一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)，包括一個(gè)激光器，激光器的輸出光經(jīng)第一耦合器后分為兩路，一路接收外接位移信號(hào)，另一路經(jīng)壓電陶瓷后，兩路一起輸入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成兩束，兩束光分別輸入至第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器的輸出接差分器的輸入，本發(fā)明在滿足測(cè)量精度要求的前提下，位移分辨率達(dá)到了納米級(jí)，而比起激光干涉儀，體積大大減小，給相關(guān)領(lǐng)域的使用帶來(lái)方便。
【專利說(shuō)明】一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)
[0001]
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明涉及微小位移測(cè)量【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0003]微電子和精密儀器領(lǐng)域，經(jīng)常要對(duì)微小位移進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量級(jí)別為納米級(jí)，目前已有的位移傳感器，已經(jīng)可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的測(cè)量，如激光干涉儀，其分辨率高，測(cè)量精度好，但是體積較大，使用起來(lái)不是很方便，光纖干涉儀體積小，如加以開發(fā)則能在很大程度上替代激光干涉儀，給使用代理便利。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單使用方便的特點(diǎn)。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:
一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)，包括一個(gè)激光器，激光器的輸出光經(jīng)第一耦合器后分為兩路，一路接收外接位移信號(hào)，另一路經(jīng)壓電陶瓷后，兩路一起輸入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成兩束，兩束光分別輸入至第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器的輸出接差分器的輸入。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在滿足測(cè)量精度要求的前提下，位移分辨率達(dá)到了納米級(jí)，而比起激光干涉儀，體積大大減小，給相關(guān)領(lǐng)域的使用帶來(lái)方便。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0007]附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0008]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳盡的說(shuō)明。
[0009]如圖所不，本發(fā)明為一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)，包括一個(gè)激光器，激光器的輸出光經(jīng)第一耦合器后分為兩路，一路接收外接位移信號(hào)，另一路經(jīng)壓電陶瓷后，兩路一起輸入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成兩束，兩束光分別輸入至第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器的輸出接差分器的輸入。
[0010]本發(fā)明的工作原理是:
該結(jié)構(gòu)光路傳輸均通過(guò)光纖實(shí)現(xiàn)，從激光器輸出的相干光經(jīng)過(guò)第一稱合器后，分為兩束光，一束的一端固定在位移驅(qū)動(dòng)器的固定端，另一端固定在位移驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)端，位移驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的微小位移使得該路伸長(zhǎng)，也就是該路接收了微小位移信號(hào)，該路為信號(hào)路。另一束接一個(gè)壓電陶瓷穩(wěn)定后，作為信號(hào)參考。然后信號(hào)路和信號(hào)參考路再一起輸入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成兩束，兩束光分別輸入至第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，在第一探測(cè)器和第二探測(cè)器中產(chǎn)生電壓信號(hào)，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器的輸出接差分器的輸入，在差分器中將兩個(gè)電壓信號(hào)相減后既得最終信號(hào)，根據(jù)該信號(hào)獲取位移量。
【權(quán)利要求】
1.一種測(cè)量微小位移的系統(tǒng)，包括一個(gè)激光器，其特征在于，激光器的輸出光經(jīng)第一耦合器后分為兩路，一路接收外接位移信號(hào)，另一路經(jīng)壓電陶瓷后，兩路一起輸入至第二耦合器，在第二耦合器中耦合再分光成兩束，兩束光分別輸入至第一探測(cè)器和第二探測(cè)器，第一探測(cè)器和第二探測(cè)器的輸出接差分器的輸入。
【文檔編號(hào)】G01B11/02GK103727878SQ201210386271
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2012年10月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月13日
【發(fā)明者】不公告發(fā)明人 申請(qǐng)人:陜西杰創(chuàng)科技有限公司