專利名稱：氫氣傳感器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氫氣傳感器及其制造方法。
背景技術(shù)：
鋰離子電池等的二次電池、電雙層電容器、電致變色顯示器等的電化學(xué)裝置，一般是具備在正極與負極組合能夠進行可逆的氧化還原反應(yīng)的金屬類、過渡金屬的氧化物、氮化物、硫化物、碳等的一對電極、及充滿其間的離子傳導(dǎo)體所構(gòu)成。例如，鋰離子電池是在正極選擇LiCoO2 (鋰鈷氧化物)，負極選擇C (碳)，使用聚烯烴多孔膜作為分離正極及負極的分離器，含LiC104、LiPF6等的Li離子的有機電解液作為離子傳導(dǎo)體。作為如此二次電池的電解液，例如專利文獻I中公開使用I-乙基-3-甲基咪唑鎗陽離子所代表的具有芳香族性環(huán)的環(huán)狀四級銨有機物陽離子所成的離子液體的結(jié)構(gòu)，專利文獻2中公開使用以含有三甲基己基銨陽離子為代表的具有脂肪族四級銨有機物陽離子所成的離子液體的非水電解質(zhì)的電池，另外，專利文獻3中公開僅含有由飽和脂肪族環(huán)狀四級銨陽離子及非金屬元素所成的陰離子構(gòu)成的離子液體、以及環(huán)狀碳酸鹽及/或鏈狀碳酸鹽,而且含有O. 5mol/L以上濃度的鋰陽離子的非水電解質(zhì)電池。在此，離子液體是因為一般具備蒸氣壓幾乎為零，難燃性、離子性，但具有低黏性、 高分解電壓等性狀的穩(wěn)定的液體鹽，所以作為適合于要求高度安全性的用途的離子傳導(dǎo)體而受到矚目。另外，可舉例作為電化學(xué)裝置一例的氫氣傳感器。構(gòu)成以燃料電池為代表的氫能量系統(tǒng)，并且精確度良好地檢測氫濃度的氫氣傳感器的必要性極高，傳統(tǒng)上公開了如專利文獻4至6所示的氫氣傳感器。專利文獻4中公開了作為對于測定氣相中或液相中的氫濃度、不須施加高溫于感應(yīng)部、而且不需要隔膜或電解液、可防止這些劣化并且可小型輕量化的氫氣傳感器，具備藉由與氫接觸產(chǎn)生電阻變化的感應(yīng)部，感應(yīng)部是以氫包藏性的單體金屬或合金所形成，或以選自納米碳材料、氫包藏性的單體金屬、氫包藏性的合金的材料所形成的氫氣傳感器。專利文獻5中公開了于Ti02、SrTiO3> BaTiO3等的金屬氧化物半導(dǎo)體所成的感應(yīng)部，設(shè)置電阻測定用的一對電極的氫氣傳感器。專利文獻6中公開了于固體高分子電解質(zhì)膜的兩側(cè)安裝了碳布(carbon cloth) 電極的燃料電池的電解槽型氫測定檢測元件是設(shè)置于筒狀體以區(qū)隔筒狀體內(nèi)部、一側(cè)開口邊緣與測定對象面抵接的筒狀體的開口面幾乎成平行，并設(shè)置測定陽極及陰極間的電流值的無電阻電流計為特征的透過氫氣量測定裝置。
專利文獻7中公開了采用氧化物半導(dǎo)體為傳感器頭(sensor head)，藉由測定氧化物半導(dǎo)體的阻抗特性而檢測氫氣的技術(shù)。這利用了氫氣吸附于氧化物半導(dǎo)體表面時，氧化物半導(dǎo)體的阻抗特性發(fā)生變化的現(xiàn)象。專利文獻8中公開采用固體電解質(zhì)的氧化鋯為傳感器頭，藉由測定氧化鋯的阻抗或阻抗的位相角，檢測分子中含氫原子的可燃性氣體的濃度的技術(shù)。專利文獻3中公開采用在傳感器頭采用熱敏電阻(Thermistor)元件，藉由測定熱敏電阻元件的電阻，檢測氫氣的技術(shù)。這是利用了因氫氣與空氣的熱傳導(dǎo)率不同所以按照傳感器頭周圍的氫氣濃度而散熱特性不同、隨之而熱敏電阻元件的熱平衡溫度相異的現(xiàn)象。專利文獻I :特開2001-319688號公報專利文獻2 :特許第2981545號公報專利文獻3 :特開2007-141489號公報專利文獻4 :特開2004-125513號公報專利文獻5 :特開2002-071611號公報專利文獻6 :特開2002-289243號公報專利文獻7 :特開平7-103924號公報專利文獻8 :特開2006-90812號公報專利文獻9 :特開2004-37235號公報然而，因為上述專利文獻I至3所記載的電池任一種皆使用液狀離子傳導(dǎo)體即離子液體，所以構(gòu)成電池時，必須填充電解液于包裝(casing)而密封，該制造步驟煩雜，并且有因過充電或機械沖擊等而發(fā)生漏液之虞，有給予該操作許多限制的問題。另外，專利文獻4所記載的氫傳感器檢測藉由氫氣被包藏于氫包藏性的單體金屬或合金所形成的感應(yīng)部而變化的電阻值，為了維持感應(yīng)部包藏氫的狀態(tài)，不能追隨動態(tài)變動，而有準(zhǔn)備下次測量時，必須從感應(yīng)部釋出被吸收氫用的清凈(purge)操作的問題。專利文獻5中所記載的氫氣傳感器，因為是檢測隨著與吸附于表面的氧及氫氣的反應(yīng)而金屬氧化物半導(dǎo)體的電阻變化的請其傳感器，所以必須設(shè)置加熱元件，該加熱元件加熱使充分發(fā)生氧分子的吸附去除的感應(yīng)部的元件溫度成400°C程度。因此，有消耗電力增加的問題、或必須具備耐熱結(jié)構(gòu)的問題，進而，亦有除了氫氣以外，亦對甲烷氣體或一氧化碳氣體等的可燃性氣體亦反應(yīng)的無氣體選擇性的問題。另外，專利文獻6中所記載的透過氫氣量測定裝置，作為固體高分子電解質(zhì)膜所使用的全氟磺酸樹脂于濕潤環(huán)境下顯示良好的氫離子傳導(dǎo)性，但于干燥條件下不能有效地動作，另外，因為非交聯(lián)結(jié)構(gòu)，若高溫且含許多水時，有強度降低的問題。而且，因為全氟磺酸樹脂在膜的制造步驟煩雜，所以制造成本高，就減低成本的觀點，要求進一步改良。專利文獻7、8所公開的技術(shù)中，因為傳感器頭適當(dāng)動作的溫度高，所以必須設(shè)置用以加熱傳感器頭至動作溫度的加熱器。例如作為典型動作溫度，專利文獻7記載為 400°C，專利文獻8記載為500°C至1000°C。另外，專利文獻9所公開的技術(shù)，因為氣氛的散熱特性不僅受氫氣濃度，亦受濕度影響，為消除因濕度的影響，所以使用4個熱敏電阻元件構(gòu)成傳感器頭。若如此地設(shè)置加熱器于傳感器頭周圍、或使用多個熱敏電阻元件構(gòu)成傳感器頭，則氫氣檢測裝置的結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，成為妨礙小型化及低成本化的主要原因。

發(fā)明內(nèi)容
正是有鑒于上述問題點，本發(fā)明的目的在于提供可適合使用于電化學(xué)裝置或氫氣傳感器的固體離子傳導(dǎo)體之點。因此，藉由使用如此固體離子傳導(dǎo)體，提供制造步驟簡單且無發(fā)生漏液之虞的電化學(xué)裝置，或不進行清凈操作，具備良好的氫氣選擇性，檢測特性不受環(huán)境條件大幅左右，可高精確度進行檢測，而且可較價廉地構(gòu)成的氫氣傳感器及氫氣檢測
>J-U ρ α裝直。課題的解決手段為達成上述目的，本發(fā)明的固體離子傳導(dǎo)體的特征結(jié)構(gòu)是電化學(xué)裝置所使用的離子傳導(dǎo)體，通過硬化處理離子液體及樹脂混合物得到。本發(fā)明者等反復(fù)努力研究的結(jié)果是得到藉由混入離子液體于樹脂，進行硬化處理，可得到具備保型性的穩(wěn)定的固體離子傳導(dǎo)體的新發(fā)現(xiàn)。因此，發(fā)現(xiàn)適合使用如此固體離子傳導(dǎo)體于二次電池、電雙層電容器、電致變色顯示器、氫氣傳感器等的電化學(xué)裝置。上述固體離子傳導(dǎo)體是藉由混合上述離子液體于光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種后，通過硬化處理得到。作為混入了離子液體的樹脂，藉由選擇光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種，可得到可加工成任意形狀的固體離子傳導(dǎo)體，可確保電化學(xué)裝置構(gòu)成的自由度。上述離子液體是一種或多種選自咪唑鎗系離子、吡啶鎗系離子、脂肪族胺系離子、 脂環(huán)式胺系離子、脂肪族鱗離子中任一種的具有陽離子部位者，一種或多種選自鹵離子、鹵系離子、膦酸鹽系離子、硼酸系離子、三氟甲磺酸系離子、酰亞胺系離子的具有陰離子部位者為優(yōu)選。本發(fā)明的電化學(xué)裝置的特征構(gòu)成是形成有一對夾著上述固體離子傳導(dǎo)體的電極， 由此構(gòu)成，可得到具備穩(wěn)定發(fā)電特性的電池等的電化學(xué)裝置。另外，上述固體離子傳導(dǎo)體是添加含有對應(yīng)于上述電極種類的離子的電解質(zhì)鹽為優(yōu)選。因為依所選擇電極的種類，決定電極間的離子傳導(dǎo)體中所必要的離子，所以藉由添加含有因應(yīng)電極種類的離子的電解質(zhì)鹽于離子液體，可得到良好特性的電化學(xué)裝置。本發(fā)明的電化學(xué)裝置的制造方法的特征構(gòu)成是由混合、攪拌離子液體于選自光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種的樹脂的混合步驟、使上述混合步驟所攪拌混合處理的離子傳導(dǎo)體硬化的硬化處理步驟、及在上述硬化處理步驟所硬化的離子傳導(dǎo)體，形成一對電極的電極形成步驟所成。本發(fā)明的氫氣傳感器的特征構(gòu)成是具備在上述固體離子傳導(dǎo)體所構(gòu)成的基底材料的至少一個側(cè)面上形成觸媒層的檢測部。本發(fā)明者等反復(fù)努力研究的結(jié)果，確認以如此固體離子傳導(dǎo)體作為基底材料，藉由設(shè)置以金屬等所成的觸媒層于至少該一個側(cè)面上，出現(xiàn)發(fā)電特性，朝向此觸媒層，供給氫氣時，按照氫氣濃度，發(fā)電特性變動，亦即，確認可作為氫氣傳感器利用。如此的氫氣傳感器以檢測部連接具有通氣性的電極為優(yōu)選，例如藉由供給氫氣于觸媒層形成側(cè)的電極以及供給氧或空氣于對向電極，可良好地檢測氫氣濃度。觸媒層被載持于上述基底材料的至少一個側(cè)面，由與氫氣接觸而具有觸媒機能的
5金屬或合金、或具有觸媒活性的有機金屬或有機物所構(gòu)成為優(yōu)選，例如通過濺鍍而載持觸媒時，因為可適當(dāng)控制觸媒載體上所載持的觸媒的粒徑分布、載持量，所以就可得到良好發(fā)電特性是適宜的。另外，觸媒層被載持于基底材料的至少一個側(cè)面，含有由與氫氣接觸而具有觸媒機能的碳化物的碳化鑰為優(yōu)選。作為氫分解觸媒，因為較常使用的鉬Pr或鉬系金屬觸媒是極高價的材料，所以造成氫氣傳感器的制造成本上升，成為妨礙氫氣傳感器普及的部重要因素。然而，因為氫氣傳感器的檢測性能一般與觸媒量成比例，所以即使高價的觸媒仍不能隨意地減少使用量，為維持作為氫氣傳感器的特定性能，存在現(xiàn)實的限制。因此，本發(fā)明者等試驗研究取代鉬Pt觸媒的各種觸媒材料的結(jié)果，關(guān)于氫分解反應(yīng)，碳化鑰Mo2C與鉬Pt觸媒相比較，確認顯示不遜色的觸媒作用。而且，因為碳化鑰Mo2C與鉬Pt價格比較，為數(shù)十分之一的極廉價的材料，所以可極有效地減低氫氣傳感器的制造成本。本發(fā)明的氫氣傳感器的制造方法的特征構(gòu)成是由混合、攪拌離子液體于選自光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種的樹脂的混合步驟、及使上述混合步驟所攪拌混合處理的離子傳導(dǎo)體硬化而形成基底材料的硬化處理步驟、及于上述硬化處理步驟所硬化的基底材料的至少一個側(cè)面上形成一觸媒層的觸媒層形成步驟所形成。本發(fā)明的氫氣檢測裝置的特征構(gòu)成是具備上述任一種氫氣傳感器、及測定上述檢測部所連接的一對電極間的端子間電壓的電壓測定部、及測定上述檢測部的阻抗特性的阻抗測定部、及由上述電壓測定部所測定的端子間電壓的變化相對于由上述阻抗測定部所測定的阻抗特性的變化為規(guī)定值以上時，判斷氫氣的濃度變化的控制部。上述控制部將由上述阻抗測定部所測定的阻抗特性及由上述電壓測定部所測定的端子間電壓保存于于存儲器，由前次所測定的阻抗特性及此次所測定的阻抗特性，導(dǎo)出阻抗特性變化，由前次所測定的端子間電壓及此次所測定的端子間電壓，導(dǎo)出端子間電壓變化為優(yōu)選。此時，上述控制部是由以下述式所示的阻抗變化率ACp及電壓變化率AV，導(dǎo)出這些的比Λ V/Λ Cp或這些的差(AV-ACp)，作為端子間電壓的變化相對于阻抗特性的變化為優(yōu)選。阻抗變化率ACp = (|Cp2-Cpl |)/Cpl電壓變化率Λ V = (IV2-V11) /V2另外，式中，Cpl ;阻抗的前次測定值，Cp2 ;阻抗特性的此次測定值，Vl ;端子間電壓的前次測定值，V2 ;端子間電壓的此次測定值。另外，上述控制部是由下述式所示的阻抗變化率ACp及電壓變化率AV，導(dǎo)出這些的比Λ V/Λ Cp或差(Λ V-ACp)，作為端子間電壓的變化相對于阻抗特性的變化為優(yōu)選。阻抗變化率Δ Cp = (I Cp 2-Cp 11) /Cp I電壓變化率Λ V = (IV2-V11) /V2另外，式中，Cpl ;阻抗的前次測定值，Cp2 ;阻抗的此次測定值，Vl ;端子間電壓的前次測定值，V2 ;端子間電壓的此次測定值。另外，上述控制部是由以下述式表示的阻抗變化率ACp及電壓變化率AV，導(dǎo)出這些的比AV/ACp或差(AV-ACp)，作為端子間電壓的變化相對于阻抗特性的變化為優(yōu)選。阻抗變化率ACp = (| Cp2-Cp 11) / A T電壓變化率A V = (| V2-V1 ) / A T另外，式中，Cpl ;阻抗的前次測定值，Cp2 ;阻抗特性的此次測定值，VI ;端子間電 壓的前次測定值，V2 ;端子間電壓的此次測定值，AT ;前次測定時至此次測定時為止的時 間。上述氫氣檢測裝置還在外部具備通報氫氣檢測的氫氣檢測通報機構(gòu)，上述控制部 是判斷氫氣濃度變化時，使上述氫氣檢測通報機構(gòu)通報氫氣檢測為優(yōu)選。本發(fā)明的氫氣檢測方法的特征構(gòu)成是包含對于上述任一種氫氣傳感器，測定上述 檢測部所連接的一對電極間的端子間電壓的電壓測定步驟、及測定上述檢測部的阻抗特性 的阻抗測定步驟、及由上述電壓測定步驟所測定的端子間電壓的變化相對于由上述阻抗測 定步驟所測定的阻抗特性的變化為規(guī)定值以上時，判斷氫氣的濃度變化的判斷步驟。發(fā)明的效果如上述說明，依據(jù)本發(fā)明，可提供可適合使用于電化學(xué)裝置或氫氣傳感器的固體 離子傳導(dǎo)體。接著，藉由使用如此固體離子傳導(dǎo)體，將可提供制造步驟簡單且無發(fā)生漏液之虞 的電化學(xué)裝置，或不進行清凈操作，具備良好的氫氣選擇性，檢出特性不受環(huán)境條件大幅左 右，可高精確度檢測，而且可較價廉地構(gòu)成的氫氣傳感器及氫氣檢測裝置。


[圖1]本發(fā)明的電化學(xué)裝置的一例的電池結(jié)構(gòu)圖。[圖2]本發(fā)明的電化學(xué)裝置的試制步驟的說明圖。[圖3]試制的電化學(xué)裝置的輸出特性的測定方法的說明圖。[圖4]實施例5試制的電池的充電特性圖。[圖5](a)實施例5試制的電池的放電特性、(b)是放大(a)主要部位的電池的放 電特性圖。[圖6]本發(fā)明的電化學(xué)裝置的其它例即氫離子傳感器的結(jié)構(gòu)圖。[圖7]表示其它實施形態(tài)，本發(fā)明的電化學(xué)裝置的其它例即氫離子傳感器的結(jié)構(gòu) 圖。[圖8]氫氣檢測裝置的一部分的傳感器頭的截面圖。[圖9]表示氫氣檢測裝置的系統(tǒng)的方塊結(jié)構(gòu)圖。[圖10]說明氫氣檢測裝置的動作的流程圖。[圖11]傳感器頭試樣的制作步驟的說明圖。[圖12]表示吹氫氣于傳感器頭的試樣時的電壓及阻抗的測定結(jié)果圖。[圖13]氫氣檢測裝置的評估性能用的實驗系統(tǒng)的一部分的示意表示說明圖。[圖14]于各時刻的溫度、濕度、電壓及阻抗的標(biāo)繪圖。[圖15]于各時刻的溫度、濕度、電壓變化率及阻抗變化率的標(biāo)繪圖。[圖16]于各時刻的阻抗變化率及電壓變化率的比的標(biāo)繪圖。
[圖17]于各時刻的阻抗變化率及電壓變化率的比的標(biāo)繪圖。符號的說明I:固體離子傳導(dǎo)體2 :觸媒層3a, 3b 電極4 :電化學(xué)裝置(電池、氫氣傳感器)5 :光硬化樹脂(NEOPOL)6 :離子液體(I-乙基-3-甲基咪唑鎗四氟硼酸酯)7:瑪瑙研缽8 :研杵10:透明PET薄膜11:透明PET薄膜12 :涂布機13 :測定器(多功能數(shù)字電表)14:銅電極100 :傳感器頭101 :基底材料102 :觸媒層103，104:電極103c，104c:細孔200 :氫氣檢測裝置201:電壓測定部202:阻抗測定部203 :控制部204 :蜂鳴器205 :燈206 :外部端子207:復(fù)位按鍵303:瑪瑙研缽304 :瑪瑙研杵305，307 :透明 ZEONOR 薄膜306:混合樹脂308:白金屬401 :環(huán)境試驗器402 :容器403:注射器
具體實施例方式〔實施方式I〕 8
以下是說明關(guān)于本發(fā)明的固體離子傳導(dǎo)體及使用固體離子傳導(dǎo)體的電化學(xué)裝置的一例的電池。如圖I所示，作為本發(fā)明的電化學(xué)裝置的電池4是在成形成膜狀的固體離子傳導(dǎo)體I的兩面，配置一對電極3a，3b所構(gòu)成。固體離子傳導(dǎo)體I是由硬化處理離子液體及樹脂的混合物得到。具體地，混合離子液體于光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種后，再進行硬化處理得到。采用光硬化樹脂作為樹脂時，在攪拌混合離子液體及光硬化樹脂及光聚合引發(fā)劑及按照需要的穩(wěn)定劑等后，成形成膜狀，例如由照射紫外線，可得膜狀的固體離子傳導(dǎo)體I。作為光硬化樹脂，可使用環(huán)氧基丙烯酸酯、氨基甲酸乙酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、不飽聚酯樹脂、重氮樹脂、迭氮樹脂等。在此，本發(fā)明中所謂的光硬化性樹脂，是指包含紫外線硬化樹脂、可見光硬化樹脂、電子束硬化樹脂的廣泛的概念。采用熱硬化樹脂作為樹脂時，攪拌混合了離子液體及熱硬化樹脂及反應(yīng)劑后，成形成膜狀，藉由加熱處理，可得膜狀的固體離子傳導(dǎo)體I。作為熱硬化性樹脂，可使用酚醛樹脂、環(huán)氧樹脂、脲醛樹脂、三聚氰胺樹脂、不飽和聚酯樹脂、聚氨基甲酸乙酯、聚酰亞胺、尿素樹脂、呋喃樹脂、硅氧樹脂、丙烯酸樹脂等。采用熱可塑性樹脂作為樹脂時，攪拌混合離子液體及高溫溶融狀態(tài)的熱可塑性樹脂后，成形成膜狀，藉由冷卻處理可得到膜狀的固體離子傳導(dǎo)體I。作為熱可塑性樹脂，可使用聚丙烯、聚苯乙烯、聚對苯二甲酸乙二醇酯等的常用樹脂以外，還有聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亞胺等的工程塑料、高性能工程塑料等。本發(fā)明所使用的離子液體，并非特別限制者，一種或多種選自化學(xué)式I表示的咪唑鎗系離子、化學(xué)式2表示的吡啶鎗系離子、化學(xué)式3表示的脂肪族胺系離子、化學(xué)式4表示的脂環(huán)式胺系離子、化學(xué)式5表示的脂肪族鱗離子中任一種的具有陽離子部位，一種或多種選自鹵離子、鹵系離子、膦酸鹽系離子、硼酸系離子、三氟甲磺酸系離子、酰亞胺系離子中任一種的具有陰離子部位。另外，離子液體中，添加含有對應(yīng)于電極種類的離子的電解質(zhì)鹽為優(yōu)選。例如，使用鋰金屬為負極的鋰離子電池時，在發(fā)生鋰析出、溶解反應(yīng)的負極，藉由添加含有鋰的LiC104、LiPF6, LiBF4等的電解質(zhì)鹽，可得到更穩(wěn)定的發(fā)電特性。這些電解質(zhì)鹽并沒有特別限制，含有電極需要的陽離子即可。另外，化學(xué)式所示的R，Rl，R2，R3是氫、烷基、芳基、及烷氧基烷基中任一種。
權(quán)利要求
1.一種氫氣傳感器，其特征在于，具備由硬化處理離子液體和樹脂的混合物而得到的固體離子傳導(dǎo)體所構(gòu)成的基底材料的僅一個側(cè)面上形成有觸媒層的檢測部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氫氣傳感器，其特征在于，上述檢測部以具有通氣性的電極來連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的氫氣傳感器，其特征在于，上述觸媒層被載持于上述基底材料的僅一個側(cè)面，上述觸媒層由通過與氫氣接觸而具有觸媒機能的金屬或合金、或具有觸媒活性的有機金屬或有機物所構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的氫氣傳感器，其特征在于，上述觸媒層被載持于上述基底材料的僅一個側(cè)面，上述觸媒層由通過與氫氣接觸而具有觸媒機能的碳化鑰所構(gòu)成。
5.一種氫氣傳感器的制造方法，其特征在于，由如下步驟而成混合、攪拌離子液體于選自光硬化樹脂、熱硬化性樹脂或熱可塑性樹脂中任一種的樹脂的混合步驟；使在上述混合步驟所攪拌混合處理的離子傳導(dǎo)體硬化而形成基底材料的硬化處理步驟；在上述硬化處理步驟所硬化的基底材料的僅一個側(cè)面上，形成一個觸媒層的觸媒層形成步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種氫氣傳感器及其制造方法，氫氣傳感器的特征在于，具備由硬化處理離子液體和樹脂的混合物而得到的固體離子傳導(dǎo)體所構(gòu)成的基底材料的僅一個側(cè)面上形成有觸媒層的檢測部。
文檔編號G01N27/407GK102590315SQ20121002162
公開日2012年7月18日 申請日期2008年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2007年7月19日
發(fā)明者清原章夫, 羽根友子 申請人:郡是株式會社