專利名稱：檢查用接觸器和檢查用夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將預先設定在被檢查物的檢查對象部上的檢查點與實施這種檢查的檢查裝置電連接的檢查用夾具以及在檢查用夾具中使用的檢查用接觸器。
背景技術(shù)：
安裝有檢查用接觸器的檢查用夾具經(jīng)由所述檢查用接觸器，針對被檢查物所具有的檢查對象部，從檢查裝置向規(guī)定的檢查位置提供電流或電信號，并從檢查對象部檢測電信號，據(jù)此進行檢查對象部的電特性的檢測、動作測試的實施等。
作為被檢查物，例如有印刷線路基板、柔性基板、陶瓷多層線路基板、液晶顯示器或等離子顯示器等用的電極板、以及半導體封裝用的封裝基板或膜式載體等各種基板、或半導體晶片、半導體芯片或CSP(芯片尺寸封裝，Chip size package)等的半導體裝置。在本說明書中，將上述的這些被檢查物統(tǒng)稱為“被檢查物”，將形成在被檢查物上的檢查對象部稱為“檢查部”。另外，可以在檢查部上設定用于實際地檢查所述檢查部的電特性的檢查點，并通過將接觸器壓接在所述檢查點上而與檢查部成為導通狀態(tài)。這種檢查用夾具的接觸器的一端壓接在布線(檢查部)上的檢查點上，另一端壓接在與基板檢查裝置電連接的電極部上。另外，經(jīng)由所述檢查用夾具，從基板檢查裝置提供用于測量布線的電特性的電流或電壓，并且將從布線中檢測的電信號向基板檢查裝置發(fā)送。這種檢查用夾具例如可以例示出在專利文獻I中公開的夾具。在專利文獻I的檢查用夾具中，在導電性可移動體(接觸器)上安裝有螺旋彈簧。在這種檢查用夾具中，接觸器在被安裝在支架上時，利用螺旋彈簧的收縮而被按壓在導電部上，提供了導電部與接觸器的良好的接觸狀態(tài)。另外，接觸器被調(diào)整為，為了破壞在檢查點的表面上形成的氧化膜等的絕緣層并與檢查點導通接觸，使接觸器與檢查點接觸以使螺旋彈簧收縮規(guī)定的量(規(guī)定長度)而可以獲得規(guī)定的按壓力。特別地，近年來，因為基板設定了大量的檢查點，所以也將應與這些檢查點對應的接觸器大量地安裝在支架上。因此，如上所述，如果接觸器的數(shù)量增加，則收縮的螺旋彈簧也增加，在支架上負擔很大的力。負擔了很大的力的支架存在因所述的螺旋彈簧的力的作用而整體彎曲的問題。另一方面，要降低施加在支架上的力，就要研究降低螺旋彈簧的彈力，但在收縮規(guī)定長度的情況下螺旋彈簧不能提供所希望的按壓力，存在接觸器與檢查點不能通過足夠的按壓力而導通接觸的問題。(現(xiàn)有技術(shù)文件)專利文獻I :日本特開2003-215160號公報發(fā)明內(nèi)容
(發(fā)明所要解決的問題)本發(fā)明提供一種可以應對基板的微細化以及復雜化、并可以在檢查時提供強的按壓力且可以在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器以及使用這種接觸器的檢查用夾具。(解決問題的手段)本發(fā)明的第一方面提供一種將成為被檢查對象并具有多個檢查點的被檢查物與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具，其特征在于具備具備與所述檢查裝置電連接的多個電極部的電極體；將所述電極部與所述檢查點電連接的檢查用接觸器；以及保持所述檢查用接觸器的保持體，其中，所述檢查用接觸器具備兩端具有開口部、且前端開口部與所述電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件；從所述筒狀部件的后端開口部突出并配置在所述筒狀部件的內(nèi)部、且后端與所述檢查點接觸的導電性的棒狀部·件；以及將所述筒狀部件與所述棒狀部件電連接的固定部，所述保持體具備具有將所述前端開口部向所述電極體引導的第一引導孔的第一板狀部件；以及具有將所述棒狀部件的后端向所述檢查點引導的第二引導孔的第二板狀部件，所述筒狀部件具有具有與所述電極部的表面接觸的前端開口部并將所述棒狀部件的前端部容納在內(nèi)部的上筒部；形成為與所述上筒部相同的直徑并與所述上筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向伸縮的螺旋狀的缺口的第一缺口部；形成為與所述第一缺口部相同的直徑并與所述第一缺口部連通連接的中筒部；形成為與所述中筒部相同的直徑并與所述中筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第二缺口部；以及形成為與所述第二缺口部相同的直徑并與所述第二缺口部連通連接、且具備所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一個在所述棒狀部件與所述檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。本發(fā)明的第二方面提供一種如上述第一方面所述的檢查用夾具，其特征在于，所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的節(jié)距不同。本發(fā)明的第三方面提供一種如上述第一或第二方面所述的檢查用夾具，其特征在于，所述第一缺口部的缺口寬度與所述第二缺口部的缺口寬度不同。本發(fā)明的第四方面提供一種將成為被檢查對象的被檢查物的多個檢查點與在檢查用夾具的電極體上具備的多個電極部電連接的檢查用接觸器，所述電極部與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接，所述檢查用接觸器具備成為前端開口部與所述電極部抵接的電極端的外側(cè)筒體；以及從所述外側(cè)筒體的后端開口部突出并與所述外側(cè)筒體的內(nèi)部電連接且同軸地配置的、且成為后端部壓接在所述檢查點上的檢查端的導電性的內(nèi)側(cè)筒體，所述外側(cè)筒體具有具有成為所述電極端的前端開口部的外側(cè)上筒部；與所述外側(cè)上筒部相同直徑的、且前端開口部與所述外側(cè)上筒部的后端開口部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第一缺口部；與所述第一缺口部相同直徑的、并與所述第一缺口部連通連接的外側(cè)中筒部；與所述外側(cè)中筒部相同直徑的、且與所述外側(cè)中筒部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第二缺口部；以及與所述第二缺口部相同直徑的、且與所述第二缺口部連通連接并具備固定部的外側(cè)下筒部，所述內(nèi)側(cè)筒體具有具有成為所述檢查端的后端部的內(nèi)側(cè)下筒部；以及配置在所述外側(cè)筒體內(nèi)部的固定部，其中，所述固定部將所述外側(cè)筒體與所述內(nèi)側(cè)筒體電連接并固定，所述第一缺口部與所述第二缺口部的螺旋的節(jié)距不同。(發(fā)明的效果)根據(jù)本發(fā)明的上述第一和第四方面，由于將導電性的棒狀部件同軸地配置在具備兩處螺旋狀的缺口部的筒狀部件的內(nèi)部且電連接并固定，所以這些筒狀部件和棒狀部件作為一個檢查用接觸器而發(fā)揮作用。設置在筒狀部件上的缺口部一體地形成在筒狀部件上，并發(fā)揮在長軸方向上收縮的彈性部的作用。即，所述檢查用接觸器只包括筒狀部件、棒狀部件和固定部而形成。因此，與使用螺旋彈簧的檢查用接觸器相比，可以減少零件數(shù)量，并簡單地形成檢查用接觸器。另外，所述檢查用接觸器提供一種可以在檢查時提供強的按壓力而在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器以及使用所述接觸器的檢查用夾具。根據(jù)本發(fā)明的上述第二方面，由于第一缺口部與第二缺口部的螺旋節(jié)距不同，所 以可以簡便地產(chǎn)生檢查時和非檢查時的按壓力之差。根據(jù)本發(fā)明的上述第三方面，由于第一缺口部與第二缺口部的缺口寬度不同，所以可以簡便地產(chǎn)生檢查時和非檢查時的按壓力之差。


圖I是表示本發(fā)明的檢查用夾具的概略結(jié)構(gòu)圖。圖2是本發(fā)明的檢查用接觸器的概略剖面圖。圖3是本發(fā)明的檢查用接觸器的筒狀部件的概略剖面圖。圖4是本發(fā)明的檢查用接觸器的棒狀部件的概略剖面圖。圖5是表示本發(fā)明的檢查用接觸器的安裝狀態(tài)的概略剖面圖。圖6是表示本發(fā)明的檢查用夾具的檢查時的動作狀態(tài)的概略剖面圖。(附圖標記說明)I :檢查用夾具；2 :檢查用接觸器；21 :筒狀部件；22 :棒狀部件23 :固定部；3 :保持體；31 :第一板狀部件；31h :第一引導孔32 :第二板狀部件；3 1 :第二引導孔；4 :電極體；41 :電極部5 :導線；8 :被檢查物；81 :檢查點
具體實施例方式下面說明用于實施本發(fā)明的優(yōu)選實施方式。圖I是表示本發(fā)明的檢查用夾具的第一實施方式的概略結(jié)構(gòu)圖。本發(fā)明的檢查用夾具I具備多個接觸器2 ;將這些接觸器2保持為多針狀的保持體3 :支持所述保持體3且具有與各個接觸器2接觸并成為導通狀態(tài)的電極部41的電極體4 ；以及從電極部41電連接并延伸設置的導線部5。另外，在圖I中，作為多個接觸器2表示了三根接觸器并表示了分別對應的三根導線部5，但它們并不限于三根，而可以與設定在檢查對象上的檢查點相對應地確定。本發(fā)明的特征在于利用形成在導電性的筒狀部件上的缺口部發(fā)揮作為彈性部的功能這一點，通過改變設置在至少兩處的缺口部的彈性特性，可以提供在檢查中所需的接觸壓力和用于始終與電極部41接觸的壓接力。
通過如本發(fā)明所示那樣構(gòu)成檢查用接觸器，可以應對基板的微細化以及復雜化，并可以降低零件數(shù)量并簡單化，還可以在檢查時向檢查點提供大的接觸壓力并在非檢查時向保持體提供小的接觸壓力。下面說明在本發(fā)明的檢查用夾具中使用的檢查用接觸器2。圖2是本發(fā)明的檢查用接觸器2的概略剖面圖。檢查用接觸器2的一端與檢查點導通接觸，而另一端與后述的電極部41導通接觸，據(jù)此將檢查點與電極部電連接。所述檢查用接觸器2具有筒狀部件21和棒狀部件22 (參照圖2)。筒狀部件21在兩端具有開口部21a、21b，一方的前端開口部21a與電極部41的表面抵接。所述筒狀部件21可以用導電性的材料形成，例如可以利用銅、鎳或它們的合金來形成。
圖3是本發(fā)明的筒狀部件的概略剖面圖。所述筒狀部件21如圖3所示，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g。上筒部21c具有與電極部41的表面接觸的前端開口部21a，并在內(nèi)部容納后述的棒狀部件22的前端部22a。所述上筒部21c是筒狀部件21的一部分，具有在外徑和內(nèi)徑方面都與筒狀部件21相等的形狀。第一缺口部21d被形成為與上筒部21c相同的直徑并與上筒部21c連通連接，是在筒狀部件21的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口而成的。所述第一缺口部21d由于形成在筒狀部件21的壁面上，所以成為在外徑和內(nèi)徑方面都與筒狀部件21相等的形狀。中筒部21e被形成為與第一缺口部21d相同的直徑并與第一缺口部21d連通連接。所述中筒部件21e是筒狀部件21的一部分，具有在外徑和內(nèi)徑方面都與筒狀部件21相等的形狀。第二缺口部21f被形成為與中筒部21e相同的直徑并與中筒部21e連通連接，是在筒狀部件21的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口而成的。所述第二缺口部21f由于形成在筒狀部件21的壁面上，所以成為在外徑和內(nèi)徑方面都與筒狀部件21相等的形狀。下筒部21g被形成為與第二缺口部21f相同的直徑并與第二缺口部21f連通連接。下筒部21g具備用于將后述的棒狀部件22與筒狀部件21固定并電連接的固定部23。所述下筒部21g是筒狀部件21的一部分，并具有在外徑和內(nèi)徑方面都與筒狀部件21相等的形狀。另外，所述下筒部21g具有后端開口部21b。筒狀部件21如上所述，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g，各個部分構(gòu)成了筒狀部件21。第一缺口部21d在棒狀部件22與檢查點抵接并實施檢查時(檢查時)達到收縮的極限。這使得由形成在第一缺口部21d上的缺口所造成的空間因第一缺口部21d的收縮而成為該缺口(的空間)消失的狀態(tài)，使第一缺口部21d達到收縮的極限。達到收縮的極限的第一缺口部21d因為不再發(fā)生進一步的收縮，所以上筒部21c、中筒部21e或下筒部21g變?yōu)榘l(fā)揮同樣的功能。
如上所述，在檢查時，雖然第一缺口部21d達到了收縮的極限，但第二缺口部21f沒有達到收縮的極限。這是因為，在棒狀部件22與檢查點抵接的情況下，通過使第二缺口部21f具有收縮的余量，可以利用第二缺口部21f的收縮來吸收檢查點(凸起)的高度偏差。在棒狀部件22未與檢查點抵接的情況下(非檢查時)，檢查用接觸器2處于被后述的保持體3所保持的狀態(tài)，因此成為第一缺口部21d和第二缺口部21f收縮的狀態(tài)。此時，第一缺口部21d處于收縮到收縮的極限附近的狀態(tài)，而第二缺口部21f成為少量收縮的狀態(tài)。S卩，在非檢查時，第一缺口部21d大幅收縮，而第二缺口部21f少量收縮。在檢查時，第一缺口部21d不再進一步收縮(因為達到了收縮極限)，而只有第二缺口部21f收縮。第一缺口部21d和第二缺口部21f如上所述，在檢查時和非檢查時功能不同，而為了具有這種功能差異，形成為螺旋的節(jié)距不同的方式。在表示筒狀部件的一種實施方式的 概略剖面圖的圖3中，第一缺口部21d的螺旋節(jié)距dl與第二缺口部21f的螺旋節(jié)距d2被不同地形成。在所述圖3中，以成為第一缺口部21d的螺旋節(jié)距dl短，而第二缺口部21f的螺旋節(jié)距長的方式相對地形成。另外，在圖3中，形成第一缺口部21d的壁面的寬度和形成第二缺口部21f的壁面的寬度是以相同的長度形成的。另外，這些螺旋的寬度并沒有特別的限定，只要可以起到第一缺口部21d和第二缺口部21f的功能則可以任意調(diào)整。第一缺口部21d和第二缺口部21f如上所述，在檢查時和非檢查時可以收縮的收縮量(收縮長度)不同，據(jù)此形成為功能不同的方式。即，非檢查時的收縮量受第一缺口部21d和第二缺口部21f的影響，而檢查時的收縮量因第一缺口部21d處于收縮極限而只受第二缺口部21f的影響。因此，第二缺口部21f的缺口寬度形成得比第一缺口部21d的缺口寬度寬。通過這樣地形成，在非檢查時第一缺口部21d和第二缺口部21f收縮，而在檢查時只有第二缺口部21f可以進一步收縮。在上述的說明中，說明了在棒狀部件22抵接于檢查點并實施檢查時，達到第一缺口部21d的收縮的極限的情況，但也可以代替第一缺口部21d地，使第二缺口部21f達到收縮的極限。在本發(fā)明中，只要第一缺口部21d或第二缺口部21f中的任意一個達到收縮的極限即可。本發(fā)明的筒狀部件21如上所述，具有上筒部21c、第一缺口部21d、中筒部21e、第二缺口部21f和下筒部21g，而為了制造這種筒狀部件21，可以采用以下的制造方法。(I)首先，準備形成筒狀部件的中空部的芯線(未圖示)。另外，對于所述芯線，使用規(guī)定筒狀部件的內(nèi)徑的所希望的粗細的、具有導電性的芯線(例如，直徑30 μ m，不銹鋼(SUS))。(2)接著，在芯線(不銹鋼線)上涂敷光致抗蝕劑涂層并覆蓋所述芯線的周面。對所述光致抗蝕劑的所希望的部分進行曝光/顯影/加熱處理而形成螺旋狀的掩模。此時，例如，可以使芯線沿著中心軸旋轉(zhuǎn)，并利用激光進行曝光來形成螺旋狀的掩模。為了形成本發(fā)明的筒狀部件，將用于形成第一缺口部和第二缺口部的兩處的掩模形成在規(guī)定位置上。(3)接著，對所述芯線實施鍍鎳。此時，因為芯線是導電性的，所以未形成光致抗蝕劑掩模的部位被鍍鎳。
(4)接著，去除光致抗蝕劑掩模，拉出芯線，形成所希望的長度的筒狀部件。當然也可以在將芯線完全拉出后將筒體切斷。圖4是表示本發(fā)明的棒狀部件的概略剖面圖。棒狀部件22是后端部22b與檢查點相接觸的導電性的部件。棒狀部件22具有細長的形狀，并且例如可以形成為圓柱形狀或圓筒形狀。所述棒狀部件22可以從筒狀部件21的后端開口部21b突出并配置在筒狀部件21內(nèi)部。棒狀部件22的前端部22a可以配置在筒狀部件21的內(nèi)部，但優(yōu)選的是配置在筒狀部件21的上筒部21c內(nèi)。棒狀部件22的前端部22a由于配置在上筒部21c內(nèi)部，所以貫通第一缺口部21d和第二缺口部21f的部分，具有作為這些缺口部伸縮的引導裝置的功能。棒狀部件22的前端部22a可以被調(diào)整成不與后述的電極體4抵接的方式。

棒狀部件22的后端部22b直接與檢查點抵接。所述后端部22b的形狀并沒有特別限定，可以選擇王冠形狀、尖銳形狀、或三棱錐形狀等形狀。棒狀部件22的后端部22b可以從筒狀部件21的后端開口部21b突出，而所述后端部22b的突出長度可以被設定為至少比后述的保持體3的第二板狀部件32的厚度更長。棒狀部件22可以用導電性的材料形成，例如可以采用銅(Cu)、鎳(Ni)或它們的合
全坐
W. -rf* ο固定部23將筒狀部件21與棒狀部件22電連接。固定部23可以形成在筒狀部件21的下筒部21g上，向著棒狀部件22的后端部22b設置。所述固定部23例如可以示例出壓緊、激光焊接、電弧焊接或粘合劑等方法，只要可以將筒狀部件21與棒狀部件22電連接、并且不會使筒狀部件21和棒狀部件22的形狀有大的變形的固定方法就可以采用。檢查用夾具I具備保持檢查用接觸器2的保持體3。保持體3可以由絕緣材料形成。保持體3具有第一板狀部件31，所述第一板狀部件31具有將筒狀部件21的前端開口部21a向后述的電極體4的電極部41引導的第一引導孔31h。保持體3具有第二板狀部件32，所述第二板狀部件32具有將棒狀部件22的后端部22b向檢查點引導的第二引導孔32h。第一板狀部件31的第一引導孔31h被形成為在第一板狀部件31的厚度方向上具有相同的直徑的貫通孔，所述貫通孔的外徑可以被形成為具有比筒狀部件21的上筒部21c的外徑稍大的直徑。利用所述第一引導孔31h，可以將筒狀部件21的前端開口部21a向設置在電極體4上的規(guī)定的電極部41引導。第一板狀部件31的厚度優(yōu)選為形成得比上筒部21c的長度短。這是為了避免伸縮的第一缺口部21d與第一板狀部件31相接觸而發(fā)生磨損。第二板狀部件32可以被配置為與第一板狀部件31具有規(guī)定的間隔并具有用于將檢查用接觸器2的棒狀部件22的后端部22b向檢查點引導的第二引導孔32h。第二板狀部件32的厚度可以調(diào)整為在檢查時棒狀部件22的后端部22b可以與檢查點抵接的充分的長度。第二引導孔32h可以被形成為具有在第二板狀部件32的厚度方向上貫通的相同的直徑，并形成為具有比棒狀部件22的外徑大且比筒狀部件21的外徑小的外徑。通過這樣地形成第二引導孔32h，在將檢查用接觸器2插入保持體3時，檢查用接觸器2的筒狀部件21的后端開口部21b被第二板狀部件32的表面和電極體4所夾持，成為使檢查用接觸器2的棒狀部件22的后端部22b從第二板狀部件32突出的狀態(tài)。第二板狀部件32可以被配置為距離電極部41具有規(guī)定的間隔L，而所述規(guī)定的間隔L可以設定為比無負荷狀態(tài)下筒狀部件21的長軸方向的長度短的方式。所述規(guī)定的間隔L與筒狀部件21的自然 長度的長度之差成為第一缺口部21d和第二缺口部21f的收縮量。另外，利用所述規(guī)定的間隔L，第一缺口部21d可以被設定為成為收縮到收縮的極限附近程度的狀態(tài)，而第二缺口部21f可以被設定成少量收縮的狀態(tài)。另外，在檢查用接觸器2的棒狀部件22與檢查點抵接的情況下，筒狀部件21成為比規(guī)定的間隔L更加短的長度。此時，第一缺口部21d達到收縮極限，而第二缺口部21f收縮。通過這樣地形成，在將檢查用接觸器2安裝到保持體3上時，筒狀部件21的第一缺口部21d和第二缺口部21f收縮而成為蓄能狀態(tài)，筒狀部件21以分別按壓電極部41和第二板狀部件32的狀態(tài)安裝。在圖5中，第二引導孔32h被表示為具有相同的直徑的貫通孔，但也可以采用由具有配置在同一軸上的兩個不同外徑的兩個孔(上孔和下孔，未圖示)形成的貫通孔。在此情況下，上孔具有比筒狀部件21的外徑稍大的直徑并配置在第二板狀部件32的電極部一偵牝而下孔具有比筒狀部件21的外徑小而比棒狀部件22的外徑稍大的直徑并配置在第二板狀部件32的檢查點一側(cè)。通過這樣地形成上孔和下孔，在將檢查用接觸器2從第一引導孔31h插入并安裝在保持體3上時，利用筒狀部件21的后端開口部21b的外徑與下孔的直徑的不同，可以配置成將筒狀部件21卡止而只有棒狀部件22從第二引導孔32h突出的方式。在圖5所示的實施方式中，第一板狀部件31和第二板狀部件32被配置成具有規(guī)定的間隔，但也可以在第一板狀部件31和第二板狀部件32之間設置第三板狀部件(未圖示)。所述第三板狀部件可以層疊一個或二個以上的板狀部件，并可以配置在由所述間隔產(chǎn)生的空間中。在此情況下，例如，第三板狀部件也可以通過層疊與第一板狀部件31相同的多個板狀部件來形成。另外，形成在第三板狀部件上的貫通孔只要具有檢查用接觸器2的筒狀部件21貫通的大小即可，其斷面形狀不作特別限定。電極體4具備與檢查裝置電連接的多個電極部41。所述電極體4所具備的電極部41被配置成與各個檢查用接觸器2相對應的方式。所述電極部41與筒狀部件21的前立而開口部21a壓接并成為導通狀態(tài)。電極部41是用細的導線形成的，在圖5中被配置為所述導線的斷面與電極體4的表面成為同一平面的方式。所述導線的斷面成為電極部41，并與筒狀部件21的前端開口部21a壓接。以上是本發(fā)明的第一種實施方式的檢查用夾具I的結(jié)構(gòu)的說明。下面說明為了組裝檢查用夾具1，將檢查用接觸器2安裝在保持體3上的情況。在將保持體3安裝在檢查用夾具I上時，首先，將檢查用接觸器2插入保持體3。在將檢查用接觸器2插入保持體3的情況下，檢查用接觸器2的棒狀部件22的后端部22b穿過第一引導孔31h。接著，使所述后端部22b穿過第二引導孔32h而插入并從第二引導口32h貫通。插入保持體3的檢查用接觸器2利用筒狀部件21的后端開口部21b而卡止在保持體3上。筒狀部件21的前端開口部21a和棒狀部件22的后端部22b被配置成從第一引導孔31h和第二引導孔32h分別向外側(cè)突出的方式。如果將檢查用接觸器2插入保持體3，則第一板狀部件31向電極體4抵接，使得筒狀部件21的前端開口部21a向規(guī)定的電極部41按壓并相接。此時，由于筒狀部件21壓接在電極部41上，所以各個第一缺口部21d和第二缺口部21f收縮并成為蓄能狀態(tài)。此時，第一缺口部21d處于收縮到收縮的極限附近階段的狀態(tài)，而第二缺口部21f成為只少量收縮的狀態(tài)。這樣，完成了具有檢查用接觸器2的檢查用夾具I。下面，說明在檢查中使用檢查用夾具I的情況(檢查時)。圖6是表示使用了檢查用接觸器的檢查用夾具的在檢查時的狀態(tài)的概略剖面圖。在進行檢查時，將檢查用夾具I安裝在檢查裝置(未圖示)上，導線5與檢查裝置 的控制單元電連接。檢查裝置例如具備使承載被檢查物8的承載臺分別在xyz軸方向上移動的移動單元，以使規(guī)定的檢查用接觸器2的棒狀部件22的后端部22b壓接在被檢查物8的多個檢查點81上的方式，使載物臺在xyz軸方向上移動并進行檢查。當檢查裝置以可以使所希望的檢查用接觸器2的后端部22b抵接于規(guī)定的檢查點81上的方式進行載物臺的定位時，就以使各個檢查用接觸器2的后端部22b與各個檢查點81導通接觸的方式進行移動。此時，如果所希望的后端部22b抵接于規(guī)定的檢查點81，則首先，由于后端部22b成為被壓接的狀態(tài)，所以筒狀部件21的第一缺口部21d和第二缺口部21f收縮。在此情況下，收縮量極限之前的第一缺口部21d達到收縮極限，而第二缺口部21f收縮。因此，在非檢查時，第一缺口部21d和第二缺口部21f起作用，而在檢查時，第二缺口部21f起作用。即，在非檢查時，施加在保持體3的第二板狀部件32上的負荷由第一缺口部21d和第二缺口部21f產(chǎn)生，因此可以設置成比檢查時的負荷小的負荷?？梢栽跈z查時提供強的按壓力而在非檢查時提供弱的按壓力。
權(quán)利要求
1.一種將成為被檢查對象并具有多個檢查點的被檢查物與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的檢查用夾具，其特征在于具備 具備與所述檢查裝置電連接的多個電極部的電極體； 將所述電極部與所述檢查點電連接的檢查用接觸器；以及 保持所述檢查用接觸器的保持體， 其中，所述檢查用接觸器具備 兩端具有開口、且前端開口部與所述電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件； 從所述筒狀部件的后端開口部突出并配置在所述筒狀部件的內(nèi)部、且后端與所述檢查點接觸的導電性的棒狀部件；以及 將所述筒狀部件與所述棒狀部件電連接的固定部， 所述保持體具備 具有將所述前端開口部向所述電極體引導的第一引導孔的第一板狀部件；以及具有將所述棒狀部件的后端向所述檢查點引導的第二引導孔的第二板狀部件，所述筒狀部件具有 具有與所述電極部的表面接觸的前端開口部并將所述棒狀部件的前端部容納在內(nèi)部的上筒部； 形成為與所述上筒部相同的直徑并與所述上筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第一缺口部； 形成為與所述第一缺口部相同的直徑并與所述第一缺口部連通連接的中筒部； 形成為與所述中筒部相同的直徑并與所述中筒部連通連接、且在所述筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第二缺口部；以及 形成為與所述第二缺口部相同的直徑并與所述第二缺口部連通連接、且具備所述固定部的下筒部， 所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一個在所述棒狀部件與所述檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。
2.如權(quán)利要求I所述的檢查用夾具，其特征在于所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的節(jié)距不同。
3.如權(quán)利要求I或2所述的檢查用夾具，其特征在于所述第一缺口部的缺口寬度與所述第二缺口部的缺口寬度不同。
4.一種將成為被檢查對象的被檢查物的多個檢查點與在檢查用夾具的電極體上具備的多個電極部電連接的檢查用接觸器，所述電極部與檢查所述檢查點間的電特性的檢查裝置電連接，所述檢查用接觸器具備 成為前端開口部與所述電極部抵接的電極端的外側(cè)筒體；以及從所述外側(cè)筒體的后端開口部突出并與所述外側(cè)筒體的內(nèi)部電連接且同軸地配置的、且成為后端部與所述檢查點壓接的檢查端的導電性的內(nèi)側(cè)筒體， 所述外側(cè)筒體具有 具有成為所述電極端的前端開口部的外側(cè)上筒部； 與所述外側(cè)上筒部相同直徑的、且前端開口部與所述外側(cè)上筒部的后端開口部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第一缺口部；與所述第一缺口部相同直徑的、且與所述第一缺口部連通連接的外側(cè)中筒部； 與所述外側(cè)中筒部相同直徑的、且與所述外側(cè)中筒部連通連接并在周面上具備在長軸方向上形成的螺旋狀的缺口的筒狀的第二缺口部；以及 與所述第二缺口部相同直徑的、且與所述第二缺口部連通連接并具備固定部的外側(cè)下筒部， 所述內(nèi)側(cè)筒體具有 具有成為所述檢查端的后端部的內(nèi)側(cè)下筒部；以及 配置在所述外側(cè)筒體內(nèi)部的內(nèi)側(cè)上筒部， 其中，所述固定部將所述外側(cè)筒體與所述內(nèi)側(cè)筒體電連接并固定；以及 所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的節(jié)距不同。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以應對基板的微細化和復雜化、并在檢查時提供強的按壓力且在非檢查時提供弱的按壓力的微細的接觸器和檢查用夾具。一種將被檢查物的多個檢查點與在檢查用夾具的電極體上具備的并與檢查檢查點間的電特性的檢查裝置電連接的多個電極部電連接的檢查用接觸器具備兩端具有開口部且前端開口部與電極部的表面抵接的導電性的筒狀部件、從筒狀部件的后端開口部突出并配置在筒狀部件內(nèi)部、且后端與檢查點接觸的導電性的棒狀部件和將筒狀部件與板狀部件電連接的固定部，筒狀部件具有在筒狀部件的壁部形成在長軸方向上伸縮的螺旋狀的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒狀部件與檢查點抵接并實施檢查時達到收縮的極限。
文檔編號G01R1/04GK102890166SQ20121025240
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月21日
發(fā)明者沼田清 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社