專利名稱：電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件搬運(yùn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件搬運(yùn)方法，特別是關(guān)于電子部件的定位的發(fā)明。
背景技術(shù)：
在檢查電子部件時(shí)，使探針與電子部件的電極抵接來傳輸電信號。伴隨著電子部件的高密度化，電極的密度變高，需要相對于探針位置精確地配置電子部件。搬運(yùn)該電子部件并使該電子部件與探針抵接的裝置是電子部件搬運(yùn)裝置。而且，電子部件搬運(yùn)裝置中使電子部件的電極與探針正確地抵接在維持適當(dāng)?shù)臋z查方面特別重要。近年來，電子部件被小型化以及高集成化，在電子部件的下表面以及上表面這兩面分別設(shè)置電極。進(jìn)而在電子部件的上表面層疊其他電子部件的結(jié)構(gòu)的電子部件成為檢查 對象的情況也較多。將這種結(jié)構(gòu)的電子部件稱為堆疊封裝(POP)。在該層疊結(jié)構(gòu)的電子部件中也在電子部件的下表面以及上表面這兩面分別設(shè)置電極。在專利文獻(xiàn)I公開了使具有微小間隔的電子部件的電極與檢查用插頭的接觸端子正確地連接的技術(shù)的一個(gè)例子。由此，在把持電子部件的把持側(cè)臂具備限制/非限制切換機(jī)構(gòu)，從下部拍攝把持的電子部件。另外，通過由與把持側(cè)臂不同的其它的單元構(gòu)成的位置修正機(jī)構(gòu)，基于其拍攝結(jié)果進(jìn)行電子部件的位置修正，通過限制/非限制切換機(jī)構(gòu)在該被修正后的位置使電子部件相對于把持側(cè)臂固定。而且，這樣使位置被固定的電子部件的電極與檢查用插頭的接觸端子接觸。由此，能夠較高地維持檢查用測試頭與電子部件之間的位置關(guān)系的精度，進(jìn)而能夠較高地維持檢查用測試頭對檢查用插頭的電子部件的檢查精度。專利文獻(xiàn)I :國際專利編號W02003 / 075023號小冊子在電子部件的上表面與下表面兩面具有端子時(shí)，存在兩面的端子的相對位置因制造工序的條件而移動(dòng)的情況。因此，需要使在電子部件的上表面與下表面兩面的端子分別與電子部件的端子位置對準(zhǔn)來與探針抵接。于是，要求一種位置精確地把持電子部件的與第I面相對的位置，并且，位置精確地使第2面移動(dòng)到規(guī)定的位置的電子部件搬運(yùn)裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例I在本應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置中，其特征在于，具備拍攝部，其對具備第I面以及第2面的電子部件的上述第I面進(jìn)行拍攝來形成第I圖像，并對上述第2面進(jìn)行拍攝來形成第2圖像；把持部，其把持上述電子部件；可動(dòng)部，其使上述把持部移動(dòng)；控制部，其使用上述第I圖像來檢測上述第I面的位置，且使用上述第2圖像來檢測上述第2面的位置，并對上述把持部、上述可動(dòng)部進(jìn)行控制，使用上述控制部所檢測出的上述第I面的位置信息，上述把持部使所述把持部與所述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持所述電子部件，使用上述控制部所檢測出的上述第2面的位置的信息，上述可動(dòng)部將上述第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。根據(jù)本應(yīng)用例，控制部控制拍攝部，拍攝部對電子部件的第I面進(jìn)行拍攝并形成第I圖像?？刂撇渴褂玫贗圖像來檢測第I面的位置。而且，控制部控制可動(dòng)部，可動(dòng)部使把持部移動(dòng)。并且，控制部控制把持部，把持部把持電子部件。此時(shí)，控制部以使把持部與第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置的方式使把持部把持電子部件?？刂撇繖z測出第I面的位置再把持，所以能夠位置精確地對準(zhǔn)把持部與第I面的相對位置來使把持部把持?？刂撇靠刂婆臄z部，拍攝部對電子部件的第2面進(jìn)行拍攝并形成第2圖像。控制部使用第2圖像來識別第2面的位置。而且，控制部控制把持部的動(dòng)作，使第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置?？刂撇繖z測出第2面的位置并使之移動(dòng)，所以能夠使第2面位置精確地移動(dòng)至規(guī)定的位置。因此，電子部件搬運(yùn)裝置位置能夠精確地把持把持部與第I面的相對位置，并且，將第2面位置精確地移動(dòng)至規(guī)定的位置。
應(yīng)用例2在上述應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置中，其特征在于，上述拍攝部拍攝上述把持部，上述控制部使用上述把持部的圖像來檢測上述把持部的位置，上述把持部使用上述控制部所檢測出的上述把持部的位置的信息使上述把持部與上述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持上述電子部件。根據(jù)本應(yīng)用例，拍攝部拍攝把持部?？刂撇砍说贗面還檢測把持部的位置。因此，即使在把持部的位置相對于控制部所識別出的把持部的位置發(fā)生改變時(shí)，也能夠與改變后的位置對應(yīng)來把持電子部件。應(yīng)用例3在上述應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置中，其特征在于，上述拍攝部對移動(dòng)上述電子部件的預(yù)定場所即移動(dòng)預(yù)定場所進(jìn)行拍攝，上述控制部使用上述移動(dòng)預(yù)定場所的圖像來檢測上述移動(dòng)預(yù)定場所的位置，上述把持部使用上述控制部所檢測出的上述移動(dòng)預(yù)定場所的位置的信息來使上述第2面移動(dòng)至上述移動(dòng)預(yù)定場所。根據(jù)本應(yīng)用例，拍攝部對移動(dòng)電子部件的預(yù)定場所進(jìn)行拍攝?？刂撇繉﹄娮硬考囊苿?dòng)預(yù)定場所的位置進(jìn)行識別。因此，在移動(dòng)預(yù)定場所的位置相對于控制部所識別出的移動(dòng)預(yù)定場所的位置發(fā)生改變時(shí)，能夠與改變后的位置對應(yīng)來移動(dòng)電子部件。應(yīng)用例4在上述應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置中，上述拍攝部具備對上述第I面進(jìn)行拍攝的第I拍攝部、和對上述第2面進(jìn)行拍攝的第2拍攝部。根據(jù)本應(yīng)用例，第I拍攝部拍攝第I面，第2拍攝部拍攝第2面。因此，能夠在容易拍攝到第I面的場所配置第I拍攝部，在容易拍攝到第2面的場所配置第2拍攝部。因此，能夠容易地拍攝到第I面以及第2面。應(yīng)用例5本應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)方法是把持部對具備第I面以及第2面的電子部件進(jìn)行把持并搬運(yùn)的電子部件搬運(yùn)方法，其特征在于，拍攝上述第I面來運(yùn)算上述第I面的位置信息，使用上述第I面的位置信息使上述把持部與上述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持上述電子部件，拍攝上述第2面來運(yùn)算上述第2面的位置信息，使用上述第2面的位置信息，將上述第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。根據(jù)本應(yīng)用例，拍攝第I面來運(yùn)算第I面的位置信息。而且，使用第I面的位置信息，使把持部與第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置，并把持電子部件。因此，能夠位置精確地對準(zhǔn)把持部與第I面的相對位置，把持部把持。另外，拍攝第2面并運(yùn)算第2面的位置信息。而且，使用第2面的位 置信息，將第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。因此，能夠?qū)⒌?面位置精確地移動(dòng)至規(guī)定的位置。其結(jié)果，能夠位置精確地把持把持部與第I面的相對位置，并且，將第2面位置精確地移動(dòng)至規(guī)定的位置。應(yīng)用例6在上述應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)方法中，該電子部件搬運(yùn)方法在把持上述電子部件前進(jìn)行如下步驟拍攝上述把持部來運(yùn)算上述把持部的位置信息、除了上述第I面的位置信息還使用上述把持部的位置信息，使上述把持部與上述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持上述電子部件。根據(jù)本應(yīng)用例，拍攝把持部，且除了第I面還運(yùn)算把持部的位置信息。因此，在把持部的位置相對于識別出的把持部的位置發(fā)生改變時(shí)，能夠與改變后的把持部的位置對應(yīng)來把持電子部件。應(yīng)用例7在上述應(yīng)用例所涉及的電子部件搬運(yùn)方法中，其特征在于，該電子部件搬運(yùn)方法在移動(dòng)上述第2面前進(jìn)行如下步驟對移動(dòng)上述電子部件的預(yù)定場所即移動(dòng)預(yù)定場所進(jìn)行拍攝來運(yùn)算上述移動(dòng)預(yù)定場所的位置信息，除了上述第2面的位置信息還使用上述移動(dòng)預(yù)定場所的位置信息，使上述第2面移動(dòng)至上述移動(dòng)預(yù)定場所的位置。根據(jù)本應(yīng)用例，對移動(dòng)電子部件的預(yù)定場所進(jìn)行拍攝，運(yùn)算出電子部件的移動(dòng)預(yù)定場所的位置信息。因此，即使在識別出移動(dòng)預(yù)定場所的位置發(fā)生改變時(shí)，也能夠與改變后的移動(dòng)預(yù)定場所的位置對應(yīng)來移動(dòng)電子部件。


圖I涉及第I實(shí)施方式，圖I (a)是表示電子部件的結(jié)構(gòu)的示意側(cè)視圖，圖I (b)以及圖I (C)是表示電子部件的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。圖2是表示電子部件檢查裝置的構(gòu)成的概略立體圖。圖3 (a)是表示把持部的結(jié)構(gòu)的示意側(cè)剖視圖，圖3 (b)是表示把持部的示意仰視圖，圖3 (C)是表示檢查臺的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖，圖3 (d)是表示檢查臺的示意側(cè)剖視圖。圖4是電子部件檢查裝置的電氣控制框圖。圖5是表示檢查作業(yè)的流程圖。圖6是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。圖7是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。圖8是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。圖9涉及第2實(shí)施方式，是表示檢查作業(yè)的流程圖。圖10是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。圖11是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。
圖12涉及第3實(shí)施方式，是表示電子部件的檢查裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式在本實(shí)施方式中，對具備了具有特征性的電子部件搬運(yùn)裝置的電子部件檢查裝置、和使用該電子部件搬運(yùn)裝置來搬運(yùn)電子部件的電子部件搬運(yùn)方法的特征例進(jìn)行說明，其中，該電子部件搬運(yùn)裝置搬運(yùn)電子部件并進(jìn)行定位。以下，根據(jù)附圖對實(shí)施例進(jìn)行說明。另外，為了各附圖的各部件成為在各附圖上能夠識別的程度的大小，按每個(gè)部件使比例尺不同而進(jìn)行圖示。第I實(shí)施方式根據(jù)圖I 圖8對第I實(shí)施方式所涉及的電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件檢查裝置進(jìn)行說明。圖I (a)是表示電子部件的結(jié)構(gòu)的示意側(cè)視圖，圖I (b)以及圖I (C)是表示電子部件的結(jié)構(gòu)的概略立體圖。圖I (b)表示形成有半導(dǎo)體元件的面，圖I (C)表示僅 形成有電極的面。如圖I所示，電子部件I具備四邊形的基板2，在基板2的第I面Ia設(shè)置有四邊形的半導(dǎo)體芯片3。在第I面Ia中第I電極4a環(huán)繞半導(dǎo)體芯片3。第I電極4a排列成2列而設(shè)置。在基板2中將與第I面Ia相反一側(cè)的面作為第2面lb。在第2面Ib呈格子狀配置有第2電極4b。在基板2內(nèi)層疊形成配線層與絕緣層，半導(dǎo)體芯片3經(jīng)由配線層的配線與第I電極4a以及第2電極4b所構(gòu)成的電極4連接。例如，電子部件I可以是被小型化、高集成化的部件之一，也可以是層疊了多個(gè)電子元件而形成的電子部件。電子部件I也可以具有電極與第I面Ia的第I電極4a連接的結(jié)構(gòu)(POP :堆疊封裝)。半導(dǎo)體芯片3在種類上沒有特別的限制，可以是原樣的硅半導(dǎo)體芯片，也可以是進(jìn)行了樹脂模制的芯片。另外，半導(dǎo)體芯片3的尺寸也沒有特別的限制，也可以是小型的芯片。在本實(shí)施方式中采用例如一邊是2mm的芯片、厚度是O. 3 (mm)的芯片。作為小型、薄型的IC芯片的一個(gè)例子,能夠例舉WLCSP(Wafer Level Chip Size Package 晶片級芯片尺寸封裝)等。另外對具有這樣小型化的半導(dǎo)體芯片3的電子部件I來說，促進(jìn)了外形的小型化進(jìn)步、第I電極4a以及第2電極4b的端子間隔短的微細(xì)化。圖2是表示電子部件檢查裝置的構(gòu)成的概略立體圖。如圖2所示，電子部件檢查裝置5具備長方體狀的基臺6。將基臺6的長邊方向作為Y方向，將在水平面與Y方向正交的方向作為X方向。而且，將鉛垂方向作為一 Z方向。在基臺6上的圖中左側(cè)設(shè)置有供料裝置7。在供料裝置7的上表面遍及供料裝置7的Y方向整個(gè)寬度地突出設(shè)置有沿Y方向延伸的一對導(dǎo)軌8a、8b。在一對導(dǎo)軌8a、8b的上側(cè)安裝有具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺9。該工作臺9的直動(dòng)機(jī)構(gòu)例如是具備沿著導(dǎo)軌8a、8b向Y方向延伸的直線電動(dòng)機(jī)的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。而且，若在該直動(dòng)機(jī)構(gòu)中與規(guī)定的步數(shù)相對的驅(qū)動(dòng)信號被輸入給直線電動(dòng)機(jī)，則直線電動(dòng)機(jī)前進(jìn)或者后退，從而使工作臺9沿著Y方向去路運(yùn)動(dòng)或者返路運(yùn)動(dòng)與該步數(shù)相當(dāng)?shù)牧?。工作臺9的朝向Z方向的面是載置面9a，在載置面9a載置電子部件I。在工作臺9設(shè)置有吸引式的基板夾緊機(jī)構(gòu)。而且，基板夾緊機(jī)構(gòu)使電子部件I固定于載置面9a。在基臺6中供料裝置7的Y方向側(cè)設(shè)置有作為拍攝部的第2拍攝部10。第2拍攝部10具備電路基板、具備變焦機(jī)構(gòu)的物鏡、落射(印i-illumination)照明裝置、自動(dòng)對焦機(jī)構(gòu)，其中該電路基板安裝了將接受的光變換為電信號的CXD (Charge Coupled Devices 電荷耦合元件)元件等。由此，在電子部件I位于與第2拍攝部10對置的場所時(shí)，第2拍攝部10能夠拍攝到電子部件I。而且，第2拍攝部10向電子部件I照射光，進(jìn)行調(diào)焦后再拍攝，由此能夠拍攝出無散焦的圖像。在基臺6中第2拍攝部10的Y方向側(cè)設(shè)置有檢查臺11。檢查臺11是在檢查電子部件I時(shí)，用于收發(fā)電信號的夾具。在基臺6上檢查臺11的Y方向側(cè)設(shè)置有除料裝置12。在除料裝置12的上表面遍及整個(gè)寬度突出設(shè)置有沿著Y方向延伸的一對導(dǎo)軌13a、13b。在一對導(dǎo)軌1 3a、13b的上側(cè)安裝了具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的工作臺14。工作臺14的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與供料裝置7所具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。而且，工作臺14沿著導(dǎo)軌13a、13b進(jìn)行去路運(yùn)動(dòng)或者返路運(yùn)動(dòng)。工作臺14的朝向Z方向的面是載置面14a，在載置面14a載置電子部件I。在基臺6的一 X方向上設(shè)置有近似長方體狀的支承臺15。支承臺15形成為與基臺6相比在Z方向較高的形狀。在支承臺15的朝向X方向的面上遍及支承臺15的Y方向整個(gè)寬度地突出設(shè)置有沿著Y方向延伸的一對導(dǎo)軌16a、16b。在導(dǎo)軌16a、16b的X方向側(cè)安裝有沿一對導(dǎo)軌16a、16b移動(dòng)的具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的Y工作臺17。Y工作臺17的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與供料裝置7所具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。而且，Y工作臺17沿著導(dǎo)軌16a、16b進(jìn)行去路運(yùn)動(dòng)或者返路運(yùn)動(dòng)。在Y工作臺17的朝向X方向的面設(shè)置有沿X方向延伸的棱柱狀的臂部18。在臂部18的朝向一 Y方向的面上遍及臂部18的X方向整個(gè)寬度地突出設(shè)置有沿X方向延伸的一對導(dǎo)軌19a、19b。在一對導(dǎo)軌19a、19b的一Y方向側(cè)安裝有沿導(dǎo)軌19a、19b移動(dòng)的具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)的X工作臺20。X工作臺20的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與供料裝置7所具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。而且，X工作臺20沿著導(dǎo)軌19a、19b進(jìn)行去路運(yùn)動(dòng)或者返路運(yùn)動(dòng)。在X工作臺20設(shè)置有作為拍攝部的第I拍攝部21以及Z移動(dòng)裝置22。第I拍攝部21具備與弟2拍攝部10相冋的結(jié)構(gòu)和功能。而且，由弟I拍攝部21以及弟2拍攝部10來構(gòu)成拍攝部。Z移動(dòng)裝置22在內(nèi)部具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)，直動(dòng)機(jī)構(gòu)使Z工作臺升降。而且，在Z工作臺連接有旋轉(zhuǎn)裝置23。而且，Z移動(dòng)裝置22能夠使旋轉(zhuǎn)裝置23在Z方向升降。Z移動(dòng)裝置22的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠使用與供料裝置7所具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)相同的機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)裝置23具備旋轉(zhuǎn)軸23a，旋轉(zhuǎn)軸23a連接著把持部25。由此，旋轉(zhuǎn)裝置23能夠以Z方向?yàn)檩S使把持部25旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)裝置23通過組合步進(jìn)電機(jī)或者伺服電機(jī)與減速裝置而構(gòu)成，使旋轉(zhuǎn)軸23a轉(zhuǎn)動(dòng)規(guī)定的角度。伺服電機(jī)的電機(jī)種類沒有特別限定，能夠使用AC電機(jī)、DC電機(jī)、無鐵心電機(jī)、超聲波電機(jī)等。在本實(shí)施方式中例如采用超聲波電機(jī)。由Y工作臺17、X工作臺20、Z移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23等構(gòu)成可動(dòng)部24。在基臺6的X方向側(cè)設(shè)置有作為控制部的控制裝置26?？刂蒲b置26具備對電子部件檢查裝置5的動(dòng)作進(jìn)行控制的功能。并且，控制裝置26具備檢查電子部件I的功能。各控制裝置26具備輸入裝置26a以及輸出裝置26b。輸入裝置26a是鍵盤、輸入連接器等，是除了輸入信號、數(shù)據(jù)之外還輸入操作者的指示的裝置。輸出裝置26b是向顯示裝置、外部裝置輸出的輸出連接器等，將信號、數(shù)據(jù)向其他裝置輸出。另外也是向操作者傳達(dá)電子部件檢查裝置5的狀況的裝置。圖3 Ca)是表示把持部的結(jié)構(gòu)的示意側(cè)剖視圖，圖3 (b)是表示把持部的示意仰視圖。如圖3 (a)以及圖3 (b)所示，把持部25具備長方體狀的主體部25a。主體部25a在Z方向側(cè)與旋轉(zhuǎn)軸23a連接。主體部25a的一 Z側(cè)的面是把持電子部件I 一側(cè)的面即把持面25b。在把持面25b呈四方的環(huán)狀地排列設(shè)置有第I探針27。第I探針27形成為與電子部件I的第I電極4a相同的配置。因此，在把持面25b與電子部件I的第I面Ia重疊時(shí)，各第I探針27與一個(gè)第I電極4a接觸。第I探針27具備可動(dòng)針、和向一 Z方向?qū)蓜?dòng)針施力的彈簧。而且，在將把持部25的把持面25b按壓于電子部件I的第I面Ia時(shí)，第I探針27以較低的接觸電阻與第I電極4a電接觸。在第I探針27所形成的四邊形的Y方向的兩側(cè)排列配置第2探針28組。第I探針27與第2探針28設(shè)置相同的數(shù)量，且利用配線29以I對I的關(guān)系電連接。由此，被從電子部件I的第I電極4a輸入輸出的信號能夠經(jīng)由第I探針27從第2探針28輸入輸出。在把持面25b的中央設(shè)置有吸附部30。吸附部30近似圓筒狀，在吸附部30的內(nèi) 部設(shè)置有使空氣流動(dòng)的流路30a。在把持部25的主體部25a設(shè)置有與流路30a連通的流路25c。流路25c經(jīng)由配管31與吸引裝置32連接。吸引裝置32由電磁閥33以及真空裝置34等構(gòu)成。真空裝置34具備真空泵以及減壓罐，能夠吸入空氣。電磁閥33根據(jù)輸入的電信號來切換閥。而且，能夠?qū)⑽讲?0的流路30a的壓力在減壓狀態(tài)與大氣壓狀態(tài)之間進(jìn)行切換。在吸附部30的一 Z側(cè)沿XY方向形成有平坦的吸附面30b。使吸附面30b與電子部件I的半導(dǎo)體芯片3接觸，并且吸引裝置32從流路30a吸入空氣。由此，因?yàn)榱髀?0a內(nèi)減壓，所以電子部件I被吸附至吸附部30。在主體部25a的內(nèi)部設(shè)置有向一 Z方向?qū)ξ讲?0施力的彈簧35。而且，吸附部30能夠在Z方向上移動(dòng)。由此，在第I探針27與第I電極4a分離的狀態(tài)下，吸附部30能夠?qū)㈦娮硬考蘒吸附至吸附面30b。因此，吸附部30能夠不受第I探針27的影響而對電子部件I進(jìn)行吸附。接下來，將把持部25按壓于電子部件1，從而把持部25能夠使第I探針27與第I電極4a接觸。圖3 (C)是表示檢查臺的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖，圖3 Cd)是表示檢查臺的示意側(cè)剖視圖。如圖3 (c)以及圖3 (d)所示，檢查臺11為長方體狀，并在Z方向側(cè)的面具備四方的凹部11a。從XY俯視觀察的凹部Ila的大小比電子部件I的平面方向的大小大，操作者能夠?qū)㈦娮硬考蘒插入凹部11a。在凹部Ila的底部呈格子狀排列設(shè)置有第3探針36。第3探針36形成為與第I探針27相同的結(jié)構(gòu)，并形成為與電子部件I的第2電極4b相同的配置。因此，在凹部Ila與電子部件I的第2面Ib重疊時(shí)，各第3探針36與一個(gè)第2電極4b接觸。而且，在將電子部件I的第2面Ib按壓于檢查臺11的凹部Ila時(shí)，第3探針36以較低的接觸電阻與第2電極4b電接觸。檢查臺11的第3探針36通過配線38與控制裝置26電連接。因此，控制裝置26經(jīng)由檢查臺11的第3探針36向電子部件I的第2電極4b輸出電信號。而且，電子部件I輸出的電信號經(jīng)由第2電極4b以及第3探針36被輸入給控制裝置26。在檢查臺11的上表面Ilb排列設(shè)置有中繼端子37。中繼端子37的排列形成為與把持部25的第2探針28的配置相同的配置。而且，中繼端子37的個(gè)數(shù)成為與把持部25的第2探針28的個(gè)數(shù)相同的個(gè)數(shù)。因此，通過使把持部25與檢查臺11重疊在一起，從而第2探針28與中繼端子37以I對I的關(guān)系被電連接。檢查臺11的中繼端子37通過配線38與控制裝置26電連接。因此，控制裝置26經(jīng)由檢查臺11的中繼端子37、把持部25的第2探針28以及第I探針27將電信號輸出給電子部件I的第I電極4a。而且，電子部件I輸出的電信號經(jīng)由第I電極4a、第I探針27、第2探針28以及檢查臺11的中繼端子37輸入給控制裝置26。圖4是電子部件檢查裝置的電氣控制框圖。圖4中，電子部件檢查裝置5具備控制裝置26，該控制裝置26作為控制部對電子部件檢查裝置5的動(dòng)作進(jìn)行控制。而且，控制裝置26具備作為處理器進(jìn)行各種運(yùn)算處理的CPU (中央運(yùn)算處理裝置)41、存儲各種信息的存儲器42。工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43、第I拍攝部21、第2拍攝部10、吸引裝置32經(jīng)由輸入輸出接口 44以及數(shù)據(jù)總線45與CPU41連接。并且，供料裝置7、除料裝置12、輸入裝置26a、輸出裝置26b也經(jīng)由輸入輸出接口 44以及數(shù)據(jù)總線45與CPU41連接。 工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43是對X工作臺20、Y工作臺17、Z移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23進(jìn)行驅(qū)動(dòng)的裝置。工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43通過驅(qū)動(dòng)這些工作臺以及裝置，能夠使把持部25由所希望的位置移動(dòng)到所希望的角度并停止。存儲器42是包括RAM或ROM等這樣的半導(dǎo)體存儲器、硬盤、或DVD — ROM這樣的外部存儲裝置的概念。功能上設(shè)定對記述電子部件檢查裝置5的動(dòng)作的控制順序的程序軟件46進(jìn)行存儲的存儲區(qū)域、用于對電子部件I的形狀、第I電極4a以及第2電極4b的位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)即工件屬性數(shù)據(jù)47進(jìn)行存儲的存儲區(qū)域。另外，設(shè)定用于對把持部25的第I探針27以及第2探針28、檢查臺11的第3探針36、中繼端子37的位置坐標(biāo)數(shù)據(jù)即工作臺相關(guān)數(shù)據(jù)48進(jìn)行存儲的存儲區(qū)域。并且，被設(shè)定為用于對第I拍攝部21、第2拍攝部10所拍攝的圖像的數(shù)據(jù)即圖像數(shù)據(jù)49進(jìn)行存儲的存儲區(qū)域。另外，被設(shè)定為用于CPU41的工件區(qū)域、作為臨時(shí)文件等發(fā)揮作用的存儲區(qū)域、其他各種存儲區(qū)域。CPU41是根據(jù)存儲在存儲器42內(nèi)的程序軟件46來進(jìn)行對將電子部件I移動(dòng)至規(guī)定的場所檢查電氣特性用的控制的部件。作為具體的功能實(shí)現(xiàn)部具有工作臺控制部50，該工作臺控制部50對X工作臺20、Y工作臺17、Ζ移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23的移動(dòng)和停止進(jìn)行控制。工作臺控制部50輸入X工作臺20、Υ工作臺17、Ζ移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23所輸出的位置信息。而且，工作臺控制部50能夠檢測第I拍攝部21、把持部25的位置。另外，CPU41具有拍攝控制部51，該拍攝控制部51指示第I拍攝部21以及第2拍攝部10進(jìn)行拍攝。拍攝控制部51進(jìn)行第I拍攝部21以及第2拍攝部10所具備的照明裝置的點(diǎn)亮以及熄滅的控制。并且，拍攝控制部51進(jìn)行第I拍攝部21以及第2拍攝部10執(zhí)行的焦點(diǎn)調(diào)整和拍攝的時(shí)機(jī)的控制。由此，第I拍攝部21以及第2拍攝部10能夠拍攝出清晰的圖像。并且，CPU41具有圖像運(yùn)算部52，該圖像運(yùn)算部52對第I拍攝部21以及第2拍攝部10拍攝出的圖像進(jìn)行圖像處理。圖像運(yùn)算部52從拍攝出的圖像中去除噪聲，并根據(jù)圖像運(yùn)算出規(guī)定的特征量。具體而言，例如，運(yùn)算出第I電極4a以及第2電極4b的位置、傾斜。并且，CPU41具有工件位置運(yùn)算部53，該工件位置運(yùn)算部53使用工作臺控制部50所檢測出的第I拍攝部21的位置信息與圖像運(yùn)算部52所檢測出的圖像上的第I電極4a的位置數(shù)據(jù)，檢測第I電極4a的位置。
另外，CPU41具有把持控制部54，該把持控制部54驅(qū)動(dòng)電磁閥33，對把持部25把持電子部件I還是放開電子部件I進(jìn)行控制。并且，CPU41具有電氣特性檢查部55，該電氣特性檢查部55對應(yīng)于輸出給電子部件I的電信號而輸入電子部件I所輸出的電信號來對電子部件I進(jìn)行檢查。另外，CPU41具有供料除料控制部56，該供料除料控制部56對供料裝置7以及除料裝置12的動(dòng)作進(jìn)行控制。另外，在本實(shí)施方式中，上述各功能使用CPU41利用程序軟件來實(shí)現(xiàn)，但在上述的各功能能夠通過不使用CPU41的單獨(dú)的電路(硬件)實(shí)現(xiàn)的情況下，也能夠使用那樣的電路。而且，電子部件檢查裝置5的內(nèi)的除了檢查臺11、供料裝置7、除料裝置12、電氣特性檢查部55、供料除料控制部56之外的部分的裝置為電子部件搬運(yùn)裝置5a。S卩，電子部件搬運(yùn)裝置5a是移動(dòng)電子部件I的部分的裝置，在電子部件搬運(yùn)裝置5a中增加了檢查電氣特性的部分的功能的裝置是電子部件檢查裝置5。(檢查方法)接下來，利用圖5 圖8，對使用上述的電子部件檢查裝置5，檢查電子部件I的電 氣特性的檢查方法進(jìn)行說明。圖5是表示檢查作業(yè)的流程圖。圖6 圖8是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。在圖5所示的流程圖中，步驟SI相當(dāng)于供料工序。該工序是在載置面載置基材并固定的工序。接下來移至步驟S2。步驟S2相當(dāng)于第I拍攝工序。該工序是第I拍攝部對電子部件的第I面進(jìn)行拍攝并形成第I圖像的工序。接下來移至步驟S3。步驟S3相當(dāng)于第I位置運(yùn)算工序。該工序是控制裝置使用第I圖像對第I面的第I電極的位置信息進(jìn)行運(yùn)算的工序。接下來移至步驟S4。步驟S4相當(dāng)于工件把持工序。該工序是將第I電極的位置與把持部的相對位置進(jìn)行對準(zhǔn)使得把持部把持電子部件的工序。接下來移至步驟S5。步驟S5相當(dāng)于第2拍攝工序。該工序是第2拍攝部對電子部件的第2面進(jìn)行拍攝并形成第2圖像的工序。接下來，移至步驟S6。步驟S6相當(dāng)于第2位置運(yùn)算工序。該工序是控制裝置使用第2圖像對第2面的第2電極的位置信息進(jìn)行運(yùn)算的工序。接下來，移至步驟S7。步驟S7相當(dāng)于工件移動(dòng)工序。該工序是可動(dòng)部運(yùn)作把持部25從而使工件移動(dòng)至檢查臺11并設(shè)置的工序。接下來移至步驟S8。步驟S8相當(dāng)于電氣特性檢查工序。該工序是對電子部件通電并使用輸入輸出信號來檢查電子部件的電氣特性的工序。接下來移至步驟S9。步驟S9相當(dāng)于除料工序。該工序是可動(dòng)部運(yùn)作把持部25而使工件從檢查臺移動(dòng)至工作臺，并且工作臺將電子部件移動(dòng)至進(jìn)行下一個(gè)工序的場所的工序。通過以上的工序，檢查電子部件的檢查工序結(jié)束。接下來，使用圖6 圖8，與圖5所示的步驟對應(yīng)地，對電子部件I的搬運(yùn)方法以及檢查電氣特性的檢查方法詳細(xì)地進(jìn)行說明。圖6 (a)以及圖6 (b)是與步驟SI的供料工序?qū)?yīng)的圖。如圖6 (a)所示，在步驟SI中，工作臺9在圖中左側(cè)待機(jī)。而且，操作者將電子部件I載置于工作臺9的載置面9a。載置電子部件I的并不限于人也可以是供料機(jī)器人、加工裝置。此時(shí)，以使第I面Ia朝向圖中上側(cè)的方式載置電子部件I。而且，供料除料控制部56使吸引式的基板夾緊機(jī)構(gòu)工作，從而將電子部件I固定于載置面9a。接下來，如圖6 (b)所示，供料除料控制部56驅(qū)動(dòng)供料裝置7，使工作臺9沿著導(dǎo)軌8a、8b向圖中右側(cè)的規(guī)定的場所移動(dòng)。工作臺9移動(dòng)到的場所的圖中上側(cè)成為第I拍攝部21、把持部25能夠移動(dòng)的場所。
圖6 (c)是與步驟S2的第I拍攝工序?qū)?yīng)的圖。如圖6 (C)所示，在步驟S2中，工作臺控制部50使工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24，使第I拍攝部21向與電子部件I對置的場所移動(dòng)。接下來，拍攝控制部51使第I拍攝部21對電子部件I的第I面Ia進(jìn)行拍攝。圖6(d)是與步驟S2的第I拍攝工序以及步驟S3的第I位置運(yùn)算工序?qū)?yīng)的圖。如圖6 Cd)所示，第I拍攝部21形成拍攝電子部件I的第I圖像59。在第I圖像59形成分別與電子部件I、基板2、半導(dǎo)體芯片3、第I電極4a對應(yīng)的圖像即電子部件像59a、基板像59b、半導(dǎo)體芯片像59c、第I電極像59d。第I圖像59通過呈格子狀排列 的像素的濃淡來表現(xiàn)。像素?cái)?shù)由第I拍攝部21的性能決定，沒有特別限定，在本實(shí)施方式中例如，縱橫的像素?cái)?shù)為2048X2048。在步驟S3中，圖像運(yùn)算部52對第I電極像59d的位置與傾斜度進(jìn)行運(yùn)算來進(jìn)行檢測。在第I圖像59中將圖中左下的角作為圖像的原點(diǎn)59e。而且，將圖中右側(cè)的方向作為X方向，將圖中上側(cè)的方向作為Y方向。圖像運(yùn)算部52對位于離原點(diǎn)59e最近的場所的第I電極像59d的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。具體而言，對原點(diǎn)59e與第I電極像59d之間的X方向的像素?cái)?shù)即X像素?cái)?shù)59f、和Y方向的像素?cái)?shù)即Y像素?cái)?shù)59g進(jìn)行運(yùn)算。接下來，圖像運(yùn)算部52對第I電極像59d排列的方向與X方向成的角度即第I電極角度59h進(jìn)行運(yùn)算。換句話說，圖像運(yùn)算部52對第I面Ia的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。X工作臺20、Y工作臺17、Ζ移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23分別設(shè)置有檢測位置的量表(Scale)。量表例如由形成有刻度的編碼器、和檢測刻度的傳感器等構(gòu)成，是能夠檢測可動(dòng)部的位置的裝置。工作臺控制部50能夠使用各裝置的量表輸出的位置信息，檢測出第I拍攝部21的位置。而且，工件位置運(yùn)算部53使用圖像運(yùn)算部52所檢測出的第I電極像59d的位置信息，檢測出第I電極4a的位置和相對于X方向的角度。圖7 (a)是與步驟S4的工件把持工序?qū)?yīng)的圖。如圖7 (a)所示，在步驟S4中，工作臺控制部50使工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24，使把持部25向與電子部件I對置的場所移動(dòng)。此時(shí)，在XY平面的俯視時(shí)，工作臺控制部50對可動(dòng)部24進(jìn)行控制，以使第I探針27與第I電極4a重疊。而且，Z移動(dòng)裝置22使把持部25按壓于電子部件1，把持控制部54使吸引裝置32工作。由此，電子部件I被吸附至把持部25的吸附部30。S卩，電子部件檢查裝置5使用第I面Ia的位置信息，使把持部25與第I面Ia的相對位置為規(guī)定的相對位置，把持電子部件I。圖7 (b)是與步驟S5的第2拍攝工序?qū)?yīng)的圖。如圖7 (b)所示，在步驟S5中，工作臺控制部50使工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24，使電子部件I向與第2拍攝部10對置的場所移動(dòng)。接下來，拍攝控制部51使第2拍攝部10對電子部件I的第2面Ib進(jìn)行拍攝。圖7(c)是與步驟S5的第2拍攝工序以及步驟S6的第2位置運(yùn)算工序?qū)?yīng)的圖。如圖7 (c)所示，第2拍攝部10形成拍攝電子部件I的第2圖像60。在第2圖像60形成分別與電子部件I、基板2、第2電極4b、把持部25、第2探針28對應(yīng)的圖像即電子部件像60a、基板像60b、第2電極像60c、把持部像60d、第2探針像60e。與第I圖像59相同，第2圖像60通過呈格子狀排列的像素的濃淡來表現(xiàn)。第2圖像60的像素?cái)?shù)與第I圖像59相同。
在步驟S6中，圖像運(yùn)算部52對第2電極像60c的位置與傾斜度進(jìn)行運(yùn)算來進(jìn)行檢測。換句話說，圖像運(yùn)算部52對第2面Ib的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。在第2圖像60中，將圖中左下的角作為圖像的原點(diǎn)60f。而且，將圖中右側(cè)的方向作為X方向，將圖中上側(cè)的方向作為Y方向。圖像運(yùn)算部52對位于離原點(diǎn)60f最近的場所的第2電極像60c的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。具體而言，對原點(diǎn)60f與第2電極像60c之間的X方向的像素?cái)?shù)即X像素?cái)?shù)60g、和Y方向的像素?cái)?shù)即Y像素?cái)?shù)60h進(jìn)行運(yùn)算。接下來，圖像運(yùn)算部52對第2電極像60c排列的方向與X方向成的角度即第2電極角度60i進(jìn)行運(yùn)算。X工作臺20、Y工作臺17、Z移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23分別設(shè)置有檢測位置的量表。工作臺控制部50能夠使用各裝置的量表輸出的位置信息，檢測把持部25的位置。而且，工件位置運(yùn)算部53使用圖像運(yùn)算部52所檢測出的第2電極像60c的位置信息，檢測出第2電極4b的位置和相對于X方向的角度。
圖8 (a)是與步驟S7的工件移動(dòng)工序?qū)?yīng)的圖。如圖8 (a)所示，在步驟S7中，工作臺控制部50驅(qū)動(dòng)工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43來使把持部25向與檢查臺11對置的場所移動(dòng)。接下來，工作臺控制部50驅(qū)動(dòng)Z移動(dòng)裝置22使把持部25按壓于檢查臺11。圖8 (b)是與步驟S7的工件移動(dòng)工序以及步驟S8的電氣特性檢查工序?qū)?yīng)的圖。如圖8 (b)所示，工作臺控制部50對可動(dòng)部24進(jìn)行控制，以便將電子部件I放入檢查臺11的凹部Ila并使第2電極4b與第3探針36接觸。在步驟S6，工件位置運(yùn)算部53檢測出第2電極4b相對于把持部25的位置。而且，第3探針36的位置數(shù)據(jù)作為工作臺相關(guān)數(shù)據(jù)48被存儲在存儲器42。而且，工作臺控制部50運(yùn)算出第2電極4b與第3探針36的相對位置，并位置精確地進(jìn)行定位。換句話說，電子部件檢查裝置5使用第2面Ib的位置信息，將第2面Ib移動(dòng)至規(guī)定的位置。在吸引裝置32工作且第I面Ia被吸附到吸附面30b的狀態(tài)下，Z移動(dòng)裝置22將電子部件I按壓于檢查臺11。由此，彈簧35收縮，吸附部30向把持部25移動(dòng)。而且，第I探針27被按壓于第I電極4a而電接觸，第2探針28被按壓于中繼端子37而電接觸。并且，第3探針36被按壓于第2電極4b而電接觸。第I電極4a與第I探針27連接，第I探針27經(jīng)由配線29與第2探針28連接。第2探針28與中繼端子37連接，中繼端子37經(jīng)由配線38與控制裝置26連接。因此，控制裝置26和第I電極4a被通電，能夠傳輸規(guī)定的電信號。第2電極4b與第3探針36連接，第3探針36經(jīng)由配線38與控制裝置26連接。因此，控制裝置26和第2電極4b被通電，能夠傳輸規(guī)定的電信號。由此，控制裝置26與第I電極4a以及第2電極4b的電極4通電,能夠傳輸電信號。在步驟S8中，電氣特性檢查部55根據(jù)程序軟件46向電極4輸出規(guī)定的電信號。而且，電子部件I輸入電信號來進(jìn)行動(dòng)作，并將電信號輸出給電極4。而且,控制裝置26輸入被輸出給電極4的電信號。控制裝置26對輸入的電信號進(jìn)行分析，并進(jìn)行電子部件I是否電性方面進(jìn)行了規(guī)定的動(dòng)作的檢查。而且，電氣特性檢查部55進(jìn)行電子部件I是合格還是不合格的判斷，并將判斷結(jié)果作為工件屬性數(shù)據(jù)47存儲于存儲器42。圖8 (C)是與步驟S9的除料工序?qū)?yīng)的圖。如圖8 (C)所示，在步驟S9中，在使把持部25吸附住電子部件I的狀態(tài)下，工作臺控制部50驅(qū)動(dòng)Z移動(dòng)裝置22使把持部25上升。接下來，工作臺控制部50驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24使把持部25向與工作臺14對置的場所移動(dòng)。接著，把持控制部54驅(qū)動(dòng)吸引裝置32，解除把持部25中的電子部件I的吸附。其結(jié)果，電子部件I被載置于工作臺14上。接著，工作臺14向圖中右側(cè)移動(dòng)，工作臺14將電子部件I向進(jìn)行下一個(gè)工序的場所搬運(yùn)。通過以上的工序，檢查電子部件的檢查工序結(jié)束。另外，在該工序中，步驟S2 步驟S7是搬運(yùn)工序，在該工序執(zhí)行的方法相當(dāng)于電子部件搬運(yùn)方法。如上述那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。(I)根據(jù)本實(shí)施方式，第I拍攝部21對電子部件I的第I面Ia進(jìn)行拍攝并形成第I圖像59。圖像運(yùn)算部52以及工件位置運(yùn)算部53使用第I圖像59來檢測第I面Ia的位置。而且，工作臺控制部50控制可動(dòng)部24，可動(dòng)部24使把持部25移動(dòng)。而且，把持部25把持電子部件I以使第I電極4a與第I探針27接觸。因?yàn)楣ぜ恢眠\(yùn)算部53檢測出第I面Ia的位置，并且工作臺控制部50控制把持部25的位置，所以電子部件搬運(yùn)裝置5a能夠位置精確地將把持部25與第I面Ia的相對位置對準(zhǔn)而使把持部25把持電子部件I?！?br> (2)根據(jù)本實(shí)施方式，拍攝控制部51控制第2拍攝部10，第2拍攝部10對電子部件I的第2面Ib進(jìn)行拍攝，并形成第2圖像60。圖像運(yùn)算部52以及工件位置運(yùn)算部53使用第2圖像60來識別第2面Ib的位置。而且，圖像運(yùn)算部52對可動(dòng)部24的動(dòng)作進(jìn)行控制，使第2面Ib向與檢查臺11對置的位置移動(dòng)。控制裝置26檢測出第2面Ib的位置并使其移動(dòng)，所以能夠位置精確地將第2面Ib移動(dòng)至與檢查臺11對置的位置。因此，電子部件搬運(yùn)裝置5a能夠位置精確地將第2面Ib移動(dòng)至與檢查臺11對置的位置。(3)根據(jù)本實(shí)施方式，第I拍攝部21拍攝第I面la，第2拍攝部10拍攝第2面Ib0因此，能夠在各易拍攝到弟I面Ia的場所配直弟I拍攝部21、在各易拍攝到弟2面Ib的場所配置第2拍攝部10。因此，能夠容易地拍攝到第I面Ia以及第2面lb。第2實(shí)施方式接下來，使用圖9 圖11，對使用了電子部件檢查裝置的電子部件的搬運(yùn)方法以及檢查方法的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖9是表示檢查作業(yè)的流程圖，圖10以及圖11是用于說明檢查作業(yè)的檢查方法的示意圖。本實(shí)施方式與第I實(shí)施方式的不同之處在于拍攝部對把持部以及檢查臺進(jìn)行拍攝來檢測位置。另外，對與第I實(shí)施方式相同的點(diǎn)省略說明。即、在本實(shí)施方式中，如圖9所示，在步驟S3的第I位置運(yùn)算工序與步驟S4的工件把持工序之間追加了步驟Sll以及步驟S12。步驟SI 步驟S3與第I實(shí)施方式相同，省略說明。在步驟S3之后，移至步驟S11。步驟Sll相當(dāng)于把持部拍攝工序。該工序是拍攝部對把持部進(jìn)行拍攝的工序。接下來，移至步驟S12。步驟S12相當(dāng)于把持部位置運(yùn)算工序。該工序是圖像運(yùn)算部對把持部的位置進(jìn)行運(yùn)算來進(jìn)行檢測的工序。接下來，移至步驟S4。并且，在步驟S6的第2位置運(yùn)算工序與步驟S7的工件移動(dòng)工序之間追加了步驟S13以及步驟S14。步驟S4 步驟S6大致與第I實(shí)施方式相同，省略說明。步驟S6之后，移至步驟S13。步驟S13相當(dāng)于移動(dòng)目的地拍攝工序。該工序是拍攝部對檢查臺進(jìn)行拍攝的工序。接下來，移至步驟S14。步驟S14相當(dāng)于移動(dòng)目的地位置運(yùn)算工序。該工序是圖像運(yùn)算部對檢查臺的位置進(jìn)行運(yùn)算來進(jìn)行檢測的工序。接下來，移至步驟S7。步驟S7 步驟S9大致與第I實(shí)施方式相同，省略說明。接下來，使用圖10以及圖11，與圖9所示的步驟對應(yīng)地，對電子部件I的搬運(yùn)方法以及檢查電氣特性的檢查方法詳細(xì)地進(jìn)行說明。另外，與第I實(shí)施方式大致相同的工序省略說明，對步驟S11、步驟S12、步驟S13、步驟S14進(jìn)行說明。圖10 (a)是與步驟Sll的把持部拍攝工序?qū)?yīng)的圖。如圖10 (a)所示，在步驟Sll中，工作臺控制部50使工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24，并使把持部25移動(dòng)至與第2拍攝部10對置的場所。接下來，拍攝控制部51使第2拍攝部10對把持部25進(jìn)行拍攝。圖10 (b)是與步驟Sll的把持部拍攝工序以及步驟S12的把持部位置運(yùn)算工序?qū)?yīng)的圖。如圖10 (b)所示，第2拍攝部10形成了拍攝把持部25的把持部圖像61。在把持部圖像61形成分別與把持面25b、吸附部30、第I探針27、第2探針28對應(yīng)的圖像即把持面像61a、吸附部像61b、第I探針像61c、第2探針像61d。把持部圖像61通過呈格子狀排列的像素的濃淡來表現(xiàn)。像素?cái)?shù)與第I圖像59相同，無特別限定，但在本實(shí)施方式中例如，縱橫的像素?cái)?shù)為2048X2048。在步驟S12中，圖像運(yùn)算部52對第I探針像61c的位置和傾斜度進(jìn)行運(yùn)算。在把持部圖像61中將圖中左下的角作為圖像的原點(diǎn)61e。而且，將圖中右側(cè)的方向作為X方向，將圖中上側(cè)的方向作為Y方向。圖像運(yùn)算部52對位于離原點(diǎn)61e最近的場所的第I探針像61c的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。具體而言，對原點(diǎn)61e與第I探針像61c之間的X方向的像 素?cái)?shù)即X像素?cái)?shù)61f、和Y方向的像素?cái)?shù)即Y像素?cái)?shù)61g進(jìn)行運(yùn)算。接下來，圖像運(yùn)算部52對第I探針像61c排列的方向與X方向成的角度即第I探針角度61h進(jìn)行運(yùn)算。換句話說，圖像運(yùn)算部52對把持部25的位置信息進(jìn)行運(yùn)算?；_6中的第2拍攝部10的位置是已知的。工作臺控制部50將把持部25固定于規(guī)定的位置，第2拍攝部10拍攝把持部25。因此，把持部25相對于基臺6的位置也已知。而且，工件位置運(yùn)算部53使用圖像運(yùn)算部52所檢測出的第I探針像61c的位置信息，檢測第I探針27的位置和相對于X方向的角度。CPU41使檢測出的第I探針27的位置、和第I探針27相對于X方向的角度的信息作為工作臺相關(guān)數(shù)據(jù)48存儲于存儲器42。而且，在步驟S4的工件把持工序中，控制裝置26使用在步驟S3所檢測出的第I面Ia的位置信息和在步驟S12所檢測出的第I探針27的位置信息，控制把持部25的位置。接下來，控制裝置26為使第I電極4a與第I探針27接觸而對準(zhǔn)相對位置來使把持部25把持電子部件I。圖11 (a)是與步驟S13的移動(dòng)目的地拍攝工序?qū)?yīng)的圖。如圖11 (a)所示，在步驟S13中，工作臺控制部50使工作臺驅(qū)動(dòng)裝置43驅(qū)動(dòng)可動(dòng)部24，使第I拍攝部21向與檢查臺11對置的場所移動(dòng)。接下來，拍攝控制部51使第I拍攝部21對檢查臺11進(jìn)行拍攝。圖11(b)是與步驟S13的移動(dòng)目的地拍攝工序以及步驟S14的移動(dòng)目的地位置運(yùn)算工序?qū)?yīng)的圖。如圖11 (b)所示，第I拍攝部21形成拍攝檢查臺11的檢查臺圖像62。在檢查臺圖像62形成分別與凹部11a、上表面lib、第3探針36、中繼端子37對應(yīng)的圖像即凹部像62a、上表面像62b、第3探針像62c、中繼端子像62d。檢查臺圖像62通過呈格子狀排列的像素的濃淡來表現(xiàn)。像素?cái)?shù)與第I圖像59相同，沒有特別限定，但在本實(shí)施方式中例如，縱橫的像素?cái)?shù)為2048X2048。在步驟S14中，圖像運(yùn)算部52對第3探針像62c的位置和傾斜度進(jìn)行運(yùn)算來進(jìn)行檢測。在檢查臺圖像62中將圖中左下的角作為圖像的原點(diǎn)62e。而且，將圖中右側(cè)的方向作為X方向，將圖中上側(cè)的方向作為Y方向。圖像運(yùn)算部52對位于離原點(diǎn)62e最近的場所的第3探針像62c的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。具體而言，對原點(diǎn)62e與第3探針像62c之間的X方向的像素?cái)?shù)即X像素?cái)?shù)62f、和Y方向的像素?cái)?shù)即Y像素?cái)?shù)62g進(jìn)行運(yùn)算。接下來，圖像運(yùn)算部52對第3探針像62c排列的方向與X方向成的角度即第3探針角度62h進(jìn)行運(yùn)算。換句話說，圖像運(yùn)算部52對移動(dòng)預(yù)定場所即檢查臺11的位置信息進(jìn)行運(yùn)算。X工作臺20、Y工作臺17、Z移動(dòng)裝置22、旋轉(zhuǎn)裝置23分別設(shè)置有檢測位置的量表。工作臺控制部50能夠使用各裝置的量表輸出的位置信息，檢測第I拍攝部21的位置。而且，工件位置運(yùn)算部53使用圖像運(yùn)算部52所檢測出的第3探針像62c的位置信息，對第3探針36的位置和相對于X方向的角度進(jìn)行檢測。CPU41使檢測出的第3探針36的位置和第3探針36相對于X方向的角度的信息作為工作臺相關(guān)數(shù)據(jù)48存儲于存儲器42。而且，在步驟S7的工件移動(dòng)工序中，控制裝置26使用在步驟S6所檢測出的第2面Ib的位置信息和在步驟S14所檢測出的檢查臺11的位置信息，控制把持部25的位置。接下來，控制裝置26為使第2電極4b與第3探針36接觸而使對準(zhǔn)相對位置并將電子部件I按壓于檢查臺11。另外，在該工序中，步驟S2 步驟S7是搬運(yùn)工序，在該工序執(zhí)行的方法相當(dāng)于電子部件搬運(yùn)方法。 如上述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。(I)根據(jù)本實(shí)施方式，第2拍攝部10拍攝把持部25。由此，控制裝置26除了第I面Ia的位置也識別把持部25的位置。因此，在實(shí)際的把持部25的位置相對于在控制裝置26識別出的把持部25的位置發(fā)生改變時(shí)，也能夠與改變后的位置對應(yīng)來把持電子部件I。其結(jié)果，把持部25能夠位置精確地把持電子部件I。(2)根據(jù)本實(shí)施方式，第I拍攝部21對移動(dòng)電子部件I的預(yù)定場所即檢查臺11進(jìn)行拍攝?？刂蒲b置26除了第2面Ib的位置也識別檢查臺11中的第3探針36的位置。因此，在第3探針36的位置發(fā)生改變時(shí)，能夠與改變后位置對應(yīng)來移動(dòng)電子部件I。其結(jié)果，把持部25能夠位置精確地使第2電極4b與第3探針36接觸。第3實(shí)施方式接下來，使用圖12，對使用了電子部件檢查裝置的電子部件的搬運(yùn)裝置以及檢查裝置的一實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖12是表示電子部件的檢查裝置的示意圖。圖12 (a)是示意俯視圖，(b)是示意側(cè)視圖。圖12 (c)是表示檢查臺的主要部分的示意側(cè)剖視圖。本實(shí)施方式與第I實(shí)施方式的不同之處在于配置可動(dòng)部以便縮短搬運(yùn)電子部件的時(shí)間。另外，對與第I實(shí)施方式相同的點(diǎn)省略說明。S卩、在本實(shí)施方式中，如圖12所示，檢查裝置65具備矩形的基臺66。俯視基臺66，將基臺66正交的2邊延伸的方向作為X方向與Y方向，將鉛垂方向作為一 Z方向。在基臺66上的一 Y方向側(cè)設(shè)置在Y方向長的4個(gè)傳輸帶67,在傳輸帶67上沿著Y方向排列設(shè)置有四方的托盤68。在托盤68上設(shè)置3個(gè)標(biāo)記68a，并且，載置4個(gè)電子部件I。而且，以電子部件I的第I電極4a相對于標(biāo)記68a處于規(guī)定的位置的方式配置電子部件I。在基臺66的四角分別立設(shè)支承柱69。在位于Y方向端的兩個(gè)支承柱69上架設(shè)沿X方向延伸的架橋部件70，在位于一 Y方向端的兩個(gè)支承柱69上架設(shè)沿X方向延伸的架橋部件71。在架橋部件70以及架橋部件71的基臺66側(cè)的面設(shè)置沿X方向延伸的軌道。而且，設(shè)置懸架于架橋部件70以及架橋部件71的軌道上在Y方向長的棱柱狀的供料X工作臺72以及除料X工作臺73。供料X工作臺72以及除料X工作臺73能夠沿著該軌道在X方向往復(fù)移動(dòng)。
在供料X工作臺72的基臺66側(cè)的面設(shè)置有沿Y方向延伸的軌道。而且，懸架于供料X工作臺72的軌道地設(shè)置供料Y工作臺74，供料Y工作臺74能夠沿著該軌道在Y方向往復(fù)移動(dòng)。在供料Y工作臺74的基臺66側(cè)設(shè)置供料把持部75，供料Y工作臺74具備使供料把持部75升降的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。供料X工作臺72以及供料Y工作臺74使供料把持部75移動(dòng)，供料把持部75吸附以及放開托盤68。由此，檢查裝置65能夠移動(dòng)傳輸帶67上的托盤68。在除料X工作臺73的基臺66側(cè)的面設(shè)置有沿Y方向延伸的軌道。而且，懸架于除料X工作臺73的軌道地設(shè)置除料Y工作臺76，除料Y工作臺76能夠沿該軌道在Y方向往復(fù)移動(dòng)。在除料Y工作臺76的基臺66側(cè)設(shè)置除料把持部77，除料Y工作臺76具備使除料把持部77升降的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。除料X工作臺73以及除料Y工作臺76使除料把持部77移動(dòng)，除料把持部77吸附以及放開托盤68。由此，檢查裝置65能夠在傳輸帶67上移動(dòng)托盤68。 在Y方向的架橋部件70側(cè)，在基臺66上設(shè)置有沿X方向延伸的一對第I軌道78。在第I軌道78上配置具有直動(dòng)機(jī)構(gòu)的第I往復(fù)裝置79，第I往復(fù)裝置79沿第I軌道78在X方向往復(fù)移動(dòng)。在第I往復(fù)裝置79設(shè)置兩個(gè)作為朝向Z方向的拍攝部的第2拍攝部80。在第I往復(fù)裝置79上，載置托盤68的場所隔著第2拍攝部80而在X方向設(shè)定兩處。在第I往復(fù)裝置79與傳輸帶67之間的傳輸帶67側(cè)，在基臺66上設(shè)置有沿X方向延伸的一對第2軌道83。在第2軌道83上配置具有直動(dòng)機(jī)構(gòu)的第2往復(fù)裝置84，第2往復(fù)裝置84沿著第2軌道83在X方向往復(fù)移動(dòng)。在第2往復(fù)裝置84設(shè)置兩個(gè)朝向Z方向的第2拍攝部80。在第2往復(fù)裝置84上，載置托盤68的場所隔著第2拍攝部80而在X方向設(shè)定兩處。在基臺66上，在第I軌道78的Y方向側(cè)以及第2軌道83的一 Y方向側(cè)立設(shè)一對支承柱85。一對支承柱85在X方向上位于第I軌道78以及第2軌道83的中央。在支承柱85上架設(shè)沿Y方向延伸的架橋部件86，在架橋部件86的基臺66側(cè)的面設(shè)置沿Y方向延伸的導(dǎo)軌。而且，設(shè)置懸架于架橋部件86的軌道、在Y方向長的立方體的檢查用工作臺87。檢查用工作臺87能夠沿著該軌道在Y方向往復(fù)移動(dòng)。由第I往復(fù)裝置79、第2往復(fù)裝置84以及檢查用工作臺87構(gòu)成可動(dòng)部。在檢查用工作臺87的基臺66側(cè)設(shè)置有作為把持部的第I檢查用把持部88以及作為把持部的第2檢查用把持部89。在第I檢查用把持部88設(shè)置標(biāo)記88a，在第2檢查用把持部89設(shè)置標(biāo)記89a。檢查用工作臺87具備使第I檢查用把持部88升降的直動(dòng)機(jī)構(gòu)、和使第I檢查用把持部88旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。同樣地，檢查用工作臺87具備使第2檢查用把持部89升降的直動(dòng)機(jī)構(gòu)、和使第2檢查用把持部89旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。在檢查用工作臺87設(shè)置4個(gè)第I拍攝部90，該第I拍攝部90作為拍攝部對載置在第I往復(fù)裝置79以及第2往復(fù)裝置84上的托盤68進(jìn)行拍攝。由第I拍攝部90以及第2拍攝部80構(gòu)成拍攝部。在基臺66上，在第I軌道78與第2軌道83之間設(shè)置檢查用基臺91，在檢查用基臺91上設(shè)置有檢查臺11。與第I實(shí)施方式相同，在檢查臺11配置第3探針36以及中繼端子37。而且，在第I檢查用把持部88以及第2檢查用把持部89配置第I探針27、第2探針28以及吸附部30。在基臺66的X方向側(cè)設(shè)置作為控制部的控制裝置92，控制裝置92進(jìn)行檢查裝置65的動(dòng)作以及電氣特性的檢查的控制。而且，由第I往復(fù)裝置79、第2往復(fù)裝置84、檢查用工作臺87、第I檢查用把持部88、第2檢查用把持部89、第2拍攝部80、第I拍攝部90以及控制裝置92等構(gòu)成電子部件搬運(yùn)裝置93。接下來，對檢查裝置65的動(dòng)作進(jìn)行說明。首先，操作者將電子部件I載置于托盤68。此時(shí)，操作者以使第I電極4a相對于標(biāo)記68a處于規(guī)定位置的方式載置電子部件I。接著，供料把持部75把持傳輸帶67上的托盤68并向第I往復(fù)裝置79以及第2往復(fù)裝置84上搬運(yùn)。而且，在第I往復(fù)裝置79具備卡盤，該卡盤對托盤68進(jìn)行定位、固定，托盤68被固定于第I往復(fù)裝置79。接下來，控制裝置92使第I往復(fù)裝置79與檢查用工作臺87移動(dòng)，使托盤68向與第I拍攝部90對置的場所移動(dòng)。接著，第I拍攝部90對托盤68進(jìn)行拍攝?？刂蒲b置92使用拍攝到的圖像來檢測標(biāo)記68a與電子部件I的相對位置。由此，控制裝置92識別電子部件I的位置。接下來，第I檢查用把持部88把持電子部件I。此時(shí)，因?yàn)榭刂蒲b置92識別出電子部件I的位置，所以第I檢查用把持部88能夠把持電子部件I以使第I探針27與第I電極4a接觸。 接下來，控制裝置92使第I往復(fù)裝置79與檢查用工作臺87移動(dòng)，使第I檢查用把持部88向與第2拍攝部80對置的場所移動(dòng)。而且，第2拍攝部80對標(biāo)記88a與電子部件I進(jìn)行拍攝?？刂蒲b置92使用拍攝到的圖像來檢測標(biāo)記88a與電子部件I的相對位置。由此，控制裝置92識別電子部件I的位置。接下來，第I檢查用把持部88將電子部件I按壓于檢查臺11。此時(shí)，因?yàn)榭刂蒲b置92識別出電子部件I的位置，所以第I檢查用把持部88能夠?qū)㈦娮硬考蘒按壓于檢查臺11以使第3探針36與第2電極4b接觸。在將電子部件I按壓在檢查臺11的狀態(tài)下，控制裝置92檢查電子部件I的電氣特性。接下來，控制裝置92將電子部件I從檢查臺11搬運(yùn)至第I往復(fù)裝置79上的托盤68。接著，除料把持部77把持第I往復(fù)裝置79上的托盤68在傳輸帶67上搬運(yùn)。同樣地，第2檢查用把持部89把持位于第2往復(fù)裝置84上的托盤68上的電子部件1，并搬運(yùn)至檢查臺11。此時(shí)，第2檢查用把持部89進(jìn)行與第I檢查用把持部88相同的動(dòng)作。由此，第2檢查用把持部89能夠把持電子部件I以使第I探針27與第I電極4a接觸。并且，第2檢查用把持部89能夠?qū)㈦娮硬考蘒按壓于檢查臺11以使第3探針36與第2電極4b接觸。在檢查用工作臺87設(shè)置有第I檢查用把持部88和第2檢查用把持部89。由此，能夠與第I檢查用把持部88將電子部件I從檢查臺11移動(dòng)至第I往復(fù)裝置79的托盤68的工序并行，進(jìn)行第2檢查用把持部89將電子部件I從第2往復(fù)裝置84的托盤68向檢查臺11移動(dòng)的工序。因此,能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行電子部件I的搬運(yùn)。另外，在用第I檢查用把持部88或者第2檢查用把持部89和檢查臺11進(jìn)行電子部件I的電氣特性的檢查的期間，供料Y工作臺74能夠?qū)⑼斜P68從傳輸帶67搬運(yùn)至第I往復(fù)裝置79或者第2往復(fù)裝置84。另外，在供料把持部75搬運(yùn)托盤68的期間，除料把持部77能夠?qū)⑼斜P68從第I往復(fù)裝置79或者第2往復(fù)裝置84搬運(yùn)至傳輸帶67。因此，通過將多個(gè)工序同時(shí)進(jìn)行，能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行電子部件I的搬運(yùn)。如上述，根據(jù)本實(shí)施方式，具有以下的效果。(I)根據(jù)本實(shí)施方式，電子部件搬運(yùn)裝置93對電子部件I的第I電極4a以及第2電極4b進(jìn)行拍攝，并檢測第I電極4a以及第2電極4b的位置。因此，電子部件搬運(yùn)裝置93能夠使第I探針27與第I電極4a接觸，并使第3探針36與第2電極4b接觸。(2)根據(jù)本實(shí)施方式，能夠同時(shí)進(jìn)行供料把持部75使托盤68移動(dòng)的工序、檢查電子部件I的電氣特性的工序、和除料把持部77使托盤68移動(dòng)的工序。因此，能夠生產(chǎn)率良好地檢查電子部件I的電氣特性。另外，本實(shí)施方式并 不限定于上述的實(shí)施方式，能夠增加各種的變更、改進(jìn)。以下敘述變形例。變形例I在上述第I實(shí)施方式中，使用了第2拍攝部10以及第I拍攝部21兩個(gè)拍攝部，但拍攝部也可以是一個(gè)。也可以使用移動(dòng)拍攝部的機(jī)構(gòu)來使拍攝部移動(dòng)到拍攝的場所。在使用分辨率高的拍攝部時(shí)，并不容易制造拍攝部。此時(shí)，使拍攝部為一個(gè)，從而能夠生產(chǎn)率良好地制造電子部件檢查裝置5。另外，在容易制造拍攝部時(shí)，也可以設(shè)置3個(gè)以上的拍攝部。通過限定各拍攝部拍攝的場所，從而能夠以高分辨率進(jìn)行拍攝。變形例2在上述第I實(shí)施方式中，可動(dòng)部24使第I拍攝部21以及把持部25移動(dòng)，并將第2拍攝部10以及檢查臺11固定住。但也可以是使第I拍攝部21以及把持部25固定，可動(dòng)部24使第2拍攝部10以及檢查臺11移動(dòng)的結(jié)構(gòu)。只要能夠?qū)Φ贗電極4a以及第2電極4b的位置進(jìn)行檢測，把持電子部件I且搬運(yùn)至檢查臺11就可以。在這種情況下也能夠獲得相同的效果。變形例3在上述第2實(shí)施方式中，在步驟S3的第I位置運(yùn)算工序之后進(jìn)行步驟Sll的把持部拍攝工序以及步驟S12的把持部位置運(yùn)算工序。也可以在步驟S3與步驟Sll之間加入把持部識別判斷工序。把持部識別判斷工序是判斷是否進(jìn)行步驟Sll以及步驟S12的工序。例如，也可以僅在電子部件檢查裝置5接通電源時(shí)、產(chǎn)生了溫度等環(huán)境變化時(shí)進(jìn)行步驟Sll以及步驟S12。另外，也可以在從步驟SI進(jìn)行了規(guī)定的次數(shù)的步驟S2時(shí)，進(jìn)行步驟Sll以及步驟S12。這樣，通過減少進(jìn)行步驟Sll以及步驟S12的次數(shù)，從而能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行檢查。變形例4在上述第2實(shí)施方式中，在步驟S6的第2位置運(yùn)算工序之后進(jìn)行了步驟S13的移動(dòng)目的地拍攝工序以及步驟S14的移動(dòng)目的地位置運(yùn)算工序。也可以在步驟S6與步驟S13之間加入移動(dòng)目的地識別判斷工序。移動(dòng)目的地識別判斷工序是判斷是否進(jìn)行步驟S13以及步驟S14的工序。例如，也可以僅在電子部件檢查裝置5接通電源時(shí)、產(chǎn)生了溫度等環(huán)境變化時(shí)，進(jìn)行步驟S13以及步驟S14。另外，也可以在從步驟SI進(jìn)行了規(guī)定的次數(shù)步驟S2時(shí)，進(jìn)行步驟S13以及步驟S14。這樣，通過減少進(jìn)行步驟S13以及步驟S14的次數(shù)，從而能夠生產(chǎn)率良好地進(jìn)行檢查。符號說明 I…電子部件，Ia…第I面，Ib…第2面，5a…電子部件搬運(yùn)裝置，10、80…作為拍攝部的第2拍攝部，21、90···作為拍攝部的第I拍攝部，24···可動(dòng)部，25···把持部，26…作為控制部的控制裝置，88···作為把持部的第I檢查用把持部，89···作為把持部的第2檢查用把持部。
權(quán)利要求
1.一種電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于，具備 拍攝部，其對具備第I面以及第2面的電子部件的所述第I面進(jìn)行拍攝來形成第I圖像，并對所述第2面進(jìn)行拍攝來形成第2圖像； 把持部，其把持所述電子部件； 可動(dòng)部，其使所述把持部移動(dòng)； 控制部，其使用所述第I圖像來檢測所述第I面的位置，且使用所述第2圖像來檢測所述第2面的位置，并對所述把持部、所述可動(dòng)部進(jìn)行控制， 使用所述控制部所檢測出的所述第I面的位置的信息，所述把持部使所述把持部與所述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持所述電子部件，使用所述控制部所檢測出的所述第2面的位置的信息，所述可動(dòng)部將所述第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述拍攝部拍攝所述把持部，所述控制部使用所述把持部的圖像來檢測所述把持部的位置，所述把持部使用所述控制部所檢測出的所述把持部的位置的信息使所述把持部與所述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持所述電子部件。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或者2所述的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述拍攝部對移動(dòng)所述電子部件的預(yù)定的場所即移動(dòng)預(yù)定場所進(jìn)行拍攝，所述控制部使用所述移動(dòng)預(yù)定場所的圖像來檢測所述移動(dòng)預(yù)定場所的位置，所述把持部使用所述控制部所檢測出的所述移動(dòng)預(yù)定場所的位置的信息，將所述第2面移動(dòng)至所述移動(dòng)預(yù)定場所。
4.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述拍攝部具備對所述第I面進(jìn)行拍攝的第I拍攝部、和對所述第2面進(jìn)行拍攝的第2拍攝部。
5.一種電子部件搬運(yùn)方法，是把持部對具備第I面以及第2面的電子部件進(jìn)行把持并搬運(yùn)的電子部件搬運(yùn)方法，其特征在于， 拍攝所述第I面來運(yùn)算所述第I面的位置信息， 使用所述第I面的位置信息使所述把持部與所述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持所述電子部件， 拍攝所述第2面來運(yùn)算所述第2面的位置信息， 使用所述第2面的位置信息，將所述第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子部件搬運(yùn)方法，其特征在于， 在把持所述電子部件之前進(jìn)行如下步驟 拍攝所述把持部來運(yùn)算所述把持部的位置信息， 除了所述第I面的位置信息還使用所述把持部的位置信息，使所述把持部與所述第I面的相對位置成為規(guī)定的相對位置并把持所述電子部件。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或者所述的電子部件搬運(yùn)方法，其特征在于， 在移動(dòng)所述第2面之前進(jìn)行如下步驟 對移動(dòng)所述電子部件的預(yù)定場所即移動(dòng)預(yù)定場所進(jìn)行拍攝來運(yùn)算所述移動(dòng)預(yù)定場所的位置信息， 除了所述第2面的位置信息還使用所述移動(dòng)預(yù)定場所的位置信息，將所述第2面移動(dòng)至所述移動(dòng)預(yù)定場所的位置。
8.一種電子部件搬運(yùn)裝置，把持電子部件并搬運(yùn)到檢查臺，其特征在于，該電子部件搬運(yùn)裝置具備 把持部，其把持所述電子部件； 可動(dòng)部，其使所述把持部移動(dòng)； 拍攝部，其拍攝所述電子部件； 控制部，其基于由所述拍攝部取得的圖像，對所述可動(dòng)部的位置進(jìn)行控制， 所述拍攝部， 對所述電子部件的所述第I面進(jìn)行拍攝來取得包含所述第I面的第I圖像； 對所述電子部件的所述第I面相反一側(cè)的第2面進(jìn)行拍攝來取得包含所述第2面的第2圖像； 拍攝所述把持部來取得包含設(shè)置在所述保持部的探針的把持部圖像； 拍攝所述檢查臺來取得包含所述檢查臺的中繼端子的中繼端子圖像。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電子部件搬運(yùn)裝置，其特征在于， 所述拍攝部具備對所述電子部件的所述第I面進(jìn)行拍攝的第I拍攝部、被配置成拍攝與所述第I拍攝部的拍攝方向相反的方向來對所述電子部件的所述第2面進(jìn)行拍攝的第2拍攝部， 所述第I拍攝部配置成能夠與所述把持部一起移動(dòng)并拍攝所述檢查臺， 所述第2拍攝部固定配置與所述檢查臺的位置并拍攝所述把持部。
全文摘要
本發(fā)明涉及電子部件搬運(yùn)裝置以及電子部件搬運(yùn)方法。具備第1拍攝部，其對具備第1面以及第2面的電子部件的第1面進(jìn)行拍攝來形成第1圖像；第2拍攝部，其對第2面進(jìn)行拍攝來形成第2圖像；把持部，其把持電子部件；可動(dòng)部，其使把持部移動(dòng)；控制裝置，其使用第1圖像來檢測第1面的位置、且使用第2圖像來檢測第2面的位置，并對把持部、可動(dòng)部進(jìn)行控制，把持部使用控制裝置所檢測出的第1面的位置的信息使把持部與第1面的相對位置成為規(guī)定的相對位置來把持電子部件(1)，可動(dòng)部使用控制裝置所檢測出的第2面的位置的信息，將第2面移動(dòng)至規(guī)定的位置。
文檔編號G01R31/28GK102901920SQ20121026010
公開日2013年1月30日 申請日期2012年7月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月26日
發(fā)明者塩澤雅邦 申請人:精工愛普生株式會社