專利名稱：一種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種測(cè)量光柵衍射效率曲線的方法及系統(tǒng)，尤其涉及ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光柵是ー種重要的分光光學(xué)元件，廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué)的各個(gè)領(lǐng)域。利用光柵的分光性質(zhì)可以做成各種不同的器件，如光柵尺，光柵光譜儀等。在利用光柵進(jìn)行實(shí)際器件設(shè)計(jì)時(shí)，首先要準(zhǔn)確知道光柵周期，光柵折射率調(diào)制度及有效厚度等光柵特有參數(shù)。這些參數(shù)的確定可以通過(guò)研究光柵衍射效率曲線得到。在進(jìn)行光柵衍射效率測(cè)量過(guò)程中，光柵的衍射角會(huì)隨著入射光波的入射角變化而改變。當(dāng)光柵周期較大時(shí)，在衍射方向出現(xiàn)了多級(jí)衍射，針對(duì)某ー級(jí)次的衍射角隨入射角變化不是很明顯。針對(duì)這樣的光柵可以將探測(cè)器固定在ー個(gè)位置，就可以完成衍射效率的測(cè)量。但是對(duì)于光柵周期很小的光柵，特別對(duì)于體光柵來(lái)說(shuō)，當(dāng)波長(zhǎng)不變時(shí)，衍射角會(huì)隨入射角的改變而發(fā)生很大的改變，所以，采用固定探測(cè)器方法，不能完成對(duì)光柵衍射效率的測(cè)量。這就要求接受衍射能量的探頭能在大角度范圍內(nèi)改變。目前光柵衍射效率的測(cè)量，基本上是用電動(dòng)步機(jī)控制轉(zhuǎn)臺(tái)來(lái)改變?nèi)肷浣?，手?dòng)改變探測(cè)器的位置進(jìn)行測(cè)量。這種方法會(huì)因探測(cè)器的角度改變而人為引入測(cè)量誤差。同時(shí)當(dāng)光波近似垂直入射到光柵表面吋，其衍射光波在入射光波附近。在探測(cè)衍射光能量吋，探測(cè)器將出現(xiàn)擋光現(xiàn)象而使衍射效率的測(cè)量出現(xiàn)測(cè)量盲區(qū)。近來(lái)雖然有提出一種實(shí)現(xiàn)對(duì)光柵衍射效率進(jìn)行自動(dòng)掃描測(cè)量裝置(專利號(hào)CN 10巧45擬6)，可以直接探測(cè)接近全角度范圍內(nèi)的衍射光束，有效的解決了上述衍射效率測(cè)量過(guò)程中存在的問(wèn)題。但是該方法在接受衍射能量的過(guò)程中，需要對(duì)探測(cè)器在大范圍內(nèi)隨著入射角改變而旋轉(zhuǎn)，這使得測(cè)量系統(tǒng)需要很大的空間，不利于將該系統(tǒng)組裝成儀器，進(jìn)行工程測(cè)量。同時(shí)對(duì)于不同入射角需采用兩個(gè)固定在電動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)上的探測(cè)器進(jìn)行探測(cè)，不同探測(cè)器記錄衍射能量給衍射效率曲線引入誤差，也大大的増加了測(cè)量系統(tǒng)對(duì)實(shí)驗(yàn)成本的要求。另外在兩個(gè)探測(cè)器轉(zhuǎn)換的過(guò)程中有可能存在測(cè)量盲區(qū)及判斷誤差。

發(fā)明內(nèi)容
要解決的技術(shù)問(wèn)題為了避免現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本發(fā)明提出ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法及系統(tǒng)。本發(fā)明的思想在于光的傳播服從費(fèi)馬原理，即在光所經(jīng)歷的所有可能的傳播路徑中，實(shí)際路徑所對(duì)應(yīng)的光程取極值。根據(jù)橢圓的幾何性質(zhì)，橢圓上任何一點(diǎn)到兩個(gè)焦點(diǎn)的連線的夾角平分線就是過(guò)該點(diǎn)的法線，因此對(duì)于橢球面反射鏡而言，位于橢球面反射鏡ー 個(gè)焦點(diǎn)上的光源，經(jīng)橢球面反射鏡的反射，必定經(jīng)過(guò)橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)。如圖1所示，由焦點(diǎn)1發(fā)出的光經(jīng)橢球面反射鏡反射，均能在焦點(diǎn)2上接收。
技術(shù)方案ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法，其特征在于步驟如下步驟1 將激光器發(fā)出的光按能量1 1的比例分為第一光束和第二光束；步驟2 將其中第一光束進(jìn)行準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，并以入射角照射到被測(cè)光柵上，調(diào)整入射角的入射點(diǎn)位于橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)處；光束經(jīng)被測(cè)光柵衍射后再經(jīng)過(guò)橢球面反射鏡反射到達(dá)橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處，測(cè)量橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值；步驟3 用測(cè)量得到的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值除以步驟1分束后的第二光束光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率。ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量得到光柵衍射效率得到角度選擇性曲線的方法，其特征在于從0°到-80°或者0°到80°之間改變照射到被測(cè)光柵上第一光束的入射角，循環(huán)下述步驟步驟(1)將激光器發(fā)出的光按能量1 1的比例分為第一光束和第二光束；步驟じ)將其中第一光束進(jìn)行準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，并以入射角照射到被測(cè)光柵上，調(diào)整入射角的入射點(diǎn)位于橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)處；光束經(jīng)被測(cè)光柵衍射后再經(jīng)過(guò)橢球面反射鏡反射到達(dá)橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處，測(cè)量橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值；步驟(3)用測(cè)量得到的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值除以步驟1分束后的第二光束光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率；得到0°到-80°或者0°到80°之間的衍射效率系列值，以入射角為橫軸，衍射效率為縱軸，得到被測(cè)光柵衍射效率的角度選擇性曲線；所述入射角改變量的步進(jìn)值小于2°。ー種實(shí)現(xiàn)所述利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法的系統(tǒng)，其特征在于包括激光器1、光束分束器2、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9，橢球面反射鏡6、第二光功率探測(cè)器7和第一光功率探測(cè)器8 ；在激光器1的激光光路上設(shè)置光束分束器2，光束分束器2將激光器1發(fā)出的光束分為光強(qiáng)比為1 1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中設(shè)置第二光功率探測(cè)器7測(cè)得第二光束的光強(qiáng)；在第一光束的光路中設(shè)置擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9，將其準(zhǔn)直為直徑小于 Imm的平行光束，被測(cè)光柵設(shè)置在準(zhǔn)直光束的光路上，橢球面反射鏡6設(shè)置在被測(cè)光柵衍射光束的光路上；其中準(zhǔn)直平行光束在被測(cè)光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器8，測(cè)得橢球面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；用第一光功率探測(cè)器8測(cè)量得到的光強(qiáng)數(shù)值除以第二光功率探測(cè)器7測(cè)量得到的光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率。ー種實(shí)現(xiàn)所述利用橢球面反射鏡測(cè)量的光柵衍射效率得到角度選擇性曲線的系統(tǒng)，其特征在于包括激光器1、光束分束器2、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9，橢球面反射鏡6、第二光功率探測(cè)器7和第一光功率探測(cè)器8 ；在激光器1的激光光路上設(shè)置光束分束器2，光束分束器2 將激光器1發(fā)出的光束分為光強(qiáng)比為1 1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中設(shè)置第二光功率探測(cè)器7測(cè)得第二光束的光強(qiáng)；在第一光束的光路中設(shè)置擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9，將其準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，被測(cè)光柵設(shè)置在準(zhǔn)直光束的光路上，橢球面反射鏡6設(shè)置在被測(cè)光柵衍射光束的光路上；其中準(zhǔn)直平行光束在被測(cè)光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器8，測(cè)得橢球面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；將被測(cè)光柵置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上，第一光功率探測(cè)器置于橢球面反射鏡的另一焦點(diǎn)上，調(diào)整擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡后的平行光束照射到被測(cè)光柵上，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)3使得被測(cè)光柵上平行光束的入射角在0°到-80°或者0°到80°之間改變，改變量步進(jìn)值小于2°，使用第一光功率探測(cè)器8在入射角從0°到-80°或者0°到80°之間改變時(shí)測(cè)得拋物面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；在每次變化中用第一光功率探測(cè)器8測(cè)量得到的光強(qiáng)數(shù)值除以第二光功率探測(cè)器7測(cè)量得到的光強(qiáng)的兩倍，得到變化的被測(cè)光柵的系列衍射效率。 所述被測(cè)光柵為反射式光柵或透射式光柵。有益效果本發(fā)明提出的ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法及系統(tǒng)，將橢球面反射鏡引入到測(cè)量系統(tǒng)。橢球面反射鏡的特點(diǎn)是將從ー個(gè)焦點(diǎn)發(fā)出的所有光都引導(dǎo)到第 ニ焦點(diǎn)上。照明光波與光柵的交點(diǎn)在橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)，探測(cè)器的探頭固定在橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)。這樣照明光波以任意角度入射到光柵上的光都可以被探測(cè)器探頭接收。該系統(tǒng)可以在大角度范圍內(nèi)自動(dòng)實(shí)時(shí)的接受衍射光能量?？梢詫?duì)衍射光能量進(jìn)行全程自動(dòng)探測(cè)，節(jié)省了系統(tǒng)空間。有效縮小該測(cè)量系統(tǒng)的體積和減輕其重量，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了衍射效率的實(shí)時(shí)定點(diǎn)測(cè)量。此外，只需整體調(diào)整橢球面反射鏡、光柵入射點(diǎn)及探測(cè)器探頭位置，即可適用于不同探測(cè)角度范圍需求，具有很高的通用性。


圖1 是從橢球面反射鏡ー個(gè)焦點(diǎn)上發(fā)出的不同方向的光匯聚到另ー焦點(diǎn)上的示意圖；圖2 是本發(fā)明測(cè)量反射式光柵衍射效率的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3 是本發(fā)明測(cè)量透射式光柵衍射效率的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖4 是本發(fā)明實(shí)施例得到的被測(cè)光柵衍射效率的角度選擇性曲線圖中1-激光器，2-光束分束器，3-旋轉(zhuǎn)臺(tái)，4-三維調(diào)節(jié)架，5-反射式光柵，6_橢球面反射鏡，7-第二光功率探測(cè)器，8-第一光功率探測(cè)器，9-擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡，10-透射式光柵。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)結(jié)合實(shí)施例、附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步描述實(shí)施例一本發(fā)明設(shè)計(jì)的ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖如圖2所示，包括激光器1，光束分束器2，旋轉(zhuǎn)臺(tái)3，三維調(diào)節(jié)架4，反射式光柵5，橢球面反射鏡6，第二光功率探測(cè)器7，第一光功率探測(cè)器8，擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9。所述的ー種實(shí)現(xiàn)所述利用橢球面反射鏡測(cè)量反射式光柵衍射效率的系統(tǒng)的工作流程如下光纖耦合輸出He-Ne激光器1發(fā)出的波長(zhǎng)為632nm的激光束經(jīng)分光比為1 1 的光纖分束器2分為第一光束和第二光束；第二光束的光強(qiáng)P1被第二光功率探測(cè)器探測(cè)測(cè)量；將反射式光柵5固定在三維調(diào)節(jié)架4上，并整體固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上；第一光束被擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡10擴(kuò)束準(zhǔn)直成直徑不大于Imm的平行光束并入射到反射式光柵5上；調(diào)整三維調(diào)節(jié)架 4和旋轉(zhuǎn)臺(tái)3，其中準(zhǔn)直平行光束在被測(cè)反射式光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡6的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡6的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器8，并測(cè)量得到其強(qiáng)度值P2 ； 用測(cè)量得到的會(huì)聚點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值P2除以第二光束光-P1的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率；以0.00125°的精度改變從40°到55°改變平行光束并入射到反射式光柵5上的入射角，得到衍射效率系列值；以入射角為橫軸，衍射效率為縱軸，得到如圖4所示的被測(cè)光柵衍射效率的角度選擇性曲線。 實(shí)施例ニ 本發(fā)明設(shè)計(jì)的ー種利用橢球面透射鏡測(cè)量透射式光柵衍射效率的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖如圖3所示，包括激光器1，光束分束器2，旋轉(zhuǎn)臺(tái)3，三維調(diào)節(jié)架4，橢球面反射鏡6，第二光功率探測(cè)器7，第一光功率探測(cè)器8，擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9，透射式光柵10。所述的ー 種實(shí)現(xiàn)所述利用橢球面透射鏡測(cè)量透射式光柵衍射效率的系統(tǒng)的工作流程如下光纖耦合輸出He-Ne激光器1發(fā)出的波長(zhǎng)為632nm的激光束經(jīng)分光比為1 1的光纖分束器2分為第一光束和第二光束；第二光束的光強(qiáng)P1被第二光功率探測(cè)器探測(cè)測(cè)量；將透射式體光柵 10固定在三維調(diào)節(jié)架4上，并整體固定于旋轉(zhuǎn)臺(tái)3上，；第一光束被擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡9擴(kuò)束準(zhǔn)直成直徑不大于Imm的平行光束并入射到透射式光柵10上；調(diào)整三維調(diào)節(jié)架4和旋轉(zhuǎn)臺(tái)3， 并設(shè)置橢球面反射鏡6的ー個(gè)焦點(diǎn)位置與光束入射點(diǎn)重合，其中準(zhǔn)直平行光束在被透射式測(cè)光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器8，并測(cè)量得到其強(qiáng)度值P2 ；用測(cè)量得到的會(huì)聚點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值P2除以第二光束光-P1的兩倍，得到被測(cè)透射式光柵的衍射效率；以0.00125°的精度改變從40°到改變平行光束并入射到透射式光柵10上的入射角，得到衍射效率系列值；以入射角為橫軸，衍射效率為縱軸，得到如圖4所示的被測(cè)光柵衍射效率的角度選擇性曲線。
權(quán)利要求
1.ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法，其特征在于步驟如下步驟1:將激光器發(fā)出的光按能量1 1的比例分為第一光束和第二光束；步驟2 將其中第一光束進(jìn)行準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，并以入射角照射到被測(cè)光柵上，調(diào)整入射角的入射點(diǎn)位于橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)處；光束經(jīng)被測(cè)光柵衍射后再經(jīng)過(guò)橢球面反射鏡反射到達(dá)橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處，測(cè)量橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值；步驟3 用測(cè)量得到的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值除以步驟1分束后的第二光束光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率。
2.ー種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率得到角度選擇性曲線的方法，其特征在于從0°到-80°或者0°到80°之間改變照射到被測(cè)光柵上第一光束的入射角，循環(huán)下述步驟步驟(1)將激光器發(fā)出的光按能量1 1的比例分為第一光束和第二光束；步驟O)將其中第一光束進(jìn)行準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，并以入射角照射到被測(cè)光柵上，調(diào)整入射角的入射點(diǎn)位于橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)處；光束經(jīng)被測(cè)光柵衍射后再經(jīng)過(guò)橢球面反射鏡反射到達(dá)橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處，測(cè)量橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值；步驟(3)用測(cè)量得到的第二焦點(diǎn)處的光強(qiáng)數(shù)值除以步驟1分束后的第二光束光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率；得到0°到-80°或者0°到80°之間的衍射效率系列值，以入射角為橫軸，衍射效率為縱軸，得到被測(cè)光柵衍射效率的角度選擇性曲線；所述入射角改變量的步進(jìn)值小于2°。
3.ー種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1所述利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法的系統(tǒng)，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器( 、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(9)，橢球面反射鏡(6)、第二光功率探測(cè)器(7)和第一光功率探測(cè)器(8)；在激光器(1)的激光光路上設(shè)置光束分束器0)，光束分束器( 將激光器(1)發(fā)出的光束分為光強(qiáng)比為1 1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中設(shè)置第二光功率探測(cè)器(7)測(cè)得第二光束的光強(qiáng)；在第一光束的光路中設(shè)置擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(9)，將其準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，被測(cè)光柵設(shè)置在準(zhǔn)直光束的光路上， 橢球面反射鏡(6)設(shè)置在被測(cè)光柵衍射光束的光路上；其中準(zhǔn)直平行光束在被測(cè)光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器(8)，測(cè)得橢球面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；用第一光功率探測(cè)器(8)測(cè)量得到的光強(qiáng)數(shù)值除以第二光功率探測(cè)器(7)測(cè)量得到的光強(qiáng)的兩倍，得到被測(cè)光柵的衍射效率。
4.ー種實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求2所述利用橢球面反射鏡測(cè)量的光柵衍射效率得到角度選擇性曲線的系統(tǒng)，其特征在于包括激光器(1)、光束分束器O)、擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(9)，橢球面反射鏡 (6)、第二光功率探測(cè)器(7)和第一光功率探測(cè)器(8)；在激光器(1)的激光光路上設(shè)置光束分束器O)，光束分束器( 將激光器(1)發(fā)出的光束分為光強(qiáng)比為1 1的第一光束和第二光束；在第二光束的光路中設(shè)置第二光功率探測(cè)器(7)測(cè)得第二光束的光強(qiáng)；在第一光束的光路中設(shè)置擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡(9)，將其準(zhǔn)直為直徑小于Imm的平行光束，被測(cè)光柵設(shè)置在準(zhǔn)直光束的光路上，橢球面反射鏡(6)設(shè)置在被測(cè)光柵衍射光束的光路上；其中準(zhǔn)直平行光束在被測(cè)光柵上的入射點(diǎn)為橢球面反射鏡的ー個(gè)焦點(diǎn)，在橢球面反射鏡的另ー個(gè)焦點(diǎn)處設(shè)置第一光功率探測(cè)器(8)，測(cè)得橢球面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；將被測(cè)光柵置于旋轉(zhuǎn)臺(tái)(3)上，第一光功率探測(cè)器置于橢球面反射鏡的另一焦點(diǎn)上，調(diào)整擴(kuò)束準(zhǔn)直鏡后的平行光束照射到被測(cè)光柵上，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)( 使得被測(cè)光柵上平行光束的入射角在0° 到-80°或者0°到80°之間改變，改變量步進(jìn)值小于2°，使用第一光功率探測(cè)器(8)在入射角從0°到-80°或者0°到80°之間改變時(shí)測(cè)得拋物面反射鏡上第二光束的反射光強(qiáng)度；在每次變化中用第一光功率探測(cè)器(8)測(cè)量得到的光強(qiáng)數(shù)值除以第二光功率探測(cè)器 (7)測(cè)量得到的光強(qiáng)的兩倍，得到變化的被測(cè)光柵的系列衍射效率。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的系統(tǒng)，其特征在于所述被測(cè)光柵為反射式光柵或透射式光柵。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種利用橢球面反射鏡測(cè)量光柵衍射效率的方法及系統(tǒng)，將橢球面反射鏡引入到測(cè)量系統(tǒng)。橢球面反射鏡的特點(diǎn)是將從一個(gè)焦點(diǎn)發(fā)出的所有光都引導(dǎo)到第二焦點(diǎn)上。照明光波與光柵的交點(diǎn)在橢球面反射鏡的第一焦點(diǎn)，探測(cè)器的探頭固定在橢球面反射鏡的第二焦點(diǎn)。這樣照明光波以任意角度入射到光柵上的光都可以被探測(cè)器探頭接收。該系統(tǒng)可以在大角度范圍內(nèi)自動(dòng)實(shí)時(shí)的接受衍射光能量?？梢詫?duì)衍射光能量進(jìn)行全程自動(dòng)探測(cè)，節(jié)省了系統(tǒng)空間。有效縮小該測(cè)量系統(tǒng)的體積和減輕其重量，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了衍射效率的實(shí)時(shí)定點(diǎn)測(cè)量。此外，只需整體調(diào)整橢球面反射鏡、光柵入射點(diǎn)及探測(cè)器探頭位置，即可適用于不同探測(cè)角度范圍需求，具有很高的通用性。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102564741SQ20121000793
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2012年1月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月4日
發(fā)明者吳冰靜, 姜宏振, 張顏艷, 王駿, 趙建林, 邸江磊, 陳鑫 申請(qǐng)人:西北工業(yè)大學(xué)