液晶陣列檢查裝置以及液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法
【專利摘要】本發(fā)明消除基于移動臺的移動分辨率產(chǎn)生的拍攝范圍的累積誤差，使液晶陣列檢查中的缺陷檢測的位置精度提高。本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對所述液晶基板照射電子束等帶電粒子獲得的二次電子等信號來拍攝液晶基板，基于通過拍攝獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列，且所述液晶陣列檢查裝置檢測使液晶基板移動的移動部的移動變動，基于該移動變動而修正移動部的移動速度及各拍攝時的移動間隔，并修正累積誤差，所述累積誤差是基于伴隨移動間隔的修正的移動分辨率產(chǎn)生的誤差量累積而產(chǎn)生的。累積誤差的修正是通過在多次的拍攝中每當(dāng)規(guī)定的拍攝次數(shù)將移動間隔修正僅移動部的移動分辨率的量而進(jìn)行。
【專利說明】液晶陣列檢查裝置以及液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種使用對液晶基板上進(jìn)行拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶陣列(array)的液晶陣列檢查裝置，尤其是涉及拍攝圖像的獲取。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶陣列檢查裝置中，可使用掃描圖像，該掃描圖像是將電子束(eIectronbeam)或離子束(ion beam)等帶電粒子束在基板上二維地掃描而獲得的。
[0003]例如，在用于薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)顯示裝置的TFT陣列基板的制造步驟中，檢查所制造的TFT陣列基板要進(jìn)行是否會正確地驅(qū)動。在該TFT陣列基板檢查中，使用例如電子束作為帶電粒子束對TFT陣列基板進(jìn)行掃描，并基于通過掃描而獲取的拍攝圖像來進(jìn)行檢查。(專利文獻(xiàn)1、2)
[0004]作為陣列檢查裝置的示例，已知有如下的陣列檢查裝置，即，例如對檢查對象的液晶基板的陣列施加檢查信號，將電子束或離子束等帶電粒子束在基板上二維地掃描，基于通過粒子束掃描而獲得的拍攝圖像來進(jìn)行基板檢查。在陣列檢查中，利用光電倍增管(photomultiplier)等將通過電子束的照射而發(fā)射出的二次電子轉(zhuǎn)換為模擬(analog)信號而進(jìn)行檢測，基于該檢測信號的信號強度來判定陣列缺陷。
[0005]陣列檢查是檢測通過掃描而獲得的拍攝圖像上的像素(pixel)位置，并基于所檢測的像素位置上的拍攝圖像的信號強度而進(jìn)行。像素位置的檢測是通過如下方式進(jìn)行:對拍攝圖像進(jìn)行圖像處理而檢測像素坐標(biāo)，配合設(shè)定在液晶基板的像素配置排列所檢測出的像素坐標(biāo)。
[0006]當(dāng)在拍攝圖像上檢測像素位置時，存在拍攝圖像上的像素位置因載置液晶基板的臺(stage)的移動誤差等而產(chǎn)生位置偏差的情況。如此一來，如果基于產(chǎn)生位置偏差的拍攝圖像來檢測像素位置，有時會產(chǎn)生如下不良情況:相對于基板而設(shè)定的像素位置與檢測出的像素位置之間產(chǎn)生偏差，而相對于所設(shè)定的像素位置不同的像素建立對應(yīng)關(guān)系。所檢測出的像素位置的位置偏差成為使缺陷檢測的精度降低的因素，且會產(chǎn)生將缺陷像素判定為正常、或?qū)⒄Ｏ袼嘏卸槿毕莸儒e誤判定。
[0007]因此，為了消除這種不良情況以提高缺陷的檢測精度，而對拍攝圖像要求較高的位置精度。
[0008]【背景技術(shù)】文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)
[0010]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2004-271516號公報
[0011]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2004-309488號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0012][發(fā)明所要解決的問題][0013]液晶基板的拍攝圖像是通過使載置著液晶基板的移動臺移動并且利用帶電粒子對液晶基板上進(jìn)行掃描而進(jìn)行。在通過將帶電粒子在基板上掃描而獲取液晶基板的拍攝圖像的情況下，由一次掃描的拍攝動作所獲取的拍攝范圍有限。
[0014]因此，為了針對液晶基板的整體獲取拍攝圖像，必須通過重復(fù)拍攝動作而獲取各拍攝范圍的拍攝圖像，并將這些多個拍攝圖像相連。
[0015]如此一來，在要通過將多個拍攝圖像相連而針對液晶基板的整體獲取拍攝圖像時，要求各拍攝圖像不存在位置偏差。
[0016]然而，因為通常情況下臺動作等機械動作包含誤差，所以因該誤差而導(dǎo)致拍攝圖像產(chǎn)生位置偏差。作為由機械動作所引起的位置偏差的因素，有驅(qū)動移動臺的滾珠絲杠(ball screw)等驅(qū)動機構(gòu)的膨脹。為了抑制這種拍攝圖像的位置偏差的產(chǎn)生，必須修正拍攝動作的位置偏差。
[0017] 為了修正該拍攝動作的位置偏差，而考慮在移動臺上的預(yù)先決定的位置上設(shè)置標(biāo)記(mark)，在移動臺的動作中利用固定在檢查裝置側(cè)的相機等攝影單元識別該標(biāo)記，將在攝影圖像上被檢測出的標(biāo)記位置與標(biāo)記的基準(zhǔn)位置進(jìn)行比較，由此檢測位置偏差并基于所檢測出的位置偏差而修正拍攝動作。
[0018]作為該拍攝動作的修正，考慮基于根據(jù)標(biāo)記的識別求出的位置偏差而算出移動臺的實際移動距離，并使用算出的實際移動間隔而修正移動臺的移動速度或拍攝范圍。
[0019]圖11、圖12是用以對通過修正移動臺的移動速度或拍攝范圍而進(jìn)行的位置偏差修正進(jìn)行說明的圖。
[0020]圖11表不移動臺未產(chǎn)生位置偏差的情況的不例，圖12表不移動臺產(chǎn)生位置偏差的情況的示例。
[0021]在圖11中，在移動臺未產(chǎn)生位置偏差的情況下，標(biāo)記的設(shè)定位置(圖11 (a))與由固定相機進(jìn)行攝影而檢測出的標(biāo)記的位置(圖11 (b))之間未產(chǎn)生位置偏差。在該情況下，進(jìn)行各拍攝動作的臺位置的移動間隔為固定的Ltl (圖11 (C))。拍攝動作是基于該固定的移動間隔Lci而產(chǎn)生拍攝觸發(fā)(trigger)(圖11 (d))，并基于各拍攝觸發(fā)進(jìn)行拍攝。此外，拍攝觸發(fā)可以在對移動臺的移動量進(jìn)行監(jiān)控且該移動量成為移動間隔Ltl的時間點產(chǎn)生。各拍攝的拍攝徂圍是對應(yīng)于移動臺的移動間隔L。而決定(圖11 (e)),通過以該拍攝徂圍進(jìn)打拍攝而犾取拍攝圖像(圖11 (f))。
[0022]在移動臺不產(chǎn)生位置偏差的情況下，因為多個拍攝圖像之間不產(chǎn)生位置偏差，所以可以通過將各拍攝圖像相連而獲取基板的整體的拍攝圖像。
[0023]在圖12中，在移動臺產(chǎn)生位置偏差的情況下，在標(biāo)記的設(shè)定位置(圖12 (a))與由固定相機進(jìn)行攝影而檢測出的標(biāo)記的位置(圖12(b))之間檢測到位置偏差A(yù)l。該位置偏差A(yù)l表示例如從移動臺的端部等基準(zhǔn)位置到標(biāo)記為止的距離之間產(chǎn)生的位置偏差量。
[0024]基于該位置偏差Λ I而修正移動臺的移動速度并且修正拍攝范圍。通過拍攝范圍的修正而將進(jìn)行各拍攝動作的臺位置的移動間隔修正為Lc (圖12 (C))。拍攝動作是基于修正后的修正移動間隔Lc而產(chǎn)生拍攝觸發(fā)(圖12(d))，并基于各拍攝觸發(fā)進(jìn)行拍攝。此外，拍攝觸發(fā)可以在對移動臺的移動量進(jìn)行監(jiān)控且該移動量成為修正移動間隔Lc的時間點產(chǎn)生。各拍攝的拍攝范圍是對應(yīng)于移動臺的修正移動間隔Lc而決定(圖12(e))，通過將以各拍攝范圍所獲得的拍攝圖像相連而獲取整個拍攝圖像(圖12 (f))。[0025] 本申請的
【發(fā)明者】發(fā)現(xiàn)，存在即便通過如上所述那樣修正移動臺的移動速度或拍攝范圍，也無法充分地修正移動臺的位置偏差的情況，以及作為該情況的因素，有因修正量與移動臺的移動分辨率的偏差而產(chǎn)生的修正誤差的累積。
[0026]移動臺的位置修正是以移動分辨率為最小單位而進(jìn)行。因此，只要位置偏差的修正量為移動分辨率的整數(shù)倍便可準(zhǔn)確地將修正量修正，但在位置偏差的修正量并非移動分辨率的整數(shù)倍的情況下，在各拍攝范圍內(nèi)會產(chǎn)生修正誤差，且各拍攝范圍的修正誤差在整個拍攝范圍內(nèi)會累積而產(chǎn)生累積誤差。
[0027]以該移動臺的驅(qū)動機構(gòu)的移動分辨率為因素的位置偏差的累積誤差是即便僅修正移動臺的移動速度或拍攝范圍也無法被修正的位置誤差。
[0028]圖13、圖14是用以對累積誤差進(jìn)行說明的圖，圖13表不正累積誤差的不例，圖14表不負(fù)累積誤差的不例。
[0029]在圖13、圖14中，通過標(biāo)記的設(shè)定位置(圖13 (a)、圖14 (a))與由固定相機進(jìn)行攝影而檢測出的標(biāo)記的位置(圖13 (b)、圖14 (b))之間的位置偏差A(yù)l而檢測移動臺的位置偏差?；谠撐恢闷預(yù)l而修正移動臺的移動速度并且修正拍攝范圍。在拍攝范圍的修正中，移動臺可修正的移動間隔的修正量為移動臺的移動分辨率s的整數(shù)倍N。
[0030]通過計算獲得的修正后的移動間隔相對于Lc，實際的移動臺的移動間隔基于移動分辨率而產(chǎn)生dL的誤差。圖13 (c)表示實際的移動臺的修正移動間隔Lc+通過計算獲得的修正后的移動間隔與Lc比較亦較長的情況，圖14 (c)表示實際的移動臺的修正移動間隔Lc—通過計算獲得的修正后的移動間隔與Lc比較亦較短的情況。
[0031]拍攝動作是基于修正后的修正移動間隔Lc+、Lc_而產(chǎn)生拍攝觸發(fā)(圖13(d)、圖14(d))，并基于各拍攝觸發(fā)進(jìn)行拍攝。此外，拍攝觸發(fā)可以在對移動臺的移動量進(jìn)行監(jiān)控且該移動量成為修正移動間隔Lc+、Lc-的時間點產(chǎn)生。各拍攝的拍攝范圍是對應(yīng)于移動臺的修正移動間隔Lc+、Lc_而決定(圖13 (e)、圖14 (e))，通過將以各拍攝范圍所獲得的拍攝圖像相連而獲取整個拍攝圖像(圖13 (f)、圖14 (f))。
[0032]將各拍攝圖像相連而獲得的整個拍攝圖像會具有在各拍攝圖像中產(chǎn)生的誤差量dl累積而成的累積誤差，在圖13所示的情況下整個拍攝圖像與目標(biāo)的拍攝范圍比較長出僅累積誤差的量，在圖14所示的情況下整個拍攝圖像與目標(biāo)的拍攝范圍比較短了僅累積
誤差的量。
[0033]圖15是用以對累積誤差進(jìn)行說明的圖。圖15 (a)表示不存在移動臺的移動機構(gòu)的累積誤差的情況，圖15 (b)表示產(chǎn)生正累積誤差的情況，圖15 (c)表示產(chǎn)生負(fù)累積誤差的情況。
[0034]在圖15 (a)的不存在移動臺的移動機構(gòu)的膨脹量的情況下，通過各拍攝觸發(fā)進(jìn)行拍攝的拍攝范圍為U，整個拍攝范圍成為M.U。此外，M表示用以獲取整個拍攝范圍的拍攝次數(shù)。
[0035]在圖15 (b)的產(chǎn)生正累積誤差的情況下，在各拍攝中產(chǎn)生的誤差量dl (= Lc+ -Lc)累積而產(chǎn)生累積誤差，在圖15 (c)的產(chǎn)生負(fù)累積誤差的情況下，在各拍攝中產(chǎn)生的誤差量dl (= Lc - Lc_)累積而產(chǎn)生累積誤差。
[0036]如此一來，若在相連而獲得的整個拍攝圖像與目標(biāo)的拍攝范圍之間產(chǎn)生累積誤差的長度的偏差，那么在基于該整個拍攝圖像來決定像素位置時，與實際的像素值之間會產(chǎn)生位置偏差，當(dāng)基于具有位置偏差的像素位置進(jìn)行缺陷檢查時，缺陷位置會產(chǎn)生錯誤。
[0037]因此，本發(fā)明可以解決所述先前的問題點，消除基于移動臺的移動分辨率而產(chǎn)生的拍攝范圍的累積誤差，從而可使液晶陣列檢查中的缺陷檢測的位置精度提高。
[0038][解決問題的技術(shù)手段]
[0039]本發(fā)明是一種液晶陣列檢查裝置，對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對所述液晶基板照射電子束等帶電粒子而獲得的二次電子等信號來對液晶基板進(jìn)行拍攝，基于通過所述拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列，且檢測使液晶基板移動的移動部的移動變動，對基于該移動變動而修正移動部的移動速度及進(jìn)行各拍攝時的移動間隔進(jìn)行修正，并且修正伴隨移動間隔的修正基于移動分辨率而產(chǎn)生的誤差量累積產(chǎn)生的累積誤差。累積誤差的修正是通過在多次進(jìn)行的拍攝中每當(dāng)規(guī)定的拍攝次數(shù)將移動間隔修正僅移動部的移動分辨率的量而進(jìn)行。
[0040]移動間隔的修正例如可以通過將在整個拍攝范圍內(nèi)產(chǎn)生的累積誤差除以移動分辨率而算出修正次數(shù)，并通過將所有拍攝次數(shù)除以算出的修正次數(shù)而求出進(jìn)行移動間隔的修正的拍攝間隔。
[0041]本發(fā)明可以設(shè)為液晶陣列檢查裝置的實施方式、及液晶陣列檢查方法的實施方式。
[0042]本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的實施方式是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對液晶基板照射帶電粒子束而獲得的信號來對液晶基板進(jìn)行拍攝，基于通過該拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列的液晶陣列檢查裝置，且包括移動部、拍攝部、拍攝圖像形成部、變動檢測部、以及拍攝修正部各部。帶電粒子可以設(shè)為電子束，且將這時獲得的二次電子作為檢測信號進(jìn)行檢測。
[0043]移動部為移動液晶基板的構(gòu)成要素，例如可以設(shè)為載置液晶基板并進(jìn)行移動的移動臺。移動臺除可以設(shè)為在XY方向的二維方向上移動自如的臺機構(gòu)以外，也可以設(shè)為在XY方向的移動上增加Z方向的移動的三維方向上移動自如的臺機構(gòu)。
[0044]拍攝部為對液晶基板分割地進(jìn)行拍攝的構(gòu)成要素，且每當(dāng)隨著由移動部移動液晶基板而液晶基板移動規(guī)定的移動間隔量的距尚時開始拍攝。拍攝部每當(dāng)開始拍攝時，將移動間隔量作為拍攝范圍而進(jìn)行拍攝，并在各拍攝動作中重復(fù)將移動間隔作為拍攝范圍的拍攝動作。通過重復(fù)進(jìn)行的拍攝動作而獲取多個分割拍攝圖像。
[0045]拍攝圖像形成部將由拍攝部獲取的多個分割拍攝圖像相連而形成一個結(jié)合拍攝圖像。
[0046]變動檢測部檢測移動部的移動變動。移動變動中也包含因移動部的移動機構(gòu)膨脹而產(chǎn)生的變動部分。
[0047]拍攝修正部是基于由變動檢測部檢測出的移動部的移動變動的變動幅度及變動方向而修正拍攝部犾取拍攝圖像時的拍攝條件。
[0048]在對本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置一實施方式中，移動部包括載置液晶基板并進(jìn)行移動的移動臺，拍攝修正部是將決定拍攝范圍的移動間隔作為拍攝條件，且基于移動部的移動變動而進(jìn)行修正。
[0049]拍攝修正部包括:移動間隔修正部，對移動間隔進(jìn)行修正；以及累積誤差修正部，修正因由移動間隔修正部所引起的移動間隔的修正誤差累積而產(chǎn)生的累積誤差。[0050]移動間隔修正部是基于變動檢測部所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而針對移動間隔算出修正移動間隔。累積誤差修正部是將移動臺的最小分辨率的大小作為修正量，并對由移動間隔修正部算出的修正移動間隔增減修正量而修正累積誤差。
[0051]累積誤差修正部是在每規(guī)定次拍攝時對修正移動間隔進(jìn)行修正量的增減。修正量的增減量及增減次數(shù)是基于移動變動的變動幅度及變動方向而算出。
[0052]變動檢測部的一實施方式包括固定在液晶陣列檢查裝置上的攝影單元。攝影單元對設(shè)置在移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影，基于攝影圖像中的標(biāo)記圖像的位置偏差而檢測移動部的移動變動。
[0053]拍攝修正部除包括所述移動間隔修正部及累積誤差修正部以外，也可以包括修正移動臺的移動速度的速度修正部。速度修正部是基于變動檢測部所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而算出修正速度。
[0054]本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的特征在于拍攝修正部中包括累積誤差修正部，通過將移動臺的最小分辨率的大小作為修正量，并對由移動間隔修正部算出的修正移動間隔增減修正量，而修正在進(jìn)行分割拍攝時，每當(dāng)移動間隔修正部進(jìn)行修正時所產(chǎn)生的誤差在整個拍攝圖像累積而形成的累積誤差。
[0055]其次，本發(fā)明的液晶陣列檢查方法的實施方式是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對液晶基板照射電子束等帶電粒子而獲得的二次電子等信號來對液晶基板進(jìn)行拍攝，基于通過拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列的液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法，且包括移動步驟、拍攝步驟、拍攝圖像形成步驟、變動檢測步驟、及拍攝修正步驟各步驟。
[0056]移動步驟是移動液晶基板。拍攝步驟是隨著通過移動步驟移動液晶基板而每當(dāng)液晶基板以規(guī)定的移動間隔移動時開始拍攝。每當(dāng)開始拍攝時，將移動間隔量作為拍攝范圍而進(jìn)行拍攝，且獲取一個分割拍攝圖像。通過在各拍攝動作中重復(fù)將移動間隔作為拍攝范圍的拍攝動作而獲取多個分割拍攝圖像。
[0057]在拍攝圖像形成步驟中，將拍攝步驟中所獲取的多個分割拍攝圖像相連而形成一個結(jié)合拍攝圖像。
[0058]變動檢測步驟是檢測在移動步驟中移動的液晶基板的移動變動。
[0059]拍攝修正步驟是基于在變動檢測步驟中檢測出的移動步驟中的液晶基板的移動變動的變動幅度及變動方向，而修正拍攝步驟獲取拍攝圖像時的拍攝條件。
[0060]在液晶陣列檢查方法的一實施方式中，移動步驟是將液晶基板載置在移動臺上而進(jìn)行移動，拍攝修正步驟是將決定拍攝范圍的移動間隔作為拍攝條件而修正拍攝動作。
[0061]拍攝修正步驟包括:移動間隔修正步驟，對移動間隔進(jìn)行修正；以及累積誤差修正步驟，修正因由移動間隔修正步驟所引起的移動間隔的修正誤差累積而產(chǎn)生的累積誤差。
[0062]移動間隔修正步驟是基于變動檢測步驟所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而針對移動間隔算出修正移動間隔。累積誤差修正步驟是將移動臺的最小分辨率的大小作為修正量，并對在移動間隔修正步驟中算出的修正移動間隔增減該修正量而修正累積誤差。
[0063]累積誤差修正步驟是在每規(guī)定次拍攝時對修正移動間隔進(jìn)行修正量的增減。修正量的增減量及增減次數(shù)可以基于移動變動的變動幅度及變動方向而算出。
[0064]變動檢測步驟是利用固定在液晶陣列檢查裝置上的攝影單元對設(shè)置在移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影，基于攝影圖像中的標(biāo)記圖像的位置偏差而檢測移動步驟的移動變動。
[0065]拍攝修正步驟除包括移動間隔修正步驟及累積誤差修正步驟以外，也可以包括修正移動臺的移動速度的速度修正步驟。速度修正步驟是基于變動檢測步驟所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而算出修正速度并進(jìn)行速度修正。
[0066][發(fā)明的效果]
[0067]根據(jù)本發(fā)明，可以消除基于移動臺的移動分辨率而產(chǎn)生的拍攝范圍的累積誤差，從而使液晶基板的缺陷檢測的位置精度提聞。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0068]圖1是用以對本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的構(gòu)成例進(jìn)行說明的概略框圖。
[0069]圖2是用以對利用本發(fā)明的液晶檢查裝置所進(jìn)行的概略處理進(jìn)行說明的流程圖。
[0070]圖3是用以對利用本發(fā)明的液晶檢查裝置所進(jìn)行的概略處理進(jìn)行說明的動作說明圖。
[0071]圖4是用以對正累積誤差的修正進(jìn)行說明的圖。
[0072]圖5是用以對負(fù)累積誤差的修正進(jìn)行說明的圖。
[0073]圖6是用以對累積誤差的第一修正例進(jìn)行說明的流程圖。
[0074]圖7是用以對累積誤差的第一修正例進(jìn)行說明的圖。
[0075]圖8是用以對累積誤差的第二修正例進(jìn)行說明的流程圖。
[0076]圖9是用以對累積誤差的第二修正例進(jìn)行說明的圖。
[0077]圖10是用以對本發(fā)明的液晶檢查裝置的信號處理部的概略構(gòu)成例進(jìn)行說明的圖。
[0078]圖11是用以對通過修正移動臺的移動速度或拍攝范圍而進(jìn)行的位置偏差修正進(jìn)行說明的圖。
[0079]圖12是用以對通過修正移動臺的移動速度或拍攝范圍而進(jìn)行的位置偏差修正進(jìn)行說明的圖。
[0080]圖13是用以對通過修正移動臺的移動速度或拍攝范圍而進(jìn)行的位置偏差修正進(jìn)行說明的圖。
[0081]圖14是用以對通過修正移動臺的移動速度或拍攝范圍而進(jìn)行的位置偏差修正進(jìn)行說明的圖。
[0082]圖15是用以對累積誤差進(jìn)行說明的比較圖。
【具體實施方式】
[0083]以下，一面參照圖一面對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0084]使用圖1的概略說明圖對本發(fā)明的液晶檢查裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說明，使用圖2的流程圖及圖3的動作說明圖對利用本發(fā)明的液晶檢查裝置所進(jìn)行的概略處理進(jìn)行說明。
[0085]圖1是用以對本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的構(gòu)成例進(jìn)行說明的概略框圖。此外，在圖1所示的例中，示出對液晶基板照射電子束，且檢測從液晶基板發(fā)射出的二次電子并根據(jù)檢測強度而獲取拍攝圖像的構(gòu)成例。
[0086]在圖1中，液晶陣列檢查裝置I包括:移動臺2，載置液晶基板100且設(shè)為在XY方向上搬送自如；電子槍3A，與移動臺2隔開而配置在移動臺2的上方位置；及檢測器3B，檢測從液晶基板100的面板101的像素(未圖示)發(fā)射出的二次電子。
[0087]移動臺2是由臺驅(qū)動控制部4驅(qū)動而控制，電子槍3A由拍攝控制部3C控制電子束的照射及液晶基板100上的掃描。在檢測器3B檢測出的二次電子的檢測信號由信號處理部10進(jìn)行處理，且在檢查部20中被用于像素的缺陷判定等檢查。電子槍3A、檢測器3B、及拍攝控制部3C構(gòu)成拍攝部3,犾取液晶基板的拍攝圖像。
[0088]拍攝控制部3C、臺驅(qū)動控制部4、信號處理部10、檢查部20各部的驅(qū)動動作是由控制部9而控制。而且，控制部9具有進(jìn)行包含液晶陣列檢查裝置I整體的動作的控制的功能，且可以由進(jìn)行這些控制的中央處理單元(Central Processing Unit, CPU)及存儲控制CPU的程序的存儲器等構(gòu)成。
[0089]移動臺2載置液晶基板100并且通過臺驅(qū)動控制部4而在X軸方向及Y軸方向上移動自如。而且，可以通過拍攝控制部3C而使從電子槍3A照射的電子束偏向X軸方向或Y軸方向。通過臺驅(qū)動控制部4及拍攝控制部3C單獨或合作的動作而使電子束在液晶基板100上掃描，從而獲取液晶基板100的拍攝圖像。固定相機5是對設(shè)置在移動臺2上的標(biāo)記進(jìn)行拍攝。 [0090] 圖2、圖3是用以對在本發(fā)明的液晶陣列檢查中，算出用以在獲取拍攝圖像時修正移動臺的位置偏差的修正量的順序進(jìn)行說明的流程圖及說明圖。
[0091]算出修正量的順序是利用SI~S4的步驟求出移動臺的位置偏差量AL，利用S5的步驟基于在SI~S4的步驟中求出的位置偏差Λ L而算出修正移動臺的移動速度的修正速度，利用S6、S7的步驟算出對決定拍攝間隔的移動臺的移動間隔L進(jìn)行修正的修正移動間隔、及修正累積誤差的修正動作的頻率。
[0092]在S6的步驟中，基于在SI~S4的步驟中求出的位置偏差Λ L而算出對決定拍攝間隔的移動臺的移動間隔L進(jìn)行修正的修正移動間隔Lc。在S7的步驟中，算出為了修正累積誤差所進(jìn)行的修正動作的頻率，該累積誤差是當(dāng)以在S6的步驟中算出的修正移動間隔Lc對移動間隔進(jìn)行修正時，因移動臺的移動分辨率而產(chǎn)生。
[0093]這里，對于移動臺預(yù)先設(shè)定了 Vtl作為設(shè)定臺速度，且預(yù)先設(shè)定了 Ltl作為決定各拍攝間隔的移動臺的移動距離。由此，移動臺以設(shè)定臺速度Vtl進(jìn)行移動，并且每當(dāng)移動臺移動了移動距離Ltl時產(chǎn)生拍攝觸發(fā)，接收該拍攝觸發(fā)而進(jìn)行拍攝動作，從而獲取與移動距離Ltl對應(yīng)的拍攝范圍的拍攝圖像。通過重復(fù)該移動臺的移動、拍攝觸發(fā)的產(chǎn)生、及利用拍攝觸發(fā)所進(jìn)行的拍攝圖像的獲取，而獲取整個拍攝范圍的拍攝圖像。
[0094]圖3 (a)是表不拍攝動作的概略的圖，一面使移動臺2移動一面掃描基板100上的面板101而進(jìn)行拍攝，整個拍攝范圍是通過將利用多次拍攝動作而獲得的多個拍攝圖像相連而獲取。
[0095]因此，在移動臺的移動速度不存在變動，且移動臺不存在位置偏差的情況下，每當(dāng)移動臺以移動距離Ltl的量移動時產(chǎn)生拍攝觸發(fā)而進(jìn)行拍攝動作，從而獲取利用各拍攝動作獲得的多個拍攝圖像并將這些拍攝圖像相連，由此可以獲得像素中不存在位置偏差的整個拍攝圖像。[0096]另一方面，在有移動臺的移動速度的變動或移動臺的位置偏差等誤差因素的情況下，因這些誤差而導(dǎo)致利用各拍攝動作獲得的拍攝圖像中包含位置偏差。如果獲取這些具有位置偏差的多個拍攝圖像并將這些拍攝圖像相連而形成整個拍攝圖像，且基于該整個拍攝圖像來確定像素位置，那么像素位置會產(chǎn)生位置偏差，而無法決定準(zhǔn)確的像素位置。
[0097]因此，為了檢測移動臺的位置偏差，而在移動臺的規(guī)定位置預(yù)先設(shè)置位置偏差檢測用標(biāo)記，基于該標(biāo)記而檢測移動臺的移動速度的變動或移動臺的位置偏差。
[0098]在將移動臺定位在例如端部位置等基準(zhǔn)位置之后，開始移動臺的移動(SI)。在開始移動臺的移動之后，監(jiān)控移動臺的移動量。移動臺的移動量可以基于例如移動臺所包括的編碼器(encoder)的輸出、或驅(qū)動移動臺的移動機構(gòu)的電動機(motor)的旋轉(zhuǎn)量而進(jìn)行監(jiān)控。
[0099]在所監(jiān)控到的移動量達(dá)到預(yù)先設(shè)定的移動距離La的時間點(S2)，利用固定相機對設(shè)置在移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影。設(shè)定移動距離La可以設(shè)為例如基準(zhǔn)位置與標(biāo)記之間的距離，且設(shè)定在可以利用固定相機對標(biāo)記進(jìn)行攝影的位置。利用固定在液晶陣列檢查裝置側(cè)的固定相機對設(shè)置在移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影(S3)，求出攝影圖像上的標(biāo)記位置與預(yù)先設(shè)定的標(biāo)記位置的差。
[0100]在圖3 (a)中，利用固定相機5對設(shè)置在移動臺2的標(biāo)記102進(jìn)行攝影。圖3 (b)示出利用固定相機所得的圖像例。在圖像例中，圖像上的標(biāo)記位置位于與預(yù)先決定的標(biāo)記位置偏差了僅位置偏差Δ1的位置。
[0101]在移動臺的移動速度或位置不存在偏差的情況下，攝影圖像上的標(biāo)記位置與預(yù)先設(shè)定的標(biāo)記位置為同一位置。另一方面，在移動臺的移動速度或位置存在偏差的情況下，攝影圖像上的標(biāo)記位置成為與預(yù)先設(shè)定的標(biāo)記位置產(chǎn)生偏差的位置，該偏差量取決于移動速度或位置偏差量。
[0102]因為攝影圖像上的標(biāo)記位置與預(yù)先設(shè)定的標(biāo)記位置的位置偏差量Al為相對于與基準(zhǔn)位置相距的移動距離La的位置偏差量，所以算出相對于拍攝范圍整體的位置偏差量AL。該位置偏差量AL可以通過例如將標(biāo)記位置的位置偏差量Λ I與(整個拍攝范圍的長度/移動距離La)的比相乘而求出。
[0103]此外，在整個拍攝范圍的長度與移動距離La的比率為已知的情況下，可以通過以運算式或數(shù)據(jù)表的形式預(yù)先求出并存儲標(biāo)記位置的位置偏差量Al與相對于拍攝范圍整體的位置偏差量AL的關(guān)系，將所述比率作為參數(shù)進(jìn)行運算或讀出而求出(S4)。
[0104]在S5的算出速度的修正量的步驟中，變動速度V是由下式表示:
[0105]V = (L0 + Δ I) / Δ t = V。十 Δ V
[0106]在所述式中，Lci為移動臺的規(guī)定的移動距離，Δ I為標(biāo)記位置的位置偏差量，At為移動臺移動規(guī)定的移動距離Ltl所需要的時間，V0為設(shè)定臺速度，Av為速度變動量。
[0107]因為移動臺的速度修正可以通過削減速度變動量Λ V而進(jìn)行，所以速度修正量vc能以
[0108]vc = - Δ V
[0109]表示。
[0110]接下來，在S6的步驟中，算 出對移動間隔L進(jìn)行修正所得的修正移動間隔。在S4的步驟中算出的位置偏差量AL為相對于拍攝范圍整體的位置偏差量。在將該位置偏差量AL分散到各拍攝圖像而進(jìn)行修正時，將位置偏差量AL除以M次而算出各拍攝中的修正量AL/M，以修正量Λ L/M修正各拍攝的移動間隔而算出修正移動間隔Lc。這里，M為多個拍攝圖像的個數(shù)。
[0111]因此，為了獲取各拍攝圖像的拍攝范圍，移動臺所移動的修正移動間隔Lc是以
[0112]Lc = L0 + Δ L/M
[0113]表示。
[0114]這里，AL/M表示修正各拍攝范圍的修正量。圖3 (C)表示所設(shè)定的移動間隔L、修正移動間隔Lc與修正量AL/M的關(guān)系。
[0115]修正移動間隔Lc的修正可以通過使開始拍攝動作的拍攝觸發(fā)移位僅修正量AL/M而進(jìn)行(S6)。
[0116]這里，在移動臺具有可以準(zhǔn)確地移動修正量AL/M的移動分辨率的情況下，可以恰好地將移動間隔修正，然而，因為驅(qū)動移動臺的驅(qū)動機構(gòu)的移動分辨率存在極限，所以在修正量△ L/M并非移動分辨率的整數(shù)倍的情況下，每當(dāng)進(jìn)行修正時會產(chǎn)生修正誤差。
[0117]在將移動臺的移動分辨率設(shè)為s時，移動臺可修正的修正量為分辨率s的整數(shù)倍即(η.S)。因此,移動臺所移動的修正移動間隔的修正量AL/M是由下式表示:
[0118]Δ L/M = η.s + δ
[0119]這里，δ (<s)表示修正誤差量。
[0120]因此，在各拍攝范圍內(nèi)，每次進(jìn)行修正時會產(chǎn)生最大不到移動分辨率s的修正誤差。因該修正誤差而在拍攝范圍的整體內(nèi)會產(chǎn)生最大相當(dāng)于M.s的累積誤差。
[0121]此外，因為對+方向累積誤差與-方向的累積誤差以一拍攝范圍的一半大小為邊界而成為相同大小，所以累積誤差最大為一拍攝范圍的一半大小。
[0122]通過修正在S6中算出的修正移動間隔而消除累積誤差。該累積誤差的修正是通過如下方式進(jìn)行，即，在多次拍攝動作中，每當(dāng)規(guī)定的拍攝次數(shù)將在S6的步驟中算出的修正移動間隔Lc修正僅臺的移動分辨率s的量，且利用由此所得的修正移動間隔Lcc來設(shè)定拍攝范圍。
[0123]決定各拍攝范圍的移動間隔通過該修正移動間隔的修正而成為在S6中算出的修正移動間隔Lc與修正移動間隔Lcc的組合。將修正移動間隔Lc與修正移動間隔Lcc變更的頻率可以根據(jù)累積誤差的大小及移動分辨率而算出。通過每當(dāng)規(guī)定次數(shù)將修正移動間隔Lc變更為修正移動間隔Lcc而消除累積誤差。圖3 (d)示出導(dǎo)入了修正移動間隔Lcc的狀態(tài)(S7)。
[0124]接下來，使用圖4、圖5對累積誤差的修正進(jìn)行說明。圖4表示消除正累積誤差的情況，圖5表示消除負(fù)累積誤差的情況。
[0125]在累積誤差為+方向的正累積誤差的情況下，整個拍攝范圍與不存在累積誤差的情況的拍攝范圍相比亦較長。通過將修正移動間隔Lc設(shè)為修正移動間隔Lcc ? Lc)而修正該增加量。
[0126]在圖4 (C)中，在規(guī)定次數(shù)的修正移動間隔Lc之后導(dǎo)入修正移動間隔Lcc < Lc),基于該修正移動間隔Lc、Lcc產(chǎn)生拍攝觸發(fā)(圖4(d))而在拍攝范圍內(nèi)進(jìn)行拍攝(圖4(e))。由此，獲取消除了累積誤差的整個拍攝范圍(圖4 (f))。
[0127]在累積誤差為-方向的負(fù)累積誤差的情況下，整個拍攝范圍與不存在累積誤差的情況的拍攝范圍相比亦較短。通過將修正移動間隔Lc設(shè)為修正移動間隔Lcc O Lc)而修正該減少量。
[0128]圖15 (d)表示修正了累積誤差的情況。根據(jù)圖15 (d)，示出修正圖15 (b)、圖15(C)的累積誤差且拍攝圖像的拍攝范圍與圖15 (a)所示的不存在累積誤差的情況相同。
[0129]在圖5(c)中，在規(guī)定次數(shù)的修正移動間隔Lc之后導(dǎo)入修正移動間隔Lcc(> Lc),基于該修正移動間隔Lc、修正移動間隔Lcc產(chǎn)生拍攝觸發(fā)(圖5 (d))而在拍攝范圍內(nèi)進(jìn)行拍攝(圖5 (e))。由此，獲取消除了累積誤差的整個拍攝范圍(圖5 (f))。
[0130]接下來，使用圖6、圖8的流程圖及圖7、圖9的說明圖對累積誤差的修正例進(jìn)行說明。
[0131]使用圖6、圖7對累積誤差的第一修正例進(jìn)行說明。
[0132]在第一修正例中，首先算出在一次拍攝中產(chǎn)生的修正誤差量dL。
[0133]該修正誤差量dL是以
[0134]dL = η.s — Δ L/M
[0135]表示。
[0136]這里，AL為相對于拍攝范圍的整體的位置偏差量，如S4的步驟所示，位置偏差量Δ L可以通過將標(biāo)記位置的位置偏差量Λ I與(整個拍攝范圍的長度/移動距離La)的比相乘而求出。M為多個拍攝圖像的個數(shù)，將位置偏差量AL除以M所得的AL/M表示每次拍攝的修正量(圖7 (a))。
[0137]在以移動臺的移動分辨率s修正該修正量AL/M的情況下，因為移動臺可修正的間隔量為移動分辨率s的整數(shù)η倍即(η.s)，所以修正誤差量dL是以(η.s 一 AL/M)表示(圖 7 (b)) (S6a)。
[0138]接下來，算出產(chǎn)生M次拍攝的累積誤差量dLL。
[0139]因為在S6a的步驟中算出的修正誤差量dL為在一拍攝范圍內(nèi)產(chǎn)生的修正誤差量，所以當(dāng)在各拍攝范圍內(nèi)均產(chǎn)生修正誤差量dL時，整個拍攝范圍的累積誤差量dLL能以
[0140]dLL = CdL.M)
[0141]表示(圖7 (c、d))。
[0142]接下來，算出對修正移動間隔Lc進(jìn)行修正的頻率。累積誤差量dLL的修正是通過將修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lcc而進(jìn)行。這里，示出相對于所有移動間隔均等地進(jìn)行向修正移動間隔Lcc的切換的示例，是每當(dāng)規(guī)定次數(shù)將修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lee。
[0143]一個修正移動間隔Lcc的修正是通過對修正移動間隔Lc增加或減少移動分辨率s的量而進(jìn)行。因此，通過將一個修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lcc，而將累積誤差量dLL修正僅移動分辨率s的量。
[0144]累積誤差量dLL可以通過將M個修正移動間隔Lc中的dLL/s (= dL.M/s)個修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lcc而進(jìn)行修正。
[0145]因此，在以均等間隔進(jìn)行修正移動間隔的切換的情況下，通過每當(dāng)M/ (dLL/s)=s/dL次將修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lcc而對累積誤差dLL進(jìn)行修正(圖7(e))(S6c)。
[0146]使用圖8、圖9對累積誤差的第二修正例進(jìn)行說明。[0147]在第二修正例中，與第一修正例同樣地，首先算出一次拍攝中產(chǎn)生的修正誤差量dL0
[0148]該修正誤差量dL是以
[0149]dL = η.s — Δ L/M
[0150]表示。
[0151]這里，AL為相對于拍攝范圍的整體的位置偏差量，如S4的步驟所示，位置偏差量Δ L可以通過將標(biāo)記位置的位置偏差量Λ I與(整個拍攝范圍的長度/移動距離La)的比相乘而求出。M為多個拍攝圖像的個數(shù)，將位置偏差量AL除以M所得的AL/M表示每次拍攝的修正量(圖9 (a))。
[0152]在以移動臺的移動分辨率s修正該修正量AL/M的情況下，因為移動臺可修正的間隔量為移動分辨率s的整數(shù)η倍即(η.s)，所以修正誤差量dl是以(η.s — AL/M)表示(圖 9 (b)) (S8A)。
[0153]接下來，算出累積誤差量dLL成為移動分辨率s的拍攝次數(shù)(S8B)。因為通過一次拍攝而產(chǎn)生的修正誤差量為dL，所以累積誤差量dLL通過s/dL次拍攝而成為移動分辨率s,且是由下式表示。
[0154]累積誤差量dLL = dL.(s/dL) = s
[0155]因此，可以通過在每s/dL次拍攝時將修正移動間隔Lc切換為修正移動間隔Lcc而對累積誤差進(jìn)行修正( 圖9 (C)至(e)) (S8C)。
[0156]使用圖10對本發(fā)明的液晶檢查裝置的信號處理部10的概略構(gòu)成例進(jìn)行說明。
[0157]信號處理部10包括:變動檢測部10A，檢測移動臺的移動變動；拍攝修正部10B，基于由變動檢測部IOA檢測出的移動臺的移動變動而修正拍攝部獲取拍攝圖像時的拍攝條件；以及拍攝圖像形成部10C，將多個分割拍攝圖像相連而形成一個結(jié)合拍攝圖像。
[0158]變動檢測部IOA包括:固定相機形成部10a，收取固定相機5的攝影信號而形成攝影圖像；以及臺標(biāo)記偏差量檢測部10b，基于攝影圖像而檢測設(shè)置在移動臺上的標(biāo)記的偏差量作為移動臺的移動變動。
[0159]拍攝修正部IOB包括速度修正部10c、移動間隔修正部IOd及累積誤差修正部10e、以及修正數(shù)據(jù)存儲部10f，且將移動臺的速度及形成拍攝觸發(fā)的移動間隔作為拍攝條件，基于通過變動檢測部IOA而形成的偏差量而修正這些拍攝條件。
[0160]速度修正部IOc基于偏差量而修正移動臺的速度。臺驅(qū)動控制部4基于速度修正部IOc的修正速度而進(jìn)行速度控制。
[0161]移動間隔修正部IOd基于偏差量而修正移動間隔，且修正進(jìn)行拍攝的拍攝觸發(fā)的時序，從而修正拍攝范圍。拍攝控制部3C基于移動間隔修正部IOd的修正移動間隔而進(jìn)行拍攝控制。
[0162]移動間隔修正部IOd所形成的修正移動間隔是由累積誤差修正部IOe修正累積誤差。移動間隔修正部IOd及累積誤差修正部IOe的修正處理可以使用存儲在修正數(shù)據(jù)存儲部IOf中的數(shù)據(jù)而進(jìn)行。
[0163]拍攝圖像形成部IOC包括接收檢測部3B的檢測信號的檢測信號獲取部10g、及根據(jù)所獲取的檢測信號而形成拍攝圖像的拍攝圖像形成部10h。拍攝圖像形成部IOh基于通過拍攝控制部3C而形成的拍攝觸發(fā)而進(jìn)行拍攝動作。[0164][工業(yè)上的可利用性]
[0165]本發(fā)明的計算處理并不限于液晶陣列檢查裝置，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體元件的基板檢查。
[0166][符號的說明]
[0167]1:液晶陣列檢查裝置
[0168]2:移動臺
[0169]3:拍攝部
[0170]3A:電子槍
[0171]3B:檢測部
[0172]3C:拍攝控制部
[0173]4:臺驅(qū)動控制部
[0174]5:固定相機
[0175]6:臺驅(qū)動控制部
[0176]9:控制部
[0177]10:信號處理部
[0178]IOA:變動檢測部
[0179]IOB:拍攝修正部
[0180]IOC:拍攝圖像形成部
[0181]IOa:固定相機圖像形成部
[0182]IOb:臺標(biāo)記偏差量檢測部
[0183]IOc:速度修正部
[0184]IOd:移動間隔修正部
[0185]IOe:累積誤差修正部
[0186]IOf:修正數(shù)據(jù)存儲部
[0187]IOg:檢測信號獲取部
[0188]IOh:拍攝圖像形成部
[0189]20:檢查部
[0190]100:液晶基板
[0191]101:面板
[0192]102:標(biāo)記
[0193]dL:修正誤差量
[0194]dLL:累積誤差量
[0195]L:移動間隔
[0196]La:設(shè)定移動距離
[0197]Lc、修正移動間隔
[0198]Lcc:修正移動間隔
[0199]L0:移動間隔
[0200]s:移動分辨率
[0201]V:變動速度[0202]vc:速度修正量
[0203]v0:設(shè)定臺速度
【權(quán)利要求】
1.一種液晶陣列檢查裝置，對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對所述液晶基板照射帶電粒子而獲得的信號來對液晶基板進(jìn)行拍攝，基于通過所述拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列；其特征在于包括: 移動部，移動所述液晶基板； 拍攝部，每當(dāng)隨著由所述移動部移動所述液晶基板而該液晶基板以規(guī)定的移動間隔移動時開始拍攝，并在各拍攝動作中重復(fù)將該移動間隔作為拍攝沮圍的拍攝動作而猶取多個分割拍攝圖像； 拍攝圖像形成部，將所述多個分割拍攝圖像相連而形成一個結(jié)合拍攝圖像； 變動檢測部，檢測所述移動部的移動變動；以及 拍攝修正部，基于由所述變動檢測部檢測出的所述移動部的移動變動而修正所述拍攝部獲取拍攝圖像時的拍攝條件；且 所述拍攝修正部基于所述移動變動的變動幅度及變動方向而修正所述拍攝條件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于:所述移動部包括載置液晶基板并進(jìn)行移動的移動臺； 所述拍攝修正部將決定拍攝范圍的移動間隔作為拍攝條件，且包括: 移動間隔修正部，修正所述移動間隔；以及 累積誤差修正部，修正累積誤差，所述累積誤差是因由所述移動間隔修正部所引起的移動間隔的修正誤差累積而產(chǎn)生的； 所述移動間隔修正部基于所述變動檢測部所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而針對所述移動間隔算出修正移動間隔； 所述累積誤差修正部將所述移動臺的最小分辨率的大小作為修正量，并對由所述移動間隔修正部算出的修正移動間隔增減該修正量而修正所述累積誤差。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于:所述累積誤差修正部是在每規(guī)定次的拍攝時對修正移動間隔進(jìn)行所述修正量的增減，該修正量的增減量及增減次數(shù)是基于移動變動的變動幅度及變動方向而算出。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于:所述變動檢測部包括固定在液晶陣列檢查裝置上的攝影單元， 所述攝影單元對設(shè)置在所述移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影，基于該攝影圖像中的標(biāo)記圖像的位置偏差而檢測移動部的移動變動。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于:所述拍攝修正部包括修正所述移動臺的移動速度的速度修正部， 該速度修正部基于所述變動檢測部所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而算出修正速度。
6.一種液晶陣列檢查 裝置的拍攝圖像獲取方法，對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號來驅(qū)動陣列，基于對所述液晶基板照射帶電粒子而獲得的信號來對液晶基板進(jìn)行拍攝，基于通過所述拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶基板的陣列；其特征在于包括: 移動步驟，移動所述液晶基板； 拍攝步驟，每當(dāng)隨著通過所述移動步驟移動液晶基板而該液晶基板以規(guī)定的移動間隔移動時開始拍攝，并在各拍攝動作中重復(fù)將該移動間隔作為拍攝范圍的拍攝動作而獲取多個分割拍攝圖像； 拍攝圖像形成步驟，將所述多個分割拍攝圖像相連而形成一個結(jié)合拍攝圖像； 變動檢測步驟，檢測所述移動步驟的移動變動；以及 拍攝修正步驟，基于在所述變動檢測步驟中檢測出的所述移動步驟的移動變動而修正所述拍攝步驟獲取拍攝圖像時的拍攝條件； 所述拍攝修正步驟基于所述移動變動的變動幅度及變動方向而修正所述拍攝條件。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法，其特征在于:所述移動步驟是將液晶基板載置在移動臺上而進(jìn)行移動； 所述拍攝修正步驟是將決定拍攝范圍的移動間隔作為拍攝條件，且包括: 移動間隔修正步驟，修正所述移動間隔；以及 累積誤差修正步驟，修正累積誤差，所述累積誤差是因由所述移動間隔修正步驟所引起的移動間隔的修正誤差累積而產(chǎn)生的； 所述移動間隔修正步驟是基于所述變動檢測步驟所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而針對所述移動間隔算出修正移動間隔； 所述累積誤差修正步驟是將所述移動臺的最小分辨率的大小作為修正量，并對在所述移動間隔修正步驟中算 出的修正移動間隔增減該修正量而修正所述累積誤差。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法，其特征在于:所述累積誤差修正步驟是在每規(guī)定次的拍攝時對修正移動間隔進(jìn)行所述修正量的增減，該修正量的增減量及增減次數(shù)是基于移動變動的變動幅度及變動方向而算出。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項所述的液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法，其特征在于:所述變動檢測步驟是利用固定在液晶陣列檢查裝置上的攝影單元對設(shè)置在所述移動臺上的標(biāo)記進(jìn)行攝影，基于該攝影圖像中的標(biāo)記圖像的位置偏差而檢測移動步驟的移動變動。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項所述的液晶陣列檢查裝置的拍攝圖像獲取方法，其特征在于:所述拍攝修正步驟包括修正所述移動臺的移動速度的速度修正步驟， 該速度修正步驟是基于所述變動檢測步驟所檢測出的移動變動的變動幅度及變動方向而算出修正速度。
【文檔編號】G01N23/225GK103907017SQ201180073905
【公開日】2014年7月2日 申請日期:2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月2日
【發(fā)明者】永井正道 申請人:株式會社島津制作所