專利名稱：應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)及其制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)一種探針結(jié)構(gòu)，尤指一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)及其制作方法。
背景技術(shù)：
就半導(dǎo)體組件(如發(fā)光二極管)的檢測分析而言，是通過探針檢測其電氣性質(zhì)而得知質(zhì)量優(yōu)劣，公知探針測試裝置如中國臺灣新型專利公告第M345241號所示，其揭示的點測裝置包括一彎探針、一邊緣傳感器與一探針固著裝置，該邊緣傳感器具有一擺臂與一傳感器，其中，該擺臂可相對一支點進(jìn)行擺動，令該傳感器的接點跳脫或接觸，而該探針固著裝置供該彎探針固定于該擺臂。由于該點測裝置為使用呈彎曲結(jié)構(gòu)的該彎探針，使得該探針固著裝置的厚度可相應(yīng)降低，藉此達(dá)成該點測裝置的薄型化。其中，發(fā)光二極管檢測過程的準(zhǔn)確度是與探針的性能有很大的關(guān)聯(lián)性。此種探針結(jié)構(gòu)如美國專利公告第US 6，774，652號所示，揭示一種懸臂式探針卡及其制造方法，包括一主體與多個個設(shè)于該主體的探針，該探針分別包括一彎曲部及一尖針，該彎曲部上是形成有一低反射加工部，藉此可抑制光反射。就實際應(yīng)用而言，該探針的材質(zhì)通常為鈹銅合金、鈀或鎢之金屬或其合金等，若使用單一材質(zhì)，不僅在加工上具有困難度，且難以獲得同時具較低材料成本及優(yōu)異檢測特性的探針。因此，日本專利公開第2003-177143號專利，揭露一種應(yīng)用于探針卡上的鉛筆型探針及其制作方法，先對一直徑介于40 μ m至150 μ m的鎢線的徑向進(jìn)行穿孔，于該鎢在線形成多個個連續(xù)相接的孔洞，該孔洞的直徑介于20 μ m至100 μ m之間，接著，于熔融態(tài)將一貴金屬線埋入該孔洞，待其固化后再進(jìn)行拋光，令該貴金屬線可形成一尖端，其中，該貴金屬線可為鈀金屬或其合金。如此，通過將成本較低但具有高硬度之鎢金屬，與成本較高而擁有良好電性及抗氧化性之貴金屬相結(jié)合，可得到符合經(jīng)濟(jì)效益與優(yōu)異檢測性能的探針。惟，前述的探針結(jié)構(gòu)在實際使用上，仍具有在半導(dǎo)體組件的表層產(chǎn)生較大刮痕(Scrub Mark)的問題，因此，不僅容易造成半導(dǎo)體組件的損壞，更將嚴(yán)重影響檢測的結(jié)果及精確度。此外，現(xiàn)今探針的尖端尺寸均要求小于25 μ m，而前述的探針結(jié)構(gòu)均是以機(jī)械加工方式分批制造，其本有成形的精準(zhǔn)度不佳的問題，因此，各探針之間的尺寸常發(fā)生較大的誤差范圍，影響探針的收光。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的，在于解決公知探針容易對半導(dǎo)體組件產(chǎn)生較大的刮痕，導(dǎo)致破壞半導(dǎo)體組件及檢測效果不佳問題。本發(fā)明的另一目的，在于解決公知探針由于采機(jī)械加工方式制造得到，而造成探針結(jié)構(gòu)尺寸一致性不佳的問題。為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，包括一探針主體以及一平板針，該探針主體具有一延伸段、一固定段及一設(shè)于該延伸段與該固定段之間的梁柱段，該延伸段及該固定段分別與該梁柱段相夾一第一夾角及一第二夾角。該平板針具有一針身以及一針尖，該針身具有一與該延伸段結(jié)合的第一端以及一相對該第一端的第二端，該第二端具有一包括一底面的容置槽，該針尖以微機(jī)電制程形成于該容置槽，該針尖具有一附著于該底面的接合面、一相對該接合面且設(shè)于該容置槽外的點測端面以及設(shè)于該接合面與該點測端面之間且彼此相對的一第一側(cè)壁及一第二側(cè)壁，該接合面具有兩分別與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁相交的長邊緣及兩與該長邊緣垂直的短邊緣，且該點測端面與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁間分別形成一傾斜角。由上述說明可知， 本發(fā)明應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)相較于公知技術(shù)達(dá)到的有益效果在于一、由于本發(fā)明的探針尖端呈平板狀，即通過該接合面的長邊緣及短邊緣的設(shè)計，可在檢測半導(dǎo)體組件時大幅減輕刮痕的生成，因此，較不易破壞半導(dǎo)體組件，且可提升檢測的準(zhǔn)確性；二、本發(fā)明的針尖是使用微機(jī)電制程沉積于該針身的容置槽，藉由微機(jī)電制程在小尺寸組件成形可達(dá)到的高精準(zhǔn)度，可有效提升各個針尖之間尺寸的一致性；于本發(fā)明中，該探針主體及該平板針的結(jié)合，可以通過將多個該探針主體與多個該平板針相應(yīng)置放于單一治具而進(jìn)行回焊得到，因此，是具有批量生產(chǎn)的優(yōu)點。


圖1A，為本發(fā)明第一實施例的立體分解示意圖。圖1B，為圖IA的部分放大示意圖。圖2，是本發(fā)明第一實施例的立體組合示意圖。圖3，為本發(fā)明第一實施例的側(cè)視圖。圖4A至圖4G，為本發(fā)明第一實施例的制造流程示意圖。圖5，為本發(fā)明第二實施例的局部放大示意圖。圖6，為本發(fā)明第三實施例的局部放大示意圖。圖7，為本發(fā)明第四實施例的局部放大示意圖。圖8A，為本發(fā)明第五實施例的局部放大示意圖。圖8B，為本發(fā)明第六實施例的局部放大示意圖。圖9，為本發(fā)明第七實施例的部分立體分解示意圖。
具體實施例方式有關(guān)本發(fā)明應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)的詳細(xì)說明及技術(shù)內(nèi)容，現(xiàn)就配合圖式說明如下請參閱圖1A、圖1B、圖2及圖3，分別為本發(fā)明應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)第一實施例的立體分解示意圖、圖IA的部分放大示意圖、立體組合示意圖及側(cè)視圖。該平板探針結(jié)構(gòu)包含一探針主體10以及一平板針2，該探針主體10具有一延伸段12、一固定段13及一設(shè)于該延伸段12與該固定段13之間的梁柱段11，該延伸段12及該固定段13分別與該梁柱段11相夾一第一夾角121及一第二夾角131，該第一夾角121介于110°至130°之間，該第二夾角131介于80°至100°之間。此外，于本實施例中，該探針主體10之固定段13為夾持固定于一點測裝置的治具溝槽，而該延伸段12則與該平板針2結(jié)合。其中，若該第一夾角121過大，則在進(jìn)行檢測時容易造成刮痕過大或過長；反之，假使該第一夾角121過小，則觀測者容易因該梁柱段11阻擋其視線，產(chǎn)生對位上的困難。如圖IA所示，該延伸段12具有一凹穴122，且該平板針2具有一針身20及針尖30,該針身20具有一第一端21以及一第二端22,該針身20之該第一端21是與該延伸段12之該凹穴122通過一焊料相互結(jié)合，而該針身20之該第二端22具有一容置槽221，該容置槽221包括一底面222。于本實施例中，該針身20之第一端21具有一大于該第二端22之外徑，令該針身20朝相對該探針主體10的方向呈一漸縮狀。如圖IB所示，該針尖30具有一接合面32以及一相對該接合面32且設(shè)于該容置槽221外的點測端面31，且該針尖30還包括一第一側(cè)壁33及一第二側(cè)壁34，該第一側(cè)壁33與該第二側(cè)壁34設(shè)于該接合面32與該點測端面31之間且為彼此相對。此外，該接合面32具有兩長邊緣321及兩與該長邊緣321垂直的短邊緣322，該長邊緣321分別相交于該接合面32與該第一側(cè)壁33及該第二側(cè)壁34。于本發(fā)明 中，該點測端面31與該第一側(cè)壁33及該第二側(cè)壁34之間分別形成一傾斜角，該傾斜角的范圍介于85°至150°之間。進(jìn)一步說明，于此實施例中，該第一側(cè)壁33包括一第一傾斜面331與一第一平直面332,且該第二側(cè)壁34包括一第二傾斜面341與一第二平直面342,該第一傾斜面331與該第二傾斜面341分別與該點測端面31的二側(cè)鄰接，而該第一平直面332與該第二平直面342分別自該第一傾斜面331與該第二傾斜面341延伸至該接合面32的二側(cè)，即與該短邊緣322鄰接，此外，該第一傾斜面331、該第二傾斜面341與該第一平直面332、該第二平直面342彼此間的夾角大于90°，且該接合面32之面積大于該點測端面31之面積，而該點測端面31的尺寸介于10 μ m至100 μ m之間。請繼續(xù)參閱圖3，該延伸段12及該固定段13均朝向該梁柱段11之一側(cè)彎折，該梁柱段11是沿一軸向延伸而呈一圓柱狀，該軸向平行于該針尖30之該點測端面31的該長邊緣321 —長度方向。接著，請參閱圖4A至圖4G，為本發(fā)明應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)的制造流程示意圖，首先，利用機(jī)械加工方式形成一探針主體10，在本實施例中，該探針主體10包括一梁柱段11、一延伸段12及一固定段13，如圖3所示，其中，該梁柱段11與該延伸段12之間的夾角介于110°至130°，該梁柱段11與該固定段13之間的夾角介于80°至100e°請參閱圖4B，接著，對該延伸段12遠(yuǎn)離該梁柱段11之一端進(jìn)行鉆孔，以于該端形成一凹穴122。請繼續(xù)參閱圖4C，利用微機(jī)電制程形成一針身20，該針身20具有一第一端21與一第二端22,該第一端21具有一大于該第二端22之外徑,故該針身20呈一漸縮狀,其中，該針身20之第二端22具有一容置槽221，該容置槽221包括一底面222。之后，請參閱圖4D及圖4E，是使用微機(jī)電制程于該容置槽221形成一針尖30，該針尖30需選取耐磨耗、導(dǎo)電性良好，且抗沾黏的材質(zhì)。同圖IA與圖IB所示，該針尖30具有一點測端面31、一接合面32、一第一側(cè)壁33與一第二側(cè)壁34，該接合面32包括兩長邊緣321及兩與該長邊緣321垂直的短邊緣322，該第一側(cè)壁33及一第二側(cè)壁34設(shè)于該點測端面31與該接合面32之間，且該點測端面31與該第一側(cè)壁33及該第二側(cè)壁34之間分別形成一傾斜角，該傾斜角的范圍介于85°至150°之間。在本實施例中，該第一側(cè)壁33包括一第一傾斜面331與一第一平直面332，且該第二側(cè)壁34包括一第二傾斜面341與一第二平直面342，該第一傾斜面331與該第二傾斜面341分別與該點測端面31的二側(cè)鄰接，而該第一平直面332與該第二平直面342分別自該第一傾斜面331與該第二傾斜面341延伸至該接合面32的短邊緣322。上述實施例是以先制作該探針主體10，再制作該針身20及該針尖30做為舉例說明，然本發(fā)明并不限于此，依實際制程需求，亦可先作該針身20及該針尖30，再制作該探針主體10。接下來，請參閱圖4F與圖4G，于得到該探針主體10、該針身20與該針尖30后，對該探針主體10以及該平板針2進(jìn)行接合,本實施例中是采回焊(reflow soldering)制程，該制程為搭配使用一治具40，該治具40包括一與該探針主體10對應(yīng)的第一模穴41、一與該平板針2對應(yīng)的第二模穴42以及 一設(shè)于該第一模穴41與該第二模穴42之間的溝槽43。此步驟可先于該針身20的表面鍍金，并將焊料填充于該探針主體10的凹穴122，再將該針身20的第一端21置入該凹穴122，之后，把多個該探針主體10與該平板針2擺放于該第一模穴41與該第二模穴42內(nèi)，再將其送入一回焊爐中，令該探針主體10與該平板針2可相互結(jié)合。請參閱圖5，為本發(fā)明第二實施例的局部放大示意圖，于此實施例中，該第一側(cè)壁33包括一第一彎曲面333與一第一平直面332，該第二側(cè)壁34包括一第二彎曲面343與一第二平直面342，該第一彎曲面333與該第二彎曲面343分別與該點測端面31 二側(cè)連接，該第一平直面332與該第二平直面342分別自該第一彎曲面333及該第二彎曲面343延伸至該接合面32(示于圖1A)的二側(cè)。其中，該傾斜角的范圍介于85°至150°之間，而本實施例中，該傾斜角是接近90°。請繼續(xù)參閱圖6，為本發(fā)明第三實施例的局部放大示意圖，于此實施例中，該針身20的第二端22是成形為一第一倒角部23與一第二倒角部24，該第一倒角部23與該第二倒角部24設(shè)于該第二端22與該針尖30的該第一側(cè)壁33與該第二側(cè)壁34相對應(yīng)的兩側(cè)，且為彼此相對。請配合參閱圖7所示，為了加強(qiáng)圖I」中該針尖30與該針身20的連接穩(wěn)固性，該針尖30與該針身20可以一針尖30a與一針身20a取代，其中該針尖30a具有垂直該第一側(cè)壁33與該第二側(cè)壁34且彼此相對的兩頂壁35，一容置槽221a具有與該兩頂壁35相接觸以夾持該針尖30a的兩夾壁223，一固定銷35穿透該兩夾壁223以及該兩頂壁35而固定該針尖30a于一容置槽221a內(nèi)，藉此避免該針尖30a自該針身20a上脫落的問題。除此之夕卜，請配合參閱圖8A及圖SB所示，其是設(shè)計一針尖30b、30c之形狀為L字型或T字型的方式，配合一容置槽221b、221c以加強(qiáng)該針尖30b、30c與該針身20b、20c的固定來取代圖IA的該針尖30與該針身20。再者，請參閱圖9，另外一種加強(qiáng)穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)如下該平板探針結(jié)構(gòu)包含有一探針主體10以及一平板針2a，該探針主體10具有一延伸段12、一固定段13及一設(shè)于該延伸段12與該固定段13之間的梁柱段14，該延伸段12及該固定段13分別與該梁柱段14相夾一第一夾角121及一第二夾角131 ;該平板針2a具有一第一針身25、一第二針身26以及一設(shè)置于該第一針身25及該第二針身26之間的針片36,該第一針身25及該第二針身26分別具有一與該延伸段12結(jié)合的第一端21a以及一相對該第一端21a的第二端22a,該針片36具有分別與該第一針身25及該第二針身26連接的一第一連接壁361及一第二連接壁362、垂直并連接該第一連接壁361及該第二連接壁362且彼此相對的一第一側(cè)壁33a及一第二側(cè)壁34a，以及一設(shè)于該第一針身25及該第二針身26外的點測端面31a，該第一側(cè)壁33a具有一第一傾斜面331a及一第一平直面332a，該第二側(cè)壁34a具有一第二傾斜面341a及一第二平直面342a，該第一傾斜面331a與該第二傾斜面341a分別與該點測端面31的二側(cè)鄰接，而該第一平直面332a與該第二平直面342a分別自該第一傾斜面331a與該第二傾斜面341a延伸至對應(yīng)該第一端21a之位置,該點測端面31a與該第一傾斜面331a及該第二傾斜面341a間分別形成一傾斜角，利用該第一連接壁361與該第二連接壁362與該第一針身25及該第二針身26之大面積連接，而加強(qiáng)該針片36與該第一針身25及該第二針身26之穩(wěn)固連接。而于此實施例中，該傾斜角的范圍介于85°至150°之間，且該探針主體10與上述實施例相同，其第一夾角121介于110°至130°之 間，該第二夾角介于80°至100°之間。而該平板針2a之結(jié)構(gòu)可如前一實施例設(shè)計以減少應(yīng)力產(chǎn)生之問題或者增加連接結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性等，舉例來說，如該針片36于該第一側(cè)壁33a及該第二側(cè)壁34a設(shè)置彎曲面結(jié)構(gòu)，而減少應(yīng)力產(chǎn)生的問題，其他部分便不再重復(fù)說明。請一并參閱圖3、圖4A至圖4G以及圖9所示，具有該針片36的該平板針2a之制作方法包含有以下步驟SI :利用機(jī)械加工方式進(jìn)行探針主體10之制作，該探針主體10具有延伸段11、固定段12及設(shè)于該延伸段11與該固定段12之間的梁柱段13 ；S2:利用微機(jī)電制程的方式形成一平板針，其中平板針的結(jié)構(gòu)可以是利用微機(jī)電制程的方式形成該第一針身25、該第二針身26以及設(shè)置于該第一針身25及該第二針身26之間的針片36而形成該平板針2a或者是利用微機(jī)電制程的方式形成該平板針2，該平板針2具有該針身20及該針尖30，而該針身20具有一與該延伸段結(jié)合的第一端21以及一相對該第一端21的第二端22,該第二端22具有一包括一底面的容置槽221,該針尖30以微機(jī)電制程形成于該容置槽221 ;及S3 :將該平板針2a以遠(yuǎn)離該點測端面31a之一端與該探針主體10之延伸段12進(jìn)行連接，于此實施例中，其是以焊接的方式進(jìn)行該平板針2a及該探針主體10之連接，且如欲進(jìn)行批次制造時，可將多個該平板針2a及多個該探針主體10分別放置于治具40之多個第一模穴41及多個第二模穴42中，該第一模穴41與該第二模穴42之間具有對應(yīng)該平板針2a及多個探針主體10之連接處的溝槽43，藉此對該平板針2a及該探針主體10進(jìn)行焊接作業(yè)，即回焊制程。綜上所述，本發(fā)明應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)主要是將探針的尖端處設(shè)計為兼具平板狀及與梯形類似之形狀，藉此，可降低探針接觸待檢測之半導(dǎo)體組件時產(chǎn)生的應(yīng)力，以減少刮痕的生成，使半導(dǎo)體組件被破壞之機(jī)會下降，且提升檢測的準(zhǔn)確性，同時，其設(shè)計亦可延長該針尖本身的使用壽命。其次，由于該探針主體及該針身與該針尖為分別以成本較低的機(jī)械加工方式以及高精準(zhǔn)度的微機(jī)電技術(shù)制作，故本發(fā)明是以較經(jīng)濟(jì)之制程成本得到具良好一致性及低尺寸誤差之探針。再者，又由于該探針主體及該平板針最終是使用回焊制程以批次量產(chǎn)之方式結(jié)合，相較于公知探針采各別加工制造，本發(fā)明更可提升探針之產(chǎn)能。此外，當(dāng)于該針身之第二端設(shè)置該第一倒角部及該第二倒角部時，除可進(jìn)一步降低該針尖所產(chǎn)生之應(yīng)力外，更可以有效增加收光效率。因此，本發(fā)明極具進(jìn)步性及符合申請發(fā)明專利的要件，為此依法提出申請，請審查員早日賜準(zhǔn)專利，實感德便。上述實施例僅是為了方便說明而舉例，雖遭所屬技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員任意進(jìn)行修改，均不會脫離如權(quán)利要求書中所欲保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述平板探針結(jié)構(gòu)包含有 一探針主體，具有一延伸段、一固定段及一設(shè)于該延伸段與該固定段之間的梁柱段，該延伸段及該固定段分別與該梁柱段相夾一第一夾角及一第二夾角； 一平板針，具有一針身以及一針尖，該針身具有一與該延伸段結(jié)合的第一端以及一相對該第一端的第二端，該第二端具有一包括一底面的容置槽，該針尖以微機(jī)電制程形成于該容置槽，該針尖具有一附著于該底面的接合面、一相對該接合面且設(shè)于該容置槽外的點測端面以及設(shè)于該接合面與該點測端面之間且彼此相對的一第一側(cè)壁及一第二側(cè)壁，該接合面具有兩分別與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁相交的長邊緣及兩與該長邊緣垂直的短邊緣，且該點測端面與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁間分別形成一傾斜角。
2.如權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，該傾斜角的范圍介于85。至150。之間。
3.如權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述接合面具有一大于該點測端面的面積。
4.如權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一夾角介于110°至130°之間，所述第二夾角介于80°至100°之間。
5.如權(quán)利要求I所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述針尖具有垂直該第一側(cè)壁與該第二側(cè)壁且彼此相對的兩頂壁，該容置槽具有與該兩頂壁相接觸以夾持該針尖的兩夾壁，該固定銷穿透該兩夾壁以及該兩頂壁而固定該針尖于該容置槽內(nèi)。
6.一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述平板探針結(jié)構(gòu)包含有 一探針主體，具有一延伸段、一固定段及一設(shè)于該延伸段與該固定段之間的梁柱段，該延伸段及該固定段分別與該梁柱段相夾一第一夾角及一第二夾角； 一平板針，具有一第一針身、一第二針身以及一設(shè)置于該第一針身及該第二針身之間的針片，該第一針身及該第二針身分別具有一與該延伸段結(jié)合的第一端以及一相對該第一端的第二端，該針片具有分別與該第一針身及該第二針身連接的一第一連接壁及一第二連接壁、垂直并連接該第一連接壁及該第二連接壁且彼此相對的一第一側(cè)壁及一第二側(cè)壁，以及一設(shè)于該第一針身及該第二針身外的點測端面，該點測端面與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁間分別形成一傾斜角。
7.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁各包括分別與該點測端面二側(cè)相連接的一第一傾斜面與一第二傾斜面。
8.如權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一側(cè)壁還包括一自該第一傾斜面延伸且與該接合面之短邊緣相接的第一平直面，且該第二側(cè)壁還包括一自該第二傾斜面延伸且與該接合面之短邊緣相接的第二平直面。
9.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁各包括分別與該點測端面二側(cè)相連接的一第一彎曲面及一第二彎曲面。
10.如權(quán)利要求7所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一側(cè)壁還包括一自該第一彎曲面延伸且與該接合面之短邊緣相接的第一平直面，且該第二側(cè)壁還包括一自該第二彎曲面延伸且與該接合面之短邊緣相接的第二平直面。
11.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述延伸段的凹穴與該第一針身及該第二針身的第一端之間填充有一焊料。
12.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述傾斜角的范圍介于85°至150°之間。
13.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一針身及該第二針身分別之第一端具有一大于其第二端之外徑。
14.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述梁柱段是沿一平行于該針片的一片體方向延伸。
15.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一針身以及該第二針身之第二端形成有彼此相對的一第一倒角部與一第二倒角部。
16.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一夾角介于110°至130°之間，該第二夾角介于80°至100°之間。
17.一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針制作方法，其特征在于，該平板探針制作方法包含有以下步驟 51:利用機(jī)械加工方式進(jìn)行一探針主體的制作，該探針主體具有一延伸段、一固定段及一設(shè)于該延伸段與該固定段之間的梁柱段，該延伸段及該固定段分別與該梁柱段相夾一第一夾角及一第二夾角； 52:利用微機(jī)電制程的方式形成一平板針 '及 53:將該平板針以遠(yuǎn)離該點測端面之一端與該探針主體之延伸段進(jìn)行連接。
18.如權(quán)利要求17所述的應(yīng)用于點測裝置的平板探針制作方法，其特征在于，在步驟S3中，其是將多個平板針及多個探針主體分別放置于一治具的多個第一模穴及多個第二模穴中，該第一模穴與該第二模穴之間具有一對應(yīng)該平板針及多個探針主體的連接處的溝槽,藉此對該平板針及該探針主體進(jìn)行焊接作業(yè)。
全文摘要
一種應(yīng)用于點測裝置的平板探針結(jié)構(gòu)及其制作方法，該結(jié)構(gòu)包括一探針主體以及一平板針，該探針主體具有一延伸段、一固定段及一設(shè)于該延伸段與該固定段之間的梁柱段，該平板針具有一針身以及一針尖，該針身結(jié)合于該延伸段，該針尖具有一接合面、一點測端面、一第一側(cè)壁及一第二側(cè)壁，該點測端面與該第一側(cè)壁及該第二側(cè)壁間分別形成一傾斜角。通過將探針尖端設(shè)計為兼具平板狀及與類梯形的形狀，可以有效降低于檢測時所產(chǎn)生的刮痕。而本發(fā)明的結(jié)構(gòu)的制作方法可利用治具進(jìn)行焊接作業(yè)，而可進(jìn)行大量生產(chǎn)。
文檔編號G01R1/067GK102879617SQ20121020279
公開日2013年1月16日 申請日期2012年6月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月12日
發(fā)明者范宏光, 蔡錦溢, 余陳志, 楊惠彬, 王千魁 申請人:旺矽科技股份有限公司