專利名稱：渦旋流量測(cè)量?jī)x、壓力傳感器和制造壓力傳感器的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種潤旋流量測(cè)量?jī)x(Vortex-Durchflussmessgerjit),其帶有可由介質(zhì)流過的測(cè)量管、設(shè)置在測(cè)量管中的滯流體(StaukSrper)和設(shè)置在滯流體的有效區(qū)域(Wirkbereich)中的壓力傳感器(Druckaufnehmer),其中，壓力傳感器具有可偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜(Messmembran)，并且測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量技術(shù)上被用以檢測(cè)鄰近測(cè)量薄膜的介質(zhì)中的壓力，其中，為了檢查測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量薄膜上和/或在其中布置有至少一個(gè)光學(xué)纖維，其中，光學(xué)纖維在其走向上和/或在測(cè)量薄膜中至少部分地與測(cè)量薄膜有效地連接，使得測(cè)量薄膜的由于介質(zhì)壓力所引起的偏轉(zhuǎn)在有效地連接的區(qū)域中導(dǎo)致光學(xué)纖維的伸展(Streckung)和/或收縮(Stauchung)。此外,本發(fā)明還涉及一種用于這樣的潤旋流量測(cè)量?jī)x的壓力傳感器和一種用于壓力傳感器的制造方法。
背景技術(shù)：
渦旋流量測(cè)量?jī)x長(zhǎng)時(shí)間以來是已知的，其中，測(cè)量原理以該事實(shí)為基礎(chǔ)，即在滯流體(其被介質(zhì)繞流)后面的液態(tài)的或氣態(tài)的介質(zhì)中可構(gòu)造有潤街(Wirbelstrafie),其通過隨流動(dòng)前進(jìn)的、從滯流體剝離(abloesen)的渦流來形成。渦流從滯流體剝離的頻率取決于流動(dòng)速度，其中，該關(guān)系在一定的前提條件下接近線性?？傊?，渦流頻率的測(cè)量是用于確定介質(zhì)的流動(dòng)速度的合適的方式，因此間接地，在附加地考慮例如壓力和溫度的情況下通過渦流頻率測(cè)量確定體積流量和質(zhì)量流量是可能的。介質(zhì)的在渦街中出現(xiàn)的渦流導(dǎo)致局部的壓力波動(dòng)，其可由壓力傳感器探測(cè)。這樣的壓力傳感器可具有大致平地設(shè)計(jì)的測(cè)量薄膜并且必須如此布置在渦街中，使得由滯流體產(chǎn)生的渦流至少間接經(jīng)過壓力傳感器的測(cè)量薄膜并且由此是可探測(cè)的。對(duì)此，當(dāng)壓力傳感器例如在流量測(cè)量?jī)x的殼體中的通道上方間接檢測(cè)渦街的壓力波動(dòng)時(shí)，壓力傳感器可在下游設(shè)置在滯流體之后，其甚至可構(gòu)造在滯流體中或者例如布置在滯流體上方。從現(xiàn)有技術(shù)中已知完全不同的方法，為了檢測(cè)壓力傳感器的測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)，經(jīng)常利用電容或電感效應(yīng)，部分地還使用壓電陶瓷。也從現(xiàn)有技術(shù)中已知使用光學(xué)纖維用于檢測(cè)測(cè)量薄膜運(yùn)動(dòng)，其中，在此例如已知該結(jié)構(gòu)，在其中光學(xué)纖維實(shí)際上豎直地立于壓力傳感器的測(cè)量薄膜之前并且在端側(cè)以光加載薄膜，光被測(cè)量薄膜反射并且隨后被用于運(yùn)動(dòng)探測(cè)。從現(xiàn)有技術(shù)中同樣已知這樣的渦旋流量測(cè)量?jī)x，在其中光學(xué)纖維貼靠地布置在測(cè)量薄膜處，其中，當(dāng)其暴露于壓力或壓差時(shí)，光學(xué)纖維隨著測(cè)量薄膜被偏轉(zhuǎn)，結(jié)果是，光學(xué)纖維被伸展和/或收縮，即光學(xué)纖維經(jīng)歷長(zhǎng)度變化。這樣的長(zhǎng)度變化已知可高精度地在光學(xué)上評(píng)價(jià)，例如通過本身已知的方法，其基于電磁波的干涉。利用該方法容易地能夠可靠地探測(cè)處于所使用的電磁波的波長(zhǎng)的范圍中的長(zhǎng)度變化(例如DE 10 2009 039 659 Al)。對(duì)于從現(xiàn)有技術(shù)中已知的渦旋流量測(cè)量?jī)x或者用于渦旋流量測(cè)量?jī)x的帶有至少一個(gè)布置在可偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜上的光學(xué)纖維的壓力傳感器不利的是，光學(xué)纖維還有測(cè)量薄膜直接暴露于介質(zhì)，使得光學(xué)纖維在化學(xué)侵蝕的介質(zhì)中遭受腐蝕，或者說在壓力傳感器布置在測(cè)量管中時(shí)并且由此在流動(dòng)的介質(zhì)中機(jī)械應(yīng)力還威脅靈敏的光學(xué)纖維和/或測(cè)量薄膜。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的是說明一種上面提到的類型的渦旋流量測(cè)量?jī)x和一種用于這樣的渦旋流量測(cè)量?jī)x的壓力傳感器，它們也可在惡劣的環(huán)境條件中使用。之前得出的且示出的目的首先對(duì)于渦旋流量測(cè)量?jī)x并且對(duì)于壓力傳感器(本發(fā)明從它們出發(fā))由此來實(shí)現(xiàn)，即壓力傳感器具有通過介質(zhì)的壓力可偏轉(zhuǎn)的薄膜袋(Membrantasche),并且薄膜袋包圍帶有光學(xué)纖維的測(cè)量薄膜,使得薄膜袋對(duì)測(cè)量薄膜屏蔽介質(zhì)且測(cè)量薄膜與薄膜袋一起被偏轉(zhuǎn)。當(dāng)其表示“測(cè)量薄膜與薄膜袋一起被偏轉(zhuǎn)”時(shí)，那么以此意味著，在以壓力或者壓
差加載薄膜袋時(shí)，薄膜袋的由此造成的偏轉(zhuǎn)還引起本身設(shè)置用于檢測(cè)偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)。由薄膜袋包圍的測(cè)量薄膜相應(yīng)處于與薄膜袋的機(jī)械作用關(guān)系(Wirkzusa_enhang)中。因?yàn)楸∧ご鼑鷾y(cè)量薄膜，在測(cè)量薄膜與布置在該測(cè)量薄膜上的光學(xué)纖維之間與流動(dòng)的介質(zhì)的直接接觸被阻止，使得流動(dòng)的介質(zhì)既不可直接與光學(xué)纖維相接觸，在流動(dòng)的介質(zhì)中攜帶的微粒也不可與光學(xué)纖維相接觸。根據(jù)本發(fā)明的渦旋流量測(cè)量?jī)x或用于這樣的渦旋流量測(cè)量?jī)x的根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器相應(yīng)還適合于應(yīng)用在惡劣的過程條件下。在本發(fā)明的一優(yōu)選的設(shè)計(jì)方案中設(shè)置成，薄膜袋以在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間的中間介質(zhì)來填充，使得薄膜袋的壁可實(shí)際與測(cè)量薄膜略微相間隔并且在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間還總是建立始終要求的機(jī)械作用關(guān)系。這引起且支持介質(zhì)中的壓力波動(dòng)更直接地響應(yīng)到測(cè)量薄膜上，其中，制造公差同時(shí)不再如在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間沒有中間介質(zhì)的實(shí)現(xiàn)方案中那么明顯有影響。這樣的中間介質(zhì)已證明為特別有利，其不在側(cè)向上(即垂直于偏轉(zhuǎn)方向)服從于薄膜袋由于壓力加載的偏轉(zhuǎn)，使得薄膜袋的偏轉(zhuǎn)盡可能被直接傳遞到測(cè)量薄膜處并且不由于中間介質(zhì)的擠壓效應(yīng)(Verdrjingungseffekte)被抑制。滿足該條件的許多介質(zhì)可惜還使保持在薄膜袋中的測(cè)量薄膜的布置加固，使得壓力傳感器的靈敏度受影響。在根據(jù)本發(fā)明的渦旋流量測(cè)量?jī)x或根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器的特別優(yōu)選的設(shè)計(jì)方案中，使用這樣的介質(zhì)作為中間介質(zhì)，其包含粉末或者完全由這樣的粉末構(gòu)成。令人驚訝地證實(shí)，這樣的粉末是特別有利的，其顆粒具有盡可能統(tǒng)一的顆粒尺寸，其顆粒即在顆粒尺寸方面示出盡可能較小的差異。優(yōu)選地使用這樣的粉末，其具有在2 μ m至8 μ m的范圍中的顆粒尺寸，其優(yōu)選地具有在4 μ m至6 μ m的范圍中的顆粒尺寸,其中，帶有大致5 μ m的顆粒尺寸的粉末是特別有利的。盡管在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間的中間介質(zhì)使在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間的直接接觸特意多余，但是薄膜袋的壁和測(cè)量薄膜優(yōu)選地直接彼此相鄰布置，由此該結(jié)構(gòu)總體上具有高的靈敏性。這使得明顯的是，在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間的間隙優(yōu)選地僅極其小，在理想情況下在其從薄膜到薄膜的伸延中僅具有幾分之一毫米。在一優(yōu)選的實(shí)施例中，中間介質(zhì)是由之前所提及的粉末構(gòu)成的沉淀物，這當(dāng)然前提是，粉末以液體中的不均勻的材料混合物的形式作為懸浮物(Suspension)存在并且然后沉積在薄膜袋中、亦即在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間。在本發(fā)明的另一設(shè)計(jì)方案中以干燥的方式通過粉末沉積在薄膜袋中獲得中間介質(zhì)。
總地來說，當(dāng)中間介質(zhì)通過將粉末離心(Einschleudern)到薄膜袋中被壓縮時(shí)，在渦旋流量測(cè)量?jī)x或壓力傳感器的優(yōu)選的實(shí)施例中有利地起作用，其中，這也可以以干燥的方式實(shí)現(xiàn)，然而優(yōu)選地通過離心包含在懸浮物中的粉末實(shí)現(xiàn)。由此，在薄膜袋的壁與測(cè)量薄膜之間獲得相當(dāng)厚的且直接響應(yīng)的中間介質(zhì)。在本發(fā)明的另一優(yōu)選的設(shè)計(jì)方案中，對(duì)于壓力波動(dòng)特別靈敏的然而仍然堅(jiān)固的渦旋流量測(cè)量?jī)x或這樣的壓力傳感器由此來獲得，即薄膜袋具有第一袋薄膜(Taschenmembran)和第二袋薄膜,薄膜袋即由膜狀的、較厚的壁構(gòu)成，其中，第一袋薄膜和第二袋薄膜經(jīng)由壓力傳感器的殼 體相互連接成薄膜袋。兩個(gè)袋薄膜即可近似被置入壓力傳感器的殼體中并且因此形成空腔，測(cè)量薄膜置入該空腔中。在壓力傳感器的裝配狀態(tài)中，第一袋薄膜的內(nèi)側(cè)與測(cè)量薄膜的第一側(cè)相面對(duì)，而第二袋薄膜的內(nèi)側(cè)與測(cè)量薄膜的第二側(cè)同樣相面對(duì)，使得第一袋薄膜和第二袋薄膜以及測(cè)量薄膜實(shí)際上彼此平行地取向。在根據(jù)本發(fā)明的渦旋流量測(cè)量?jī)x或根據(jù)本發(fā)明的壓力傳感器的另一實(shí)施例中，在測(cè)量薄膜的一側(cè)上布置有第一光學(xué)纖維而在測(cè)量薄膜的另一側(cè)上布置有第二光學(xué)纖維，其中，這兩個(gè)光學(xué)纖維中的每個(gè)例如實(shí)現(xiàn)用于干涉儀的評(píng)價(jià)的測(cè)量路徑(Messpfad)，即例如用于根據(jù)Michelson或根據(jù)Mach-Zehnder的干涉儀的評(píng)價(jià)。通過將光學(xué)纖維鋪設(shè)在測(cè)量薄膜的兩側(cè)上，在薄膜偏轉(zhuǎn)時(shí)可利用在薄膜的兩側(cè)上的反向的效果，在測(cè)量薄膜的一側(cè)上的一光學(xué)纖維的伸長(zhǎng)，在測(cè)量薄膜的另一側(cè)上的另一光學(xué)纖維的收縮，與僅在測(cè)量薄膜的一側(cè)上應(yīng)用纖維相比，這原理上使該組件更靈敏。優(yōu)選地，第一光學(xué)纖維和第二光學(xué)纖維被選取得不一樣長(zhǎng)，使得該組件的工作點(diǎn)可通過改變相干光的波長(zhǎng)來調(diào)節(jié)，尤其在未偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜中能夠調(diào)節(jié)零點(diǎn)，優(yōu)選地，第一和第二光學(xué)纖維在不一樣長(zhǎng)的區(qū)域上與測(cè)量薄膜的相應(yīng)側(cè)相連接。此外，開頭所指出的目的通過一種用于制造帶有薄膜袋的之前所說明的壓力傳感器的方法來實(shí)現(xiàn)，壓力傳感器在薄膜袋與測(cè)量薄膜之間具有中間介質(zhì)，其中該中間介質(zhì)包含粉末。根據(jù)本發(fā)明的方法特征在于，粉末被懸浮在液體中、尤其在水中，并且懸浮物被離心到薄膜袋中。壓力傳感器在此被如此取向，使得懸浮物在離心力的作用下填充薄膜袋。當(dāng)懸浮物相對(duì)稀液狀(diinnfliissig)、即超過90%質(zhì)量百分比由液態(tài)的介質(zhì)構(gòu)成、優(yōu)選地甚至超過95%質(zhì)量百分比由液態(tài)的介質(zhì)構(gòu)成時(shí)，證實(shí)為特別有利的。那么確保，粉末的顆粒也可通過(Uberwinden)在薄膜袋中的空腔的狹窄區(qū)域、例如在光學(xué)纖維的區(qū)域中。特別良好地合適的懸浮物對(duì)于所說明的份額由水而剩余的份額由帶有大約5 μ m的顆粒尺寸的氧化鋁粉末或由氧化鎂粉末構(gòu)成。離心在該方法的一有利的設(shè)計(jì)方案中這樣實(shí)現(xiàn)，即在薄膜袋中產(chǎn)生大約IBar的相對(duì)于環(huán)境壓力的超壓，其中，離心尤其被如此長(zhǎng)地持續(xù)，直到薄膜袋填充有沉積的粉末。對(duì)于該方法的背景是該考慮，即壓力傳感器也應(yīng)在環(huán)境低壓中(即相對(duì)于薄膜袋中的壓力)最佳地運(yùn)行，這樣的低壓即不允許導(dǎo)致袋薄膜與沉積的粉末分離。在正常的使用條件下，多于IBar的低壓是不可能的，從而在離心時(shí)不需要更高的壓力，雖然如此也可使用更高的壓力；總之應(yīng)注意的是，壓力傳感器尤其在薄膜袋的區(qū)域中不機(jī)械過載。薄膜袋中的壓力可在離心時(shí)通過旋轉(zhuǎn)速度和/或液柱(Fliissigkeitssjiule)在薄膜袋上的徑向延伸的選擇來調(diào)節(jié)。對(duì)于薄膜袋中的壓力在離心時(shí)適用
權(quán)利要求
1.一種渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其帶有可由介質(zhì)流過的測(cè)量管(2)、設(shè)置在所述測(cè)量管(2)中的滯流體(3)和設(shè)置在所述滯流體(3)的有效區(qū)域中的壓力傳感器(4)，其中，所述壓力傳感器(4)具有可偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜(5)，并且所述測(cè)量薄膜(5)的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量技術(shù)上被用以檢測(cè)鄰近所述測(cè)量薄膜(5)的介質(zhì)中的壓力，其中，為了檢查所述測(cè)量薄膜(5)的偏轉(zhuǎn)在所述測(cè)量薄膜(5)上和/或在其中布置有至少一個(gè)光學(xué)纖維(7)，其中，所述光學(xué)纖維(7)在其走向上和/或在所述測(cè)量薄膜(5)中至少部分地與所述測(cè)量薄膜(5)有效地連接，使得所述測(cè)量薄膜(5)的由于介質(zhì)壓力所引起的偏轉(zhuǎn)在有效地連接的區(qū)域(8)中導(dǎo)致所述光學(xué)纖維(7)的伸展和/或收縮， 其特征在于， 所述壓力傳感器(4)具有通過介質(zhì)的壓力可偏轉(zhuǎn)的薄膜袋(9)并且所述薄膜袋(9)包圍帶有所述光學(xué)纖維(7)的所述測(cè)量薄膜(5)，使得所述薄膜袋(9)對(duì)所述測(cè)量薄膜(5)屏蔽介質(zhì)并且所述測(cè)量薄膜(5)與所述薄膜袋(9) 一起被偏轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述薄膜袋(9)以在所述薄膜袋(9)與所述測(cè)量薄膜(5)之間的中間介質(zhì)(10)來填充。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述中間介質(zhì)包含粉末，尤其帶有在2μηι至8μηι的范圍中的顆粒尺寸的粉末,優(yōu)選地帶有在4μηι至6μηι的范圍中的顆粒尺寸的粉末，特別優(yōu)選地帶有大致5 μ m的顆粒尺寸的粉末。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述中間介質(zhì)(10)是由粉末構(gòu)成的沉淀物。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，通過將所述粉末離心到所述薄膜袋(9)中、尤其通過將包含在懸浮物中的粉末離心，獲得尤其以所述沉淀物的形式的所述中間介質(zhì)(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任一項(xiàng)所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述薄膜袋(9)具有第一袋薄膜(Ila)和第二袋薄膜(11b)，其中，所述第一袋薄膜(Ila)和所述第二袋薄膜(Ilb)經(jīng)由所述壓力傳感器(4)的殼體(12)相互連接成薄膜袋(9)，其中，在所述壓力傳感器(4)的裝配狀態(tài)中，所述第一袋薄膜(Ila)的內(nèi)側(cè)與所述測(cè)量薄膜(5)的第一側(cè)相面對(duì)，并且在所述壓力傳感器的裝配狀態(tài)中，所述第二袋薄膜(Ilb)的內(nèi)側(cè)與所述測(cè)量薄膜(5)的第二側(cè)相面對(duì)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述袋薄膜(11a，lib)由優(yōu)質(zhì)鋼構(gòu)成，并且所述袋薄膜尤其具有40 μ m至60 μ m的壁厚、優(yōu)選地具有50 μ m的壁厚。
8.根據(jù)權(quán)利要求I至7中任一項(xiàng)所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，所述光學(xué)纖維(7a，7b)在所述測(cè)量薄膜(5)的區(qū)域中金屬化，尤其利用所述測(cè)量薄膜(5)也由其構(gòu)成的合金或者金屬來金屬化，尤其利用銅、青銅或者優(yōu)質(zhì)鋼。
9.根據(jù)權(quán)利要求I至7中任一項(xiàng)所述的渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)，其特征在于，在所述測(cè)量薄膜(5)的一側(cè)上布置有第一光學(xué)纖維(7a)，在所述測(cè)量薄膜(5)的另一側(cè)上布置有第二光學(xué)纖維(7b)，尤其地其中，所述第一光學(xué)纖維(7a)和所述第二光學(xué)纖維(7b)不一樣長(zhǎng)、優(yōu)選地經(jīng)由不一樣長(zhǎng)的連接區(qū)域與所述測(cè)量薄膜的相應(yīng)側(cè)相連接。
10.一種用于渦旋流量測(cè)量?jī)x(I)的壓力傳感器，其帶有可偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜(5)，其中，所述測(cè)量薄膜(5)的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量技術(shù)上被用以檢測(cè)鄰近所述測(cè)量薄膜(5)的介質(zhì)中的壓力，其中，為了檢查所述測(cè)量薄膜(5)的偏轉(zhuǎn)在所述測(cè)量薄膜(5)上和/或在其中布置有至少一個(gè)光學(xué)纖維(7)，其中，所述光學(xué)纖維(7)在其走向上和/或在所述測(cè)量薄膜(5)中至少部分地與所述測(cè)量薄膜(5)有效地連接，使得所述測(cè)量薄膜(5)的由于介質(zhì)壓力所引起的偏轉(zhuǎn)在有效地連接的區(qū)域(8)中導(dǎo)致所述光學(xué)纖維(7)的伸展和/或收縮， 其特征在于， 權(quán)利要求I至9中的至少一項(xiàng)權(quán)利要求的特征部分的特征。
11.一種用于制造只要還回引權(quán)利要求3的根據(jù)權(quán)利要求10所述的帶有薄膜袋(9)的壓力傳感器(4)的方法， 其特征在于，· 粉末被懸浮在液體中、尤其在水中，并且懸浮物被離心到所述薄膜袋(9)中。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，使用由超過90%質(zhì)量百分比的液態(tài)的介質(zhì)、優(yōu)選地由超過95%質(zhì)量百分比的液態(tài)的介質(zhì)構(gòu)成的懸浮物。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其特征在于，所述離心這樣實(shí)現(xiàn)，即在所述薄膜袋(9)中產(chǎn)生大約IBar的相對(duì)于環(huán)境壓力的超壓，其中，所述離心尤其被如此長(zhǎng)地持續(xù)，直到所述薄膜袋(9)填充有沉積的粉末。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于，帶有所離心的且沉積的粉末的所述壓力傳感器(4)經(jīng)受用于蒸發(fā)液體的熱處理、尤其數(shù)小時(shí)加熱到60°C至80°C。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種渦旋流量測(cè)量?jī)x、壓力傳感器和制造壓力傳感器的方法。渦旋流量測(cè)量?jī)x帶有測(cè)量管、滯流體和壓力傳感器，其中，壓力傳感器具有可偏轉(zhuǎn)的測(cè)量薄膜，并且測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量技術(shù)上被用以檢測(cè)鄰近測(cè)量薄膜的介質(zhì)中的壓力，其中，為了檢查測(cè)量薄膜的偏轉(zhuǎn)在測(cè)量薄膜上和/或在其中布置有至少一個(gè)光學(xué)纖維，其中，光學(xué)纖維在其走向上和/或在測(cè)量薄膜中至少部分地與測(cè)量薄膜有效地連接，使得測(cè)量薄膜的由于介質(zhì)壓力所引起的偏轉(zhuǎn)在有效地連接的區(qū)域中導(dǎo)致光學(xué)纖維的伸展和/或收縮。壓力傳感器具有通過介質(zhì)的壓力可偏轉(zhuǎn)的薄膜袋并且薄膜袋包圍帶有光學(xué)纖維的測(cè)量薄膜，使得薄膜袋對(duì)測(cè)量薄膜屏蔽介質(zhì)并且測(cè)量薄膜與薄膜袋一起被偏轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)G01L11/02GK102879042SQ201210238590
公開日2013年1月16日 申請(qǐng)日期2012年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月11日
發(fā)明者N.C.弗南德斯, H.克里施, M.劉, S.圖爾尼龍 申請(qǐng)人:克洛納測(cè)量技術(shù)有限公司