專利名稱：微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測試儀附件，尤其涉及一種微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具。
背景技術：
目前，雖然可以通過測量半導體材料表面電導率激光照射前后微波阻抗的變化，測得材料的少數(shù)載流子壽命。但是，由于沒有一種專用的夾具，導致整個測試裝置結構復雜、使用不方便。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結構簡單、使用方便的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具。本發(fā)明的目的是通過以下技術方案實現(xiàn)的本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，包括一段90°的彎波導，所述彎波導的一端為微波反射計連接端，另一端為開口端，所述開口端設有被測材料的測試參考面，所述測試參考面設有抗流槽；所述彎波導拐彎處的壁上設有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導的開口端。由上述本發(fā)明提供的技術方案可以看出，本發(fā)明提供的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，由于包括一段90°的彎波導，彎波導的一端為微波反射計連接端，另一端為開口端，開口端設有被測材料的測試參考面，測試參考面設有抗流槽；彎波導拐彎處的壁上設有小孔，小孔裝有激光發(fā)射器，激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向彎波導的開口端。可以通過測量半導體材料表面電導率激光照射前后微波阻抗的變化，測得材料的少數(shù)載流子壽命，結構簡單、使用方便。


圖I為本發(fā)明實施例提供的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具的結構示意圖；圖2為本發(fā)明實施例中專用測量夾具的應用連接結構示意圖。圖中1、90°的彎波導，2、測試參考面，3、抗流槽，4、微波反射計連接端，5、小孔，
6、激光發(fā)射器。
具體實施例方式下面將結合附圖對本發(fā)明實施例作進一步地詳細描述。本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其較佳的具體實施方式
是包括一段90°的彎波導，所述彎波導的一端為微波反射計連接端，另一端為開口、端，所述開口端設有被測材料的測試參考面，所述測試參考面設有抗流槽；所述彎波導拐彎處的壁上設有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導的開口端。所述激光發(fā)射器的發(fā)射中心線與所述彎波導的開口端的中心軸線重合。所述小孔構成一段截止圓波導。所述90°的彎波導可以為E面彎波導或H面彎波導。所述微波反射計包括微波源，所述微波源通過定向器件與所述彎波導連接。所述定向器件的輸出端通過檢波器可以與示波器和/或計算機連接。本發(fā)明的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，以波導開口端為測試參考 面，可以通過測量半導體材料表面電導率激光照射前后微波阻抗的變化，測得材料的少數(shù)載流子壽命。具體實施例如圖I所示，測量夾具是一段90°的彎波導(E面彎或H面彎波導)，一端接微波反射計，一端為帶有抗流槽的開口端，被測材料置于開口端(即測試參考面)。抗流槽保證被測材料表面與測試端面良好的電接觸。在正對測試端波導內(nèi)拐彎處內(nèi)壁的小孔中，裝有激光發(fā)射器，實現(xiàn)對端接于測試端面半導體材料的激光(脈沖或連續(xù)波)照射。對所使用的微波頻率，小孔相當于一段截止圓波導，不會造成微波泄漏及與激光器間的耦合。如圖2所示，微波反射計包括微波源、定向器件等，定向器件與本發(fā)明的專用測量夾具(或稱傳感器)和檢波器分別連接。檢波輸出可以接示波器，根據(jù)激光照射前后波形變化讀出少數(shù)載流子壽命；也可以接計算機通過數(shù)據(jù)采集和處理得到少數(shù)載流子壽命。本發(fā)明的專用測量夾具可以涵蓋所有矩形波導的各頻段。以上所述，僅為本發(fā)明較佳的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本發(fā)明披露的技術范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應該以權利要求書的保護范圍為準。
權利要求
1.一種微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，包括一段90°的彎波導，所述彎波導的一端為微波反射計連接端，另一端為開口端，所述開口端設有被測材料的測試參考面，所述測試參考面設有抗流槽； 所述彎波導拐彎處的壁上設有小孔，所述小孔裝有激光發(fā)射器，所述激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向所述彎波導的開口端。
2.根據(jù)權利要求I所述的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，所述激光發(fā)射器的發(fā)射中心線與所述彎波導的開口端的中心軸線重合。
3.根據(jù)權利要求2所述的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，所述小孔構成一段截止圓波導。
4.根據(jù)權利要求1、2或3所述的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，所述微波反射計包括微波源，所述微波源通過定向器件與所述彎波導連接。
5.根據(jù)權利要求4所述的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，所述定向器件的輸出端通過檢波器與示波器和/或計算機連接。
6.根據(jù)權利要求1、2或3所述的微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，其特征在于，所述90°的彎波導為E面彎波導或H面彎波導。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種微波少數(shù)載流子壽命測試儀專用測量夾具，包括一段90°的彎波導，彎波導的一端為微波反射計連接端，另一端為開口端，開口端設有被測材料的測試參考面，測試參考面設有抗流槽；彎波導拐彎處的壁上設有小孔，小孔裝有激光發(fā)射器，激光發(fā)射器的發(fā)射方向指向彎波導的開口端?？梢酝ㄟ^測量半導體材料表面電導率激光照射前后微波阻抗的變化，測得材料的少數(shù)載流子壽命，結構簡單、使用方便。
文檔編號G01R1/04GK102645560SQ201210089039
公開日2012年8月22日 申請日期2012年3月29日 優(yōu)先權日2012年3月29日
發(fā)明者劉中生, 劉雯蕊, 彭越 申請人:北京大華無線電儀器廠