坐標的組件、尤其上述組件的方法，其中，所述組件具有坐標測量儀或工具機的、具有第一部分和第二部分的臂，其中，所述第一部分和所述第二部分構(gòu)成所述臂的區(qū)域，這些區(qū)域在所述臂的縱軸線的方向上處于不同的軸向位置上并且這些區(qū)域基于所述臂的材料的機械彎曲和/或熱膨脹或熱收縮而能夠彼此相對運動，其中：·使用一長形延伸的元件，所述長形延伸的元件在所述縱軸線的方向上向第一軸向端部延伸并且在所述第一部分和所述第二部分相對運動時所述第二部分運動相對于所述第一軸向端部運動，·所述長形延伸的元件在沿所述縱軸線的方向與所述第一軸向端部相反的第二軸向端部上與所述第一部分連接，·至少一個測量體和/或至少一個傳感器固定在所述長形延伸的元件上，·如果所述測量體固定在所述長形延伸的元件上，則所述傳感器固定在所述第二部分上，或者，如果所述傳感器固定在所述長形延伸的元件上，則所述測量體固定在所述第二部分上，·在所述長形延伸的元件上和在所述第二部分上總共固定有多個傳感器，其中，所述傳感器中的每個配置有一個測量體，該測量體作為共同的測量體可選地配屬給這些傳感器中的多個傳感器，其中，所述傳感器相應(yīng)于所述測量體的位置并從而相應(yīng)于所述第一部分和第二部分的相對位置產(chǎn)生測量信號，并且·所述傳感器和配屬的測量體構(gòu)造得測量所述第一部分和第二部分的相對位置并且根據(jù)所述傳感器的測量信號確定所述第一和第二部分的相對位置，確切地說至少關(guān)于三個運動自由度，即在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。在該方法中有利的是，所述傳感器與配置的測量體一起測量所述第一部分和所述第二部分的相對位置并且根據(jù)所述傳感器的測量信號確定所述第一部分和所述第二部分的相對位置，確切地說至少關(guān)于五個運動自由度，即分別在分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向上的兩個線性自由度、繞分別垂直于所述臂的縱軸線延伸的不同方向的兩個旋轉(zhuǎn)自由度和在所述臂的縱軸線方向上的線性自由度。在該方法中有利的是，第一測量體和第二測量體在所述縱軸線的方向上彼此隔開間距地布置，其中，所述傳感器中的四個構(gòu)造得用于確定所述第一部分相對于所述第二部分的徑向相對位置，所述四個傳感器中的兩個配置給所述第一測量體并且所述四個傳感器中的兩個配置給所述第二測量體。在該方法中有利的是，所述第一和第二測量體構(gòu)造在所述長形延伸的元件上。在該方法中有利的是，所述長形延伸的元件在所述臂的內(nèi)部延伸。在該方法中有利的是，通過所述第二部分的接口固定和連接探測頭、旋轉(zhuǎn)裝置、集成有旋轉(zhuǎn)裝置的傳感裝置或探測器。在該方法中有利的是，所述長形延伸的元件的機械振動通過減振裝置減振。在該方法中有利的是，將所述傳感器的測量信號導(dǎo)送給所述評估裝置，其中，給所述評估裝置還輸入坐標測量裝置的至少一個坐標測量信號用于確定工件的坐標，并且，所述評估裝置根據(jù)所述至少一個坐標測量信號計算出所述工件的坐標，所述坐標在使用所述傳感器的測量信號的情況下關(guān)于所述第一和所述第二部分的相對位置被修正?，F(xiàn)在，參考附圖描述本發(fā)明的一些實施方式。附圖中的各個圖示出：圖1坐標測量儀的頂尖套筒的端部區(qū)域的示意性縱剖圖，其中，旋轉(zhuǎn)裝置為了使未在圖中所示探測頭旋轉(zhuǎn)而耦合到所述端部區(qū)域上，圖2KMG的臂的另一實施方式，圖3根據(jù)圖2的臂的示意性部分圖示，其中，在臂的內(nèi)部布置有用于測量該臂的彎曲的傳感器/測量體對，圖4兩個可彼此相對運動的部分的組件，其中，該組件具有用于測量這兩個部分的相對位置和/或相對取向的測量系統(tǒng)，圖4a如圖4中的組件，但其中附加地設(shè)置有旋轉(zhuǎn)位置傳感器，圖5如圖4中的組件，但其中測量系統(tǒng)在測量體的構(gòu)型方面改變了，圖6具有第一部分和第二部分的組件的第一示例的示意性軸向縱剖圖，所述第二部分可相對于第一部分運動，圖7圖6中的組件的變型在軸向方向上的俯視圖，圖8用于測量第一部分相對于第二部分的位置的另一組件在軸向方向上的俯視圖，圖9根據(jù)圖4的組件集成到旋轉(zhuǎn)臺中的示意圖，圖10具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第二示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件具有如圖6和/或圖7中的測量系統(tǒng)，圖11具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第三示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件在不同的軸向位置上分別具有如圖6和/或圖7中的測量系統(tǒng)，圖12具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第四示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件在不同的軸向位置上分別具有不同于圖12中的測量系統(tǒng)，圖13具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第五示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件在不同的軸向位置上分別還具有不同于圖12或圖13中的測量系統(tǒng)，圖14圖13中的組件的測量系統(tǒng)之一在軸向方向上的俯視圖，其中，測量系統(tǒng)具有多個用于測量兩個部分的相對旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置傳感器，圖15具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第六示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件具有用于確定這些部分的軸向相對位置的測量系統(tǒng)，圖16具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第七示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件除了圖15中的組件外附加具有用于確定所述部分的徑向位置的測量系統(tǒng)，圖17具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第八示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件具有根據(jù)圖13的組件的一個測量系統(tǒng)與根據(jù)圖12的組件的一個測量系統(tǒng)的組合，圖18具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第九示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件具有兩個不同的測量系統(tǒng)的另一組合，圖19具有第一部分和可相對于該第一部分運動的第二部分的組件的第十示例的示意性軸向縱剖圖，其中，該組件如圖18中那樣具有兩個不同的測量系統(tǒng)，但這兩個測量系統(tǒng)利用共同的測量體，圖20一探測器，具有用于調(diào)整該探測器的位置和/或取向的運動裝置，圖21布置在探測頭上的探測器的示意性立體圖，該探測器在探觸工件時能夠從靜止位置偏轉(zhuǎn)出來，其中，探測頭能夠連同探測器相對于坐標測量儀的臂繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，并且，探測器連同探測頭的偏轉(zhuǎn)以及旋轉(zhuǎn)都能夠通過相同傳感器測量，圖22在圖21中所示組件的固定板的俯視圖，其中，所述固定板具有多個磁體對，以使傳感器能夠確定關(guān)于所述運動的確定自由度方面的相應(yīng)位置，圖23根據(jù)圖21的組件在安裝狀態(tài)下的側(cè)視圖，圖24根據(jù)圖21至圖23的組件的固定板的一部分的俯視圖，其中能夠看到兩個磁體對，所述磁體對分別配屬給探測頭的一個傳感器，圖25與圖23中的組件類似的組件的側(cè)視圖，其中，對于所述運動的唯一的或選擇出的一個自由度，示出探測頭的和固定板的可運動部分的相對位置的測量，其中，運動的該自由度尤其在繞旋轉(zhuǎn)軸線擺動時是相關(guān)的，圖26根據(jù)圖25的組件的圖示，也是側(cè)視圖，其中，探測器的偏轉(zhuǎn)借助對工件的探觸表示。圖1示出坐標測量儀的頂尖套筒200。如通過兩個彼此大約平行延伸的彎曲的線標明，頂尖套筒200能夠在它的一未詳細限定的區(qū)段上縱向延伸。所述縱向在圖1中從上向下延伸。一旋轉(zhuǎn)裝置210以已知的方式耦合在頂尖套筒的在圖1中處于下方的自由端部上，該自由端部通過端部區(qū)域202構(gòu)成。接口可以是所謂的可更換接口，該可更換接口允許耦合不同的模塊，例如替代地耦合另一旋轉(zhuǎn)裝置或一探測頭。因此，在端部區(qū)域202中能夠布置相應(yīng)的電子裝置205，例如用于識別和/或運行通過接口連接的模塊。在頂尖套筒200的中間區(qū)域201中在外側(cè)布置有呈柵格形式的刻度尺204，該刻度尺在頂尖套筒200的縱向上延伸?？潭瘸?04的參考點203限定在刻度尺204的離端部區(qū)域202最近的端部上。直接在頂尖套筒200的外壁的內(nèi)側(cè)在參考點203上固定有由溫度穩(wěn)定的材料制成的、作為長形延伸的元件的成角度折出的桿206。從參考點203出發(fā)，桿206首先向頂尖套筒200的內(nèi)部向垂直于頂尖套筒200的縱向的方向延伸。在進一步的走向中，桿206沿頂尖套筒200的縱軸線的方向一直延伸到端部區(qū)域202中。在端部區(qū)域202上布置多個傳感器207a、207b，例如電容傳感器，也就是說這樣的傳感器：其與測量體的相對位置相關(guān)的電容被電學(xué)地測量。測量體例如具有介電材料，該介電材料處于電容傳感器附近或處于電容傳感器的電極之間。但是，除了電容傳感器也能夠使用其它傳感器、尤其上面已經(jīng)提到的傳感器。桿206的自由端部上的端部區(qū)域208用作測量體。該端部區(qū)域208相應(yīng)于傳感器207的功能原理來構(gòu)型。例如在磁性功能原理情況下(如在霍爾傳感器或磁阻傳感器中就是這種情況)，自由端部208由永磁性材料制成或帶有永磁性材料。圖1示意性示出保持裝置209，該保持裝置固定在端部區(qū)域202的端部上并且承載或保持傳感器207。在示出的實施例中示意性地表明，第一傳感器207a定位在桿206的端部區(qū)域208的徑向外部。因此，該傳感器207a被構(gòu)型用于測量端部區(qū)域208和傳感器207a在徑向方向上的相對位置。優(yōu)選存在另一定位在端部區(qū)域208的徑向外部的傳感器(未示出)，例如就圖1的圖平面而言在端部區(qū)域208的上方或下方。因此，通過該傳感器能夠測量傳感器和端部區(qū)域208之間在另一方向上的間距。可選地，可以在繞所述縱軸線的圓周方向上、進而圍繞桿206在其它位置上布置另外傳感器。由此能夠獲得關(guān)于桿206的端部區(qū)域208在垂直于頂尖套筒200或桿206的縱軸線的平面中的位置的冗余信息。因此能夠消除系統(tǒng)誤差。第二傳感器207b在軸向方向上(就頂尖套筒200的縱軸線而言)與端部區(qū)域208成間距地布置。因此，該傳感器207b提供包含關(guān)于傳感器207b在軸向方向上相對于桿206的端部區(qū)域208的相對位置的信息的測量信號。取代頂尖套筒，圖1中所示臂也可以是坐標測量儀的另一臂，例如是水平臂坐標測量儀的所謂水平臂。在這種情況下，所述臂的縱軸線大約在水平方向上延伸。在水平臂中，臂的自由端部的彎曲與布置在該自由端部上的裝置的重量相關(guān)。通過提出的組件能夠在運行KMG期間測量該彎曲。在圖1的實施例中，如提到的，旋轉(zhuǎn)裝置210耦合到頂尖套筒200的或所述臂的端部區(qū)域202上。旋轉(zhuǎn)軸210的定子211固定在臂200的端部區(qū)域202上。例如通過環(huán)形的、繞定子211的縱軸線環(huán)繞延伸的旋轉(zhuǎn)軸承裝置213，旋轉(zhuǎn)裝置210的在圖1中更下方示意性示出的轉(zhuǎn)子212可旋轉(zhuǎn)地被支承。溫度穩(wěn)定的桿216與轉(zhuǎn)子212無相對轉(zhuǎn)動地連接并且在定子211的縱向上在其內(nèi)室中延伸到臂200和旋轉(zhuǎn)裝置210之間的接口處的區(qū)域中。多個傳感器217a、217b被固定在定子211上，其中，相應(yīng)的固定裝置或保持裝置未在圖1中示出。溫度穩(wěn)定的桿216的在朝向臂200的接口處的端部區(qū)域構(gòu)型為測量體或承載至少一個測量體218a、218b。在該實施例中，測量體218是球體或柱體，其相對于桿216的縱軸線進而相對于旋轉(zhuǎn)裝置210或轉(zhuǎn)子212的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)對稱地布置。在圖1中所示兩個傳感器217a、217b關(guān)于該旋轉(zhuǎn)軸線處于不同的軸向位置上并且構(gòu)型用于測量各自對應(yīng)的測量體和傳感器在徑向方向上的相對位置。優(yōu)選，在每個軸向位置上布置有至少一個另外的傳感器，但在繞旋轉(zhuǎn)軸線的圓周方向上布置在另外的位置上，從而傳感器和測量體之間的在優(yōu)選垂直于傳感器217a或217b的徑向方向的另一方向上的徑向間距被測量。如已經(jīng)在上面提到的，能夠設(shè)置附加的冗余的傳感器。優(yōu)選，多個傳感器在各個軸向位置上的測量體在該軸向位置上被作為配屬的測量體使用。在圖1的實施例中，如果涉及徑向間距的測量，不僅對于臂200的傳感器而且對于旋轉(zhuǎn)裝置210的傳感器，傳感器都分別布置在測量體的徑向外部。在沿臂的縱軸線方向的軸向間距的情況下，與用于徑向間距測量的傳感器一樣也，傳感器布置在臂的端部區(qū)域202上進而布置在臂200的可運動部分上。該布置尤其在傳感器的用于將測量信號傳送到評估裝置上的電接口方面是具有優(yōu)點的，因為在這些接頭上在臂200和旋轉(zhuǎn)裝置210之間總歸通常存在電接口。然而，至少在傳感器/測量體對中的一對上，傳感器和測量體能夠互換。例如，至少一個傳感器能夠布置在桿206的端部區(qū)域208上或布置在桿216的靠近接口的端部區(qū)域上并且相應(yīng)的測量體大致布置在圖1的實施例中傳感器所在的那里。替換地或附加地，可以進行另外的改型。例如旋轉(zhuǎn)裝置210的溫度穩(wěn)定的桿216可以至少在它的端部區(qū)域中在朝向臂200的接口的附近被空心柱體取代，該空心柱體構(gòu)成測量體。在這種情況下，傳感器能夠處于空心柱體的內(nèi)室中。此外，替換地或附加地，轉(zhuǎn)子的軸向位置也能夠通過測量溫度穩(wěn)定的桿216的端部區(qū)域的軸向位置來測量。為此，另一傳感器例如在軸向方向上與測量體218b成間距地處于旋轉(zhuǎn)裝置210的內(nèi)部。圖2示出KMG的臂220、尤其頂尖套筒。如果在該頂尖套筒的下端部上不是如圖1中所示地布置有旋轉(zhuǎn)裝置，而是布置有圖2中所示探測頭221，則該頂尖套筒可以是圖1中所示頂尖套筒200。探測頭221在它的下端部上承載帶有球形探測元件223的探測銷222。如通過用Z標記的雙箭頭在圖2中表示，臂220尤其能夠在Z方向上、也就是說在豎直方向上沿著導(dǎo)向部230運動。圖3中所示測量系統(tǒng)優(yōu)選布置在臂220的內(nèi)部，但也可以布置在該臂的外部，該測量系統(tǒng)是借助圖1已經(jīng)描述的測量系統(tǒng)的變型。溫度穩(wěn)定的、在臂220的縱向上延伸的桿226以它的下端部固定在臂220的下端部上。桿226在它的上端部區(qū)域中承載兩個球形的測量體224、225，所述測量體在軸線方向上彼此成間距地布置。尤其是，桿226以它的上端部區(qū)域延伸到臂220的上端部，或者甚至超過其。由此，臂220的可能的變形能夠在該臂的整個縱延伸上測量。上部球224尤其處于桿226的上端部上。在同一軸向區(qū)域中(在該區(qū)域中也存在桿226的上端部區(qū)域)，在臂220上固定有傳感器227、228、229的組件。第一傳感器227在軸向方向上對準上部球224，以便測量軸向方向上的相對位置。第二和第三傳感器228a、228b在徑向方向上對準上部球224，其中，這些傳感器228在不同的(例如相互垂直的)方向上取向，以便測量兩個不同的方向上的徑向相對位置。第四和第五傳感器229a、229b也在兩個相互垂直的徑向方向上取向，但對準下部球225，以便在另一軸向位置上測量兩個相互獨立的徑向相對位置。所有傳感器在圖3中僅示意性地通過箭頭表示，所述箭頭表示各個傳感器的取向。在圖3中對桿226和臂220的長度的描述也是不按比例的，因而是示意性的。該長度與該臂的寬度相比可以比所示出的大非常多。圖4與圖3中類似地、但示意性地針對一般情況示出一測量系統(tǒng)，具有多個傳感器，也就是說在該實施例中五個傳感器，這些傳感器又示意性地通過箭頭表示。在此，箭頭方向描繪出傳感器的取向，也就是說在箭頭的方向上能夠測量相對位置、尤其傳感器和測量體之間的間距。這些傳感器用附圖標記s1、s2、s3、s4、s5標明，其中，在下面的等式中相同的附圖標記s1…s5也用于這些傳感器各自的相應(yīng)測量值。在所述實施例中，僅設(shè)置有五個傳感器s1…s5?；趦蓚€可彼此相對運動的部分1、3的結(jié)構(gòu)和它們的連接(在圖4中未示出，這例如可以是可旋轉(zhuǎn)的連接或者是雖然固定但基于力和/或溫度變化而可變形的連接)，用于確定這些部分1、3的軸向相對位置的唯一傳感器s1的信息足夠用于：與其它傳感器s2…s5的測量結(jié)果一起以足夠的準度確定這兩個部分1、3的相對位置和取向。在另一種情況下，還存在另一在軸向方向上取向的傳感器，其中，這兩個在軸向方向上取向并且在軸向方向的橫向上彼此隔開間距的傳感器在這種情況下優(yōu)選相對于可能存在的旋轉(zhuǎn)軸線不同軸地布置，其中，所述兩個部分1、3能夠繞該旋轉(zhuǎn)軸線彼此相對扭轉(zhuǎn)。但是，這樣的旋轉(zhuǎn)軸線不是在所有情況下存在。尤其當(dāng)坐標測量儀的臂的兩個不同的軸向區(qū)域的相對運動要通過該測量系統(tǒng)測量時，這樣的旋轉(zhuǎn)軸線不存在。當(dāng)然這不排除，該臂的這兩個部分或區(qū)域能夠基于熱效應(yīng)和/或基于機械力而繞假想的旋轉(zhuǎn)軸線彼此相對扭轉(zhuǎn)。在這種情況下通常談到偏扭(Torsion)。通過兩個這樣的在軸線方向上取向的傳感器，尤其能夠直接地測量旋轉(zhuǎn)軸線或扭轉(zhuǎn)軸線的所謂端面跳動誤差。這些傳感器能夠以不同的方式構(gòu)型和運轉(zhuǎn)。在根據(jù)圖4的具有僅五個傳感器s1…s5的實施例中，優(yōu)選其中的三個傳感器s1…s3對準第一測量體K1，該第一測量體固定在所述組件的第二部分3上并且在所述實施例中是球形的。第二部分3承載長形延伸的元件4(例如柱形或其它形狀的桿)，在該元件上又在其自由端部上固定有第一測量體K1。在該長形延伸的元件4的另一軸向位置上、從而在軸向方向上與第一測量體K1隔開間距地，布置有第二測量體K2，該第二測量體在所述實施例中而也是球形的。替換唯一的長形延伸的元件4，測量體也可以通過多個不同的元件固定在第二部分3上或者直接固定在所述第二部分上。第四傳感器s4和第五傳感器s5朝向第二測量體K2取向。在此，第二傳感器s2和第三傳感器s3以及第四傳感器s4和第五傳感器s5在徑向方向上、即垂直于長形延伸的元件4的縱軸線取向。然而，僅當(dāng)長形延伸的元件4的縱軸線A1(或者替代地，所述部分1、3能夠繞之彼此相對扭轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)軸線)與第一部分1的縱軸線A2重合或者至少平行于該縱軸線地延伸時，才存在精確的垂直取向。在圖4中所示實施例中不是這種情況。兩個縱軸線A1、A2相互傾斜地延伸或相交。在任何情況下，傳感器s2…s5優(yōu)選垂直于第一部分1的縱軸線A2取向。此外，朝向同一測量體K1或者K2取向的傳感器s2、s3或s4、s5的傳感器對優(yōu)選在相互垂直的方向上取向。所有傳感器例如固定在一共同的承載件2上，該承載件又固定在第一部分1上。但是，這些傳感器也可以布置在不同承載件和/或第一部分1的不同區(qū)域上。此外，能夠存在多于圖4中所示兩個的測量體K1、K2。例如第一傳感器s1能夠朝向一與兩個在徑向方向上取向的傳感器s2、s3不同的測量體取向。這兩個在徑向方向上取向的傳感器s2、s3和/或s4、s5也可以朝向不同的、配屬的測量體取向。圖4a示出圖4中所示組件的變型。除了圖4中的允許確定可旋轉(zhuǎn)部分在關(guān)于所述旋轉(zhuǎn)軸線的不同軸向位置上的徑向位置方面的相對位置的測量系統(tǒng)外，設(shè)置有一附加的測量系統(tǒng)，該附加的測量系統(tǒng)測量兩個能夠彼此相對旋轉(zhuǎn)的部分1、3的旋轉(zhuǎn)位置。例如在第二部分3上，繞旋轉(zhuǎn)軸線A1周圍分布地布置有大量標記，從而構(gòu)成測量體9。當(dāng)這些標記進入另一傳感器s6的感測區(qū)域中或穿過該感測區(qū)域時，該另一傳感器s6感測測量體9的這些標記。因此，當(dāng)例如部分1、3彼此相對繞旋轉(zhuǎn)軸線實施完整的一轉(zhuǎn)時，傳感器s6感測測量體9的所有標記。如已知的，當(dāng)一個標記出現(xiàn)在感測區(qū)域中或者到達或經(jīng)過感測區(qū)域中的一確定的位置時，傳感器s6能夠例如分別產(chǎn)生一個脈沖信號。替代地，當(dāng)傳感器s6在它的感測區(qū)域中感測到一個標記時，傳感器s6例如也如已知的那樣分別使一增量計數(shù)器的計數(shù)器狀態(tài)增加一個值1。用于測量兩個部分1、3的相對旋轉(zhuǎn)位置的旋轉(zhuǎn)位置傳感器的其它替代構(gòu)型也是可能的。此外，也可以存在與通過傳感器s1至s5實現(xiàn)的測量系統(tǒng)不同的其它測量系統(tǒng)，但是該測量系統(tǒng)也允許感測、優(yōu)選在用于測量旋轉(zhuǎn)位置的測量系統(tǒng)的軸向位置上感測兩個可彼此相對運動的部分1，3的徑向位置，至少允許確定在該旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的軸向位置上的徑向相對位置。在圖4和圖4a中(以及也在圖5中)示出的測量系統(tǒng)的情況下，能夠確定在旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的軸向位置上的徑向相對位置，因為該測量系統(tǒng)在兩個不同的軸向位置上測量徑向位置。尤其是，不僅確定一個方向上的徑向位置，而且確定這些部分1、3在橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的平面中的相對位置。因此，現(xiàn)在可能的是，修正旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的如下效應(yīng)并且以這種方式使得能夠更精確地確定旋轉(zhuǎn)位置：在旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)運動時出現(xiàn)能夠被稱為平移(也就是說線性直線運動)的運動分量。由此，不是發(fā)生繞旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線的理想旋轉(zhuǎn)運動，而是至少在繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動部分區(qū)域中也出現(xiàn)橫向于旋轉(zhuǎn)軸線的運動和/或沿著旋轉(zhuǎn)軸線方向的運動(這包括平行于旋轉(zhuǎn)軸線的運動)。這種平移運動(取決于該平移運動的方向)也被旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的傳感器測量。如果僅出現(xiàn)一個平移運動，則傳感器以一種方式感測該運動，該方式導(dǎo)致一測量信號，該測量信號表面上表示繞旋轉(zhuǎn)軸線在一個方向上的旋轉(zhuǎn)運動。如果提示發(fā)生一個旋轉(zhuǎn)運動和一個平移運動，則該傳感器產(chǎn)生一測量信號，該測量信號表面上表示一繞旋轉(zhuǎn)軸線的、更快的旋轉(zhuǎn)運動。反過來，旋轉(zhuǎn)運動和平移運動也能夠完全地或部分地相互補償，從而傳感器表面上沒有感測到旋轉(zhuǎn)運動或感測到變化了的(減慢的或相反的)旋轉(zhuǎn)運動。現(xiàn)在提出，將感測第一和第二部分的彼此相對平移位置和/或平移運動的第一測量系統(tǒng)與感測第一和第二部分的彼此相對旋轉(zhuǎn)位置的第二測量系統(tǒng)組合。根據(jù)第一測量系統(tǒng)的測量信號和/或從該測量信號導(dǎo)出的測量值修正第二測量系統(tǒng)的至少一個測量信號或從該測量信號導(dǎo)出的測量值。該修正以一種方式實施，使得降低或消除平移運動在旋轉(zhuǎn)位置測量系統(tǒng)的測量信號和/或測量值中的份額。在圖5中示出根據(jù)圖4或圖4a的組件的變型。在此，長形延伸的元件4與布置在其上的測量體K1、K2通過柱形的桿14取代，該桿與第二部分3的縱軸線A1同心地布置。柱形的桿14的自由端部上的端面構(gòu)成用于第一傳感器s1的測量面。桿14的柱形外表面構(gòu)成用于其它傳感器s2…s5的測量面。圖4和圖5中所示測量系統(tǒng)的改型是可能的。例如根據(jù)圖5的柱形的桿14不是必須具有在軸線方向上連續(xù)的、具有恒定直徑的柱表面。而是可以在根據(jù)圖4測量體K1、K2所在的軸向位置上構(gòu)成該桿的柱形區(qū)域，其中，該桿在其它部位不同地成型，例如具有減小的外直徑。傳感器s1…s5的測量信號能夠如下面描述地加以考慮，以獲知所述部分1、3的相對位置和/或取向，和/或獲知和/或修正所述部分1、3的相對位置和/或取向的改變。在此參考笛卡爾坐標系。傳感器s2、s4如此取向，使得它們測量關(guān)于坐標系的X軸的相對位置，傳感器s3、s5如此取向，使得它們測量關(guān)于坐標系的垂直于Y軸延伸的X軸的相對位置，而傳感器s1如此取向，使得它測量平行于或同軸于坐標系的Z軸的相對位置，其中，Z軸垂直于Y軸并且垂直于X軸地延伸。由此，該坐標系是關(guān)于第二部分3靜止的坐標系。相反，這意味著，第一部分1可相對于該坐標系運動并且能夠確定該相對運動或相對于所述坐標系的位置和/或取向。從傳感器s2、s4的測量值能夠按照下面的等式1算出第二部分3繞X軸的旋轉(zhuǎn)角度(也就是說其關(guān)于X軸的旋轉(zhuǎn)位置)：在此，tanrx是繞X軸的旋轉(zhuǎn)角度的正切。dK1K2是傳感器s2、s4在軸向方向(Z方向)上的間距，如果兩個縱軸線A1、A2彼此相對的斜度小、例如小于3度，在圖4的實施例的情況下，所述間距大約等于第一測量體K1與第二測量體K2的間距。相應(yīng)地，繞Y軸的旋轉(zhuǎn)角度能夠如下地從等式2算出：在此，tanry是繞Y軸的旋轉(zhuǎn)角度的正切。dK1K2是傳感器s3、s5的間距，該間距又大約等于兩個測量體K1、K2的間距或者說按照圖5的桿14的被所述傳感器對準的相應(yīng)軸向位置的間距。此外可以如在下面的等式3中算出部分3的關(guān)于該坐標系的平移位置：在此，vA,B,C是位置矢量，它在改變部分3相對于部分1的位置時也能夠被作為修正矢量使用。在等式3右側(cè)的第一行中是用于計算該矢量的X分量的表達式。在等式3右側(cè)的第二行中是用于計算該矢量的Y分量的表達式。在等式3右側(cè)的第三行中直接是第一傳感器的s2的測量值，該測量值是Z分量。下面針對這種情況：例如圖4和圖5中所示、可彼此相對運動的部分1、3是旋轉(zhuǎn)裝置的部分，其中，這些部分能夠相對彼此繞旋轉(zhuǎn)軸線扭轉(zhuǎn)，說明一個用于相應(yīng)修正該旋轉(zhuǎn)裝置的誤差的一個例子。如上面提到的，該錯位尤其是擺動誤差、端面跳動誤差和/或圓跳動誤差。通過該修正獲知預(yù)限定的地點的修正位置，例如坐標測量儀的探測球的球中心點的地點，坐標測量儀KMG以該探測球機械地探觸工件以確定其坐標，或者獲知工件表面上的探觸點的地點，在該探觸點上KMG探觸工件以確定坐標。預(yù)限定的地點通過相應(yīng)的地點矢量描述，該地點矢量由實驗室坐標系的始端向預(yù)限定的位置延伸。實驗室坐標系是這樣的坐標系：在該坐標系中旋轉(zhuǎn)裝置的基底是靜止的，也就是說，如果發(fā)生繞旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動，旋轉(zhuǎn)裝置的可旋轉(zhuǎn)運動部分相對于基底扭轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)裝置的不可旋轉(zhuǎn)運動部分在實驗室坐標系中是靜止的，但其中原則上該不可旋轉(zhuǎn)運動部分的彈性彎曲也是可能的并且可以選擇加以考慮。為了考慮旋轉(zhuǎn)裝置的這些部分的或優(yōu)選整個旋轉(zhuǎn)裝置的彈性變形，可使用一數(shù)學(xué)模型，該模型具有至少一個有限元(見上)。該模型的結(jié)果是一相應(yīng)矢量，該矢量描述坐標系中的彎曲。向預(yù)限定的位置P延伸的地點矢量p能夠按照下面的等式4算出：p＝TP-1TA-1(DAt+vA)+cA+bA(4)在此，TP-1標記矩陣TP的逆矩陣，該矩陣描述在實驗室坐標系中的旋轉(zhuǎn)裝置的斜度、尤其旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線的斜度。TA-1描述矩陣TA的逆矩陣，該矩陣描述在實驗室坐標系中的旋轉(zhuǎn)裝置的位置、尤其旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)軸線上的參考點的位置。DA代表這樣的矩陣：該矩陣包含基于旋轉(zhuǎn)裝置誤差的修正值。從其中得出這些矩陣分量的矩陣的可能的組成還要探討。T標記從旋轉(zhuǎn)裝置的所述參考點向預(yù)給定的地點P延伸的矢量。該矢量t關(guān)系到這樣的坐標系：在該坐標系中旋轉(zhuǎn)裝置的可運動部分是靜止的。這意味著，該坐標系在可旋轉(zhuǎn)運動部分相對于實驗室坐標系旋轉(zhuǎn)運動時旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)通過矩陣RA考慮。vA描述用于修正旋轉(zhuǎn)裝置誤差、也就是說用于修正圓跳動誤差的修正矢量。cA是從坐標系的始端引向旋轉(zhuǎn)裝置的參考點的矢量。最后，bA在等式(4)中描述這樣的矢量：通過該矢量考慮旋轉(zhuǎn)裝置的彈性彎曲。對此已經(jīng)探討。該矢量bA例如是上面描述的用數(shù)學(xué)模型修正的結(jié)果，該數(shù)學(xué)模型具有至少一個有限元并且例如在US2001/0025427A1的第56段的結(jié)尾處在等式7中描述。上面提到的矩陣DA是用于旋轉(zhuǎn)裝置的擺動誤差和角度誤差的修正的旋轉(zhuǎn)矩陣，該矩陣DA在實施例中通過下面的等式5描述：在此，“cos”標明對應(yīng)角度r的余弦并且“sin”標明正弦。標記ry如上標明繞Y軸的旋轉(zhuǎn)角度，標記rx標明繞X軸的旋轉(zhuǎn)角度。標記rz標明繞Z軸的旋轉(zhuǎn)角度。通過將等式5右側(cè)的三個矩陣相乘得出，修正矩陣DA。下面的等式6涉及這樣的情況：KMG的探測器布置在旋轉(zhuǎn)裝置的可旋轉(zhuǎn)部分上：P＝TP-1TA-1(DA(t+Su)+vA)+cA+bA(6)在此，已經(jīng)從等式5中得知的標記具有相同意義。等式6與等式5的不同在于附加項Su、也就是說由矩陣S和矢量u的乘積。該項S累加到等式5中的矢量t。矢量u是位移矢量，該位移矢量描述探測器從其靜止位置的偏轉(zhuǎn)。矩陣S是探測器的傳遞矩陣，該傳遞矩陣尤其考慮探測器的彈性特性和幾何特性并且能夠通過探測器的校準獲得。如果如在本發(fā)明的第二方面中所述至少一個傳感器/測量體對不僅用于確定在探觸工件之前探測器的位置和/或取向，而且用于確定在探觸工件時探測器的偏轉(zhuǎn)，則探測器的重量也影響其位置和/或取向。在此，重量的影響與用于調(diào)整探測器取向的旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)位置相關(guān)和/或與用于調(diào)整探測器位置的可線性運動裝置的線性位置相關(guān)。尤其是，重量的影響能夠由已經(jīng)提到的具有有限元的模型考慮。但也可能的是，通過傳感器測量重量的影響。因此，根據(jù)優(yōu)選實施方式，存在用于確定探測器和旋轉(zhuǎn)裝置可運動部分相對于旋轉(zhuǎn)裝置不可運動部分的運動的至少五個自由度的傳感器。圖6示意性示出具有第一部分13和第二部分11的組件的軸向縱剖圖，所述第二部分可相對于第一部分13運動。尤其是，所述組件可以是旋轉(zhuǎn)裝置，其中，第二部分11能夠繞在圖6中在垂直方向上延伸的旋轉(zhuǎn)軸線R相對于第一部分13旋轉(zhuǎn)地被支承。圖6示出一傳感裝置的測量原理，該傳感裝置具有磁體15，該磁體固定在第二部分11上并且優(yōu)選相對于旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)對稱地布置。在此，例如北極關(guān)于軸線R而言處于比南極高的軸向位置。通常優(yōu)選，通過磁體的兩個相反的極限定的磁體縱軸線平行于或優(yōu)選同軸于旋轉(zhuǎn)軸線R地取向。此外，在所述實施例中，第二部分11具有由能夠磁化的材料(例如由鐵磁性材料、例如鐵素體)制成的元件12，該元件設(shè)置為用于以希望的方式導(dǎo)向磁力線的元件。元件12優(yōu)選相對于旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)對稱地成型或布置。它在磁體15的一個極(在這里北極)上具有盤形區(qū)域，該區(qū)域在相對于旋轉(zhuǎn)軸線R的徑向方向上延伸。在該區(qū)域的外圓周上，一柱形區(qū)域同軸于旋轉(zhuǎn)軸線R地在軸向方向上平行于磁體15的縱軸線從而向另一磁極(在這里南極)的軸向位置方向延伸。在該柱形區(qū)域的端部上能夠可選地還存在元件12的另一徑向內(nèi)置區(qū)域(如在圖6中所示)，使得在該徑向內(nèi)置區(qū)域16和所述磁體15之間的保留的環(huán)形縫隙比在所述柱形區(qū)域和該磁體15之間小。在該環(huán)形縫隙中存在至少一個傳感器14，在所述實施例中兩個傳感器14a、14b用于測量第一部分13和第二部分11的徑向位置或相對位置。所述至少一個傳感器14固定在第一部分13上，例如通過平行于旋轉(zhuǎn)軸線R延伸的承載件17。在該實施例中，所述至少兩個傳感器14a、14b布置在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R彼此對置的徑向位置上。因此涉及這樣的傳感器：它們提供關(guān)于第一部分13和第二部分11的相對位置的冗余信息，確切地說是在圖6中在圖平面中在水平方向上延伸的方向上。在磁體的下磁極上也能夠可選地存在(例如由鐵素體制成的)磁通量引導(dǎo)件。該傳感器例如可以是霍爾傳感器或磁阻傳感器。圖7示出圖6的組件的變型，其中，視線指向圖6中的旋轉(zhuǎn)軸線R的軸線方向，確切地說對準磁體15和元件12的底側(cè)。在徑向內(nèi)置區(qū)域16和磁體15之間的環(huán)形縫隙中，除了兩個在圖6中所示傳感器14a、14b之外還存在另外兩個磁性傳感器14c、14d。但這些另外的傳感器14c、14d在繞旋轉(zhuǎn)軸線R的圓周方向上觀察在另一位置上，從而它們在不同于傳感器14a、14b的另一方向上測量第一部分13(未在圖7中示出)和第二部分11的相對位置。在圖7中，用X標明傳感器14a、14b測量相對位置的方向，因為該方向例如可能是笛卡爾坐標系的X軸的方向。垂直于該方向的Y方向是傳感器14c、14d在其上測量的方向。在圖6中，X方向從右向左延伸。圖8示出用于測量第一部分23相對于第二部分21的位置的組件的變型。該圖示出該組件的橫向于旋轉(zhuǎn)軸線R的剖面，所述部分21、23繞該旋轉(zhuǎn)軸線可彼此相對運動。在第一部分21上，從旋轉(zhuǎn)軸線R看，在不同的、優(yōu)選相互垂直地延伸的徑向方向上布置有磁體25a、25b。不同于圖8中所示，這些磁體25能夠替代地以相對于旋轉(zhuǎn)軸線R的更大間距布置，也就是說以大約等于固定在第二部分21上的傳感器14的間距的間距布置。總體在第一部分23上布置有八個傳感器14，這些傳感器配屬給磁體25a、25b，也就是說，這些傳感器在任何情況下在磁體25a、25b處于它們附近時能夠在徑向方向上、也就是說垂直于旋轉(zhuǎn)軸線R測量所述磁體的位置。因此，磁體25a、25b實施配屬給傳感器14a至14h的測量體的功能。這些傳感器14在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的角度距相同的情況下分布在第一部分23的圓周上。因此，在八個傳感器14的情況下在圓周方向上的所有45度處存在一個傳感器。如果傳感器14和磁體25相對于旋轉(zhuǎn)軸線R處于相同的間距，則這些傳感器和磁體在軸向方向上、也就是說平行于旋轉(zhuǎn)軸線R彼此相對錯開，因此，繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)運動是可能的。根據(jù)圖8的組件是傳感裝置實現(xiàn)在圖4和圖5中所示測量系統(tǒng)的替換方案。尤其可以將傳感器s2、s3或傳感器s4、s5通過它、s5連同各自對應(yīng)配屬的測量體用根據(jù)圖8的組件取代。這也意味著，每個根據(jù)圖8的組件能夠分別取代傳感器s2、s3或s4、s5連同配屬的測量體組成的組件。在這種情況下，兩個根據(jù)圖8的組件處于關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的不同軸向位置上。附加地，如在圖4和圖5中所示，能夠例如存在至少一個傳感器s1，該傳感器測量可彼此相對運動的部分的軸向相對位置。圖8中的組件能夠被改型，尤其通過，兩個磁體25a、25b分別由一個傳感器取代并且與此相應(yīng)地八個傳感器分別由一個磁體取代。此外，能夠使用不同于磁性傳感器的其它傳感器，例如具有相應(yīng)的配屬的測量體的電容傳感器或電感傳感器。替換地或附加地，能夠改變傳感器14的數(shù)量。例如能夠在圓周上分布僅四個傳感器，或者十六個傳感器。根據(jù)圖8的構(gòu)型允許，尤其在第一部分23相對于第二部分21的旋轉(zhuǎn)位置確定的情況下，測量兩個徑向位置。在所述確定的旋轉(zhuǎn)位置中，磁體25分別處于傳感器14之一的附近，從而達到具有高精度的徑向相對位置測量。即在所述確定的旋轉(zhuǎn)位置的情況下，根據(jù)圖8的組件使得能夠獲知旋轉(zhuǎn)裝置的誤差(尤其擺動誤差)。尤其在坐標測量儀具有探測器或探測頭，所述探測器或探測頭能夠關(guān)于KMG的臂旋轉(zhuǎn)的情況下，多個離散的旋轉(zhuǎn)位置常常足夠用于以合適的方式滿足測量任務(wù)，相應(yīng)的情況適用于旋轉(zhuǎn)臺，在該旋轉(zhuǎn)臺上，工件能夠相對于該旋轉(zhuǎn)臺的基底旋轉(zhuǎn)地布置。在工件相對于基底的多個離散的旋轉(zhuǎn)位置、例如根據(jù)圖8的組件的八個不同的旋轉(zhuǎn)位置中，能夠以希望的方式加工和/或測量工件。根據(jù)圖8的組件的原理也能夠類似地應(yīng)用到根據(jù)圖6的組件上，也就是說傳感器布置在一個永磁體和另一永磁體之間的縫隙中或布置在一個永磁體和一用于磁通量引導(dǎo)的元件之間的縫隙中或布置在兩個用于磁通量引導(dǎo)的元件之間的縫隙中。尤其可能的是，根據(jù)圖8的多個傳感器14(或其它數(shù)量的多個傳感器)的信號通過乘法器周期地或以其它方式前后相繼地被詢問并且由此被獲知。例如在兩個能夠彼此相對扭轉(zhuǎn)的部分21、23的圖8中所示的角度位置的情況下，僅傳感器14a、14g的測量信號會具有說明徑向相對位置的值。通常(不是僅在圖8的實施方式中)適用，例如傳感器的模擬電信號能夠通過模擬/數(shù)字轉(zhuǎn)換器被數(shù)字化并且接著能夠數(shù)字地、尤其通過使用電腦被處理。根據(jù)借助圖4解釋的原理，測量旋轉(zhuǎn)裝置的誤差僅能夠在確定的離散的角度位置中測量(或者在圍繞這些離散的角度位置的狹窄區(qū)域中測量)，但是該原理也具有優(yōu)點，即離散的角度位置能夠借助于相同的、也用于確定旋轉(zhuǎn)裝置的誤差的傳感器來確定。如前面提到的，在圖8中所示旋轉(zhuǎn)位置中，例如僅傳感器14a、14g輸出能夠推斷磁體25的接近的測量信號。由此，左邊的位置能夠明確地從傳感器的這些信號中獲知。精確位置和取向則能夠借助于傳感器14a、14g(或在其它角度位置或旋轉(zhuǎn)裝置情況下通過其它傳感器14)并且可選擇地通過另外的、用于在另外的軸向位置上確定徑向相對位置的傳感器并且可選擇地通過至少一個附加的、用于確定軸向位置的傳感器獲知。如果該角度位置不能用或不用與用于確定旋轉(zhuǎn)裝置誤差的相同傳感器獲知，則優(yōu)選附加地使用另一測量系統(tǒng)，其被構(gòu)型用于獲知角度位置或者說旋轉(zhuǎn)位置。這樣的系統(tǒng)從現(xiàn)有技術(shù)中一致并且在這里未詳細描述。圖9示意性示出根據(jù)圖4的組件集成到旋轉(zhuǎn)臺中。旋轉(zhuǎn)臺的可旋轉(zhuǎn)部分33尤其用于將工件布置在旋轉(zhuǎn)臺33上。旋轉(zhuǎn)臺的基底與不可旋轉(zhuǎn)部分31連接或由其構(gòu)成。測量系統(tǒng)的承載測量體K1、K2的部分(例如同在圖4中一樣在桿34上)固定在可旋轉(zhuǎn)部分33的底側(cè)上并且在可旋轉(zhuǎn)部分33旋轉(zhuǎn)運動時被攜動。帶有測量體K1、K2的桿34在不可旋轉(zhuǎn)部分31的內(nèi)室中從上向下延伸。傳感器s2、s3、s4、s5如在圖4中那樣示意性通過箭頭標明并且固定在不可旋轉(zhuǎn)部分31上。也可以取代根據(jù)圖4和圖9的測量系統(tǒng)而將另一測量系統(tǒng)集成到具有彼此可相對扭轉(zhuǎn)的部分31、33的旋轉(zhuǎn)臺中。尤其是，傳感器能夠與可旋轉(zhuǎn)部分33一起旋轉(zhuǎn)而測量體能夠布置在不可旋轉(zhuǎn)部分31上。此外，能夠使用不同于球形測量體K1、K2的其它測量體。例如也能夠?qū)⒏鶕?jù)圖8的測量體集成到根據(jù)圖9的旋轉(zhuǎn)臺中。還可能的是，以類似的方式將測量體不是集成到旋轉(zhuǎn)臺中，而是集成到用于旋轉(zhuǎn)KMG的探測器或用于旋轉(zhuǎn)工具機的刀具的旋轉(zhuǎn)裝置中。在這種情況下，如在圖9中所示，測量系統(tǒng)同樣處于兩個能夠彼此相對扭轉(zhuǎn)的部分中的一個的內(nèi)部。圖10示出如圖6和/或圖7中的測量系統(tǒng)。對于該測量系統(tǒng)的相應(yīng)部分使用了與在圖6和圖7中相同的附圖標記。但替換地也能夠使用另一測量系統(tǒng)，例如與在圖4和圖5中示意性示出的類似。這也適用于在后面的附圖中所示實施方式。根據(jù)圖10的實施方式具有可旋轉(zhuǎn)部分41，該部分與測量系統(tǒng)的部分11固定地連接。測量系統(tǒng)的傳感器14a、14b與不可旋轉(zhuǎn)部分43連接，也就是說可旋轉(zhuǎn)部分41能夠相對于不可旋轉(zhuǎn)部分43繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)，其中，通過旋轉(zhuǎn)也得出測量系統(tǒng)的元件12相對于傳感器14另一旋轉(zhuǎn)位置。然而，這些傳感器14不構(gòu)型用于獲知旋轉(zhuǎn)位置。但例如在使用根據(jù)圖8的測量系統(tǒng)時會是這種情況(見上)。根據(jù)圖10的組件使得能夠?qū)崿F(xiàn)測量系統(tǒng)的校準，因為測量系統(tǒng)的可旋轉(zhuǎn)部分14、進而測量系統(tǒng)的與該部分41連接的部分相對于旋轉(zhuǎn)軸線R的位置在徑向方向上能夠改變。為此，可旋轉(zhuǎn)部分41通過固定器件(在該實施例中螺釘46a、46b)固定在一中間部分45上。該中間部分45能夠繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)并且為了該目的通過旋轉(zhuǎn)軸承44支承在不可旋轉(zhuǎn)部分43上。更概括地說，不可旋轉(zhuǎn)部分43通過旋轉(zhuǎn)軸承44與第一可旋轉(zhuǎn)部分45旋轉(zhuǎn)地耦合，從而該第一可旋轉(zhuǎn)部分和固定部分43能夠繞旋轉(zhuǎn)軸線R彼此相對實施旋轉(zhuǎn)運動。第二可旋轉(zhuǎn)部分41與第一可旋轉(zhuǎn)部分45固定地、但可松開地連接，從而能夠調(diào)節(jié)第一可旋轉(zhuǎn)部分45和第二可旋轉(zhuǎn)部分41的相對位置。在能夠?qū)崿F(xiàn)固定部分43和可旋轉(zhuǎn)部分41的相對位置測量的傳感器14的校準方面，使第二可旋轉(zhuǎn)部分41相對于第一可旋轉(zhuǎn)部分45在徑向方向上的不同相對位置上固定(尤其通過松開和再固定固定器件、改變相對位置并且再固定該固定器件)。在部分45、41的所有所述相對位置中獲知配屬給該運動自由度的相應(yīng)傳感器的測量值并且從所述測量值獲得用于校準的信息。如果此后由于旋轉(zhuǎn)裝置的誤差(尤其擺動誤差)而使不可運動部分43相對于第二可運動部分41的相對位置改變，則能夠借助于所獲得的校準信息獲知，這些部分41、43處于哪個相對位置中。尤其通過校準獲知相對位置和對應(yīng)傳感器的傳感器信號之間的非線性。對于運動的其它自由度，也可以存在第一和第二可旋轉(zhuǎn)部分之間的相應(yīng)運動可能性，從而能夠使這兩個可旋轉(zhuǎn)部分在關(guān)于該運動自由度的不同相對位置中固定。相對于借助兩個可旋轉(zhuǎn)運動部分的相對位置的改變來校準，替換地或附加地，可以在一專門的測量組件中校準傳感器，也就是說傳感器就不是處于旋轉(zhuǎn)裝置中，而是處于一參考旋轉(zhuǎn)裝置或另一用于校準的專門結(jié)構(gòu)中。在獲得校準值之后，傳感器被裝入旋轉(zhuǎn)裝置中并且在旋轉(zhuǎn)裝置運行期間提供測量值。相應(yīng)的情況例如也適用于：傳感器不是被裝入旋轉(zhuǎn)裝置中，而是裝入KMG的或根據(jù)本發(fā)明第三方面的工具機中的上面所描述的臂中。如果布置有至少兩個測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)用于感測關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線的不同軸向位置上的徑向相對位置，則優(yōu)選這兩個測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)的不平行取向也通過校準來獲知和/或修正。測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)在繞旋轉(zhuǎn)軸線的旋轉(zhuǎn)運動方面的偏心優(yōu)選也通過校準來獲知或修正。又可能的是，整個測量系統(tǒng)的或兩個系統(tǒng)的誤差在單獨的校準組件中獲知。為此，使兩個測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)彼此固定連接并且在一參考旋轉(zhuǎn)裝置中運行(該參考旋轉(zhuǎn)裝置具有可忽略地小的或精確已知的旋轉(zhuǎn)運動誤差)，也就是說在參考旋轉(zhuǎn)裝置的不同旋轉(zhuǎn)位置中接收傳感器的相應(yīng)測量值。接著將測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)的組件裝入到傳感器要在其中持久地在運行期間提供信號的旋轉(zhuǎn)裝置中。在此，兩個測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)的固定連接與在參考旋轉(zhuǎn)裝置中使用相比沒有改變。圖11示出兩個根據(jù)圖6和圖7的測量系統(tǒng)，其中，這些測量系統(tǒng)又能夠通過其它測量系統(tǒng)取代。但是，在該特定實施例中僅示出一個用于確定可旋轉(zhuǎn)運動部分51相對于不可旋轉(zhuǎn)運動部分53的徑向相對位置的傳感器。在兩個示出的測量系統(tǒng)中的處于下面的測量系統(tǒng)中，附加地還存在用于測量這些部分51、53的軸向相對位置的傳感器19，其中，所述傳感器19相對于處于更下方的測量系統(tǒng)的下磁極(在這里是南極)成一小間距地布置。固定部分53(定子)在該實施例中在示出的縱剖面中是U形的并且在它的內(nèi)部包含下面測量系統(tǒng)和上下測量系統(tǒng)之間的連接部59。由此，在可旋轉(zhuǎn)部分51旋轉(zhuǎn)運動時兩個測量系統(tǒng)被帶動一起旋轉(zhuǎn)。但是，測量系統(tǒng)的與定子53連接的部分(在這里是傳感器)當(dāng)然不一起旋轉(zhuǎn)。定子53和可運動部分51又通過旋轉(zhuǎn)軸承44可旋轉(zhuǎn)地相互支承。在圖11的左上方示意性示出用于可旋轉(zhuǎn)部分51的旋轉(zhuǎn)運動的驅(qū)動裝置。馬達54驅(qū)動驅(qū)動軸58的旋轉(zhuǎn)運動，通過該驅(qū)動軸使驅(qū)動輪(例如摩擦輪或齒輪57)旋轉(zhuǎn)，該驅(qū)動輪將相應(yīng)轉(zhuǎn)矩傳遞到可旋轉(zhuǎn)部分51上。未在圖11中示出分別用于兩個測量系統(tǒng)中的各一個的、優(yōu)選附加存在的第二傳感器，用于測量可旋轉(zhuǎn)運動部分51和定子53在一垂直于第一徑向方向延伸的方向上的徑向相對位置，在該第一徑向方向上，圖11中所示傳感器14a和14b測量徑向相對位置。圖12示出如圖11中的組件，但其中兩個測量系統(tǒng)被相應(yīng)于借助圖4描述的實施方案的另一測量系統(tǒng)取代。在可旋轉(zhuǎn)部分51上固定有桿形承載件4，該承載件關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)對稱地在定子53的內(nèi)室中從上向下延伸。桿形承載件4承載作為測量體的兩個球形區(qū)域K1、K2，它們具有關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R而言的軸向間距。在定子53上裝備有傳感器64a、64b、69以及兩個附加的、用于與傳感器64a、64b不同地確定另一方向上的徑向間距的傳感器。在此，用于確定定子53相對于球形測量體K1的軸向間距的傳感器69由定子53的處于下方的基底承載。傳感器69的連接纜線63a從上向下穿過定子53的基底引出。通過纜線63將傳感器的傳感器信號導(dǎo)送給未示出的評估裝置。對準第一球形測量體K1或第二球形測量體K2的兩個傳感器64a、64b固定在側(cè)壁(也就是說在示出的縱剖圖中U形型廓的縱臂)上。連接纜線63b、63c又分別穿過定子53的側(cè)壁引出，其中，纜線63同樣連接到評估裝置上。傳感器64、69例如是光學(xué)傳感器。替代地例如可以是電容式傳感器。在這種情況下，測量體K1、K2例如由導(dǎo)電材料、例如鋼制成。圖13示出如圖11和圖12中那樣的定子53和轉(zhuǎn)子(可旋轉(zhuǎn)部分)51，它們也通過旋轉(zhuǎn)軸承44可旋轉(zhuǎn)地支承。但是，圖11的測量系統(tǒng)或圖12的測量系統(tǒng)通過另一測量系統(tǒng)取代。桿形承載件73從轉(zhuǎn)子51向下伸入到定子53的中空室中，其中，桿形承載件73無相對轉(zhuǎn)動地固定在轉(zhuǎn)子51上并且同軸于旋轉(zhuǎn)軸線R地布置。在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的不同軸向位置上，桿73各承載一個盤75a、75b，這些盤例如如圖14所示具有一帶有大量標記的結(jié)構(gòu)，這些標記彼此成間距地布置在盤上方或布置在盤上。由此，這些彼此隔開間距的標記可被稱為柵格，在標記為劃線形式的情況下稱為劃線柵格。在此，這些標記(其中的一些在圖14中用附圖標記82標記)優(yōu)選沿一圓形線走向，也就是說它們的間距相應(yīng)于該圓形線在標記之間的相應(yīng)區(qū)段。在此，該圓形線繞旋轉(zhuǎn)軸線R延伸。與在圖7中類似，在圖14中也示出橫向地并且分別垂直延伸的X軸和Y軸。在它們的方向上要確定定子和轉(zhuǎn)子的相對位置。用于測量關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的徑向方向上或者說直徑方向上的徑向相對位置的傳感器74a、74b或74c、74d相互對置地布置，而在圖14中所示傳感器74a、74b、74c、74d、74e的布置則不同。圖14的俯視圖示出，總共五個傳感器74大致均勻地分布在圓周上。因此，在圖14中，傳感器74中沒有一個傳感器關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R剛好與另一傳感器對置。在任何情況下，根據(jù)圖13和圖14的傳感器74構(gòu)型得不僅用于獲知盤75關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)位置或旋轉(zhuǎn)位置的改變，而且用于獲知盤75相對于傳感器的徑向位置并進而獲知轉(zhuǎn)子51相對于定子53的徑向位置。在此，不是必定需要評估各個傳感器的信號并且由此分別求出關(guān)于傳感器與旋轉(zhuǎn)軸線R的連接線的徑向位置。而是能夠從傳感器74中的多于一個傳感器的信號的總和確定盤75的位置并進而確定轉(zhuǎn)子51在通過該盤限定的、垂直于旋轉(zhuǎn)軸線R延伸的平面的內(nèi)部的位置。為了確定在該平面中的位置或各個徑向相對位置，利用這樣的效應(yīng)：在徑向方向上并且從而垂直于所述圓形線延伸的線性標記82之間的間距隨著與旋轉(zhuǎn)軸線R的距離增大而變大或者在相反方向上變小。由此，同時感測多個標記的傳感器74的測量信號也改變。傳感器74如圖13所示又固定在定子53的側(cè)壁的內(nèi)側(cè)上。合適的傳感器例如在EP1923670A1中描述。圖15示出用于確定關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的軸向相對位置的部分測量系統(tǒng)的變型。由定子53、旋轉(zhuǎn)軸承44和轉(zhuǎn)子51組成的組件如在圖11至圖13中那樣構(gòu)型。然而定子53的側(cè)壁的高度、從而其內(nèi)室的高度能夠變化。這也適用于與圖15中所示不同的其它構(gòu)型。磁傳感器89通過承載件87與定子53的側(cè)壁連接。該磁傳感器處于旋轉(zhuǎn)軸線R的區(qū)域中，即它被假想的旋轉(zhuǎn)軸線R穿過。在傳感器89上方隔開軸向間距地存在第一磁體85b，該第一磁體通過桿形承載件84固定地布置在轉(zhuǎn)子51的底側(cè)上。第二磁體85a隔開軸向間距地布置在傳感器89下方并且與傳感器89一樣固定在定子53上?；趦蓚€磁體85，在傳感器89的地點上產(chǎn)生特別強的磁場，從而在測量軸向位置時局部分辨率特別高。然而，下磁體85a不是必定需要的。例如在上面已經(jīng)描述的圖11的實施方式中，傳感器能夠直接固定在定子53的下部分上并且取消根據(jù)圖15的下磁體85a。圖16示出與在圖15中類似的結(jié)構(gòu)，但其中附加地設(shè)置有用于確定轉(zhuǎn)子51相對于定子53的徑向位置的測量系統(tǒng)。該附加測量系統(tǒng)例如如已經(jīng)借助圖13和圖14描述的那樣地實施。具有大量彼此隔開間距的標記的盤75以相對于轉(zhuǎn)子51無相對轉(zhuǎn)動的方式布置在桿形承載件84上。至少兩個用于感測盤74上的彼此隔開間距的標記的傳感器74a、74b與定子53的側(cè)壁固定地連接。圖16的實施方式的傳感器的總體組件用于獲知三個運動自由度，其中不能感測擺動誤差。因此，該組件適用于這樣的旋轉(zhuǎn)裝置：在該旋轉(zhuǎn)裝置中擺動誤差例如由結(jié)構(gòu)決定而可忽略地小。根據(jù)圖14的組件的優(yōu)點在于安裝高度小，也就是說在于沿著旋轉(zhuǎn)軸線R的延伸小。圖17示出根據(jù)圖13的組件的上測量系統(tǒng)與根據(jù)圖12的組件的下測量系統(tǒng)的組合。與在圖12和圖13中相同的附圖標記在圖17中具有相同的意義。通過兩個傳感器74a、74b和盤75能夠獲知轉(zhuǎn)子51和定子53在關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R的第一軸向位置上的彼此線性不相關(guān)的徑向相對位置。通過向測量體K1取向的傳感器64和另一未示出的傳感器，該測量體在桿形承載件73上布置在其下端部區(qū)域中，能夠獲知定子53和轉(zhuǎn)子51在旋轉(zhuǎn)軸線R的第二位置上的兩個徑向的、相互獨立的徑向相對位置。能夠附加地獲知球K1和在定子53上固定在下方的傳感器69的軸向相對位置。圖18示出兩個不同的測量系統(tǒng)或部分測量系統(tǒng)的另一組合。定子53、旋轉(zhuǎn)軸承44、轉(zhuǎn)子51連同向下伸出的桿形承載件73和具有盤75的上方部分測量系統(tǒng)如在圖17或圖13和圖14中那樣構(gòu)型。但是，下方的、布置在旋轉(zhuǎn)軸線R的另一軸向位置上的第二部分測量系統(tǒng)與在圖13和圖17中不同地實施。第二部分測量系統(tǒng)具有柱形盤95，用于獲知柱形盤95和定子53之間的徑向相對位置的第一傳感器64a朝向該盤的在圓周方向上延伸的外邊緣取向。此外，兩個在軸向方向上、也就是說平行于旋轉(zhuǎn)軸線R的方向朝向柱形盤95的平坦表面取向的傳感器94a、94b與定子53連接。因此，這兩個傳感器94不僅允許確定柱形盤95以及轉(zhuǎn)子51為一方面與定子53為另一方面之間的軸向相對位置，而且允許確定擺動誤差。該實施方式具有的優(yōu)點是，在上方的部分系統(tǒng)上僅需要少量傳感器74。然而，為了盤75在垂直于軸線R延伸的平面中的位置的感測需要至少兩個關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R不相互對置的傳感器74的信息。在圖19中示出特別低地構(gòu)造的實施方式，也就是說沿著旋轉(zhuǎn)軸線R的延伸特別小。又存在具有布置在轉(zhuǎn)子51的桿形承載件73上的盤75的測量系統(tǒng)，該盤承載大量標記。但是，配屬的、在兩個彼此獨立的徑向相對位置方面測量盤75的相對位置的傳感器74布置在盤75的一個軸向側(cè)上(也就是說在圖19中在上方)。在盤75的對置的軸向側(cè)上、也就是說在圖19中在下方，與在圖18中在下方的部分測量系統(tǒng)中類似地布置有兩個傳感器94a、94b。這些傳感器94平行于旋轉(zhuǎn)軸線R取向。這兩個傳感器94又允許確定定子53和轉(zhuǎn)子51的軸向位置以及確定端面跳動誤差。尤其是，傳感器74可以如上面描述的那樣也用于確定橫向于旋轉(zhuǎn)軸線R的方向的平移運動或平移位置。在這種情況下，通過該組件也能確定擺動誤差。在一未在圖19中所示變型中，能夠取消傳感器94并且旋轉(zhuǎn)角度傳感器74還構(gòu)造得用于測量測量體75和傳感器74之間的軸向相對位置。由此，傳感器74承擔(dān)傳感器94的作用。該變型還能夠更扁平地構(gòu)造，因為例如測量體75還能夠更緊密地定位在定子53的底板上。但如果傳感器94如傳感器74處于盤75的相同軸向側(cè)上，也可以構(gòu)造得(在軸向方向上)這樣扁平。根據(jù)本發(fā)明的第二方面，實施在圖20中示意性示出的實施方式。如果示出用于機械地探測工件的探測銷122，該工件要確定坐標。探測銷12在它的自由端部上具有探測球123或其它的探測元件。如通過兩個同心的圓表明，探測銷122可運動地被支承(軸承120)，以便能夠在探測工件時從探測銷的靜止位置偏轉(zhuǎn)出來。該偏轉(zhuǎn)像通常一樣被測量并且由此確定工件表面上的對應(yīng)探觸點的坐標。為此，探測銷與傳感裝置組合，該傳感裝置在圖20中示意性通過兩個傳感器s1、s2示出。在該實施例中，傳感器s1、s2與探測銷122剛性地(也就是說在沒有有影響的相對運動的可能性地)連接，而配屬的測量體與探測銷或探測頭的保持裝置、尤其與KMG的臂剛性地連接。不僅在探觸工件時探測銷122偏轉(zhuǎn)時，而且在探觸工件之前或期間對探測銷調(diào)整位置和/或取向時，都發(fā)生探測銷122與測量體的承載件115的相對運動，進而也發(fā)生傳感器和測量體之間的相對運動。在圖20中示出承載件115上或不可運動部分上的多個探測體M1至M5。對此還要進一步探討。所述多個測量體M1至M5僅配屬給所述傳感器中的一個、也就是傳感器s1。相應(yīng)的、配屬給其它傳感器s2或另外的可選傳感器的測量體在圖20中未示出，因為這是示意性圖示。但也可能的是，至少一個測量體布置在探測銷上而多個傳感器布置在組件的不可運動部分上。除了基于軸承120的可運動性外，附加地，探測銷122可以連同與其固定連接的傳感器(或測量體)一起繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)。這尤其是為了，在探觸工件表面上的點之前探測銷122應(yīng)具有另外的取向。通過虛線示出探測銷和傳感器的另一旋轉(zhuǎn)位置，探測銷122通過繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)應(yīng)被帶入到該另一旋轉(zhuǎn)位置中?？梢钥闯觯S承120也已隨之旋轉(zhuǎn)。接著能夠在探測銷122的該改變了的取向上探觸工件。但是，通過繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)，組件的不可運動部分115連同固定在其上的測量體M1和M5的位置和取向不改變。與在圖20中所示不同，旋轉(zhuǎn)軸線R優(yōu)選與軸承120的固定點相交。組件的傳感器和配屬的測量體根據(jù)本發(fā)明的第二方面這樣布置，使得一方面從傳感器信號中能夠獲知探測銷122的取向基于繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)而引起的改變(或繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)位置)，并且能夠獲知在以相應(yīng)取向探測或探觸工件時探測銷122的偏轉(zhuǎn)。但是，具有多個測量體和一個共同的配屬給所述測量體的傳感器或相反具有多個傳感器和一個共同的配屬給所述傳感器的測量體的組件也能夠在其它情況下存在，在這些情況下僅要測量組件的第一和第二部分的相對位置，而不測量探測銷或其它探測器的附加的可運動性。測量體M1至M5例如可以是磁體而傳感器S1可以是磁性傳感器、例如磁阻傳感器或霍爾傳感器。在實施繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)運動時能夠連續(xù)地和/或重復(fù)地接收傳感器s1的測量信號。從中能夠獲知關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R所走過的旋轉(zhuǎn)角度或該旋轉(zhuǎn)角度的至少一個分量，因為在傳感器s1沿著不同的測量體M1至M5運動時測量信號以典型的方式改變，尤其是傳感器s1的地點上的磁場周期性地增強或減弱。在探測銷122偏轉(zhuǎn)時，傳感器s1又相對于至少一個配屬的測量體運動，其中，傳感器s1相對于該測量體的相對運動通常不同于探測銷122繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)運動時的走向。這意味著，可選地還能夠給對應(yīng)的傳感器s1、s2配屬另外的測量體，它們在跟蹤繞旋轉(zhuǎn)軸線R的運動時不是必需的。但是，在任何情況下由不同傳感器s1、s2的信號在探測銷122偏轉(zhuǎn)期間獲知，探測銷122從它的靜止位向哪個方向偏轉(zhuǎn)以及經(jīng)過多少位移。在任何情況下示出的組件具有的一個優(yōu)點是，傳感裝置的至少一個部分能夠不僅用于在探測銷關(guān)于繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)方面的運動跟蹤或旋轉(zhuǎn)位置確定，而且用于探測銷在探測探觸工件時的偏轉(zhuǎn)的確定。圖20僅用于說明原理。因此，變型是可能的。例如不是必須涉及探測銷，而是可以設(shè)置其它的探測器用于機械地探觸工件。也可以給出探測器的其它運動可能性，例如僅一個線性的運動可能性，或者探測器可以具有兩個或多個旋轉(zhuǎn)運動自由度。也可以給出附加的線性運動可能性。所述多個運動自由度能夠部分或全部通過該測量系統(tǒng)測量，至少在全部可能的相對位置的部分區(qū)域中。圖21示意性示出傳感裝置的利用的實施例的分解圖，該傳感裝置不僅用于測量探測器在探觸工件時的偏轉(zhuǎn)，而且用于確定探測器或探測頭在調(diào)整位置和/或取向期間和/或之后的位置和/或取向。在示出的實施例中，固定在探測器上的探測頭(也叫做測量頭)能夠繞旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。在其它實施方式中，對于探測頭進而對于探測器可以存在其它的和/或附加的運動自由度，也就是說探測頭尤其能夠在通過探測器探觸工件之前相應(yīng)于這些運動自由度運動。這些自由度涉及探測頭的進而探測器的相對于坐標測量儀的臂的運動或相對于坐標測量儀的另一部分的運動，在探測頭布置在該部分上。KMG的該臂或該部分又能夠相對于KMG的基底運動。例如在門架結(jié)構(gòu)方式或桶架結(jié)構(gòu)方式的KMG中，探測頭可以固定在KMG的頂尖套筒上并且可以相對于蓋頂尖套頭運動。在現(xiàn)在借助圖21至24描述的實施例中，探測頭130例如通過承載板141(或通過其它固定和承載元件)與KMG的頂尖套筒142(或與其它也可運動的部分)可旋轉(zhuǎn)運動地連接。尤其是，承載板141可以借助于承載板141中的通孔148a、148b并且借助于頂尖套筒142中的孔149a、149b以及通過未詳細示出的固定器件(例如固定螺釘)固定在頂尖套筒142上。用于產(chǎn)生探測頭130繞旋轉(zhuǎn)軸線R的旋轉(zhuǎn)運動的驅(qū)動馬達135固定在承載板141上，例如通過承載板141中的通孔138a，138b和另外的未詳細示出的固定器件(例如螺釘和螺母)。在圖21的圖示中，旋轉(zhuǎn)軸線R在水平方向上延伸。該方向尤其能夠平行于笛卡爾坐標系的X軸延伸或者與該坐標軸重合。通過驅(qū)動馬達135的驅(qū)動軸136(該驅(qū)動軸在組件裝配狀態(tài)下(例如圖23)延伸穿過承載板141的通孔137)，在驅(qū)動馬達135運行時產(chǎn)生保持架置138的旋轉(zhuǎn)運動，該保持架保持探測頭130。為此，驅(qū)動軸136能夠以它的自由端部區(qū)域與保持架138無相對轉(zhuǎn)動地連接。因此，在驅(qū)動軸136繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)運動時，保持裝置138和由該保持裝置138保持的探測頭130繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動馬達135例如可以是步進馬達，其能夠這樣控制，使得探測頭130能夠被帶入到關(guān)于旋轉(zhuǎn)軸線R并且相對于承載板141的確定的、預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中。但是，為了將探測頭130帶入到預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中，也可以使用其它驅(qū)動裝置。尤其可以手動地實施探測頭的旋轉(zhuǎn)運動。但在這種情況下優(yōu)選，對應(yīng)的設(shè)定旋轉(zhuǎn)位置能夠通過相應(yīng)的器件(例如夾緊裝置)固定，從而即使在有外力作用時(這些外力例如在探觸工件140時通過安裝在探測頭130上的探測器132傳遞到旋轉(zhuǎn)機構(gòu)上)，它也保留在該旋轉(zhuǎn)位置中。圖21示出在下方安裝在探測頭130上的探測器132，該探測器構(gòu)型為銷形探測器，其具有構(gòu)造為探測球133的探測元件。但也可以使用其它的探測器。探測器132尤其能夠可更換地固定在探測頭130上。如果該探測器132或其它探測器固定在探測頭130上，探測器132可能從在圖21中用實線示出的中間位置偏轉(zhuǎn)出來，尤其當(dāng)探觸工件140時。該偏轉(zhuǎn)用向左指向的小箭頭表明，該箭頭用附圖標記s標明。通過從中間位置的偏轉(zhuǎn)出來，探測器實施相對于探測頭130的運動。與圖20中的原理圖類似，該探測器與測量系統(tǒng)的至少一個傳感器和/或測量體連接。在該實施例中，五個傳感器s1至s5連接到探測頭130的一個桿134上，其中，桿134與探測器132固定連接，從而在探測器132偏轉(zhuǎn)時，帶有傳感器的桿也從中間位置偏轉(zhuǎn)出來。與探測器132的偏轉(zhuǎn)相應(yīng)的位置用虛線表示。由于桿134與探測器132的固定連接，也示出桿134的從中間位置偏轉(zhuǎn)出來的位置。但是，為了更好的可識別性，固定在桿134上的傳感器s1至s5沒有再次針對偏轉(zhuǎn)后的位置示出。傳感器連同桿134和探測頭130一起不僅在探測頭132偏轉(zhuǎn)時相對于承載板141運動，而且在探測頭130進行被驅(qū)動馬達135或以其它方式驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)運動時運動。但是如尤其圖22所示，也能從圖21看出的，分別兩個傳感器s2、s3；s4、s5與旋轉(zhuǎn)軸線R成相同間距地布置或者換話句話說布置在桿134的縱向上的相同軸向位置上，處在相同軸向位置上的傳感器s1、s2；s3、s4還分別構(gòu)型用于確定另一線性運動自由度的位置。如尤其圖24的俯視圖針對傳感器s4、s5所示，這些傳感器關(guān)于桿134的縱軸線彼此相對錯開90度地布置，此外，傳感器s4、s5的配屬的測量體M也彼此相對成90度折角地取向。在此，傳感器s1至s5在根據(jù)該實施例的每個預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置中位于一個磁體對的兩個磁體之間并且構(gòu)造得用于測量磁場強度。在此，磁場強度沿著該磁場對的磁體的假想連接線變化，因此能夠借助由傳感器測量的磁場強度確定在該磁場對的兩個磁體的假想連接線上的位置。替換地，傳感器和磁體對能夠如此設(shè)計，使得傳感器測量橫向于該磁場對的磁體的假想連接線的運動。對于這兩個在圖24中所示傳感器s4和s5，能夠看出，這些傳感器分別由一個固定在桿134上的傳感器承載件sT4、sT5承載。作為測量體配屬給傳感器的磁體在圖21至24中分別通過大寫字母M后面跟隨傳感器的數(shù)字(1至5)并且再跟隨預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置的數(shù)字(在該實施例中1至3)標明。因此，在三個旋轉(zhuǎn)位置和五個傳感器的情況下，如圖22所示，設(shè)置有十五個磁體對。桿134的在圖22中所示位置是第一預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置，該旋轉(zhuǎn)位置也相應(yīng)于在圖21、23和24示出的位置。在第二預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置中，桿134的縱軸線將在圖22的俯視圖中繞旋轉(zhuǎn)軸線R順時針旋轉(zhuǎn)45度地延伸。在第三預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置中，桿134的縱軸線相對于所示出的位置繞旋轉(zhuǎn)軸線R順時針延伸90度。當(dāng)然，該構(gòu)型的變型也是可能的。例如可以設(shè)置桿的縱軸線的其它傾斜角度下的旋轉(zhuǎn)位置。也可以在相應(yīng)布置或構(gòu)造承載板或用于承載測量體的其它承載單元的情況下存在預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置在大于90度的角度范圍上的分布。也可能的是，用于測量體/傳感器組合的至少一個部分的測量體和傳感器互換。例如可以是，傳感器固定在承載板141上而測量體(例如磁體對)固定在承載桿134上。在圖21至與24的實施例中，傳感器s1構(gòu)型用于在預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中測量桿134、進而探測器132在該桿的縱軸線方向上的精確位置。如尤其從圖24能夠獲悉，第四傳感器s4能夠用于在預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中在一個方向上測量桿134的精確位置，該方向在一與桿134的縱軸線相交的平面中延伸。第五傳感器s5能夠用于在預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中在一個運動方向上測量桿134的精確位置，該運動方向也在與桿134的縱軸線相交的平面中延伸。在此，該平面尤其垂直于桿的縱軸線延伸，如果忽略由于制造公差和預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置的不精確再現(xiàn)所引起的相對于該平面的理想延伸的小偏差。這樣的偏差能夠通過校準考慮，例如進行修正。但是，基于具有測量體M和傳感器s1至s5的測量系統(tǒng)能夠剛好確定這些偏差。相應(yīng)于傳感器s4、s5的在圖24中所示布置，傳感器s2、s3能夠確定桿134關(guān)于兩個另外的方向的精確位置，這些另外的方向平行于這樣的方向：傳感器s4、s5關(guān)于這些方向確定所述桿的精確位置。在此，傳感器s2、s3的測量方向處于一共同的平面中，該平面與桿134的縱軸線在該桿的另一軸向位置上相交并且平行于傳感器s4、s5的測量方向的平面延伸。因此，傳感器s1至s5總體能夠確定134、進而探測器132關(guān)于五個運動自由度的精確位置。在相應(yīng)構(gòu)型該組件的情況下并且通過校準，余下的第六個(探測器132相對于頂尖套筒142的)運動自由度可以被忽略或者在運行坐標測量儀期間不改變。由此，通過相同的傳感器(或者替換地通過相同的測量體，如果測量體固定在桿134上)能夠在任何情況下關(guān)于探測頭的確定的預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置來確定探測器進而尤其探測器的探測球133的中心點相對于頂尖套筒或相對于另一參考點的精確位置。在圖23的側(cè)視圖中，出于圖示簡單的原因僅能夠看到所述傳感器中的一個，即傳感器s4。帶有桿134的探測頭130處于第一預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置中，該旋轉(zhuǎn)位置也在圖22中示出。因此，傳感器s4布置在刺痛M4a和M4b之間。該側(cè)視圖也能看出，磁體M41的間距允許繞旋轉(zhuǎn)軸線R旋轉(zhuǎn)運動到另一預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置中。為此，圖24示出兩個在圖平面中從上向下延伸的虛線，所述虛線標記該區(qū)域的邊緣：在該區(qū)域中，一個傳感器可以在磁體對M41、M51之間運動穿過。此外，磁體對的間距選擇得這樣大，使得傳感器s1至s5在探測器132偏轉(zhuǎn)時(如在圖21中所示)不碰到磁體之一上。圖25和圖26示出在圖21至圖24中所示實施例的變型。相同的附圖標記標明相同的或功能相同的元件。這些實施例有下面的區(qū)別：在承載板141的通孔147中有軸承145，該軸承使得驅(qū)動馬達135的驅(qū)動軸136能夠旋轉(zhuǎn)運動，也就是說驅(qū)動軸136可旋轉(zhuǎn)運動地被支承。在此，軸承145如此構(gòu)型，使得端面跳動誤差和圓跳動誤差可忽略地小。例如滾動軸承(例如球軸承或包含柱形或錐形軸承元件的軸承)可以如此制造和確定尺寸，使得圓跳動誤差和端面跳動誤差相對于擺動誤差可忽略地小。因此，圖25和圖26中所示的測量組件用于確定擺動誤差。為此，僅須測量桿134(或探測頭130的另一部分)與承載板141或與另一與頂尖套筒142固定連接的部分的間距。在此，該間距測量應(yīng)在一大致平行于旋轉(zhuǎn)軸線延伸的方向上與旋轉(zhuǎn)軸線R成盡可能大的間距地實施。在圖25和圖26中示意性地通過具有傾斜箭頭和另一在間距測量方向上延伸的箭頭的圓周表明，設(shè)置有相應(yīng)的距離傳感器。距離傳感器例如可以是電容式傳感器。但也可以考慮其它的傳感器類型或測量系統(tǒng)。如果現(xiàn)在在探測頭130旋轉(zhuǎn)運動期間出現(xiàn)擺動運動(如通過傾斜于旋轉(zhuǎn)軸線R延伸并且在軸承145的固定點上相交的點劃線表明)，則桿134與承載板141的間距改變。在表明的擺動運動下可能出現(xiàn)的相應(yīng)間距用UT1和UT2標明。在擺動運動時，探測頭的探測球133在平行于旋轉(zhuǎn)軸線R的方向上的位置也改變。圖26示出，探測球133在相同的、平行于旋轉(zhuǎn)軸線R的方向上的運動也能夠在探觸工件150時發(fā)生。在一圓形的放大區(qū)域中能夠看出，探測球133由于工件150的出現(xiàn)而不再處于中間位置，而是偏轉(zhuǎn)一個量s。該偏轉(zhuǎn)又能夠通過對桿134和承載板141之間的間距測量來測量。圖25和圖26還示出，參考點P例如能夠選擇在頂尖套筒142的下端部上。表明，對于該參考點P能夠定義一個笛卡爾坐標系X、Y、Z，其中，X軸平行于旋轉(zhuǎn)軸線R延伸并且桿134的縱軸線平行于Z軸延伸。探測頭130的探測器和與該探測器連接的桿134能夠在一位置L上可旋轉(zhuǎn)地支承，在該位置上桿134的縱軸線與旋轉(zhuǎn)軸線R相交，以便探測器在探觸工件150時能夠偏轉(zhuǎn)。穿過該位置L垂直于圖平面延伸的軸向平行于該P點上的笛卡爾坐標系的Y方向延伸。下面，現(xiàn)在探討，如何將承載板141和桿134之間的測得的間距用于計算探測器的位置，尤其計算探測器的探測球133的中心點。在此，使用由參考點P引到旋轉(zhuǎn)軸承145的中心點的矢量cA和由旋轉(zhuǎn)軸承145的中心點引導(dǎo)探測球133的中心點的矢量tA。但是，下面對通過使用間距值u進行修正的描述是概況性的并且也適用于與圖25和圖26中所示不同的其它具體構(gòu)型。該修正從下面的假設(shè)出發(fā)：-轉(zhuǎn)軸線具有可忽略地小的端面跳動誤差和圓跳動誤差。-旋轉(zhuǎn)軸線導(dǎo)致顯著的、要修正的擺動誤差。-旋轉(zhuǎn)軸線能夠在旋轉(zhuǎn)運動后在其旋轉(zhuǎn)位置中固定、例如夾緊，或者由結(jié)構(gòu)類型決定具有自鎖功能(例如通過驅(qū)動馬達)。如所提到的，前兩個假設(shè)能夠通過市場常見的精密滾動軸承滿足，所述精密滾動軸承支承旋轉(zhuǎn)運動。此外認為，旋轉(zhuǎn)軸線與探測頭相交在這樣的點上：探測銷能夠繞該點旋轉(zhuǎn)地被支承(圖25和圖26中的支承點L)。該點L中的支承例如能夠通過彈簧平行四邊形實現(xiàn)，如在已知的探測頭中也是這種情況。下面對修正的描述如在圖25和圖26中的實施例中那樣僅涉及一個運動自由度，該運動自由度相應(yīng)于在平行于旋轉(zhuǎn)軸線R的方向上的間距或位置并且在所涉及的假想下使得能夠確定擺動誤差。如果觀察在圖25和圖26中表明的、在參考點P中的笛卡爾坐標系，測量系統(tǒng)提供關(guān)于X軸的測量值。在探觸工件(如在根據(jù)圖26的實施例中所示的探觸工件150)時，測量值u隨著探測器的探測元件接觸工件而開始改變，具體地說持續(xù)地隨著探測器從它的中間位置越來越多地偏轉(zhuǎn)出來而改變。已知的是，由對于探測器從它的中間位置的不同偏轉(zhuǎn)的校準獲知傳遞函數(shù)或傳遞矩陣，該傳遞函數(shù)或傳遞矩陣在探觸要測量的工件時允許根據(jù)測量值u算出工件表面上的被探觸的點的坐標。傳遞函數(shù)在下面用fK(u)標明。在一般的、在這里未示出的情況下，不僅能夠出現(xiàn)參考點P的笛卡爾坐標系的X軸方向上的位置或測量值u，而且能夠以相應(yīng)的方式出現(xiàn)Y方向上的和/或Z方向上的位置，并且還能夠針對這種情況通過校準獲知傳遞函數(shù)或傳遞矩陣。該函數(shù)以已知的方式尤其包含基于在探觸工件時探測頭和它的部件所發(fā)生的變形的修正。下面還考慮，探測頭相對于參考點P是可運動的并且尤其在圖25和圖26的實施例中繞旋轉(zhuǎn)軸線R可運動。因此，該校準必須對于探測頭相對于參考點(尤其頂尖套筒)的所有允許的旋轉(zhuǎn)位置得出相應(yīng)修正。因此，要爭取得到用于探測器的探測元件的位置的完整的修正函數(shù)：p＝P+t+fK(u)在此，P表示參考點的地點矢量，當(dāng)該參考點處于被觀察的坐標系的原點時該地點矢量可以置為零，t表示從參考點P引到探測元件、尤其引到探測器133的中心點的矢量，并且fK(u)表示提到的傳遞函數(shù)或傳遞矩陣。在上面所涉及的假設(shè)的簡化情況下，在探測頭繞旋轉(zhuǎn)軸線R的第一旋轉(zhuǎn)運動之后得出第一測量信號uT1(如同例如在圖25中所示)。涉及到X軸該測量信號或相應(yīng)測量值能夠被看作該校準的中間位置。現(xiàn)在能夠以已知的方式在沒有探測頭的進一步旋轉(zhuǎn)運動的情況下獲知用于修正函數(shù)的參數(shù)并且同時獲知矢量t。為了也得到用于探測頭的其它旋轉(zhuǎn)位置的傳遞函數(shù)fK，可以在探測頭的另外的允許旋轉(zhuǎn)位置中分別使用然后測得的測量值u與中間位置中的相應(yīng)測量值uT1的差。通過針對這些另外的允許旋轉(zhuǎn)位置重復(fù)校準并且通過使用所提到的、測量值u與中間位置中的測量值uT1的差，為校準提供了一參數(shù)，該參數(shù)在上面提到的假設(shè)下相應(yīng)于旋轉(zhuǎn)裝置的擺動誤差。在此，也不是必定需要，對于每個可能的旋轉(zhuǎn)位置(在該旋轉(zhuǎn)位置以后要由探測器探測工件)例如通過探測參考目標來實施自己的校準。如果在足夠多的旋轉(zhuǎn)位置處實施這樣的校準，可以例如通過內(nèi)插法獲得用于其它旋轉(zhuǎn)位置的校準值。符合目的地，矢量t可以涉及擺動支點、也就是涉及旋轉(zhuǎn)軸線R上的不由于擺動運動而改變的點。在圖25和圖26的情況下這是旋轉(zhuǎn)軸承145的中心點。因此，在前面給出的用于修正函數(shù)p的等式中，矢量t由矢量cA+tA的和取代。因此得出用于傳遞函數(shù)或修正函數(shù)p的擴展的等式：p＝P+cA+tA+fK(u–uT1)該等式首先僅適用于唯一一個旋轉(zhuǎn)位置。在探測頭旋轉(zhuǎn)運動到的另一旋轉(zhuǎn)位置中之后，由于擺動運動通常得出另一測量值u進而得出用于在探觸工件時探測器的偏轉(zhuǎn)的另一中間位置UT2?，F(xiàn)在，能夠重新實施一校準過程，也就是說獲知用于改變了的中間位置的修正函數(shù)fK。如以下描述的，擺動誤差可以通過在修正函數(shù)中的自己的、配屬的修正分量來考慮。在假設(shè)擺動誤差僅導(dǎo)致桿134的縱軸線相對于旋轉(zhuǎn)軸線R的垂直線的小角度的情況下，能夠良好近似地算出桿134的縱軸線基于擺動運動旋轉(zhuǎn)運動的旋轉(zhuǎn)角度ry。旋轉(zhuǎn)角度ry從等式tanrY＝(u-uT)/d得出。在此，u-uT是該測量值與針對中間位置的測量值的差。擺動角度ry能夠為了確定相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)矩陣而使用到上面提出的等式(5)中。在此，d標明擺動支點與支承點L的間距(見圖25)。旋轉(zhuǎn)矩陣在上面用DA標明。因此，總體得出修正函數(shù)p：p＝P+cA+DA(tA+fK(u–uT1))換句話說，用于修正擺動誤差的旋轉(zhuǎn)矩陣DA作用于矢量tA和校準函數(shù)fK的和，該校準函數(shù)fK基于相應(yīng)測量信號或測量值與第一旋轉(zhuǎn)位置中的中間位置的測量值的差。在擺動誤差的較大導(dǎo)致擺動角度ry不再能夠被看作小的情況下，支承點L的相應(yīng)移動能夠附加地在該等式中考慮。借助圖21至24描述了一種測量系統(tǒng)，該測量系統(tǒng)能夠分別對于離散的、預(yù)給定的旋轉(zhuǎn)位置確定傳感器承載件(在實施例中為桿134)的精確位置。這種方案能夠轉(zhuǎn)用到其它應(yīng)用情況上。例如傳感器和/或測量體不必既用于精確確定承載件或與該承載件連接的部分也用于確定探測器在探觸工件時的偏轉(zhuǎn)。例如在上面已經(jīng)提到的、旋轉(zhuǎn)裝置的其它另外構(gòu)型情況下或在上面已經(jīng)提到的、旋轉(zhuǎn)裝置的其它使用方案中也可以使用該原理。工件(例如旋轉(zhuǎn)臺)的能夠基于旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)的保持裝置或承載件例如可以具有離散的預(yù)給定旋轉(zhuǎn)位置，并且，借助于該測量系統(tǒng)能夠測量并修正精確的、例如能夠由于旋轉(zhuǎn)裝置負載工件而改變或者能夠基于其它影響而改變的旋轉(zhuǎn)位置。