專利名稱:一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鞯闹谱鞣椒?br>
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳌?br>
背景技術(shù):
傳統(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形,由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出,但體積大成本高。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器,MEMS壓力傳感器的尺寸更小,最大的不超過(guò)一個(gè)厘米,相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù),其性價(jià)比大幅度提高。目前的MEMS壓力傳感器主要為硅壓阻式壓力傳感器,其采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的,具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗和極低的成本?;菟诡D電橋的壓阻式傳感器,如無(wú)壓力變化,其輸出為零,幾乎不耗電。通常情況下該種壓力傳感器可以準(zhǔn)確測(cè)量環(huán)境壓力,但如果環(huán)境產(chǎn)生瞬間振動(dòng)時(shí),會(huì)對(duì)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片產(chǎn)生瞬時(shí)沖擊,導(dǎo)致?lián)p壞,進(jìn)一步影響測(cè)量精度,亟待改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題,本發(fā)明的目的在于提出一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅?,通過(guò)本發(fā)明的實(shí)施,避免瞬時(shí)沖擊對(duì)測(cè)量精度的影響。為達(dá)此目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅?,包括由四個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋,惠斯頓電橋與控制電路之間連接有電信號(hào)濾波器,用于將振動(dòng)引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉;且每個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過(guò)緩沖墊片安裝在探測(cè)外殼上。優(yōu)選地,所述電信號(hào)濾波器為電感電容濾波器。優(yōu)選地,所述電信號(hào)濾波器連接在所述惠斯頓電橋的輸出端或輸入端。優(yōu)選地,所述緩沖墊片為圓形、矩形或橢圓形。優(yōu)選地,所述緩沖墊片的材質(zhì)為橡膠。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明具有以下有益效果本發(fā)明中,通過(guò)在半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片與探測(cè)器外殼之間增加緩沖墊,減輕環(huán)境振動(dòng)對(duì)其損害,并在測(cè)量電路中增加濾波器,將振動(dòng)引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉,既保證了測(cè)量精度,又保護(hù)了半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片,延長(zhǎng)了壽命。發(fā)明附1是本發(fā)明實(shí)施例1提供的一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅魇疽鈭D。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明實(shí)施例1提供了一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎?br>
圖1所示,包括由四個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片I組成的惠斯頓電橋,每個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過(guò)緩沖墊片2安裝在探測(cè)外殼10上,惠斯頓電橋的輸出端或輸入端連接有電信號(hào)濾波器3,用于將振動(dòng)弓丨起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉,可以為電感電容濾波器。其中,緩沖墊片2可以為圓形、矩形、橢圓形或其他形狀,其材質(zhì)可以為橡膠。以上所述,僅為本發(fā)明較佳的具體實(shí)施方式
,但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此,任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi),根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變,都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎涮卣髟谟?,包? 由四個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋,惠斯頓電橋與控制電路之間連接有電信號(hào)濾波器,用于將振動(dòng)引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉;且每個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過(guò)緩沖墊片安裝在探測(cè)外殼上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎涮卣髟谟?,所述電信?hào)濾波器為電感電容濾波器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎涮卣髟谟?,所述電信?hào)濾波器連接在所述惠斯頓電橋的輸出端或輸入端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅?,其特征在于,所述緩沖墊片為圓形、矩形或橢圓形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎涮卣髟谟?,所述緩沖墊片的材質(zhì)為橡膠。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種帶振動(dòng)補(bǔ)償?shù)膲鹤枋綁毫鞲衅鳎ㄓ伤膫€(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成的惠斯頓電橋,惠斯頓電橋與控制電路之間連接有電信號(hào)濾波器,用于將振動(dòng)引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉;且每個(gè)半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片都通過(guò)緩沖墊片安裝在探測(cè)外殼上。本發(fā)明中,通過(guò)在半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片與探測(cè)器外殼之間增加緩沖墊,減輕環(huán)境振動(dòng)對(duì)其損害,并在測(cè)量電路中增加濾波器,將振動(dòng)引起的瞬間電壓變化的毛刺濾掉,既保證了測(cè)量精度,又保護(hù)了半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片,延長(zhǎng)了壽命。
文檔編號(hào)G01L1/22GK103017949SQ20121049553
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月28日
發(fā)明者駱垠旭, 瞿慶廣, 查德昌, 楊齊紅, 王漢才 申請(qǐng)人:安徽埃克森科技集團(tuán)有限公司