專利名稱：具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種晶粒檢視機(jī)臺(tái)，特別是涉及ー種分檢發(fā)光二極管晶粒(LED CHIP)用的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)。
背景技術(shù)：
晶粒檢視機(jī)臺(tái)是用于分檢貼覆在膠膜100上并分割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒200的晶圓300的器具，其作用在于預(yù)檢出異常的發(fā)光二極管晶粒200，避免再對(duì)這些質(zhì)量不合乎預(yù)設(shè)規(guī)格的發(fā)光二極管晶粒200進(jìn)行后續(xù)エ藝，而可以提高整體產(chǎn)能、良率，進(jìn)ー步降低生產(chǎn)成本。

參閱圖1，現(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)包含一個(gè)承置平臺(tái)11，和一個(gè)檢索光源裝置12，該承置平臺(tái)11用于承載貼覆在膠膜100上并切割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒200的晶圓300，該檢索光源裝置12設(shè)置于該承置平臺(tái)11上方，并在供電時(shí)發(fā)出照射至承置平臺(tái)11的紅光；當(dāng)貼覆在該膠膜100上并切割成多個(gè)的發(fā)光二極管晶粒200受光時(shí)，會(huì)反射光而形成預(yù)定的影像供視覺辨識(shí)，借此影像分別篩檢出異常及符合品檢規(guī)格的發(fā)光二極管晶粒200?，F(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)確實(shí)可以發(fā)出單一波域范圍的光(紅光)而以視覺辨識(shí)出異常及符合品檢規(guī)格的發(fā)光二極管晶粒200，但由于現(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)的檢索光源裝置12只能發(fā)出紅光進(jìn)行檢視，因此在分檢現(xiàn)在越趨多樣產(chǎn)品種類的發(fā)光二極管晶粒200時(shí)并無法完全適用-例如以現(xiàn)有的發(fā)出紅光的晶粒檢視機(jī)臺(tái)分檢晶背鍍金的發(fā)光二極管晶粒200時(shí)，以視覺辨檢影像所篩檢的晶粒不良率大幅增高至極不合理的程度，經(jīng)過探究后發(fā)覺，并非是發(fā)光二極管晶粒200不符合品檢規(guī)格，而是因?yàn)檫M(jìn)行分檢時(shí)所使用的紅光并無法穿透金，而導(dǎo)致視覺辨析模糊，進(jìn)而出現(xiàn)錯(cuò)誤的分檢結(jié)果。因此，現(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)需要針對(duì)越趨多樣化的發(fā)光二極管晶粒200產(chǎn)品種類進(jìn)行改迸，以針對(duì)不同的產(chǎn)品提高辨識(shí)率，或是提升機(jī)臺(tái)可用于分檢各多祥不同產(chǎn)品別的使用率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)存在的缺陷，而提供ー種可用于分檢多樣不同產(chǎn)品種類的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)。本發(fā)明的目的與所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)本發(fā)明具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，包含一個(gè)承置平臺(tái)，及一個(gè)檢索光源裝置。該承置平臺(tái)用于承載貼覆在膠膜上并分割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒的晶圓。該檢索光源裝置位于該承置平臺(tái)上方，具有多個(gè)光源模塊，每ー個(gè)光源模塊包括多個(gè)發(fā)出同一波域范圍的光的發(fā)光二極管燈，且姆ー個(gè)光源模塊可被選擇地分別供電而令所述發(fā)光二極管燈發(fā)光照射該承置平臺(tái)。本發(fā)明的目的及解決技術(shù)問題還采用以下技術(shù)手段進(jìn)ー步實(shí)現(xiàn)。
較佳的，所述光源模塊的發(fā)光二極管燈在供電時(shí)能分別發(fā)出紅光、藍(lán)光或白光。較佳的，所述光源模塊相對(duì)于該承置平臺(tái)的一中心排列設(shè)置成環(huán)形。較佳的，每ー光源模塊的多個(gè)發(fā)光二極管燈相對(duì)于該承置平臺(tái)的中心成徑向排列設(shè)置。較佳的，每ー光源模塊多個(gè)發(fā)光二極管燈相對(duì)于該承置平臺(tái)的一中心成環(huán)形排列設(shè)置。本發(fā)明的有益效果在于提供ー種可以針對(duì)不同產(chǎn)品種類、待檢驗(yàn)的發(fā)光二晶管晶粒選用適當(dāng)波長的光，例如藍(lán)光、紅光或白光進(jìn)行視覺辨檢的具有多種波域檢索光源的 晶粒檢視機(jī)臺(tái)。


圖I是一立體不意圖，說明現(xiàn)有的晶粒檢視機(jī)臺(tái)；圖2是ー立體示意圖，說明本發(fā)明具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)的ー個(gè)較佳實(shí)施例；圖3是ー仰視示意圖，說明該較佳實(shí)施例中的檢索光源裝置，及其多個(gè)光源模塊的發(fā)光二極管燈的設(shè)置狀態(tài)；圖4是ー類似圖3的仰視圖，說明該較佳實(shí)施例中的檢索光源裝置，及其多個(gè)光源模塊的發(fā)光二極管燈的另ー種設(shè)置狀態(tài)。具管實(shí)施方式下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。參閱圖2，本發(fā)明具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)的一個(gè)較佳實(shí)施例包含一個(gè)承置平臺(tái)2，和一個(gè)用于分檢發(fā)光二極管晶粒200的檢索光源裝置3。該承置平臺(tái)2用于承載貼覆在膠膜100上并分割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒200的晶圓300，且該承置平臺(tái)2是設(shè)計(jì)為可移動(dòng)式取出而方便于放置、拿取該晶圓300。配合參閱圖3，該檢索光源裝置3設(shè)置于該承置平臺(tái)2上方，具有多個(gè)光源模塊31，每ー光源模塊31包括多個(gè)發(fā)出同一波域范圍的光，例如藍(lán)光、紅光或是白光的發(fā)光二極管燈311,姆ー個(gè)光源模塊31可被選擇地分別供電而令姆ー個(gè)光源模塊31的多個(gè)發(fā)光二極管燈311發(fā)光而照射該承置平臺(tái)2 ;在本例中，所述光源模塊31相對(duì)于該承置平臺(tái)2的ー個(gè)中心排列設(shè)置成環(huán)形，且每ー個(gè)光源模塊31具有的多個(gè)發(fā)光二極管燈311相對(duì)于該承置平臺(tái)2的中心成徑向排列設(shè)置，而可對(duì)那些待辨檢的發(fā)光二極管晶粒200提供均勻、全方位角度的檢視光以進(jìn)行分檢。本發(fā)明在分檢發(fā)光二極管晶粒時(shí)，可視不同產(chǎn)品種類的發(fā)光二極管晶粒200，分別以不同的光源模塊31選擇發(fā)出預(yù)定波長范圍的光進(jìn)行辨檢，而可以減少出現(xiàn)錯(cuò)誤的分檢結(jié)果的機(jī)率。另外，因?yàn)楸景l(fā)明姆一光源模塊31的多個(gè)發(fā)光二極管燈311可被選擇的供電而個(gè)別發(fā)出紅光、藍(lán)光或白光，因此，在機(jī)臺(tái)的使用上并不受限于只能辨檢特定產(chǎn)品種類的發(fā)光二極管晶粒200，除了可以提高機(jī)臺(tái)的使用率而提升產(chǎn)能之外，也増加工程人員使用上的便利。參閱圖4，另外，本發(fā)明具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)的每一光源模塊31’以及其多個(gè)發(fā)光二極管燈311’也可以是對(duì)該承置平臺(tái)2的中心成環(huán)形排列，借此提供均勻、全方位角度的檢視光進(jìn)行分檢。綜上所述，本發(fā)明具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)分別以不同的光源模塊發(fā)出藍(lán)光、紅光或白光進(jìn)行辨檢，而可以減少出現(xiàn)錯(cuò)誤的分檢結(jié)果的機(jī)率，并在使用上不受限于只能辨檢特定產(chǎn)品種類的發(fā)光二極管晶粒的限制，而在提高機(jī)臺(tái)的使用率、提升產(chǎn)能之外，也可以增加工程人員使用上的便利，所以確實(shí)能達(dá)成本發(fā)明的目的。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述掲示的方法及技術(shù)內(nèi)容 作出些許的更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，包含一個(gè)承置平臺(tái)，以及ー個(gè)檢索光源裝置，該承置平臺(tái)用于承載一片貼覆在膠膜上并分割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒的晶圓，而該檢索光源，裝置位于該承置平臺(tái)上方；其特征在于 該檢索光源裝置具有多個(gè)光源模塊，每ー個(gè)光源模塊包括多個(gè)發(fā)出同一波域范圍的光的發(fā)光二極管燈，且每ー個(gè)光源模塊可被選擇地分別供電而令所述發(fā)光二極管燈發(fā)光照射于該承置平臺(tái)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，其特征在于所述光源模塊的發(fā)光二極管燈在供電時(shí)能分別發(fā)出紅光、藍(lán)光或白光。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，其特征在于所述光源模塊相對(duì)于該承置平臺(tái)的ー個(gè)中心排列設(shè)置成環(huán)形。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，其特征在于每ー個(gè)光源模塊的多個(gè)發(fā)光二極管燈相對(duì)于該承置平臺(tái)的中心成徑向排列設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，其特征在于每ー個(gè)光源模塊的多個(gè)發(fā)光二極管燈相對(duì)于該承置平臺(tái)的ー個(gè)中心成環(huán)形排列。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種具有多種波域檢索光源的晶粒檢視機(jī)臺(tái)，包含承置平臺(tái)和檢索光源裝置，承置平臺(tái)用于承載貼覆在膠膜上并分割成多個(gè)發(fā)光二極管晶粒的晶圓，檢索光源裝置位于該承置平臺(tái)上方并具有多個(gè)光源模塊，每一個(gè)光源模塊包括多個(gè)發(fā)出同一波域范圍的光的發(fā)光二極管燈，且每一個(gè)光源模塊可被選擇地供電而令上述發(fā)光二極管燈照射該承置平臺(tái)，如此可在分檢發(fā)光二極管晶粒時(shí)，針對(duì)不同厚度或是結(jié)構(gòu)的發(fā)光二極管晶粒設(shè)定使用最佳的波域范圍，例如藍(lán)光、紅光或白光進(jìn)行檢視，而可使晶粒檢視機(jī)臺(tái)不受產(chǎn)品種類的限制而提高產(chǎn)能。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102680208SQ20121003491
公開日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年2月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月15日
發(fā)明者林立倫, 蕭志偉, 黃慧儒 申請(qǐng)人:隆達(dá)電子股份有限公司