專利名稱：導電圖案檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種檢測形成于基板上的導電圖案中例如斷線位置或短路位置等不良發(fā)生位置的導電圖案檢查裝置。
背景技術：
先前的平板顯示器等領域中，大多使用基板上配設有多個導電圖案的電路基板。這種電路基板中，若導電圖案中發(fā)生斷線或短路，則無法發(fā)揮原有的功能。因此，在制造電路基板時，對各導電圖案進行斷線或短路檢查。為了使該檢查簡單并且具高精度，先前提出了多種檢查技術。 例如，在專利文獻1、2中，公開了一種斷線/短路位置檢測技術，其在判斷導電圖案中發(fā)生了斷線或短路時，檢測該導電圖案中何處發(fā)生了斷線/短路。具體而言，在專利文獻I中，公開了一種技術，其在對作為檢查對象的導電圖案施加了特定的檢查信號(交流電壓)的狀態(tài)下，使設有多個電極的傳感器沿著發(fā)生了斷線或短路的導電圖案移動，在此時根據由電極所誘發(fā)的交流電壓值的變化來確定斷線位置。另外，在專利文獻2中，公開了一種技術，其從作為檢查對象的導電圖案的一端提供檢查信號，并且一邊使檢測電極沿著斷線圖案移動，一邊讀取檢查信號，并根據讀取信號的變動確定斷線/短路位置。現有技術文獻(專利文獻)專利文獻I日本專利特開2008-102031號公報專利文獻2日本專利特開2006-284597號公報

發(fā)明內容
然而，所述現有技術文獻1、2中所記載的技術存在如下問題其雖然對所有導電圖案每隔特定間隔平行配設的情況有效，但難以應用于導電圖案的配設角度適當不同的情況。例如，用于平板顯示器的基板中，實際上設置有顯示可視影像的像素區(qū)域。該像素區(qū)域中，多個導電圖案每隔特定的間隔而平行配設。另外，在像素區(qū)域的外側，多個導電圖案與驅動IC連接。其中，通常，驅動IC的端子間距比像素區(qū)域中的導電圖案的配設間距小得多。因此，為了將多個導電圖案連接到驅動IC上，在像素區(qū)域的外側，需要急劇減小導電圖案的配設間距。因而，在像素區(qū)域的外側，多個導電圖案以配設間距逐漸減小的方式傾斜配設。若從另一觀點來看，在像素區(qū)域的外側，每個導電圖案是以不同的配設角度配設。為了使用現有技術文獻1、2中所記載的技術來確定這種配設間距逐漸變化的區(qū)域中的斷線/短路位置，需要使電極沿著該配設間距緩慢變化的導電圖案移動(跟蹤)。然而，如上所述，存在每個導電圖案的連接配設角度不同，無法簡單地進行跟蹤的問題。當然，也存在存儲各導電圖案的配設角度，使電極在該存儲的配設角度方向上移動的方法。然而，此時，存在控制非常復雜的問題。因此，本發(fā)明的目的在于提供一種不管導電圖案采用何種配設方式，均可以簡單地確定斷線或短路位置的導電圖案檢查裝置。本發(fā)明的導電圖案檢查裝置在基板上在第一方向上間隔配設的多個導電圖案中，檢測發(fā)生了斷線的導電圖案的斷線圖案中的斷線位置，該裝置包括施加機構，從所述斷線圖案的一端施加交流電壓；傳感器，介由間隙與所述基板相對并且移動，并至少具有兩個以上電極；以及控制部，根據通過所述電極所檢測的信號判斷所述傳感器的移動方向與斷線處；所述兩個以上電極至少包括配設于所述第一方向上的兩個跟蹤電極；所述控制部根據所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的比較結果來判斷所述傳感器相對于所述斷線圖案在所述第一方向上的位置是否適當，并根據該判斷結果決定所述傳感器的移動方向。在優(yōu)選的方式中，所述控制部進行移動處理，使所述傳感器在與所述第一方向垂直的第二方向上移動規(guī)定距離從而使其遠離所述一端；跟蹤處理，在所述移動處理后，根據·所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的比較結果來調整所述傳感器在第一方向上的位置，從而使斷線圖案位于所述兩個跟蹤電極的中間；以及判斷處理，在所述跟蹤處理后，判斷所述傳感器是否到達斷線處；所述控制部反復進行上述處理，直至所述判斷處理中判斷所述傳感器到達斷線處為止。在其他優(yōu)選的方式中，進一步具有輸出所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的差值的差分器、以及用施加信號對來自所述差分器的輸出信號進行同步檢波的同步檢波器，所述控制部根據來自所述同步檢波器的輸出信號來判斷所述傳感器相對于所述斷線圖案在所述第一方向上的位置是否正確。此時，優(yōu)選地，所述兩個以上電極進一步包括設置于所述兩個跟蹤電極之間的一個斷線檢測電極，所述控制部根據所述斷線檢測電極所檢測的信號來判斷所述傳感器是否到達斷線處。并且，優(yōu)選地，進一步具有輸出所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的差值的差分器、以及對來自所述差分器的輸出信號進行整流的整流元件，所述控制部根據使所述傳感器在第一方向上移動時來自所述整流元件的輸出信號的變化來判斷所述傳感器是否到達斷線處。本發(fā)明的另一種導電圖案檢查裝置的特征在于在基板上在第一方向上間隔配設的多個導電圖案中，檢測發(fā)生了短路的導電圖案的短路圖案中的短路位置，該裝置具有施加機構，從相鄰的兩個短路圖案的各自一端施加交流電壓，并使電流在所述兩個短路圖案及短路部分所構成的閉合電路中流動；檢測用線圈，介由間隙與所述基板相對并移動，并且檢測形成于周圍的磁場作為電壓信號；以及控制部，根據所述檢測用線圈所檢測的電壓信號來判斷所述檢測用線圈的移動方向與短路處。所述控制部根據所述電壓信號的電平來判斷所述檢測用線圈相對于所述短路圖案在所述第一方向上的位置是否正確，并根據該判斷結果來決定所述檢測用線圈的移動方向。根據本發(fā)明，由于其判斷傳感器相對于斷線圖案在第一方向上的位置、或檢測用線圈相對于短路圖案在第一方向上的位置是否適當，因此，無論導電圖案采用何種配設方式，均可以使傳感器或檢測用線圈沿著導電圖案移動，結果可以簡單地確定斷線或短路位置。


圖I為表示作為本發(fā)明中作為檢查對象的基板的例子的示意圖；圖2為第一實施方式的導電圖案檢查裝置的結構示意圖；圖3為表示傳感器位置與輸出信號之間的關系的示意4為表示傳感器位置與跟蹤信號之間的關系的示意圖；圖5為表示確定斷線位置的流程的流程圖；圖6為第二實施方式的導電圖案檢查裝置的結構示意圖；圖7為表示傳感器位置與斷線檢測信號之間的關系的示意圖； 圖8為表示第二實施方式的確定斷線位置的流程的流程圖；圖9為第三實施方式的導電圖案檢查裝置的結構示意圖；圖10為表示傳感器位置與跟蹤信號以及斷線檢測信號之間的關系的示意圖；圖11為第四實施方式的導電圖案檢查裝置的結構示意圖；圖12為表示檢測用線圈與跟蹤信號以及短路檢測信號之間的關系的示意圖；圖13為表示第四實施方式的確定斷線位置的流程的流程圖。附圖標記說明10導電圖案檢查裝置12施加機構14傳感器16傳感器驅動機構18控制部20 觸頭22交流電源30a、30b 跟蹤電極32斷線檢測電極34、38、40、62 差動放大器36、44、64同步檢波器42、58 加法器46、52、54、66 二極管48、50 放大器56差分器60檢測用線圈110導電圖案112導電墊片
具體實施例方式以下，參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。本實施方式的導電圖案檢查裝置10是一種檢查用于平板顯示器等的玻璃基板上所形成的導電圖案110優(yōu)劣的檢查裝置，尤其是一種可用于確定斷線位置的結構。在詳細說明該導電圖案檢查裝置10之前，簡單說明本實施方式中作為檢查對象的基板的結構。圖I為用于平板顯示器的基板的結構示意圖。該基板中，由Y方向上配設有多個導電圖案IlOa的第一層、X方向上配設有多個導電圖案IlOb的第二層、以及存在于第一層與第二層之間的絕緣層層積在Z方向上而構成。形成于第一層的導電圖案IlOa以及形成于第二層的導電圖案IlOb(以下，在不區(qū)別兩者時，省略附標字母，稱作“導電圖案110”)，在像素區(qū)域El中，以相互交叉的方式配設。通過這兩層的導電圖案IlOaUlOb的交叉點形成I個像素，通過這些像素的集合構成顯示可視影像的像素區(qū)域E1。該像素區(qū)域El中，導電圖案110間隔特定的第一間隔平行排列。各導電圖案110，在像素區(qū)域El的外側，與驅動IC(圖中未示出)連接。該驅動IC的連接端子，以比像素區(qū)域El中的導電圖案110的配設間距小得多的間距排列。因此，由于與驅動IC連接，多個導電圖案110在像素區(qū)域El的外側的配設間距大大縮小。結果，在像素區(qū)域El的外側，形成連接區(qū)域E2以及中間區(qū)域E3，所述連接區(qū)域E2中，多個導電圖案110以比第一間隔小的第二間隔平行排列，所述中間區(qū)域E3中，導電圖案110之間的間隔從第一間隔逐漸變化至第二間隔。該中間區(qū)域E3中，大部分導電圖案110相對于X軸或·Y軸傾斜配設，相鄰的導電圖案110的配設角度不同。各導電圖案110的另一端(未與驅動IC連接的一側的端部)設有導電墊片112。該導電墊片112的寬度比導電圖案110寬，用于提供或檢測各種檢查用信號。接著，參照圖2說明檢查形成于該基板上的導電圖案110的導電圖案檢查裝置10的結構。圖2為表示本實施方式的導電圖案檢查裝置10的結構示意圖。需要說明的是，圖2中，省略了第二層的導電圖案IlOb的圖示。以下，根據圖2僅對確定第一層的導電圖案110的斷線位置的原理進行說明，但該確定原理同樣適用于第二層的導電圖案110b。如上所述，該導電圖案檢查裝置10是對確定發(fā)生了斷線的導電圖案110中何處發(fā)生斷線的斷線位置尤其有用的結構。需要說明的是，以下僅對確定斷線位置進行詳細說明，但導電圖案檢查裝置10中，除了確定斷線位置的功能，還可以載入判斷有無斷線或短路的功能、確定短路位置的功能等。導電圖案檢查裝置10具備對斷線的導電圖案110施加交流電壓的施加機構12、檢測該施加的交流電壓的傳感器14、對傳感器14的檢測信號進行特定處理并將其輸出的信號處理電路、驅動傳感器14的傳感器驅動機構16、以及控制所述各機構的控制部18等。施加機構12是從斷線的導電圖案110的一端(本實施方式中為導電墊片112)施加用于檢查的交流電壓的機構。該施加機構12是由例如與導電墊片112接觸的觸頭20、介由觸頭20向導電圖案110提供交流電壓的交流電源22等構成。需要說明的是，在本實施方式中，使用觸頭20以接觸式來施加電壓，但也可以使用與導電圖案110靜電耦合的電極，以非接觸式來施加電壓。傳感器14檢測施加的交流電壓，控制部18根據該檢測結果確定傳感器14的移動方向或斷線位置。傳感器14具有排列在Y方向(即導電圖案110的配設方向)上的三個電極30a、30b、32。檢查斷線位置時，該傳感器14由傳感器驅動機構16驅動而移動。其移動方向如下詳述的那樣，根據來自各電極30a、30b、32的檢測信號來決定。三個電極中，兩側的兩個電極30a、30b作為檢測用于跟蹤傳感器14的信號的跟蹤電極而發(fā)揮功能。需要說明的是，不區(qū)別兩者時，省略附標字母，稱作“跟蹤電極30”。另外，為了方便說明，將圖2中示于上側的跟蹤電極30a稱作第一跟蹤電極，將示于下側的跟蹤電極30b稱作第二跟蹤電極。另外，配設于兩個跟蹤電極30a、30b之間的電極32作為斷線檢測電極而發(fā)揮功能，檢測用于判斷從導電墊片112至傳感器14的當前位置之間是否發(fā)生斷線的信號。兩個跟蹤電極30所檢測的信號，經由差動放大器34以及同步檢波器36，作為跟蹤信號Sa輸入至控制部18。差動放大器34放大兩個跟蹤電極30所檢測的信號的差值后將其輸出。同步檢波器36利用施加于導電圖案110的信號對來自該差動放大器34的輸出信號進行同步檢波?？刂撇?8根據該同步檢波器36所輸出的跟蹤信號Sa進行使傳感器14位于導電圖案110的正上方跟蹤處理。兩個跟蹤電極30以及一個斷線檢測電極32所檢測的信號，經由兩個差動放大器38,40與一個加法器42以及一個同步檢波器44，作為斷線檢測信號Sb，輸入至控制部18。兩個差動放大器38、40放大斷線檢測電極32的檢測信號與跟蹤電極30的檢測信號之間的差值并輸出。本實施方式中，將斷線檢測電極32的檢測信號連接至各差動放大器的負(-) 輸入側。加法器42，將來自兩個差動放大器38、40的輸出信號相加。同步檢波器44用施加于導電圖案110的信號來對來自該加法器42的輸出信號進行同步檢波?？刂撇?8根據該同步檢波器44輸出的斷線檢測信號Sb，來判斷從導電墊片112至傳感器14的當前位置之間是否發(fā)生了斷線(即，傳感器14是否到達斷線處)。接下來，對利用該導電圖案檢查裝置10來確定斷線位置時的原理進行說明。首先參照圖3、圖4，對跟蹤信號Sa進行說明。圖3為表示傳感器14的位置與差動放大器34所輸出的信號Sk之間的關系的示意圖。另外，圖4為表示傳感器14的位置與跟蹤信號Sa之間的關系的不意圖。本實施方式中，設有三個電極30a、30b、32的傳感器14,介由間隙相對于基板配置，各電極30a、30b、32可與相對的導電圖案110靜電稱合。因此,若施加了電壓的導電圖案110位于一個電極的正下方，則該一個電極中誘發(fā)對應施加電壓的電壓，若施加了電壓的導電圖案110不在一個電極的正下方，則該一個電極中幾乎不會誘發(fā)電壓。如圖3中的狀況1，導電圖案110位于第一跟蹤電極30a的正下方時，第一跟蹤電極30a中誘發(fā)對應施加電壓的交流電壓，遠離導電圖案110的第二跟蹤電極30b中幾乎不會誘發(fā)電壓。因此，該狀況I中，從第一跟蹤電極30a的檢測信號中減去了第二跟蹤電極30b的檢測信號后所得到的信號Sk，如圖3的第一列所示，為與施加信號同步的交流信號。與此相反，如圖3中的狀況3，導電圖案110位于第二跟蹤電極30b的正下方時，第二跟蹤電極30b中誘發(fā)對應施加電壓的交流電壓，遠離導電圖案110的第一跟蹤電極30a中幾乎不誘發(fā)電壓。因此，該狀況3中，信號Sk如圖3的第三列所示，為與施加信號反相的交流信號。進一步，如圖3中的狀況2，導電圖案110位于斷線檢測電極32的正下方時，第一、第二跟蹤電極30a、30b中誘發(fā)電平大致相同的交流電壓。即，兩個跟蹤電極30a、30b的檢測信號之間幾乎沒有差異。因此，該狀況2中，表示兩個跟蹤電極30a、30b的差值的信號Sk，如圖3的第二列所示，大約為O。跟蹤信號Sa為在該信號Sk乘以與施加信號(交流電壓)同步的脈沖信號(參照圖3的第四列)，用施加信號來對信號Sk進行同步檢波后的信號。因此，如圖4所示，在斷線檢測電極32位于導電圖案110的正上方時，該跟蹤信號Sa大約為O;在第一跟蹤電極30a位于導電圖案110的正上方時，該跟蹤信號Sa為正數值；在第二跟蹤電極30b位于導電圖案110的正上方時，該跟蹤信號Sa為負數值。S卩，由跟蹤信號Sa的值來判斷傳感器14相對于導電圖案110在Y方向上的位置。本實施方式中，利用該原理，進行跟蹤處理，該處理中，判斷傳感器14相對于導電圖案110在Y方向上的位置，并調整傳感器14在Y方向上的位置，以使斷線檢測電極32位于導電圖案110的正上方。具體而言，反復進行如下處理直至跟蹤信號的Sa的值大約為0，S卩，跟蹤信號Sa的值為正數時，使傳感器14稍向Y方向正側(第一跟蹤電極30a側)移動，跟蹤信號Sa的值為負數時，使傳感器14稍向Y方向的負側(第二跟蹤電極30b側)移動。通過進行該跟蹤處理，即使對于中間彎曲的形狀的導電圖案110，也可以確保傳感器14相對于導電圖案110在Y方向上的位置始終合適。需要說明的是，各電極的檢測信號中，通常包含高頻率的噪音，這種噪音將導致測定精度降低。但是，本實施方式中，在計算兩個跟蹤電極30a、30b的檢測信號的差值時，兩個檢測電極中所包含的噪音相互抵消。從而，能夠得到良好的S/N比。 接下來，對斷線檢測信號Sb進行說明。本實施方式中，在使斷線檢測電極32位于導電圖案110的正上方的狀態(tài)下，根據該斷線檢測電極32所檢測的信號，判斷有無斷線。即，從信號施加處至傳感器14的當前位置之間未發(fā)生斷線時，斷線檢測電極32與施加了電壓的導電圖案110相對。結果，斷線檢測電極32中將誘發(fā)對應施加電壓的電壓。另一方面，導電圖案110中，超過斷線位置處，不誘發(fā)交流電壓。因此，傳感器14超過斷線位置時，與斷線檢測電極32相對的導電圖案110中不誘發(fā)交流電壓，該斷線檢測電極32中也不會誘發(fā)電壓。因此，可通過觀察斷線檢測電極32的檢測信號來判斷傳感器14是否超過斷線位置。其中，如上所述，各電極的檢測信號通常包括高頻率的噪音，這種噪音將導致測定精度降低。因此，本實施方式中，計算斷線檢測電極32與跟蹤電極30a、30b之間的差值，來抵消這些電極的檢測信號中所包含的噪音。本實施方式中，由于將斷線檢測電極32的輸出信號輸入至差動放大器38、40的負(-)輸入側，因此，在傳感器14未超過斷線位置時，將從各差動放大器38、40中輸出與施加信號反相、且除去了噪音的信號。通過用加法器42將該與施加信號反相、且除去了噪音的信號相加，并用同步檢波器44進行同步檢波，來輸出負數信號。即，本實施方式中，傳感器14未超過斷線位置時，斷線檢測信號Sb為負數值。另一方面，傳感器14超過斷線位置時，電極30a、30b、32中均幾乎不誘發(fā)電壓。結果，來自各差動放大器38、40的輸出信號大約為0，同步檢波器44所輸出的斷線檢測信號Sb也幾乎為O。S卩，根據本實施方式，在斷線檢測信號Sb為負數時，可判斷傳感器14未超過斷線位置，在斷線檢測信號Sb大約為O時，可判斷傳感器14超過了斷線位置。本實施方式中，利用這些原理來進行斷線位置的確定。參照圖5對具體的確定斷線位置的流程進行說明。圖5為表示確定斷線位置的流程的流程圖。確定斷線位置時，首先，使傳感器14移動至發(fā)生了斷線的導電圖案110的一端(施加信號處的附近)的正上方(S10)。接著，使傳感器14向X方向負側(遠離導電墊片112側)僅移動規(guī)定距離d(S12)。該規(guī)定距離d根據確定斷線位置時所要求的分辨率來決定。例如，若使用IOmm左右的分辨率即可確定斷線位置，則規(guī)定距離d設定為比該分辨率稍低的值，例如5mm等即可。若使傳感器14向X方向負側移動，則接著進行使斷線檢測電極32位于導電圖案110的正上方的跟蹤處理(S14 S18)。即，如像素區(qū)域那樣，導電圖案110在X方向上平行延伸時，即便使傳感器14在X方向上移動，斷線檢測電極32仍然位于導電圖案110的正上方。然而，如中間區(qū)域那樣，導電圖案110不平行于X方向時，若使傳感器14在X方向上移動，則斷線檢測電極32相對于導電圖案110在Y方向上的位置會偏移。因此，本實施方式中，每次使傳感器14向X方向負側移動時，都執(zhí)行使斷線檢測電極32位于導電圖案110的正上方的跟蹤處理，使斷線檢測電極32始終位于導電圖110的正上方。跟蹤處理中，首先確認跟蹤信號Sa的值(S14)。跟蹤信號Sa顯示為負數值時，斷線檢測電極32不在導電圖案110的正上方，偏向第一跟蹤電極30a側。此時，使傳感器14稍向Y方向正側(圖2中的上方方向)移動(S16)。另外，跟蹤信號Sa顯示為負數值時，傳感器14偏向第二跟蹤電極30b側。此時，使傳感器14稍向Y方向負側(圖2中的下方方向)移動(S18)。然后，再次計算跟蹤信號Sa，反復進行以上操作直至最終跟蹤信號Sa大·約為O。若跟蹤信號Sa大約為0，則接下來執(zhí)行判斷傳感器14是否到達斷線位置的判斷處理。在判斷處理中，確認斷線檢測信號Sb的值(S20)。斷線檢測信號Sb小于O時，判斷傳感器14未超過斷線位置，返回步驟S12。另一方面，斷線檢測信號Sb大約為O時，控制部18判斷傳感器14到達斷線位置，將該傳感器14的位置確定為斷線位置(S22)。由以上說明可清楚了解，本實施方式中，在判斷傳感器14是否到達斷線位置之前，進行使傳感器14位于導電圖案110的正上方的跟蹤操作。結果，即使將如圖I所示的中間彎曲的導電圖案110作為對象時，也可確保傳感器14的位置始終適當。從而，無論導電圖案110采用何種配設方式，均可簡單地確定斷線位置。另外，本實施方式中，由于將兩個電極所檢測的信號輸入至差動器，因此可以抵消除去兩個檢測信號中所包含的噪音。因此，可以得到良好的S/N比。接下來，參照圖6對第二實施方式進行說明。圖6為表示第二實施方式的導電圖案檢查裝置10的結構示意圖。該導電圖案檢查裝置10與第一實施方式的導電圖案檢查裝置10—樣，是一種用于確定斷線位置的裝置。其中，與第一實施方式不同的是，本實施方式中，傳感器14中僅設置有兩個跟蹤電極30a、30b，這兩個跟蹤電極30a、30b之間未設置斷線檢測電極32。并且,本實施方式中，與第一實施方式一樣，將從兩個跟蹤電極30a、30b輸出至差動放大器34、再從差動放大器34經由同步檢波器36輸出的信號，作為跟蹤信號Sa，用于跟蹤處理中。另外，與第一實施方式不同的是，本實施方式中，將從兩個跟蹤電極30a、30b輸出至差動放大器34、再從差動放大器34經由二極管輸出的信號，作為斷線檢測信號Sb，用于判斷有無斷線的判斷處理中。其次，對利用該導電圖案檢查裝置10對斷線位置進行確定的原理進行說明。本實施形態(tài)中所得到的跟蹤信號Sa具有與使用圖3、4說明的跟蹤信號Sa相同的特性。S卩，若傳感器14的中央(兩個跟蹤電極30a、30b的中間)位于導電圖案110的正上方，則跟蹤信號Sa大約為O。另一方面，若傳感器14偏向第一跟蹤電極30a側，則跟蹤信號Sa為正數值；若傳感器14偏向第二跟蹤電極30b側，則跟蹤信號Sa為負數值。控制部18根據該跟蹤信號Sa，調整傳感器14在Y方向上的位置，以使傳感器14的中央位于導電圖案110的正上方。接下來，對本實施方式的斷線檢測信號Sb進行說明。本實施方式的斷線檢測信號Sb是對兩個跟蹤電極30a、30b的差值信號整流后的信號。其中，傳感器14超過斷線位置時，兩個跟蹤電極30a、30b中當然幾乎不會誘發(fā)電壓，因此，所得到的斷線檢測信號Sb也大約為O。接下來，參照圖7對傳感器14未超過斷線位置的情況進行說明。傳感器14未超過斷線位置，并且傳感器14的中央位于導電圖案110的正上方時，來自差動放大器34的輸出信號大約為0，因此，從二極管46輸出的斷線檢測信號Sb也大約為O。另一方面，在傳感 器14未超過斷線位置的狀態(tài)下，傳感器14偏向第一跟蹤電極30a側或第二跟蹤電極30b側時，將從差動放大器34輸出一定電平的交流信號。通過將該交流信號輸入至正向配置的二極管46中進行整流，可得到正的斷線檢測信號Sb。S卩，傳感器14未超過斷線位置時，若在Y方向上移動傳感器14，則斷線檢測信號Sb的值將發(fā)生變化。本實施方式中，利用該特性，根據使傳感器14在Y方向上移動時的斷線檢測信號Sb的變化，來判斷傳感器14是否到達斷線位置。圖8為表示該導電圖案檢查裝置10中的確定斷線位置的流程的流程圖。該流程圖中，步驟SlO 步驟S18與圖5中的相同。S卩，確定斷線位置時，首先使傳感器14位于作為對象的導電圖案110的一端的正上方(SlO)。接著，使傳感器向X方向負側僅移動規(guī)定距離d(S12)。接著，執(zhí)行跟蹤操作，即，根據跟蹤信號Sa，調整傳感器14在Y方向上的位置，以使導電圖案110位于傳感器14的中央的正下方(S14 S18)。跟蹤信號Sa大約為0，可判斷導電圖案110位于傳感器14的中央的正下方時，接著執(zhí)行判斷傳感器14是否到達斷線位置的判斷處理(S20 S26)。在判斷處理中，首先，使傳感器14向Y方向正側僅移動規(guī)定距離e (S20)。該規(guī)定距離e的值并無特別限定，但優(yōu)選為兩個跟蹤電極30a、30b在Y方向上的間隔的1/2。通過設定為該值，在步驟S20中，可以使跟蹤電極30b位于導電圖案110的正上方。若使傳感器14向Y方向正側移動，則接著確認此時的斷線檢測信號Sb (S22)。斷線檢測信號Sb不為O且為一定大小以上的正數信號時，控制部18判斷傳感器14未到達斷線位置。此時，控制部18使傳感器14向Y方向負側僅移動規(guī)定距離e(S24)，并使導電圖案110位于傳感器14的中央的正下方后，返回步驟S12。另一方面，斷線檢測信號Sb大約為O時，控制部18判斷傳感器14到達斷線位置。此時，控制部18將傳感器14的當前位置確定為斷線位置，結束處理(S26)。由以上說明可清楚了解，本實施方式中，由于進行使傳感器14位于導電圖案110的正上方的跟蹤操作，因此，即使以中間彎曲的導電圖案110為對象，也可使傳感器14沿著導電圖案110移動。從而，無論導電圖案110采用何種配設方式，均可簡單地確定斷線位置。另外，如本實施方式這樣，即使僅設兩個電極，也可以準確地判斷有無斷線。進一步，本實施方式與第一實施方式一樣，將兩個電極所檢測的信號輸入至差動器，因此，可抵消除去兩個檢測信號中包含的噪音，并可得到良好的S/N比。接著，參照圖9對第三實施方式進行說明。圖9為表示第三實施方式的導電圖案檢查裝置10的結構示意圖。該導電圖案檢查裝置10與第一、第二實施方式的導電圖案檢查裝置10—樣，是一種用于確定斷線位置的裝置。其中，與第一實施方式不同的是，本實施方式中，傳感器14中僅設置有兩個跟蹤電極30a、30b，這兩個跟蹤電極30a、30b之間未設置斷線檢測電極32。另外，本實施方式中，與第一、第二實施方式不同，其是未使用差動放大器的結構。即，本實施方式中，用放大器48放大來自第一跟蹤電極30a的輸出信號，用正向配置的第一二極管52對該放大信號進行整流。并且，使用放大器50放大來自第二跟蹤電極30b的輸出信號，用反向配置的第二二極管54對該放大信號進行整流。然后，用加法器58將來自第一二極管52、第二二極管54的輸出信號相加，并將相加后的信號作為跟蹤信號Sa。另外，將從第一二極管52的輸出信號中減去第二二極管54的輸出信號后的差值信號作為斷線檢測信號Sb。圖10為表示本實施方式的傳感器14的位置與跟蹤信號Sa以及斷線檢測信號Sb的關系的示意圖。首先對跟蹤信號Sa進行說明?？紤]傳感器14未超過斷線位置，且傳感·器14的中央位于導電圖案110的正上方的情況。此時，從各二極管52、54輸出的信號均為O。因此，將來自這兩個二極管52、54的輸出信號相加后所得到的跟蹤信號Sa也大約為O。另一方面，第一跟蹤電極30a位于導電圖案110的正上方時，將形成為如下狀態(tài)第一跟蹤電極30a中誘發(fā)對應施加電壓的交流電壓，第二跟蹤電極30b中幾乎未施加電壓。此時，從第一二極管52輸出特定電平的正數信號，從第二二極管54輸出大約為O的信號。并且，將這兩個信號相加后而得到的跟蹤信號Sa為正數值。反之，第二跟蹤電極30b位于導電圖案110的正上方時，從第一二極管52輸出大約為O的信號，從第二二極管54輸出特定電平的負數信號。并且，將這兩個信號相加后而得到的跟蹤信號Sa為負數值。因此，傳感器14未超過斷線位置時，跟蹤信號Sa理論上如圖10的右側中的用粗線表示的部分所示，若傳感器14的中央位于導電圖案110的正上方，則跟蹤信號Sa大約為O ;若傳感器14在Y方向上發(fā)生偏移時，則為大小對應該偏移量、且為對應偏移方向的正數或負數的信號。其中，本實施方式中，由于未計算兩個跟蹤電極30a、30b的檢測信號的差值，因此，各電極的檢測信號中所包含的噪音仍然殘留在跟蹤信號Sa中。因此，實際上得到的跟蹤信號為包含圖10的右側用細線表示的噪音的信號。接下來，對斷線檢測信號Sb進行說明。傳感器14超過斷線位置時，無論傳感器14在Y方向的位置如何，各電極均無法與施加了電壓的導電圖案110相對。因此，此時無論傳感器14在Y方向的位置如何，所得到的斷線檢測信號Sb均大約為O。另外，傳感器14未超過斷線位置，傳感器14的中央位于導電圖案110的正上方時，由于各電極遠離導電圖案110，因此，各電極中所誘發(fā)的電壓降低。因此，此時各電極所檢測的信號大約為0，所得到的斷線檢測信號Sb也大約為O。另一方面，考慮傳感器14未超過斷線位置，第一跟蹤電極30a位于導電圖案110的正上方的情況。此時，第一跟蹤電極30a中誘發(fā)一定電平的交流電壓；第二跟蹤電極30b中幾乎不誘發(fā)電壓。結果，從第一二極管52輸出正數信號，從第二二極管54輸出大約為O的信號。并且，為它們的差值信號的斷線檢測信號Sb為正數信號。另外，考慮傳感器14未超過斷線位置，第二跟蹤電極30b位于導電圖案110的正上方的情況。此時，第二跟蹤電極30b中誘發(fā)一定電平的交流電壓；第一跟蹤電極30b中幾乎不誘發(fā)電壓。結果，從第二二極管54輸出負數信號，從第一二極管52輸出大約為O的信號。并且，由于該第二二極管54的輸出與差分器56的負輸入側連接，因此,從差分器56輸出正數信號作為斷線檢測信號Sb。因此，傳感器14未超過斷線位置時，斷線檢測信號Sb理論上如圖10的中央處用粗線表示的部分所示，若傳感器14的中央位于導電圖案110的正上方，則斷線檢測信號Sb為大約為O的信號；傳感器14相對于導電圖案110，在Y方向上發(fā)生偏移時，斷線檢測信號Sb為正數信號。其中，如上所述，本實施方式中，由于未計算兩個跟蹤電極30a、30b的檢測信號的差值，因此，實際的斷線檢測信號Sb，如圖10的中央用細線表示的部分所示，殘留有噪音?？刂撇?8根據該跟蹤信號Sa進行調整傳感器14在Y方向上的位置的跟蹤處理，并根據斷線檢測信號Sb進行判斷傳感器14是否到達斷線位置的判斷處理。并且，通過反復進行這些跟蹤處理、判斷處理、以及使傳感器14在X方向上移動的移動處理，來確定斷線 位置。確定斷線位置的具體流程與圖8相同，因此，在此不再贅述?？傊?，本實施方式中，由于也進行使傳感器14位于導電圖案110的正上方的跟蹤操作，因此，即使以中間彎曲的導電圖案Iio為對象，也可以使傳感器14沿著導電圖案110移動。并且，由此，無論導電圖案110采用何種配設方式，均可簡單地確定斷線位置。接下來，參照圖11對本發(fā)明的第四實施方式進行說明。圖11為表示第四實施方式的導電圖案檢查裝置10的結構示意圖。該導電圖案檢查裝置10與第一至第三實施方式的導電圖案檢查裝置10不同，是一種用于確定短路位置的裝置。該導電圖案檢查裝置10具有對相互短路的兩個導電圖案110施加交流電壓的施加機構12、以及介由間隙與基板相對并且移動的檢測用線圈60。施加機構12由例如與導電圖案110的一端(本實施方式中為導電墊片112)接觸的兩個觸頭20a、20b、以及經由觸頭20a、20b向導電圖案110提供交流電壓的交流電源22等構成。通過經由兩個觸頭20a、20b向導電圖案110施加交流電壓，形成由相互短路的兩個導電圖案110以及短路部分(短路電橋)所構成的閉合電路(圖11中用粗線表不的電路)，并使該閉合電路內有電流流動。并且，通過電流流動，在兩個導電圖案110的周圍形成對應電流方向以及大小的磁場。檢測用線圈60是檢測導電圖案110周圍所形成的磁場來作為電壓值的線圈60。即，若使檢測用線圈60位于導電圖案110周圍所形成的磁場內，則檢測用線圈60內將有對應該磁場的電流流動。并且，檢測用線圈60內將誘發(fā)對應該電流大小的電壓。檢測用線圈60的一端與差動放大器62的正輸入側連接，另一端與差動放大器62的負輸入側連接。同步檢波器64使用施加信號對來自該差動放大器62的輸出信號進行同步檢波。將來自該同步檢波器64的輸出信號作為跟蹤信號Sa輸入至控制部18中。另外，使用正向配置的二極管66對來自差動放大器62的輸出信號進行整流。該整流后的信號，作為用于判斷有無短路時的短路檢測信號Sb輸入至控制部18中。控制部18根據跟蹤信號Sa，控制檢測用線圈60在Y方向上的位置，并根據短路檢測信號Sb，判斷檢測用線圈60是否超過短路處。圖12為表示該檢測用線圈60的位置與得到的信號之間的關系的示意圖，圖的右側部分表示跟蹤信號Sa，圖的中間部分表示短路檢測信號Sb。首先對跟蹤信號Sa進行說明。如圖11所示，相互短路的兩個導電圖案110周圍所產生的磁場的方向相反。因此，在兩個導電圖案110的中間，磁場抵消。因此，檢測用線圈60位于兩個導電圖案110的中間時，檢測用線圈60中誘發(fā)的電壓大約為O。另一方面，檢測用線圈60偏向任意一個導電圖案110側時，該檢測用線圈60的周圍的磁場抵消將不發(fā)生，檢測用線圈60中誘發(fā)一定電平的交流電壓。結果，跟蹤信號Sa，在檢測用線圈60偏向一個導電圖案110側(圖11的上側的導電圖案11(H則)時，為正數信號；在檢測用線圈60偏向另一個導電圖案110側(圖11的下側的導電圖案110側)時，為負數信號?？刂撇?8根據該原理，控制檢測用線圈60在Y方向上的位置，以使跟蹤信號Sa的值大約為O。接下來，對短路檢測信號Sb進行說明。如上所述，檢測用線圈60位于兩個導電圖案Iio的中間時，檢測用線圈60中誘發(fā)的電壓大約為O。另一方面，檢測用線圈60偏向任意一個導電圖案110側時，檢測用線圈60中誘發(fā)一定電平的交流電壓。該交流電壓在通過正向配置的二極管過程中，被轉換成正數信號。因此，結果，短路檢測信號Sb在檢測用線圈60偏移時，為大小對應該偏移量的正數信號。此外，當然，若檢測用線圈60超過短路處，則該檢測用線圈60中幾乎不誘發(fā)電壓，因此，短路檢測信號Sb也大約為O。控制部18根據該原理在Y方向上移動檢測用線圈60，在此時所得到的短路檢測信號發(fā)生變化時，判斷未超 過短路處，在短路檢測信號幾乎不發(fā)生變化時，判斷已超過短路處。圖13為表示本實施方式的確定短路位置的流程的流程圖。確定短路位置時，首先，使檢測用線圈60位于相互短路的兩個導電圖案110之間的端部附近(導電墊片112附近)(SlO)。在此狀態(tài)下，使檢測用線圈60向X方向負側(遠離導電墊片112側)僅移動規(guī)定距離d(S12)。使檢測用線圈60向X方向負側移動后,接著執(zhí)行使檢測用線圈60位于兩個導電圖案110之間的跟蹤處理(S14 S18)。具體而言，確認跟蹤信號Sa的值(S14)。確認的結果為若跟蹤信號Sa大約為0，則判斷檢測用線圈60位于適當的位置。另一方面，若跟蹤信號Sa為正數值時，使檢測用線圈60稍向Y方向負側移動；若跟蹤信號Sa為負數值時，使檢測用線圈60稍向Y方向正側移動(S16、S18)。然后，再次重復進行確認跟蹤信號Sa的值的操作，直至跟蹤信號Sa大約為O。跟蹤信號Sa大約為0，可判斷檢測用線圈60位于兩個導電圖案110之間，接著，執(zhí)行判斷檢測用線圈60是否到達短路處的判斷處理。具體而言，向Y方向正側移動檢測用線圈60(S20)。優(yōu)選的，將該移動量設為導電圖案110的配設間距的1/2，在步驟S22中使檢測用線圈60位于一個導電圖案110的正上方。然后，在該狀態(tài)下確認短路檢測信號Sb的值(S22)。確認的結果為短路檢測信號Sb大約不為O時，判斷檢測用線圈60未到達短路處。此時，將檢測用線圈60向Y方向負側移動(S24)，返回至原來的位置后，返回至步驟S12。另一方面，短路檢測信號Sb大約為O時，判斷檢測用線圈60到達短路處，將此時的檢測用線圈60的位置確定為短路處(S26)。由以上說明可清楚了解，在確定短路位置中，由于進行使檢測用線圈60位于兩個導電圖案110之間的跟蹤操作，因此，即使以中間彎曲的導電圖案110為對象，也可使檢測用線圈60沿著導電圖案110移動。并且，由此，無論導電圖案110采用何種配設方式，均可簡單地確定短路位置。
權利要求
1.一種導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述裝置在基板上在第一方向上 間隔配設的多個導電圖案中，檢測發(fā)生了斷線的導電圖案的斷線圖案中的斷線 位置，所述裝置包括 施加機構，從所述斷線圖案的一端施加交流電壓； 傳感器，介由間隙與所述基板相對并且移動，并至少具有兩個以上的電極；以及控制部，根據通過所述電極所檢測的信號判斷所述傳感器的移動方向與斷線處；并且所述兩個以上電極至少包括配置于所述第一方向的兩個跟蹤電極；所述控制部根據所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的比較結果，判斷所述傳感器相對于所述斷線圖案在所述第一方向上的位置是否適當，并根據所述判斷結果決定所述傳感器的移動方向。
2.根據權利要求I所述的導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述控制部反復進行如下處理 移動處理，使所述傳感器在與所述第一方向垂直的第二方向上移動規(guī)定距離，以使其遠離所述一端； 跟蹤處理，在所述移動處理之后，根據所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的比較結果調整所述傳感器在第一方向上的位置，以使所述斷線圖案位于所述兩個跟蹤電極的中間；以及 判斷處理，在所述跟蹤處理之后判斷所述傳感器是否到達斷線處； 直至所述判斷處理中判斷所述傳感器到達斷線處。
3.根據權利要求I所述的導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括 差分器，輸出所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的差值；以及 同步檢波器，使用施加信號對來自所述差分器的輸出信號進行同步檢波； 所述控制部根據來自所述同步檢波器的輸出信號，判斷所述傳感器相對于所述斷線圖案在所述第一方向上的位置是否正確。
4.根據權利要求I所述的導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述兩個以上的電極進一步包括設置于所述兩個跟蹤電極之間的一個斷線檢測電極；并且 所述控制部根據所述斷線檢測電極所檢測的信號判斷所述傳感器是否到達斷線處。
5.根據權利要求I所述的導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述裝置進一步包括 差分器，輸出所述兩個跟蹤電極所檢測的信號的差值；以及 整流元件，對來自所述差分器的輸出信號進行整流； 所述控制部根據使所述傳感器在第一方向上移動時從所述整流元件輸出的輸出信號的變化，判斷所述傳感器是否到達斷線處。
6.一種導電圖案檢查裝置，其特征在于，所述裝置在基板上在第一方向上間隔配設的多個導電圖案中，檢測發(fā)生了短路的導電圖案的短路圖案中的短路位置，所述裝置具有 施加機構，從相鄰的兩個短路圖案的各自一端施加交流電壓，并使電流在由所述兩個短路圖案以及短路部分所構成的閉合電路中流動； 檢測用線圈，介由間隙與所述基板相對并移動，并且檢測形成于周圍的磁場作為電壓信號；以及 控制部，根據所述檢測用線圈所檢測的電壓信號，判斷所述檢測用線圈的移動方向與短路處；并且所述控制部根據所述電壓信號的電平，判斷所述檢測用線圈相對于所述短路圖案在所述第一方向上的 位置是否正確，并根據所述判斷結果決定所述檢測用線圈的移動方向。
全文摘要
本發(fā)明提供一種無論導電圖案采用何種配設方式，可簡單地確定斷線的導電圖案檢查裝置。該導電圖案檢查裝置包括從導電圖案的(110)的一端施加電壓信號的施加機構(12)、以及檢測所述施加的電壓信號的傳感器(14)。該傳感器(14)具有并排于Y方向上的兩個跟蹤電極(30a)、(30b)、以及斷線檢測電極(32)。控制部(18)根據兩個跟蹤電極(30a)、(30b)所檢測的電壓信號的差值，控制傳感器(14)相對于導電圖案(110)在Y方向上的位置。另外，根據斷線檢測電極(32)所檢測的電壓，判斷傳感器(14)是否到達斷線處。
文檔編號G01R31/02GK102788924SQ20121002159
公開日2012年11月21日 申請日期2012年1月31日 優(yōu)先權日2011年5月20日
發(fā)明者板垣卓男 申請人:株式會社聯(lián)箭技術