液晶陣列檢查裝置及液晶陣列檢查裝置的信號處理方法
【專利摘要】本發(fā)明在從由掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)檢測與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)時，減少檢測像素坐標(biāo)的誤檢測。本發(fā)明涉及一種信號處理，該信號處理用來在液晶陣列檢查中通過將對應(yīng)于液晶基板上的陣列的像素與從掃描圖像而獲得的檢測像素的坐標(biāo)建立對應(yīng)關(guān)系，而指定用于陣列檢查的像素，所述液晶陣列檢查是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過該掃描而獲得的掃描圖像來檢查液晶基板的陣列，且本發(fā)明在液晶基板上的像素與從掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)的對應(yīng)關(guān)系中，使用在列內(nèi)的檢測像素坐標(biāo)連續(xù)的坐標(biāo)列代替先前的列方向的兩端的檢測像素坐標(biāo)作為成為基準(zhǔn)的檢測像素坐標(biāo)。
【專利說明】液晶陣列檢查裝置及液晶陣列檢查裝置的信號處理方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種使用對液晶基板上進(jìn)行拍攝而獲得的拍攝圖像來檢查液晶陣列(array)的液晶陣列檢查裝置，尤其是涉及檢查對象的像素(pixel)的坐標(biāo)位置的指定。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶陣列檢查裝置中，可使用掃描圖像，該掃描圖像是使電子束(EIectronBeam)或離子束(1n Beam)等帶電粒子束在基板上二維地掃描而獲得。
[0003]例如，在用于薄膜晶體管(Thin Film Transistor，TFT)顯示裝置的TFT陣列基板的制造步驟中，檢查所制造的TFT陣列基板是否正確地驅(qū)動，在該TFT陣列基板檢查中，例如使用電子束作為帶電粒子束來掃描TFT陣列基板，由此取得掃描圖像，并基于該掃描圖像進(jìn)行檢查。(專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)
[0004]例如，已知一種陣列檢查裝置，該陣列檢查裝置是對檢查對象的液晶基板的陣列施加檢查信號，且使電子束或離子束等帶電粒子束在基板上進(jìn)行二維地掃描，基于通過射束掃描而獲得的掃描圖像進(jìn)行基板檢查。在陣列檢查中，利用光電倍增管(photomultiplier)等將通過照射電子射線而釋放的二次電子(Secondary Electron)轉(zhuǎn)換成模擬信號(analog signal)進(jìn)行檢測,并基于該檢測信號的信號強(qiáng)度判定陣列缺陷。
[0005]陣列檢查是檢測掃描圖像上的像素位置，并基于檢測出的像素位置上的掃描圖像的信號強(qiáng)度而進(jìn)行。像素位置的檢測是通過以下方式進(jìn)行，即，對掃描圖像進(jìn)行圖像處理而檢測像素坐標(biāo)，且配合設(shè)定在液晶基板的像素配置來排列所檢測出的像素坐標(biāo)。
[0006]在掃描圖像上的像素位置的檢測中，存在如下情況:因載置液晶基板的平臺(stage)的移動誤差或電子束的照射位置的偏移等，導(dǎo)致在掃描圖像上的像素位置產(chǎn)生位置偏移，而產(chǎn)生以下不妥，即，相對于所設(shè)定的像素位置不同的像素建立對應(yīng)關(guān)系。為了避免因該像素位置的位置偏移而導(dǎo)致的不妥，在像素坐標(biāo)的排列中，將檢測出的像素坐標(biāo)排列為像素配置，以便所設(shè)定的像素位置與像素的對應(yīng)關(guān)系中不會產(chǎn)生偏移。
[0007]該像素坐標(biāo)的排列是針對像素排列的每一列進(jìn)行。此處，像素排列的列與電子束的掃描方向相對應(yīng)，通過在像素排列的每一列中排列像素坐標(biāo)，而避免在同一平臺位置使電子束掃描時的位置偏移。排列是通過以下方式進(jìn)行，即，算出最前列(第一列)的像素坐標(biāo)位置，第二列或者第二列以后的像素坐標(biāo)位置是基于在最前列算出的坐標(biāo)位置而算出，且從檢測像素坐標(biāo)中搜索位于算出的各列像素坐標(biāo)位置附近的檢測坐標(biāo)。
[0008]圖17是用來說明先前的液晶陣列檢查的順序的流程圖(flow chart)。在圖17的流程圖中，對液晶基板上進(jìn)行掃描而取得掃描圖像(S10)，從所取得的掃描圖像檢測像素，而取得檢測像素坐標(biāo)。像素的檢測可根據(jù)掃描圖像的檢測信號的信號強(qiáng)度進(jìn)行。另外，檢測像素坐標(biāo)可根據(jù)取得檢測信號時的平臺的位置或電子束的照射位置等而取得(S20)。
[0009]為了進(jìn)行像素坐標(biāo)的排列而算出搜索用像素坐標(biāo)(S30、S40)，基于算出的搜索用像素坐標(biāo)來搜索檢測像素坐標(biāo)(S50)，并使用與搜索到的檢測像素坐標(biāo)相對應(yīng)的檢測像素進(jìn)行檢查(S60)。[0010]在算出搜索用像素坐標(biāo)中，首先算出最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)(S30)，接著算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)(S40)。最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)是使用列方向(X方向)的檢測像素坐標(biāo)中的兩端的檢測像素坐標(biāo)而算出，第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)是通過對第一列搜索用像素坐標(biāo)加上I方向的間距(pitch)而算出。
[0011]圖18、圖19是用來說明第一列搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖及說明圖。
[0012]首先，根據(jù)掃描圖像的檢測信號取得檢測像素坐標(biāo)。例如，根據(jù)掃描圖像的白色部分(高信號強(qiáng)度部)的檢測像素的坐標(biāo)取得。圖19 (a)以十字記號表示檢測像素的坐標(biāo)位置(S31)。
[0013]在檢測出的檢測像素坐標(biāo)內(nèi)，對列方向的檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行霍夫轉(zhuǎn)換(houghtransform),算出通過這些檢測像素坐標(biāo)的直線。圖19 (b)表示通過霍夫轉(zhuǎn)換而求出的直線(S32)。
[0014]算出位于直線附近的檢測像素坐標(biāo)內(nèi)的列方向的兩端的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)值。圖19 (c)中的圓形記號表示兩端的檢測像素坐標(biāo)(S33)?；谒愠龅淖笥覂啥说臋z測像素坐標(biāo)算出最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)。圖19 Cd)中的X記號表示搜索用像素坐標(biāo)。搜索用像素坐標(biāo)例如可通過使左右兩端的檢測像素坐標(biāo)與列方向(X方向)的間距Δχ相加或相減而算出。
[0015]圖19 (e)表示使用所獲得的搜索用像素坐標(biāo)(圖中的X記號)搜索檢測像素坐標(biāo)的狀態(tài)，對搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行搜索。圖中以虛線表示的圓形記號表示搜索用像素坐標(biāo)附 近的區(qū)域。附近區(qū)域的范圍例如可由所述圓形記號的直徑?jīng)Q定。圖19(f )中的虛線內(nèi)的檢測像素坐標(biāo)表示通過搜索而獲得的檢測像素坐標(biāo)(S34)。
[0016]接著，基于第一列搜索用像素坐標(biāo)，加上y方向的間距Ay，由此算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)(S35)。搜索位于算出的搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)(S36)。
[0017]【背景技術(shù)】文獻(xiàn)
[0018]專利文獻(xiàn)
[0019]專利文獻(xiàn)1:日本專利特開2004-271516號公報
[0020]專利文獻(xiàn)2:日本專利特開2004-309488號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0021][發(fā)明所要解決的問題]
[0022]如上所述，在算出最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)時，以列方向的兩端的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)值為基準(zhǔn)。此時，會產(chǎn)生如下情況，即，列方向的兩端的檢測像素位置因掃描圖像的失真或不均而導(dǎo)致其中一端部檢測另一列的像素。
[0023]這樣，若列方向的兩端的檢測像素位置的其中一個誤檢測另一列的像素，且基于該誤檢測出的像素的像素坐標(biāo)算出搜索用像素坐標(biāo)，那么最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)中會產(chǎn)生誤差。若使用含有誤差的搜索用像素坐標(biāo)搜索檢測像素坐標(biāo)，那么會產(chǎn)生無法正常地進(jìn)行像素位置的檢測的問題。
[0024]圖20是用來說明檢測像素坐標(biāo)的誤檢測的圖。圖20表示與圖19相同的狀態(tài)，且表示在最前列(第一列)的左端的檢測像素位置存在位置偏移的情況。
[0025]圖20 (C)表示如下情況:在根據(jù)位于直線附近的檢測像素坐標(biāo)算出列方向的兩端的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)值時，在左端將第二列檢測像素坐標(biāo)作為附近的檢測像素坐標(biāo)而檢測出。
[0026]在誤檢測出另一列的檢測像素坐標(biāo)作為左端的檢測像素坐標(biāo)的情況下，如圖20(d)所示般算出錯誤的搜索用像素坐標(biāo)。圖20 (d)表示列的左方的搜索用像素坐標(biāo)產(chǎn)生了位置偏移的狀態(tài)。由此，檢測出檢測像素坐標(biāo)的第二列的像素坐標(biāo)，而無法進(jìn)行正常的像素位置的檢測。
[0027]圖20 (e)表示使用所獲得的搜索用像素坐標(biāo)(圖中的X記號)搜索檢測像素坐標(biāo)的狀態(tài)，對搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行搜索。圖20 (f)的虛線內(nèi)的檢測像素坐標(biāo)表示通過搜索而獲得的檢測像素坐標(biāo)。因為左端的檢測像素坐標(biāo)為第二列搜索像素坐標(biāo)，所以左方與右方的搜索用像素坐標(biāo)產(chǎn)生位置偏移?；谠摦a(chǎn)生了位置偏移的搜索用像素坐標(biāo)進(jìn)行的檢測像素坐標(biāo)的檢測成為誤檢測的主要原因。
[0028]因此，本發(fā)明的目的在于，解決所述先前的問題，在從由掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中檢測與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)時,減少檢測像素坐標(biāo)的誤檢測。
[0029]本發(fā)明的目的在于，即便在從由掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中抽出搜索用像素坐標(biāo)時，從掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中存在位置偏移的情況下，所述搜索用像素坐標(biāo)是用于與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)的檢測的列方向的搜索用像素坐標(biāo)，也能無誤地抽出列方向的檢測像素坐標(biāo)，而形成正確的搜索用像素坐標(biāo)，由此，減少檢測像素坐標(biāo)的誤檢測。
[0030][解決問題的技術(shù)手段]
[0031]本發(fā)明涉及一種信號處理，該信號處理用來在液晶陣列檢查中，通過將對應(yīng)于液晶基板上的陣列的像素與從掃描圖像而獲得的檢測像素的坐標(biāo)建立對應(yīng)關(guān)系，而指定用于陣列檢查的像素，所述液晶陣列檢查是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過該掃描而獲得的掃描圖像檢查液晶基板的陣列。本發(fā)明在液晶基板上的像素與從掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)的對應(yīng)關(guān)系中，使用在列內(nèi)的檢測像素坐標(biāo)連續(xù)的坐標(biāo)列代替先前的列方向的兩端的檢測像素坐標(biāo)作為成為基準(zhǔn)的檢測像素坐標(biāo)。
[0032]由此，即便在列端部的檢測像素坐標(biāo)中產(chǎn)生了位置偏移的情況下，也可減少檢測像素坐標(biāo)的位置偏移。另外，不限于列端部的檢測像素坐標(biāo)中產(chǎn)生位置偏移，即便在列內(nèi)的檢測像素坐標(biāo)中產(chǎn)生了位置偏移的情況下，也可減少檢測像素坐標(biāo)的位置偏移。這是因為通過使用在列內(nèi)連續(xù)的多個檢測像素坐標(biāo)，可降低各檢測像素坐標(biāo)的位置偏移所造成的影響。
[0033]本發(fā)明可作為液晶陣列檢查裝置的信號處理方法的實施方式、及液晶陣列檢查裝置的實施方式。
[0034]本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的信號處理方法的實施方式是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對所述液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過所述掃描而獲得的掃描圖像來檢查液晶基板的陣列；所述液晶陣列檢查裝置的信號處理方法包括:搜索用像素坐標(biāo)步驟，從掃描圖像中的二維排列像素求出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，且以該坐標(biāo)列為基準(zhǔn)求出用來搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)的搜索用像素坐標(biāo)；以及檢測像素坐標(biāo)步驟，通過對在所述步驟中求出的搜索用像素坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行坐標(biāo)比較，而檢測出搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)，并搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)。
[0035]將在檢測像素坐標(biāo)步驟中搜索到的檢測像素坐標(biāo)的檢測像素作為檢查對象像素進(jìn)行陣列檢查。
[0036]本發(fā)明的搜索用像素坐標(biāo)步驟包括第一步驟及第二步驟，該第一步驟是在二維排列像素的像素坐標(biāo)中算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)，該第二步驟是基于在第一步驟中算出的第一列而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
[0037]第一步驟包括坐標(biāo)列步驟及第一列步驟，該坐標(biāo)列步驟是從掃描圖像中的二維排列像素算出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，該第一列步驟是以連續(xù)的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)算出第一列搜索用像素坐標(biāo)。在連續(xù)的坐標(biāo)列中，可將在列內(nèi)構(gòu)成坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)數(shù)為最大的坐標(biāo)列作為基準(zhǔn)。
[0038]第二步驟包括第二列步驟，該第二列步驟是對在第一步驟中算出的搜索用像素坐標(biāo)加上與列方向正交的方向的間距而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
[0039]另外，在第一列步驟中，第一列的搜索用像素坐標(biāo)是使用坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)并利用最小平方法而算出。
[0040]本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的實施方式是對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對所述液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過掃描而獲得的掃描圖像檢查液晶基板的陣列；所述液晶陣列檢查裝置包括:搜索用像素坐標(biāo)部，從掃描圖像中的二維排列像素求出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，且以所求出的坐標(biāo)列作為基準(zhǔn)，求出用來搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)的搜索用像素坐標(biāo)；以及檢測像素坐標(biāo)部，通過比較搜索用像素坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)，而檢測出搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)，并搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)。將利用檢測像素坐標(biāo)部搜索到的檢測像素坐標(biāo)的檢測像素作為檢查對象像素進(jìn)行陣列檢查。
[0041]本發(fā)明的搜索用像素坐標(biāo)部包括第一算出部及第二算出部，該第一算出部是在二維排列像素的像素坐標(biāo)中算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)，該第二算出部是基于在第一步驟中算出的第一列而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
[0042]第一算出部從掃描圖像中的二維排列像素算出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，并以連續(xù)的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)算出第一列搜索用像素坐標(biāo)。在連續(xù)的坐標(biāo)列中，可將在列內(nèi)構(gòu)成坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)數(shù)為最大的坐標(biāo)列作為基準(zhǔn)。
[0043]第一算出部在第一列的搜索用像素坐標(biāo)的算出中，可使用坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)并利用最小平方法而算出第一列搜索用像素坐標(biāo)。
[0044]第二算出部對在第一算出部算出的搜索用像素坐標(biāo)加上與所述列方向正交的方向的間距而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
[0045][發(fā)明的效果][0046]根據(jù)本發(fā)明，在從由掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中檢測與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)時，可減少檢測像素坐標(biāo)的誤檢測。
[0047]根據(jù)本發(fā)明，即便在從由掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中抽出搜索用像素坐標(biāo)時，從掃描圖像而獲得的檢測像素坐標(biāo)中存在位置偏移的情況下，所述搜索用像素坐標(biāo)是用于與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)的檢測的列方向的搜索用像素坐標(biāo)，也能無誤地抽出列方向的檢測像素坐標(biāo)，而形成正確的搜索用像素坐標(biāo)，由此可減少檢測像素坐標(biāo)的誤檢測。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0048]圖1是用來說明本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的構(gòu)成例的概略框圖。
[0049]圖2是用來說明利用本發(fā)明的液晶檢查裝置進(jìn)行的概略處理的流程圖。
[0050]圖3是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖。
[0051]圖4是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖。
[0052]圖5是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖。
[0053]圖6是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0054]圖7是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0055]圖8是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0056]圖9是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0057]圖10是用來說明本發(fā)明的最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0058]圖11是表示本發(fā)明的各坐標(biāo)表的一例的圖。
[0059]圖12是用來說明使用從本發(fā)明的最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列來說位于右方的登錄坐標(biāo)的算出的圖。
[0060]圖13是用來說明使用從本發(fā)明的最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列來說位于左方的登錄坐標(biāo)的算出的圖。
[0061]圖14是用來說明本發(fā)明的第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)的算出的圖。
[0062]圖15是用來說明本發(fā)明的第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)的算出的圖。
[0063]圖16是用來說明用以執(zhí)行本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置所具備的信號處理部進(jìn)行的處理的各功能的圖。
[0064]圖17是用來說明先前的液晶陣列檢查的順序的流程圖。
[0065]圖18是用來說明先前的液晶陣列檢查的第一列的搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖。
[0066]圖19是用來說明先前的液晶陣列檢查的第一列的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。
[0067]圖20是用來說明先前的液晶陣列檢查的檢測像素坐標(biāo)的誤檢測的圖。
【具體實施方式】
[0068]以下，一面參照圖式一面對本發(fā)明的實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。[0069]使用圖1的概略說明圖對本發(fā)明的液晶檢查裝置的概略構(gòu)成進(jìn)行說明，并使用圖2的流程圖對利用本發(fā)明的液晶檢查裝置進(jìn)行的概略處理進(jìn)行說明。
[0070]使用圖3?圖13對本發(fā)明的第一列搜索用像素坐標(biāo)的算出進(jìn)行說明，使用圖14、圖15對本發(fā)明的第二列搜索用像素坐標(biāo)的算出進(jìn)行說明，并使用圖16的框圖對本發(fā)明的液晶檢查裝置的各處理功能進(jìn)行說明。
[0071]圖1是用來說明本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置的構(gòu)成例的概略框圖。此外，在圖1所示的例子中，表示如下構(gòu)成例，即，對液晶基板照射電子射線，檢測從液晶基板釋放的二次電子，并根據(jù)檢測強(qiáng)度取得拍攝圖像。
[0072]在圖1中，液晶陣列檢查裝置I包括:平臺2，載置液晶基板100，且在XY方向上搬送自如；電子槍3，與平臺2隔開地配置在平臺2的上方位置；以及檢測器4，檢測從液晶基板100的面板(panel) 101的像素(未圖示)釋放的二次電子。
[0073]平臺2藉由平臺驅(qū)動控制部6控制驅(qū)動，電子槍3通過電子射線掃描控制部5控制電子射線的照射及液晶基板100上的掃描。由檢測器4檢測出的二次電子的檢測信號由信號處理部10進(jìn)行處理，并在檢查部20中用于像素的缺陷判定等的檢查。
[0074]電子射線掃描控制部5、平臺驅(qū)動控制部6、信號處理部10、以及檢查部20的各部的驅(qū)動動作由控制部7控制。另外，控制部7可具有進(jìn)行包括液晶陣列檢查裝置I的整體動作的控制的功能，且可包括中央處理器(Central Processing Unit, CPU)及存儲器(memory)等,所述CPU進(jìn)行這些控制,所述存儲器存儲控制CPU的程序(Program)。
[0075]平臺2載置液晶基板100，并且通過平臺驅(qū)動控制部6而在X軸方向及Y軸方向上移動自如，另外，從電子槍3照射的電子射線可通過電子射線掃描控制部5而在X軸方向或Y軸方向上擺動。平臺驅(qū)動控制部6及電子射線掃描控制部5可藉由單獨或合作動作而使電子射線在液晶基板100上掃描，并照射至液晶基板100的面板101的各像素。
[0076]圖2是用來說明本發(fā)明的液晶陣列檢查的順序的流程圖。在圖2的流程圖中，對液晶基板上進(jìn)行掃描而取得掃描圖像(Si)，從所取得的掃描圖像檢測像素，并取得檢測像素坐標(biāo)。像素的檢測可根據(jù)掃描圖像的檢測信號的信號強(qiáng)度而進(jìn)行。另外，檢測像素坐標(biāo)可根據(jù)取得檢測信號時的平臺的位置或電子束的照射位置等而取得(S2)。
[0077]為了進(jìn)行像素坐標(biāo)的排列而算出搜索用像素坐標(biāo)(S3、S4)，基于算出的搜索用像素坐標(biāo)搜索檢測像素坐標(biāo)(S5)，并使用與搜索到的檢測像素坐標(biāo)相對應(yīng)的檢測像素進(jìn)行檢查(S6)。
[0078]搜索用像素坐標(biāo)的算出是首先算出最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)(S3)，接著算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)(S4)。最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)是檢測在列方向(X方向)的檢測像素坐標(biāo)中連續(xù)的檢測像素坐標(biāo),并以檢測到的連續(xù)的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用連續(xù)坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)及列內(nèi)剩余的檢測像素坐標(biāo)而算出(S3)。第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)是藉由對第一列搜索用像素坐標(biāo)加上y方向的間距而算出(S4)。
[0079]以下，使用圖3?圖13對最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出進(jìn)行說明，使用圖14、圖15對第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)的算出進(jìn)行說明。
[0080]圖3?圖5是用來說明最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的流程圖，圖6?圖10是用來說明最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)的算出的說明圖。[0081]首先，根據(jù)掃描圖像的檢測信號取得檢測像素坐標(biāo)。例如，根據(jù)掃描圖像的白色部分(高信號強(qiáng)度部)的檢測像素的坐標(biāo)取得。圖6 (a)以十字記號表示檢測像素的坐標(biāo)位置(S301)。
[0082]對檢測出的檢測像素坐標(biāo)內(nèi)的列方向的檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行霍夫轉(zhuǎn)換，算出通過這些檢測像素坐標(biāo)的直線。圖6 (b)表示利用霍夫轉(zhuǎn)換而求出的直線(S302)。
[0083]從相當(dāng)于第一列的檢測像素坐標(biāo)中選擇一個檢測像素坐標(biāo)(S303)，使用在S303中選擇的檢測像素坐標(biāo)與在S302中算出的直線的斜率作成第一虛擬像素坐標(biāo)表(S304)。圖6 (c)以虛線圓形記號表示所選擇的檢測像素坐標(biāo)，圖6 (d)表示根據(jù)所選擇的檢測像素坐標(biāo)與直線的斜率而算出的第一虛擬像素坐標(biāo)。圖中以X記號表示第一虛擬像素坐標(biāo)。
[0084]第一虛擬像素坐標(biāo)例如可利用以下方式求出:在通過所選擇的檢測像素坐標(biāo)并且具有藉由霍夫轉(zhuǎn)換而算出的直線的斜率的直線上，以所選擇的檢測像素坐標(biāo)為基準(zhǔn)位置，算出位于在列方向(X方向)上距離該基準(zhǔn)位置為規(guī)定間距Λ X的間隔的位置的坐標(biāo)。
[0085]圖11是表不 各坐標(biāo)表的一例的圖。圖11 (a)表不檢測像素坐標(biāo)表的一例,利用如下方式形成，即，將根據(jù)掃描圖像的檢測信號而取得的檢測像素坐標(biāo)與列方向(X方向)及與該列方向正交的方向(y方向)的像素排列暫時建立對應(yīng)關(guān)系而配置。
[0086]該檢測像素坐標(biāo)表是按照檢測順序配置檢測像素坐標(biāo)而得，該檢測像素坐標(biāo)是根據(jù)掃描圖像的檢測信號而取得。因此，在檢測位置存在誤差的情況下，因位置偏移而導(dǎo)致像素的配置位置與在表上記載于該配置位置的檢測像素坐標(biāo)之間產(chǎn)生偏移，從而存在記載著不同像素的檢測像素坐標(biāo)的情況。本發(fā)明修正該位置偏移而求出與像素對應(yīng)的正確的檢測像素坐標(biāo)。
[0087]圖11 (b)表示第一虛擬像素坐標(biāo)表的一例。該例中，當(dāng)以左端的檢測像素坐標(biāo)(xll，yll)為基準(zhǔn)，將直線的斜率設(shè)為tan Θ時，關(guān)于x方向，將基于像素配置而預(yù)先規(guī)定的X方向間距(Λ X)依次相加，關(guān)于y方向，將藉由使直線的斜率為tan Θ而得的y方向間距(tan9.Λ X)依次相加，由此算出第一虛擬像素坐標(biāo)。
[0088]接著，形成登錄坐標(biāo)。登錄坐標(biāo)是為了確定搜索用像素坐標(biāo)而暫時進(jìn)行登錄的坐標(biāo)，藉由使用下面說明的第一虛擬像素坐標(biāo)來修正該登錄坐標(biāo)而求出搜索用像素坐標(biāo)(S305)。
[0089]從登錄坐標(biāo)表讀出登錄坐標(biāo)(S305a),判定是否已登錄到登錄坐標(biāo)表(305b)。在未將登錄坐標(biāo)登錄到登錄坐標(biāo)表的情況下，將第一虛擬像素坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的X坐標(biāo)進(jìn)行比較(S305c)，當(dāng)在第一虛擬像素坐標(biāo)的X坐標(biāo)附近不存在檢測像素坐標(biāo)時，不將檢測像素坐標(biāo)登錄為登錄坐標(biāo)(S305e)。另一方面，當(dāng)在第一虛擬像素坐標(biāo)的X坐標(biāo)附近有檢測像素坐標(biāo)時，將其附近的檢測像素坐標(biāo)登錄為登錄坐標(biāo)(S305f)。
[0090]圖6 (e)表示第一虛擬像素坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的X坐標(biāo)的比較，圖6 (f)表示利用比較X坐標(biāo)而進(jìn)行的向登錄坐標(biāo)的登錄。例如，當(dāng)X坐標(biāo)的偏移小于預(yù)先規(guī)定的臨界值時設(shè)為登錄坐標(biāo)，當(dāng)X坐標(biāo)的偏移大于預(yù)先規(guī)定的臨界值時不設(shè)為登錄坐標(biāo)。
[0091]在圖6 (f)中，例如，因為從左方起第二個檢測像素坐標(biāo)存在于第一虛擬像素坐標(biāo)的附近，所以作為登錄坐標(biāo)而登錄，因為從左方起第三個檢測像素坐標(biāo)不存在于第一虛擬像素坐標(biāo)的附近，所以不作為登錄坐標(biāo)進(jìn)行登錄。
[0092]在S305a中，當(dāng)存在已登錄的登錄坐標(biāo)時，將登錄坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的y坐標(biāo)進(jìn)行比較(S305d)，當(dāng)檢測像素坐標(biāo)的y坐標(biāo)小于登錄坐標(biāo)的y坐標(biāo)時，在S305f步驟中將檢測像素坐標(biāo)作為登錄坐標(biāo)登錄來代替原有的登錄坐標(biāo)。另一方面，當(dāng)檢測像素坐標(biāo)的y坐標(biāo)大于登錄坐標(biāo)的I坐標(biāo)時，將登錄坐標(biāo)保持原有狀態(tài)。此外，在比較I坐標(biāo)時，等號時的判定設(shè)定為任一種皆可。
[0093]在圖7中，圖7 (a)、圖7 (b)表示登錄坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的一關(guān)系例，圖7 (C)、圖7 (d)表示登錄坐標(biāo)與檢測像素坐標(biāo)的y方向的比較，關(guān)于圖中從左方起第三個及從右方起第二個檢測像素坐標(biāo)，因為是在I方向上小于登錄坐標(biāo)的坐標(biāo)，所以，將檢測像素坐標(biāo)作為登錄坐標(biāo)代替原有的登錄坐標(biāo)而更新登錄。該登錄坐標(biāo)的更新處理是通過使用y方向的坐標(biāo)較小的檢測像素坐標(biāo)而消除因位置偏移導(dǎo)致的偏差。
[0094]圖11 (C)表示登錄坐標(biāo)表的一例。在登錄坐標(biāo)表中，表示第一列的從左起第3個登錄坐標(biāo)為未登錄的狀態(tài)。
[0095]圖8表示檢測像素坐標(biāo)與登錄坐標(biāo)的關(guān)系，圖8 Ca)表示第一列及第二列檢測像素坐標(biāo)，圖8 (b)表示第一列的列內(nèi)的登錄坐標(biāo)。另外，圖9及圖10表示說明第二虛擬像素坐標(biāo)的形成的圖。
[0096]在S305中形成的登錄坐標(biāo)中，將所登錄的坐標(biāo)數(shù)的個數(shù)與預(yù)先規(guī)定的臨界值進(jìn)行比較，當(dāng)?shù)卿涀鴺?biāo)的個數(shù)少于臨界值時，返回到S303并選擇另一個形成像素坐標(biāo)，再次形成第一虛擬像素坐標(biāo)及登錄坐標(biāo)。通過該步驟，避免因登錄坐標(biāo)的個數(shù)少而導(dǎo)致產(chǎn)生的搜索用像素坐標(biāo)的誤差(S306)。
[0097]接著，根據(jù)登錄坐標(biāo)求出連續(xù)的坐標(biāo)列(S307)。為了求出連續(xù)的坐標(biāo)列，而對列內(nèi)的登錄坐標(biāo)算出鄰接的登錄坐標(biāo)的X方向的距離(間距)(S307a)，將該X方向距離與預(yù)先規(guī)定的臨界值進(jìn)行比較(S307b)。
[0098]當(dāng)X方向距離小于臨界值時，設(shè)定為連續(xù)坐標(biāo)列(S307C)，當(dāng)x方向距離大于臨界值時，對下一個鄰接的登錄坐標(biāo)進(jìn)行S307a、S307b的處理。對所有登錄坐標(biāo)進(jìn)行S307a?S307c的處理步驟(S307d)，求出連續(xù)坐標(biāo)列。此外，在比較X坐標(biāo)時，等號時的判定設(shè)定為
任一種皆可。
[0099]當(dāng)列內(nèi)有多個連續(xù)坐標(biāo)列時，求出連續(xù)坐標(biāo)列的長度(S308 )，并求出最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列。此外，連續(xù)坐標(biāo)列的長度可根據(jù)構(gòu)成連續(xù)坐標(biāo)列的登錄坐標(biāo)的個數(shù)而求出。圖9 (a)表示在列內(nèi)檢測出的連續(xù)坐標(biāo)列的一例，由圖中的虛線矩形表示連續(xù)坐標(biāo)列(S309)。
[0100]使用最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列所包含的登錄坐標(biāo)，利用最小平方法作成第二虛擬像素坐標(biāo)表。圖9 (b)中的X記號表示利用最小平方法作成的第二虛擬像素坐標(biāo)，圖11 Cd)表示第二虛擬像素坐標(biāo)表的一例(S310)。
[0101]對在S310中作成的第二虛擬像素坐標(biāo)表的虛擬像素坐標(biāo)進(jìn)行更新。該第二虛擬像素坐標(biāo)表的虛擬像素坐標(biāo)的更新是通過在S311?S320步驟中，依次應(yīng)用列內(nèi)的連續(xù)坐標(biāo)列以外的登錄坐標(biāo)而進(jìn)行。該虛擬像素坐標(biāo)的更新是通過以連續(xù)坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，從該連續(xù)坐標(biāo)列起向兩方向依次使用登錄坐標(biāo)而進(jìn)行。S311?S315是從連續(xù)坐標(biāo)列起朝向右方(或者左方)的更新處理，S316?S320是從連續(xù)坐標(biāo)列起朝向左方(或者右方)的更新處理。
[0102]在S311?S315的更新處理中，從最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列的x方向的左端(或者右端)起朝向右方向(左方向)將第二虛擬像素坐標(biāo)表的虛擬像素坐標(biāo)與登錄坐標(biāo)進(jìn)行比較(S311)，并將兩坐標(biāo)的X方向的偏移與預(yù)先規(guī)定的臨界值進(jìn)行比較。圖9 (c)表示從最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列的X方向的左端朝向右方向進(jìn)行的比較(S312 )。在S312的比較中，當(dāng)坐標(biāo)偏移小于臨界值時，對最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列追加用于比較的登錄坐標(biāo)。圖9 (d)表示如下狀態(tài):在最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列中添加登錄坐標(biāo)，進(jìn)行最小平方法而求出第二虛擬像素坐標(biāo)，并對坐標(biāo)偏移進(jìn)行比較(S313)。另一方面，當(dāng)坐標(biāo)偏移大于臨界值時，在S311中，將下一個登錄坐標(biāo)與虛擬像素坐標(biāo)進(jìn)行比較。
[0103]使用追加了登錄坐標(biāo)的連續(xù)坐標(biāo)列，利用最小平方法更新第二虛擬像素坐標(biāo)表。圖9 (e)表示如下狀態(tài):在最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列中進(jìn)而添加下一個登錄坐標(biāo)，進(jìn)行最小平方法而求出第二虛擬像素坐標(biāo)，并對坐標(biāo)偏移進(jìn)行比較(S314)。
[0104]關(guān)于S311?S314,對從連續(xù)坐標(biāo)列來說位于右方(或者左方)的登錄坐標(biāo)重復(fù)進(jìn)行 S311 ?S314 (S315)。
[0105]圖9 Cf)表示如下狀態(tài):在最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列的右方的端部側(cè)添加某個登錄坐標(biāo)，進(jìn)行最小平方法而求出第二虛擬像素坐標(biāo)，并對坐標(biāo)偏移進(jìn)行比較。
[0106]接著，在S316?S320的更新處理中，從最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列的x方向的右端(或左端)朝向左方向(右方向)將第二虛擬像素坐標(biāo)表的虛擬像素坐標(biāo)與登錄坐標(biāo)進(jìn)行比較。圖10 (a)表示在列內(nèi)檢測出的連續(xù)坐標(biāo)列的一例，由圖中的虛線矩形表示連續(xù)坐標(biāo)列
(5316)。
[0107]對虛擬像素坐標(biāo)和登錄坐標(biāo)的X方向的偏移與預(yù)先規(guī)定的臨界值進(jìn)行比較
(5317)。在S317的比較中，當(dāng)坐標(biāo)偏移小于臨界值時，對最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列追加用于比較的登錄坐標(biāo)。圖10 (b)表示坐標(biāo)偏移的比較、及登錄坐標(biāo)的追加(S318)。另一方面，當(dāng)坐標(biāo)偏移大于臨界值時，在S316中，將下一個登錄坐標(biāo)與虛擬像素坐標(biāo)進(jìn)行比較。
[0108]使用追加了登錄坐標(biāo)的連續(xù)坐標(biāo)列，利用最小平方法更新第二虛擬像素坐標(biāo)表。圖10 (C)表示與下一個登錄坐標(biāo)的坐標(biāo)偏移的比較、及登錄坐標(biāo)的追加(S319)。關(guān)于S316?S319，針對從連續(xù)坐標(biāo)列來說位于左方(或右方)的登錄坐標(biāo)重復(fù)進(jìn)行S316?S319。
[0109]圖10 Ce)表示如下狀態(tài):在最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列中進(jìn)而添加下一個登錄坐標(biāo)，進(jìn)行最小平方法而求出第二虛擬像素坐標(biāo)，并對坐標(biāo)偏移進(jìn)行比較(S320)。此外，在S312、S317的X坐標(biāo)的比較中，等號時的判定設(shè)定為任一種皆可。
[0110]將在S310?S320的步驟中作成的第二虛擬像素坐標(biāo)設(shè)為最前列(第一列)的搜索用像素坐標(biāo)。圖10 (f)表示第二虛擬像素坐標(biāo)(S321)。
[0111]本發(fā)明的搜索用像素坐標(biāo)是以連續(xù)坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用位于左方及右方的登錄坐標(biāo)依次作成第二虛擬像素坐標(biāo)表而形成，由此，可降低先前的因以列內(nèi)的兩端的點為基準(zhǔn)而導(dǎo)致的位置偏移的影響。
[0112]使用圖12及圖13說明使用最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列與緊接著該連續(xù)坐標(biāo)列的登錄坐標(biāo)，并利用最小平方法算出第二虛擬像素坐標(biāo)的例子。圖12表示使用從最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列來說位于右方的登錄坐標(biāo)的算出，圖13表示從最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列來說位于左方的登錄坐標(biāo)的算出。
[0113]圖12 (a)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列、及使用該連續(xù)坐標(biāo)列并利用最小平方法而算出的第二虛擬像素坐標(biāo)表。圖12 (b)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列及第二虛擬像素坐標(biāo)表，該第二虛擬像素坐標(biāo)表是使用該連續(xù)坐標(biāo)列及在右方方向首先出現(xiàn)的登錄坐標(biāo)，并利用最小平方法而算出并更新。[0114]圖12 (C)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列及第二虛擬像素坐標(biāo)表，該第二虛擬像素坐標(biāo)表是使用該連續(xù)坐標(biāo)列及在右方方向出現(xiàn)的所有登錄坐標(biāo)，并利用最小平方法而算出并更新。
[0115]另外，圖13 Ca)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列、及使用該連續(xù)坐標(biāo)列并利用最小平方法而算出的第二虛擬像素坐標(biāo)表。圖13 (b)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列及第二虛擬像素坐標(biāo)表，該第二虛擬像素坐標(biāo)表是使用該連續(xù)坐標(biāo)列及在左方方向上首先出現(xiàn)的登錄坐標(biāo)，并利用最小平方法而算出并更新。
[0116]圖13 (C)表示最大長度的連續(xù)坐標(biāo)列及第二虛擬像素坐標(biāo)表，該第二虛擬像素坐標(biāo)表是使用該連續(xù)坐標(biāo)列及在左方方向出現(xiàn)的所有登錄坐標(biāo)，并利用最小平方法而算出并更新。
[0117]接著，使用圖14、圖15對第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)的算出進(jìn)行說明。
[0118]在進(jìn)行搜索用像素坐標(biāo)的算出的列中，在前列中所求出的搜索用像素坐標(biāo)中，對各登錄坐標(biāo)的y坐標(biāo)加上y方向的間距Ay而求出搜索用像素坐標(biāo)。對于下一列，也是對在前列中所求出的搜索用像素坐標(biāo)的各登錄坐標(biāo)的I坐標(biāo)加上y方向的間距Λ y而求出搜索用像素坐標(biāo)。通過重復(fù)進(jìn)行該加法處理而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)(S402)。檢測位于搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)(S403)。
[0119]圖16是用來說明用以執(zhí)行信號處理部10進(jìn)行的處理的各功能的圖，該信號處理部10包含在本發(fā)明的液晶陣列檢查裝置中。此外，圖16所示的各框是用來說明功能，未必限定于利用對應(yīng)的硬 使其執(zhí)行各功能的程序而利用軟件(software)進(jìn)行動作。
[0120]在圖16中，信號處理部10包括:掃描圖像形成部11，根據(jù)檢測信號形成掃描圖像；像素檢測部12，從掃描圖像對像素及檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行檢測；檢測像素數(shù)據(jù)記錄部13，預(yù)先記錄著檢測出的檢測像素坐標(biāo)及信號強(qiáng)度；及搜索用像素坐標(biāo)檢測部14。
[0121]檢查部20使用由搜索用像素坐標(biāo)檢測部14檢測出的搜索用像素坐標(biāo)指定像素并進(jìn)行檢查。
[0122]搜索用像素坐標(biāo)檢測部14在從掃描圖像而取得的檢測像素坐標(biāo)中，為了像素檢查而檢測用來搜索與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)的搜索用像素坐標(biāo)。該搜索用像素坐標(biāo)是用來補償從掃描圖像而取得的檢測像素坐標(biāo)所包含的位置偏移，并搜索與各像素相對應(yīng)的檢測像素坐標(biāo)的像素坐標(biāo)。
[0123]搜索用像素坐標(biāo)檢測部14包括直線算出部14A、第一虛擬像素坐標(biāo)表作成部14B、登錄坐標(biāo)形成部14C、連續(xù)坐標(biāo)列檢測部14D、第二虛擬像素坐標(biāo)表作成部14E、搜索用像素坐標(biāo)表作成部14F、及坐標(biāo)表14G。
[0124]坐標(biāo)表14G存儲第一虛擬像素坐標(biāo)表14a、登錄坐標(biāo)表14b、第二虛擬像素坐標(biāo)表14c、以及搜索用像素坐標(biāo)表14d的各坐標(biāo)表。
[0125]直線算出部14A基于記錄在檢測像素數(shù)據(jù)記錄部13的檢測像素坐標(biāo)，算出近似最前列(第一列)的檢測像素坐標(biāo)的直線。直線的算出是對假定位于最前列(第一列)的檢測像素坐標(biāo)的各xy坐標(biāo)進(jìn)行霍夫轉(zhuǎn)換，求出從原點直線地劃出的法線的長度與角度的參數(shù)(parameter)ο該參數(shù)表示直線。[0126]第一虛擬像素坐標(biāo)表作成部14B基于在直線算出部14A算出的直線的角度及檢測像素坐標(biāo)的一點，作成位于列內(nèi)的檢測像素的假定的坐標(biāo)，并作為第一虛擬像素坐標(biāo)存儲在第一虛擬像素坐標(biāo)表14a中。
[0127]登錄坐標(biāo)形成部14C將在第一虛擬像素坐標(biāo)表作成部14B作成的第一虛擬像素坐標(biāo)表與記錄在檢測像素數(shù)據(jù)記錄部13中的檢測像素坐標(biāo)進(jìn)行比較而形成登錄坐標(biāo)，并記錄在登錄坐標(biāo)表14b中。
[0128]連續(xù)坐標(biāo)列檢測部14D基于在登錄坐標(biāo)形成部14C形成的登錄坐標(biāo)，檢測在列內(nèi)連續(xù)的坐標(biāo)列。
[0129]第二虛擬像素坐標(biāo)表作成部14E基于在連續(xù)坐標(biāo)列檢測部14D檢測出的連續(xù)坐標(biāo)列及檢測像素坐標(biāo)，利用最小平方法而作成檢測像素的假定坐標(biāo)，并作為第二虛擬像素坐標(biāo)存儲在第二虛擬像素坐標(biāo)表14c中。
[0130]搜索用像素坐標(biāo)表作成部14F將在第二虛擬像素坐標(biāo)表作成部14E最終作成的第二虛擬像素坐標(biāo)設(shè)為搜索用像素坐標(biāo)，并存儲在搜索用像素坐標(biāo)表14d中。
[0131]檢查部20的像素抽出部20a基于搜索用像素坐標(biāo)抽出檢測像素數(shù)據(jù)記錄部檢查對象的像素，并取得該像素的檢測信號的信號強(qiáng)度。像素檢查部20b基于所取得的信號強(qiáng)度，進(jìn)行缺陷檢測等陣列檢查。
[0132][工業(yè)上的可利用性]
[0133]本發(fā)明的算出處理并不限于液晶陣列檢查裝置，可應(yīng)用于半導(dǎo)體元件的基板檢查。
[0134][符號的說明]
[0135]1:液晶陣列檢查裝置
[0136]2:平臺
[0137]3:電子槍
[0138]4:檢測器
[0139]5:電子射線掃描控制部
[0140]6:平臺驅(qū)動控制部
[0141]7:控制部
[0142]10:信號處理部
[0143]11:掃描圖像形成部
[0144]12:像素檢測部
[0145]13:檢測像素數(shù)據(jù)記錄部
[0146]14:搜索用像素坐標(biāo)檢測部
[0147]14A:直線算出部
[0148]14B:虛擬像素坐標(biāo)表作成部
[0149]14C:登錄坐標(biāo)形成部
[0150]14D:連續(xù)坐標(biāo)列檢測部
[0151]14E:虛擬像素坐標(biāo)表作成部
[0152]14F:搜索用像素坐標(biāo)表作成部
[0153]14G:坐標(biāo)表[0154]14a:虛擬像素坐標(biāo)表
[0155]14b:登錄坐標(biāo)表
[0156]14c:虛擬像素坐標(biāo)表
[0157]14d:搜索用像素坐標(biāo)表
[0158]20:檢查部
[0159]20a:像素抽出部
[0160]20b:像素檢查部[0161 ]100:液晶基板[0162]101:面板 ο
【權(quán)利要求】
1.一種液晶陣列檢查裝置的信號處理方法，對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對所述液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過所述掃描而獲得的掃描圖像來檢查液晶基板的陣列，所述液晶陣列檢查裝置的信號處理方法的特征在于包括: 搜索用像素坐標(biāo)步驟，從掃描圖像中的二維排列像素求出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，且以所述坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，求出用來搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)的搜索用像素坐標(biāo)；以及 檢測像素坐標(biāo)步驟，通過比較所述搜索用像素坐標(biāo)與所述檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)，而檢測出所述搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)，并搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)；且將所述搜索到的檢測像素坐標(biāo)的檢測像素作為檢查對象像素進(jìn)行陣列檢查。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液晶陣列檢查裝置的信號處理方法，其特征在于: 所述搜索用像素坐標(biāo)步驟包括: 第一步驟，在二維排列像素的像素坐標(biāo)中，算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)；以及第二步驟，基于在所述第一步驟中算出的第一列而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)；且 所述第一步驟包括 : 坐標(biāo)列步驟，從掃描圖像中的二維排列像素算出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列；以及 第一列步驟，以所述連續(xù)的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用所述坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從所述坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)； 所述第二步驟包括第二列步驟，所述第二列步驟是對在所述第一步驟中算出的搜索用像素坐標(biāo)加上與所述列方向正交的方向的間距而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液晶陣列檢查裝置的信號處理方法，其特征在于: 在所述第一列步驟中，所述第一列的搜索用像素坐標(biāo)是使用所述坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從所述坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)并利用最小平方法而算出。
4.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的液晶陣列檢查裝置的信號處理方法，其特征在于: 在所述連續(xù)的坐標(biāo)列中，以在列內(nèi)構(gòu)成坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)數(shù)為最大的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)。
5.一種液晶陣列檢查裝置，對液晶基板施加規(guī)定電壓的檢查信號而驅(qū)動陣列，且掃描對所述液晶基板照射電子射線而獲得的二次電子，基于通過所述掃描而獲得的掃描圖像來檢查液晶基板的陣列；所述液晶陣列檢查裝置的特征在于包括: 搜索用像素坐標(biāo)部，從掃描圖像中的二維排列像素求出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列，且以所述坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，求出用來搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)的搜索用像素坐標(biāo)；以及 檢測像素坐標(biāo)部，通過比較所述搜索用像素坐標(biāo)與所述檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)，而檢測出所述搜索用像素坐標(biāo)附近的檢測像素坐標(biāo)，并搜索列方向的檢測像素坐標(biāo)；且將所述搜索到的檢測像素坐標(biāo)的檢測像素作為檢查對象像素進(jìn)行陣列檢查。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于:所述搜索用像素坐標(biāo)部包括: 第一算出部，在二維排列像素的像素坐標(biāo)中，算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)；以及 第二算出部，基于在所述第一步驟中算出的第一列而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)；且 所述第一算出部從掃描圖像中的二維排列像素算出檢測像素坐標(biāo)在列方向上連續(xù)的坐標(biāo)列；且 以所述連續(xù)的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)，使用所述坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從所述坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)算出第一列的搜索用像素坐標(biāo)；且 所述第二算出部對在所述第一算出部中算出的搜索用像素坐標(biāo)加上與所述列方向正交的方向的間距而算出第二列或者第二列以后的搜索用像素坐標(biāo)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于: 所述第一算出部在第一列的搜索用像素坐標(biāo)的算出中， 使用所述坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)、及在列方向上從所述坐標(biāo)列向各端部方向的檢測像素坐標(biāo)，并利用最小平方法而算出所述第一列的搜索用像素坐標(biāo)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的液晶陣列檢查裝置，其特征在于: 在所述連續(xù)的坐標(biāo)列中，以在列內(nèi)構(gòu)成坐標(biāo)列的檢測像素坐標(biāo)的坐標(biāo)數(shù)為最大的坐標(biāo)列為基準(zhǔn)。
【文檔編號】G01N23/225GK104024837SQ201180073957
【公開日】2014年9月3日 申請日期:2011年11月2日 優(yōu)先權(quán)日:2011年11月2日
【發(fā)明者】永井正道 申請人:株式會社島津制作所