專利名稱：Dbc基板翹曲激光測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造、LED、光通訊領(lǐng)域，特別適用半導(dǎo)體制冷器、LED、功率半導(dǎo)體等用DBC基板時(shí)翹曲的測(cè)量，特別是一種DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
由于銅與瓷不同的熱膨脹系數(shù)，在陶瓷直接覆銅(DBC)后，DBC基板會(huì)產(chǎn)生翹曲；同時(shí)DBC基板在后道器件焊接時(shí)，由于加熱也產(chǎn)生翹曲。這些翹曲都必須測(cè)量以保證生產(chǎn)進(jìn)行?，F(xiàn)有DBC基板翹曲測(cè)量有用塞尺測(cè)量和用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x測(cè)量?jī)煞N方法一種是用塞尺手工進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量時(shí)用塞尺塞入DBC基板底部，測(cè)量誤差大，同時(shí)無(wú)法在DBC基板加熱情況下測(cè)量；另外一種是用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x測(cè)量，測(cè)量繁瑣，由于與被測(cè) 物直接接觸，對(duì)翹曲測(cè)量有一定影響，同時(shí)無(wú)法在DBC基板加熱情況下測(cè)量，只能在常溫下測(cè)量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種在常溫和加熱情況下都可以測(cè)量的DBC基板翹曲激
光測(cè)量裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，包括下底板；測(cè)量平臺(tái)，所述測(cè)量平臺(tái)設(shè)置在所述下底板上；上底板，所述上底板設(shè)置在所述下底板上，所述上底板通過(guò)所述上底板兩側(cè)的支撐桿設(shè)置在所述下底板上；滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述上底板上；測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)通過(guò)支架與所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述測(cè)量平臺(tái)的上方；以及散熱片，所述散熱片設(shè)置在所述支架上，所述散熱片設(shè)置在所述測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品之間。所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌設(shè)置在所述上底板上，在所述導(dǎo)軌上還設(shè)有齒條；滑塊，所述滑塊設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，在所述滑塊內(nèi)還設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述齒條相匹配；以及調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓一端與所述齒輪連接，另外一端設(shè)置在所述滑塊外。所述支架包括橫支架，所述橫支架的一端與所述滑動(dòng)塊連接；以及豎支架，所述豎支架的一端與所述橫支架的另外一端連接。在所述豎支架與所述橫支架之間還進(jìn)一步設(shè)有加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋分別與所述豎支架及所述橫支架連接。所述測(cè)量機(jī)構(gòu)包括保護(hù)盒，所述保護(hù)盒設(shè)置在所述豎支架上，在所述保護(hù)盒的一側(cè)設(shè)有探測(cè)孔，所述探測(cè)孔面向所述測(cè)量平臺(tái)；以及激光發(fā)射接收器，所述激光發(fā)射接收器設(shè)置在所述保護(hù)盒內(nèi)，所述激光發(fā)射接收器與數(shù)據(jù)控制處理裝置電連接。在所述散熱片上分別設(shè)有測(cè)量孔及散熱孔，所述測(cè)量孔與所述探測(cè)孔的位置相對(duì)應(yīng)。所述散熱片的數(shù)量至少為一個(gè)，多個(gè)所述散熱片相互間隔設(shè)置，其中上、下所述散熱孔的位置不對(duì)應(yīng)，形成錯(cuò)位設(shè)置。本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置通過(guò)激光發(fā)射和接受，實(shí)現(xiàn)非接觸式DBC基板翹曲的測(cè)量，提高測(cè)量精度；在測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品之間裝置裝有散熱片，減少DBC基板加熱時(shí)生產(chǎn)的熱量對(duì)激光發(fā)射接收器的影響，實(shí)現(xiàn)DBC基板在加熱情況下翹曲的測(cè)量，同時(shí)激光發(fā)射接收器通過(guò)支架裝在導(dǎo)軌上，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺栓帶動(dòng)齒輪，使滑塊在導(dǎo)軌上移動(dòng)，導(dǎo)軌與測(cè)量平臺(tái)相互平行，實(shí)現(xiàn)激光與被測(cè)物之間的翹曲的測(cè)量。


圖I為本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)示意圖；本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置附圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明I-下底板 2-測(cè)量平臺(tái)3-待測(cè)樣品4-上底板 5-支撐桿6-導(dǎo)軌7-滑塊 8-齒輪9-調(diào)節(jié)螺栓 10-橫支架 11-豎支架12-加強(qiáng)筋13-保護(hù)盒14-探測(cè)孔15-激光發(fā)射接收器16-數(shù)據(jù)控制處理裝置 17-第一散熱片18-第二散熱片19-第二散熱片 20-第四散熱片21-測(cè)量孔22-散熱孔23-數(shù)據(jù)線
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。如圖I所示，本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，包括下底板I ;測(cè)量平臺(tái)2，測(cè)量平臺(tái)2設(shè)置在下底板I上；上底板4，上底板4設(shè)置在下底板I上,上底板4通過(guò)上底板4兩側(cè)的支撐桿5設(shè)置在下底板I上；滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在上底板4上；測(cè)量機(jī)構(gòu)，測(cè)量機(jī)構(gòu)通過(guò)支架與滑動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，測(cè)量機(jī)構(gòu)設(shè)置在測(cè)量平臺(tái)2的上方；以及散熱片，散熱片設(shè)置在支架上，散熱片設(shè)置在測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品3之間。滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括導(dǎo)軌6,導(dǎo)軌6設(shè)置在上底板4上,在導(dǎo)軌6上還設(shè)有齒條(圖中未示出)；滑塊7，滑塊7設(shè)置在導(dǎo)軌6上，在滑塊7內(nèi)還設(shè)有齒輪8，齒輪8與齒條(圖中未示出)相匹配；以及調(diào)節(jié)螺栓9，調(diào)節(jié)螺栓9 一端與齒輪8連接，另外一端設(shè)置在滑塊7外。支架包括橫支架10，橫支架10的一端與滑動(dòng)塊連接；以及豎支架11，豎支架11的一端與橫支架10的另外一端連接。在豎支架11與橫支架10之間還進(jìn)一步設(shè)有加強(qiáng)筋12，加強(qiáng)筋12分別與豎支架11及橫支架10連接。測(cè)量機(jī)構(gòu)包括保護(hù)盒13，保護(hù)盒13設(shè)置在豎支架11上，在保護(hù)盒13的一側(cè)設(shè)有探測(cè)孔14，探測(cè)孔14面向測(cè)量平臺(tái)2 ;以及激光發(fā)射接收器15，激光發(fā)射接收器15設(shè)置在保護(hù)盒13內(nèi)，激光發(fā)射接收器15通過(guò)數(shù)據(jù)線23與數(shù)據(jù)控制處理裝置16電連接。轉(zhuǎn)動(dòng)滑塊7側(cè)面調(diào)節(jié)螺栓9帶動(dòng)滑塊7內(nèi)齒輪8在齒條(圖中未示出)上移動(dòng)，帶動(dòng)整個(gè)測(cè)量機(jī)構(gòu)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)激光與被測(cè)物之間的測(cè)量。相互間隔設(shè)置的第一散熱片17、第二散熱片18、第三散熱片19及第四散熱片20上分別設(shè)有測(cè)量孔21及散熱孔22，測(cè)量孔21以一定角度貫通用于激光的通過(guò)，盡量減少熱量通過(guò)測(cè)量孔21對(duì)激光發(fā)射接收器15的干擾；散熱孔22錯(cuò)位互不貫通，用于熱量逐步散發(fā)。本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置通過(guò)激光發(fā)射和接受，實(shí)現(xiàn)非接觸式DBC基板翹曲的測(cè)量，提高測(cè)量精度；在測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品之間裝置裝有散熱片，減少DBC基板加熱時(shí)生產(chǎn)的熱量對(duì)激光發(fā)射接收器的影響，實(shí)現(xiàn)DBC基板在加熱情況下翹曲的測(cè)量，同時(shí)激光發(fā)射接收器通過(guò)支架裝在導(dǎo)軌上，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺栓帶動(dòng)齒輪，使滑塊在導(dǎo)軌上移動(dòng)，導(dǎo)軌與測(cè)量平臺(tái)相互平行，實(shí)現(xiàn)激光與被測(cè)物之間的翹曲的測(cè)量。以上已對(duì)本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本發(fā)明創(chuàng)造并不限于所述實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的 變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，包括 下底板； 測(cè)量平臺(tái)，所述測(cè)量平臺(tái)設(shè)置在所述下底板上； 上底板，所述上底板設(shè)置在所述下底板上，所述上底板通過(guò)所述上底板兩側(cè)的支撐桿設(shè)置在所述下底板上； 滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述上底板上； 測(cè)量機(jī)構(gòu)，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)通過(guò)支架與所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述測(cè)量平臺(tái)的上方；以及 散熱片，所述散熱片設(shè)置在所述支架上，所述散熱片設(shè)置在所述測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，所述滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括 導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌設(shè)置在所述上底板上，在所述導(dǎo)軌上還設(shè)有齒條； 滑塊，所述滑塊設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，在所述滑塊內(nèi)還設(shè)有齒輪，所述齒輪與所述齒條相匹配；以及 調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓一端與所述齒輪連接，另外一端設(shè)置在所述滑塊外。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，所述支架包括 橫支架，所述橫支架的一端與所述滑動(dòng)塊連接；以及 豎支架，所述豎支架的一端與所述橫支架的另外一端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，所述測(cè)量機(jī)構(gòu)包括 保護(hù)盒，所述保護(hù)盒設(shè)置在所述豎支架上，在所述保護(hù)盒的一側(cè)設(shè)有探測(cè)孔，所述探測(cè)孔面向所述測(cè)量平臺(tái)；以及 激光發(fā)射接收器，所述激光發(fā)射接收器設(shè)置在所述保護(hù)盒內(nèi)，所述激光發(fā)射接收器與數(shù)據(jù)控制處理裝置電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，在所述散熱片上分別設(shè)有測(cè)量孔及散熱孔，所述測(cè)量孔與所述探測(cè)孔的位置相對(duì)應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，所述散熱片的數(shù)量至少為一個(gè)，多個(gè)所述散熱片相互間隔設(shè)置，其中上、下所述散熱孔的位置不對(duì)應(yīng)，形成錯(cuò)位設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，其特征在于，在所述豎支架與所述橫支架之間還進(jìn)一步設(shè)有加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋分別與所述豎支架及所述橫支架連接。
全文摘要
本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置，包括下底板；測(cè)量平臺(tái)，測(cè)量平臺(tái)設(shè)置在下底板上；上底板，上底板設(shè)置在下底板上，上底板通過(guò)上底板兩側(cè)的支撐桿設(shè)置在下底板上；滑動(dòng)機(jī)構(gòu)，滑動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在上底板上；測(cè)量機(jī)構(gòu)，測(cè)量機(jī)構(gòu)通過(guò)支架與滑動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，測(cè)量機(jī)構(gòu)設(shè)置在測(cè)量平臺(tái)的上方；以及散熱片，散熱片設(shè)置在支架上，散熱片設(shè)置在測(cè)量機(jī)構(gòu)與待測(cè)樣品之間。本發(fā)明DBC基板翹曲激光測(cè)量裝置通過(guò)激光發(fā)射和接受，實(shí)現(xiàn)非接觸式DBC基板翹曲的測(cè)量，提高測(cè)量精度；同時(shí)激光發(fā)射接收器通過(guò)支架裝在導(dǎo)軌上，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)螺栓帶動(dòng)齒輪，使滑塊在導(dǎo)軌上移動(dòng)，導(dǎo)軌與測(cè)量平臺(tái)相互平行，實(shí)現(xiàn)激光與被測(cè)物之間的翹曲的測(cè)量。
文檔編號(hào)G01B11/16GK102967273SQ20121046233
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月16日
發(fā)明者吳燕青, 賀賢漢, 戴洪興, 魯瑞平 申請(qǐng)人:上海申和熱磁電子有限公司