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一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法

文檔序號:5948543閱讀:179來源:國知局
專利名稱:一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體集成電路及其制造領(lǐng)域,尤其涉及一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法。
背景技術(shù)
隨著集成電路工藝的發(fā)展以及關(guān)鍵尺寸不斷縮小,工廠需要引入更加先進、更加昂貴的缺陷檢測設(shè)備以滿足對在線工藝步驟的品質(zhì)監(jiān)控的要求。然而,當工廠工藝穩(wěn)定并實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)后,很多缺陷又都是和機臺在使用過程中的各種特性相關(guān),尤其是當設(shè)備剛做完硬件維護后的一段時間內(nèi)其不穩(wěn)定的風(fēng)險特別高,但是目前業(yè)內(nèi)采用的兩種缺陷監(jiān)控方法都沒有基于這方面的設(shè)計,從而造成檢測效率的低下和抽檢成本的大幅度增加?,F(xiàn)今,普遍采用的兩種缺陷檢測方法為
第一種缺陷檢測方法是按照產(chǎn)品IotID的尾數(shù)進行控制;例如針對機臺A,如將機臺A 上尾數(shù)為“5”的產(chǎn)品IotID設(shè)為抽檢對象,那么就意味著在生產(chǎn)上就會有10%的產(chǎn)品接受抽檢;如將機臺A的工藝抽檢規(guī)則設(shè)定為20%,可采取對產(chǎn)品IotID的尾數(shù)為I和5的產(chǎn)品進行檢測;圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中第一種缺陷檢測方法的影響分析示意圖,其中,橫向箭頭表示lot的進程(process)和抽檢順序,縱向箭頭表示抽檢的產(chǎn)品,如圖I所示,第一批次11和第二批次12的產(chǎn)品13均按照20%的工藝抽檢規(guī)則進行抽檢,第一批次11被檢測的產(chǎn)品13由于被檢測的產(chǎn)品13其IotID正好均勻分布在所有的產(chǎn)品中,而第二批次12被檢測的產(chǎn)品其IotID的時間連卻在一起,那么對于機臺工藝風(fēng)險的控制,第一批次11要明顯優(yōu)于第二批次12,即第一種缺陷檢測方法的風(fēng)險控制具有不確定性。第二種缺陷檢測方法是按照產(chǎn)品lot數(shù)量,每隔一定數(shù)量的產(chǎn)品進行抽檢;例如針對機臺B,如將機臺B的工藝抽檢規(guī)則設(shè)定為50%,可采取對產(chǎn)品每隔一個進行檢測;圖 2是本發(fā)明背景技術(shù)中第二種缺陷檢測方法的影響分析示意圖,其中,橫向箭頭表示lot的進程(process)和抽檢順序,如圖2所示,第一批次21和第二批次22的產(chǎn)品23均按照50% 的工藝抽檢規(guī)則進行抽檢,以如此高的抽檢比例雖然可以控制機臺處于高風(fēng)險條件下的安全性,但是在機臺處于相對安全的條件下進行了過多的監(jiān)控,造成抽檢效率的低下和抽檢成本的大幅度增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明公開了一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,包括以下步驟
步驟SI :經(jīng)定義的風(fēng)險及根據(jù)該風(fēng)險將工藝設(shè)備維護劃分為N個風(fēng)險類型,并將所述的N個風(fēng)險類型和在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲至數(shù)據(jù)庫中;
步驟S2 :缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫中風(fēng)險定義給每個風(fēng)險類型設(shè)定對應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則;
步驟S3 :在一機臺完成一項工藝設(shè)備維護后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲在所述數(shù)據(jù)庫中的該項工藝設(shè)備維護的風(fēng)險類型調(diào)去對應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對該機臺進行判斷,若不進行檢測則進入對下個機臺的判斷;若進行檢測,缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機臺的風(fēng)險類型插入對應(yīng)抽樣規(guī)則檢測標志,并對該機臺進行檢測后,再進入下個機臺的判斷。上述的基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,風(fēng)險類型的數(shù)目N小于 200。上述的基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其中,步驟S2中的抽樣規(guī)則,抽樣比例高低與風(fēng)險大小成正比。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明提出一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,通過將各項工藝設(shè)備維護劃分為多個風(fēng)險類型,對機臺進行不同的工藝設(shè)備維護分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機臺做完維護后一段時間內(nèi)的風(fēng)險控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。


圖I是本發(fā)明背景技術(shù)中第一種缺陷檢測方法的影響分析示意圖; 圖2是本發(fā)明背景技術(shù)中第二種缺陷檢測方法的影響分析示意圖3是本發(fā)明基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法的流程示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
作進一步的說明
本發(fā)明一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法
首先,根據(jù)工藝需求定義風(fēng)險,并根據(jù)該風(fēng)險將工藝設(shè)備維護劃分為N個風(fēng)險類型,N 一般小于200,并將劃分好的風(fēng)險類型與在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲至數(shù)據(jù)庫中。然后,利用缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫中風(fēng)險的定義給每個風(fēng)險類型設(shè)定對應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則;
最后,在一機臺完成一項工藝設(shè)備維護后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)庫中的該項工藝設(shè)備維護的風(fēng)險類型調(diào)去對應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對該機臺進行判斷,若不進行檢測則進入對下個機臺的判斷;若進行檢測,缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機臺的風(fēng)險類型插入對應(yīng)抽樣規(guī)則檢測標志,并對該機臺進行檢測后,再進入下個機臺的判斷;其中,抽樣比例的高低與風(fēng)險大小成正比,即風(fēng)險類型中風(fēng)險較大時其抽樣比例就高,風(fēng)險類型中風(fēng)險小時其抽樣比例就低;這樣就能兼顧風(fēng)險控制的情況下,提升效率和降低監(jiān)控工藝成本。圖3是本發(fā)明基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法的流程示意圖。具體的,如圖3所示,在工藝機臺I進行完一項工藝設(shè)備維護后,進入檢測階段, 生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)首先根據(jù)存儲在數(shù)據(jù)庫中的該項工藝設(shè)備維護的風(fēng)險類型調(diào)去對應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對工藝機臺I進行對比判斷,若工藝機臺I不滿足抽樣檢測的條件,則直接進入對其他工藝機臺的抽檢判斷,若工藝機臺I滿足抽樣檢測的條件,則缺陷抽樣系統(tǒng)插入則根據(jù)工藝機臺I進行的工藝設(shè)備維護的風(fēng)險類型插入對應(yīng)抽樣規(guī)則檢測標志(flag),并對工藝機臺I進行對應(yīng)的抽樣檢測后,再對其他工藝機臺進行對比判斷,并重復(fù)上述對工藝機臺I的工藝操作步驟。綜上所述,由于采用了上述技術(shù)方案,本發(fā)明提出一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,通過將各項工藝設(shè)備維護劃分為多個風(fēng)險類型,對機臺進行不同的工藝設(shè)備維護分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機臺做完維護后一段時間內(nèi)的風(fēng)險控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。通過說明和附圖,給出了具體實施方式
的特定結(jié)構(gòu)的典型實施例,基于本發(fā)明精神,還可作其他的轉(zhuǎn)換。盡管上述發(fā)明提出了現(xiàn)有的較佳實施例,然而,這些內(nèi)容并不作為局限。對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言,閱讀上述說明后,各種變化和修正無疑將顯而易見。 因此,所附的權(quán)利要求書應(yīng)看作是涵蓋本發(fā)明的真實意圖和范圍的全部變化和修正。在權(quán)利要求書范圍內(nèi)任何和所有等價的范圍與內(nèi)容,都應(yīng)認為仍屬本發(fā)明的 意圖和范 圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,包括以下步驟 步驟SI :經(jīng)定義的風(fēng)險及根據(jù)該風(fēng)險將工藝設(shè)備維護劃分為N個風(fēng)險類型,并將所述的N個風(fēng)險類型和在線監(jiān)控規(guī)則整合后存儲至數(shù)據(jù)庫中; 步驟S2 :缺陷抽樣系統(tǒng)根據(jù)數(shù)據(jù)庫中風(fēng)險定義給每個風(fēng)險類型設(shè)定對應(yīng)的缺陷抽檢規(guī)則; 步驟S3 :在一機臺完成一項工藝設(shè)備維護后,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)存儲在所述數(shù)據(jù)庫中的該項工藝設(shè)備維護的風(fēng)險類型調(diào)去對應(yīng)的在線監(jiān)控規(guī)則對該機臺進行判斷,若不進行檢測則進入對下個機臺的判斷;若進行檢測,缺陷抽樣系統(tǒng)則根據(jù)該機臺的風(fēng)險類型插入對應(yīng)抽樣規(guī)則檢測標志,并對該機臺進行檢測后,再進入下個機臺的判斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,所述風(fēng)險類型的數(shù)目N小于200。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,其特征在于,步驟S2中的抽樣規(guī)則,抽樣比例高低與風(fēng)險大小成正比。
全文摘要
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種基于設(shè)備維護風(fēng)險控制的缺陷監(jiān)控方法,通過將各項工藝設(shè)備維護劃分為多個風(fēng)險類型,對機臺進行不同的工藝設(shè)備維護分別采用不同的缺陷抽檢規(guī)則,生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)根據(jù)該缺陷抽檢規(guī)則能有效的監(jiān)控在機臺做完維護后一段時間內(nèi)的風(fēng)險控制,從而提高工藝的在線監(jiān)控的效率和降低監(jiān)控的成本。
文檔編號G01R31/00GK102707168SQ20121015781
公開日2012年10月3日 申請日期2012年5月21日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月21日
發(fā)明者倪棋梁, 王洲男, 郭明升, 陳宏璘, 龍吟 申請人:上海華力微電子有限公司
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