平面度檢測裝置制造方法
【專利摘要】一種平面度檢測裝置，用于檢測待測薄片因翹曲變形產(chǎn)生的平面度誤差是否超過預(yù)設(shè)的極限值。所述平面度檢測裝置包括載物臺和滑動設(shè)置于載物臺上的檢測件。所述載物臺上設(shè)有第一基準(zhǔn)平面以承載待測薄片，所述檢測件上設(shè)有與第一基準(zhǔn)平面平行的第二基準(zhǔn)平面。所述待測薄片可以選擇性地位于第二基準(zhǔn)平面遠(yuǎn)離第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)和靠近第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)。所述第二基準(zhǔn)平面和第一基準(zhǔn)平面之間的距離根據(jù)所述極限值、以及待測薄片和第二基準(zhǔn)平面之間的位置關(guān)系設(shè)置，以使待測薄片的平面度誤差超過所述極限值時(shí)，待測薄片可以隨著檢測件的移動而被第二基準(zhǔn)平面推動。
【專利說明】平面度檢測裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種檢測裝置，尤其涉及一種平面度檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]一些板狀薄片經(jīng)過各種成型工序后，其表面應(yīng)力發(fā)生改變，從而發(fā)生翹曲變形。當(dāng)板狀薄片翹曲變形嚴(yán)重時(shí)會影響其外觀或裝配性能。因此，在裝配前需要對板狀薄片因翹曲變形產(chǎn)生的平面度誤差是否合格進(jìn)行檢測。目前，常用的平面度檢測方法有機(jī)械式百分表測量法和光學(xué)測量法。上述兩種方法雖然都能檢測出平面度的誤差范圍，但是檢測過程比較復(fù)雜且需要對檢測數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，檢測效率低，不適用于對大批量的待測物進(jìn)行檢測。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]鑒于此，有必要提供一種能夠快速檢測待測薄片的平面度誤差是否合格的平面度檢測裝置。
[0004]一種平面度檢測裝置，用于檢測待測薄片因翹曲變形產(chǎn)生的平面度誤差是否超過預(yù)設(shè)的極限值。所述平面度檢測裝置包括載物臺和滑動設(shè)置于載物臺上的檢測件。所述載物臺上設(shè)有第一基準(zhǔn)平面以承載待測薄片，所述檢測件上設(shè)有與第一基準(zhǔn)平面平行的第二基準(zhǔn)平面。所述待測薄片可以選擇性地位于第二基準(zhǔn)平面遠(yuǎn)離第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)和靠近第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)。所述第二基準(zhǔn)平面和第一基準(zhǔn)平面之間的距離根據(jù)所述極限值、以及待測薄片和第二基準(zhǔn)平面之間的位置關(guān)系設(shè)置，以使待測薄片的平面度誤差超過所述極限值時(shí)，待測薄片可以隨著檢測件的移動而被第二基準(zhǔn)平面推動。
[0005]上述平面度檢測裝置將對待測薄片因翹曲變形產(chǎn)生的平面度誤差是否超過預(yù)設(shè)的極限值的判斷轉(zhuǎn)換為對其在檢測件的滑動方向上是否產(chǎn)生位移的判斷，能夠快速檢測出待測薄片的平面度誤差是否合`格。上述平面度檢測裝置結(jié)構(gòu)簡單且操作方便，大大提高了檢測效率，適用于對大批量的待測物進(jìn)行檢測。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]圖1為較佳實(shí)施方式的平面度檢測裝置示意圖。
[0007]圖2為圖1中平面度檢測裝置的分解示意圖。
[0008]圖3為圖1中平面度檢測裝置檢測過程的一個(gè)狀態(tài)示意圖。
[0009]圖4為圖1中平面度檢測裝置檢測過程的另一個(gè)狀態(tài)示意圖。
[0010]主要元件符號說明
【權(quán)利要求】
1.一種平面度檢測裝置，用于檢測待測薄片因翹曲變形產(chǎn)生的平面度誤差是否超過預(yù)設(shè)的極限值；所述平面度檢測裝置包括載物臺，所述載物臺上設(shè)有第一基準(zhǔn)平面以承載待測薄片，其特征在于:所述平面度檢測裝置還包括滑動設(shè)置于載物臺上的檢測件，所述檢測件上設(shè)有與第一基準(zhǔn)平面平行的第二基準(zhǔn)平面，所述待測薄片可以選擇性地位于第二基準(zhǔn)平面遠(yuǎn)離第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)和靠近第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)，所述第二基準(zhǔn)平面和第一基準(zhǔn)平面之間的距離根據(jù)所述極限值、以及待測薄片和第二基準(zhǔn)平面之間的位置關(guān)系設(shè)置，以使待測薄片的平面度誤差超過所述極限值時(shí)，待測薄片可以隨著檢測件的移動而被第二基準(zhǔn)平面推動。
2.如權(quán)利要求1所述的平面度檢測裝置，其特征在于:當(dāng)待測薄片位于第二基準(zhǔn)平面遠(yuǎn)離第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)時(shí)，第二基準(zhǔn)平面與第一基準(zhǔn)平面的距離設(shè)置為待測薄片距離第一基準(zhǔn)平面的高度與所述極限值的一半之差。
3.如權(quán)利要求1所述的平面度檢測裝置，其特征在于:當(dāng)待測薄片位于第二基準(zhǔn)平面靠近第一基準(zhǔn)平面的一側(cè)時(shí)，待測薄片位于第二基準(zhǔn)平面和第一基準(zhǔn)平面之間；第二基準(zhǔn)平面與第一基準(zhǔn)平面之間的距離設(shè)置為待測薄片距離第一基準(zhǔn)平面的高度、待測薄片的厚度與所述極限值的一半之和。
4.如權(quán)利要求1所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述平面度檢測裝置還包括位移傳感器和控制箱，所述位移傳感器用于偵測待測薄片相對位移傳感器的位移量并產(chǎn)生相應(yīng)的電信號；所述控制箱根據(jù)所述電信號運(yùn)算出相應(yīng)的位移量。
5.如權(quán)利要求4所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述控制箱包括中央處理器和提示單元，所述中央處理器將待測薄片相對位移傳感器的位移量與一個(gè)預(yù)設(shè)值進(jìn)行比較，若所述位移量未達(dá)到預(yù)設(shè)值，則中央處理器控制提示單元處于第一提示狀態(tài)以表示待測薄片的平面度誤差合格；若所述位移量達(dá)到預(yù)設(shè)值，則中央處理器控制提示單元處于第二提示狀態(tài)以表示待測薄片的平面度誤差不合格。
6.如權(quán)利要求1所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述載物臺上設(shè)有滑槽，所述檢測件上設(shè)有與所述滑槽對應(yīng)的滑塊，所述滑塊在滑槽內(nèi)滑動以使所述檢測件在載物臺上滑動。`
7.如權(quán)利要求1所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述檢測件包括第一檢測部件和第二檢測部件，所述第二基準(zhǔn)平面設(shè)置于第一檢測部件上，所述第二檢測部件設(shè)有與第一基準(zhǔn)平面平行的第三基準(zhǔn)平面；所述待測薄片位于第二基準(zhǔn)平面與第三基準(zhǔn)平面之間，且距離第一基準(zhǔn)平面預(yù)定高度；所述第二基準(zhǔn)平面與第一基準(zhǔn)平面的距離設(shè)置為所述預(yù)定高度、待測薄片的厚度與極限值的一半之和；第三基準(zhǔn)平面與第一基準(zhǔn)平面的距離設(shè)置為所述預(yù)定高度與極限值的一半之差。
8.如權(quán)利要求7所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述第一檢測部件設(shè)有第一操作部及設(shè)置于第一操作部一側(cè)的缺口，所述第一操作部的側(cè)面與所述缺口相接觸，所述第一操作部用于帶動所述第一檢測部件在載物臺上滑動。
9.如權(quán)利要求8所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述第二檢測部件上設(shè)有第二操作部，所述第二操作部可以穿過所述缺口與第一操作部抵接以使第一檢測部件停止滑動，所述第二操作部用于帶動所述第二檢測部件在載物臺上滑動。
10.如權(quán)利要求7所述的平面度檢測裝置，其特征在于:所述第一基準(zhǔn)平面上設(shè)有限位塊，所述限位塊用于防止 第二檢測部件在第一檢測部件的推力下翹起。
【文檔編號】G01B21/30GK103776414SQ201210406709
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2012年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月23日
【發(fā)明者】王興 申請人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司