一種v形塊位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測樣品的載物臺和定位機構(gòu)，所述定位機構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，所述載物臺在水平面上的X方向上的運動被限制，在水平面上且垂直于X方向的Y方向上能夠自由移動；所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽，所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運動被限制，在X方向上能夠朝向或遠離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進或移出所述定位槽。本發(fā)明還提出了具有多層定位功能的承載機構(gòu)和包括承載機構(gòu)的檢測樣品平臺。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，能通過簡便地操作實現(xiàn)檢測樣品的定位和換位。
【專利說明】一種V形塊位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于光學(xué)檢測、光學(xué)記錄、激光系統(tǒng)等【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及用于光學(xué)系統(tǒng)檢測的檢測樣品承載機構(gòu)，特別是一種V型塊位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)。本發(fā)明能夠應(yīng)用于光學(xué)零件面形檢測、光學(xué)系統(tǒng)像差測量、激光輸出波前實時測試等，尤其適用于光刻設(shè)備中的光學(xué)系統(tǒng)和光學(xué)器件的檢測。
【背景技術(shù)】
[0002]在光學(xué)系統(tǒng)或設(shè)備中，能經(jīng)常需要對光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)設(shè)備或其所包括的光學(xué)器件進行各種參數(shù)的檢測，例如像差檢測等。以光刻機為例，其核心是一套高精度的投影成像系統(tǒng)。而由于波像差的存在會影響投影成像的精確度，從而影響光刻加工的質(zhì)量。目前，光刻機的像差檢測的基本原理是利用待測光刻機投影物鏡系統(tǒng)對某種特殊設(shè)計的專用掩模標記(其作為光學(xué)檢測樣品)進行曝光，將待測系統(tǒng)波像差包含到掩模標記的成像信息中；再通過某種方法從包含了系統(tǒng)像差的成像信息中反推出系統(tǒng)像差的大小。通常，需要一組(若干個)掩模光柵標記的成像信息才能檢測和反算出像差。因此就需要專門的機構(gòu)對不同的掩膜光柵標記進行切換，從而得到不同的成像信息。圖1所示為用于雙模式像差檢測的掩模光柵標記的示意圖。如圖1所示，在該雙模式像差檢測過程中需要四個掩膜光柵標記，可分為兩組，圖1中的a圖和b圖示意地表示了快速檢測模式所用標記，a圖為橫向光柵標記，b圖為縱向光柵標記,需聯(lián)立二者的成像信息才能反算出像差。c圖和d圖示意地表示了精確檢測模式下的橫向光柵和縱向光柵，二者與前兩者的區(qū)別在于光柵較密，其檢測精度較高。所述四個掩模光柵標記統(tǒng)一集成在一塊掩模板上。針對四個不同的檢測標記，檢測系統(tǒng)的機械結(jié)構(gòu)應(yīng)能實現(xiàn)4個位置的精確定位，對于光刻機的投影物鏡的檢測系統(tǒng)中多米用一維宏動直線電機實現(xiàn)多個掩模標記之間的切換，實際上一維宏動直線電機主要功能是驅(qū)動掩模上光刻圖案的移動調(diào)整。且掩模臺子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)相當復(fù)雜，零部件相當繁多，所占體積空間也較大，不宜專門用于投影系統(tǒng)像差等參數(shù)的檢測，而對于投影物鏡的專用檢測系統(tǒng)尚無精簡的機構(gòu)。
[0003]可見，在現(xiàn)有技術(shù)中，掩模光柵標記的換位常常被復(fù)合在調(diào)整掩模板的一維宏動直線電機上，實際上屬于掩模臺直線電機的一個附加功能，而并未有針對光學(xué)投影元件檢測的專用機構(gòu)，此外還需要配備有一套測量系統(tǒng)，整個機構(gòu)相復(fù)雜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提出一種專用于光學(xué)系統(tǒng)檢測的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，以解決現(xiàn)有的光學(xué)檢測樣品承載機構(gòu)不具備獨立的換位定位機構(gòu)，而使換位機構(gòu)附加于驅(qū)動電機時機構(gòu)復(fù)雜的缺點。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提出一種位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測樣品的載物臺和定位機構(gòu)，所述定位機構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中，所述載物臺在X方向上的運動被限制，在Y方向上能夠自由移動，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)；所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽；所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運動被限制，在X方向上能夠朝向或遠離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進或移出所述定位槽。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，所述定位塊的定位部呈圓臺體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺孔形。
[0011 ] 根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動電機，該驅(qū)動電機用于驅(qū)動定位塊在X方向上水平移動。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機均具有多個，且每個定位槽件對應(yīng)一個定位塊，其中所述每個定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個定位槽件在Y方向上相互錯開特定的距離，所述多個定位塊在Y方向上位于同
一位置。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，所述多個定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺固定連接。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，與所述多個定位塊連接的多個驅(qū)動電機固定在電機框架上，該電機框架被固定以至在Y方向上的運動被限制。
[0015]本發(fā)明還提出一種光學(xué)檢測樣品平臺，其包括上述位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，并且，所述光學(xué)檢測樣品平臺還包括基架，所述基架上安裝所述電機框架；所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，所述載物臺能夠相對于基架在Y方向上進行平行滑動。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一種【具體實施方式】，在所述載物臺上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測樣品的支承臺。
[0017](三)有益效果
[0018]本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)能過定位槽件和定位塊的配合,結(jié)構(gòu)精簡，成本低廉，不僅能實現(xiàn)光學(xué)樣品承載機構(gòu)的定位和換位功能，而且操作簡便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中用于雙模式像差檢測的掩模光柵標記的示意圖；
[0020]圖2為本發(fā)明的第一實施例的單層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖3為本發(fā)明的第二實施例的單層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖4為本發(fā)明的第三實施例的單層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖5為本發(fā)明的第四實施例的多層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的定位機構(gòu)的示意圖；
[0024]圖6為圖5所示的第四實施例的多層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的定位機構(gòu)的頂視圖；[0025]圖7為本發(fā)明的第五實施例的光學(xué)檢測樣品平臺的分解結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖8為本發(fā)明的第五實施例的光學(xué)檢測樣品平臺的頂部側(cè)視圖。
【具體實施方式】
[0027]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明。
[0028]本發(fā)明根據(jù)斜面分力產(chǎn)生動力的原理，結(jié)合投影物鏡的專用檢測系統(tǒng)的實際功能需求，設(shè)計一種位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，以對于所承載的光學(xué)檢測樣品在水平一維方向上進行精確定位。
[0029]本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)包括一個載物臺，該載物臺呈平板狀，且其主平面與水平面平行。該載物臺用于承載光學(xué)檢測樣品，為了配合檢測樣品在水平一維方向上的定位，該載物臺在水平面的一個方向上的運動被限制，而在垂直于該方向上能夠自由移動。
[0030]為了描述方便，我們以直角維坐標系來表示上述運動方向。我們以X、Y方向為水平面上的兩個相互垂直的方向，Z方向為垂直于水平面的方向，并假設(shè)載物臺的X方向上的運動被限制，則該載物臺能夠在Y方向上自由移動。
[0031 ] 為了使載物臺能夠在Y方向上被精確定位，本發(fā)明的承載機構(gòu)中包括有定位機構(gòu)，該定位機構(gòu)由一個定位槽件和定位塊構(gòu)成。其中，定位槽件固定連接于載物臺的一個側(cè)邊，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽；定位塊是與定位槽件相配合的一個部件，其具有外凸的定位部，該定位部與定位槽的形狀完全吻合，以至于其能夠緊密地嵌合于所述定位槽中。
[0032]必須注意的是，為了實現(xiàn)載物臺在Y方向上的定位，定位塊在X方向上能夠自由運動，但在Y方向上的運動被限制，并且，當該定位塊在X方向上靠近所述定位槽件運動時，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。由于定位槽件固接于載物臺，而載物臺在X方向上的運動被限制，因此定位塊成X方向上的運動通過定位部與定位槽的相互作用而轉(zhuǎn)化為定位槽件在Y方向上的運動，從而定位槽件帶動載物臺在Y方向上運動。當定位部完全嵌合于定位槽中時，完成載物臺在Y方向上的精確定位。
[0033]圖2是本發(fā)明的第一實施例的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)包括載物臺1、定位槽件2和定位塊3。
[0034]該實施例中，載物臺I呈矩形的平板狀，具有四條側(cè)邊，且其主平面平行于水平面，其中相對的兩條側(cè)邊平行于水平面上的X方向，另兩條側(cè)邊平行于水平面上的Y方向(與X方向垂直)。該載物臺I用于承載光學(xué)檢測樣品，并且其在X方向上的運動被限制，而在Y方向上能夠自由地滑動。由此，當光學(xué)檢測樣品被放置并固定于該載物臺I上時，其能夠在水平面上的Y方向運動。
[0035]在該載物臺I的平行于X方向的一條側(cè)邊上固定連接有一個定位槽件2。在該實施例中，定位槽件2也呈矩形的平板狀，其主平面也平行于水平面，其通過一條側(cè)邊與載物臺I的相應(yīng)側(cè)邊緊密連接。該定位槽件2的平行于Y方向的一側(cè)開有一個定位槽，該定位槽是一個內(nèi)凹的槽形。
[0036]所述定位塊3是一個與定位槽件2相配合以使定位槽件2在Y方向上精確定位的部件。定位塊3包括一個外凸的定位部，該定位部朝向與所述定位槽件2的定位槽。定位塊3在X方向上能夠朝向或背離定位槽件而自由運動，但在Y方向上的運動被限制。并且，當該定位塊3在X方向上靠近所述定位槽件2運動時，恰好能夠使得所述定位部嵌合于定位槽件的定位槽中。
[0037]在該實施例中，定位塊3也呈平板狀，其主平面也平行于水平面，且其定位部位于定位塊3的朝向定位槽件2的一側(cè)。并且，該定位部呈一個等腰三角形，其頂角正對所述定位槽件2。由此，整個定位塊3呈現(xiàn)一個前尖后平的形狀，如圖2所示。與之相對應(yīng)的，定位槽件2的定位槽具有與所述定位部完全吻合的形狀，即定位槽呈現(xiàn)一個類似于定母V的內(nèi)凹形，(或稱內(nèi)凹的V形)，使得定位塊3的定位部能夠無阻礙地、緊密嵌合于所述定位槽中。由此，由于定位塊3在Y方向上的運動被限制，當定位塊3在X方向上朝向定位槽件2移動時，定位塊2的定位部能夠滑入定位槽中，并且，當定位槽件沒有處于其定位的位置時，定位部的側(cè)邊與定位槽的V形的側(cè)邊相互產(chǎn)生力的作用，迫使定位槽件在Y方向上移動，使得定位部完全嵌合于定位槽中，此時，與定位槽件相固接的載物臺I達到其所需的Y方向上的定位位置。
[0038]在該實施例中，定位塊3與一個驅(qū)動電機4相連，在驅(qū)動電機4能夠驅(qū)動定位塊3在X方向上水平移動。由此，在該驅(qū)動電機4的驅(qū)動下，定位塊3的定位部能夠滑進或移出定位槽件2的定位槽。
[0039]由于定位塊3的定位部是一個三角形的板狀，因此，當定位塊的定位部完全嵌合于定位槽件的定位槽中時，定位塊能夠約束定位槽件2在Y方向上的平移、X方向上的旋轉(zhuǎn)和Z方向上的旋轉(zhuǎn)三個運動自由度，從而能夠滿足光學(xué)檢測樣品在一維方向上(Y方向上)的定位要求。
[0040]然而，對于要求更多自由度約束的光學(xué)檢測樣品的定位時,也可能改變定位槽件與定位塊的形狀和結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)。
[0041]圖3和圖4是本發(fā)明的第二、第三實施例的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，該承載機構(gòu)的結(jié)構(gòu)與前面所述實施例基本相同，所不同的在于定位機構(gòu)的不同。
[0042]在圖3所示的第二實施例中，定位塊3’的定位部是一個圓錐體形，而非三角的平板狀。相應(yīng)的，定位槽件2’的定位槽的形狀也呈一個內(nèi)凹的圓錐體形，或稱圓錐孔，且其輪廓與定位部的圓錐體形一致。由此，當定位塊3’的圓錐體定位部在驅(qū)動電機4的驅(qū)動下也能嵌合于定位槽部實現(xiàn)定位。并且，由于圓錐體形構(gòu)造的定位塊，該承載機構(gòu)還能夠限制定位槽件2’在Z方向上的移動，從而特別適合于對于Z方向上的移動也有自由度限制要求的光學(xué)檢測樣品的定位。
[0043]在圖4所示的第三實施例中，定位塊3”大至呈一圓柱體形，其朝向定位槽件的前部的定位部是一個底面積較大、頂面積較小的圓臺體形(圖中因角度問題未能顯示)。相應(yīng)的，定位槽件2”的定位槽的形狀也呈一個內(nèi)凹的圓臺體形，或稱圓臺孔。與圖3所示的實施例相似的，該實施例也能實現(xiàn)Z方向上的運動限位。
[0044]上述實施例實現(xiàn)的是一種單層的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，僅能實現(xiàn)單個光學(xué)檢測樣品的定位。下面描述能夠?qū)崿F(xiàn)在多個光學(xué)檢測樣品之間的自由切換，且換位過程與定位過程同時進行的多層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)。該承載機構(gòu)能夠快捷地進行快速檢測模式與精確檢測模式切換，對光學(xué)系統(tǒng)進行快速檢測與精確檢測。
[0045]圖5是本發(fā)明的第四實施例的四層位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)的定位機構(gòu)的示意圖。與前面描述的實施例不同的是，該承載機構(gòu)的定位機構(gòu)包括四個定位槽件21、22、23、24和四個定位塊31、32、33、34，四個定位塊分別與驅(qū)動電機41、42、43、44相連接。同樣的，四個定位槽件在X方向上的運動被限制，而四個定位塊在Y方向上的運動被限制。每個定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機的結(jié)構(gòu)與實施例一中所描述的相同，在此不再贅述。所不同的是，四個定位槽件不直接與載物臺(圖5中未顯示)相連接，而是共同固定于一個定位槽件框架5上，該定位槽件框架5是一個具有穩(wěn)定結(jié)構(gòu)的框體部件，在其的一側(cè)固定該四個定位槽件，另一側(cè)則與載物臺I固定連接。
[0046]相應(yīng)的，四個驅(qū)動電機則固定在一個電機框架6上,該電機框架6被固定以至在Y方向上的運動被限制。
[0047]所述四個定位槽件和四個電機被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個電機能夠分別驅(qū)動四個定位塊與定位槽件相嵌合。然而，在水平面的Y方向上，所述四個定位槽件21、22、23、24相互錯開一個距離，而所述四個電機41、42、43、44則在水平Y(jié)方向上位于同一位置，由此，當四個電機分別驅(qū)動不同的定位塊嵌合于定位槽件時，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺在Y方向上的四個不同位置的定位。
[0048]圖6顯示了本發(fā)明的該第四實施例的承載機構(gòu)的定位機構(gòu)在頂視圖。如圖6所示，在該實施例中，四個定位槽件在Y方向上從下至上依次錯開距離Λ d，而四個定位塊在Y方
向上完全重合。
[0049]圖7和圖8顯不了本發(fā)明的第五實施例的結(jié)構(gòu)不意圖，基中圖7是分解不意圖，圖8是頂部側(cè)視圖。該第五實施例是一個光學(xué)檢測樣品平臺，其包括了上述位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)。
[0050]如圖7所示，該實施例的光學(xué)檢測樣品平臺由固定部和運動部組成，固定部包括水平放置的基架7和在基架7上固定安裝的部件。基架7呈大致的矩形，具有四條側(cè)邊。在基架7上兩條相對的側(cè)邊上安裝有相互平行的導(dǎo)軌71、72，兩個導(dǎo)軌均平行于位于水平面上Y方向。在基架7的平行于X方向上的一條側(cè)邊上固定有電機框架6,所述電機框架6垂直于水平面安裝，用于固定多個驅(qū)動電機。在該實施例中，采用四個電機，其結(jié)構(gòu)和安裝方式與第四實施例相同，在此不再贅述。
[0051]在基架7的上部安裝有運動部，運動部包括載物臺I和在載物臺I上固定的其他部件。在載物臺I的下部具有與所述導(dǎo)軌71、72相配合的兩條平行的導(dǎo)槽11、12。通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，載物臺I能夠相對于基架I在Y方向上進行平行滑動。
[0052]在載物臺的靠近電機框架6的一側(cè)固定有定位槽件框架5,其用于固定多個定位槽件。在該實施例中，定位槽件與定位槽件框架5的結(jié)構(gòu)和位置關(guān)系與第四實施例相同，在此也不再贅述。同樣的，所述四個定位槽件和四個電機被固定的位置在Z方向上的相同高度，以便四個電機能夠分別驅(qū)動四個定位塊與定位槽件相嵌合。由此，當四個電機分別驅(qū)動不同的定位塊嵌合于定位槽件時，能夠?qū)崿F(xiàn)載物臺在Y方向上的四個不同位置的定位。
[0053]在圖7和圖8中，還顯示了當該光學(xué)檢測樣品平臺上固定有光學(xué)檢測樣品時的結(jié)構(gòu)，在該實施例中，光學(xué)檢測樣品為掩膜板9，掩膜板9由一掩膜支承臺8支承，該掩膜支承臺8固定于載物臺I上。但本發(fā)明并不限于此，本發(fā)明的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)和相應(yīng)的平臺也可以用于承載和精確定位其他光學(xué)樣品。
[0054]圖1所示的四種圖案a、b、c、d沿Y方向依次排列，并且放置在載物臺上，它們之間的距離為Λ d，這與四層V型塊在Y方向的距離保持一致，當?shù)谝粚覸型槽21與V型塊31相嚙合時，掩模板位于Y軸的近端，圖案d正位于工作區(qū)域，當?shù)诙覸型槽22與V型塊32相嚙合時，載物臺會向Y軸遠端方向移動Λ d，此時圖案c便進入了工作區(qū)域，依次類推，每移動一個Λ d，圖案便切換一次。
[0055]在上述各實施例中，所述驅(qū)動電機4優(yōu)選為直線電機。直線電機可直接輸出一維的直線運動，無需另外的運動轉(zhuǎn)換機構(gòu)，如果采用通常的旋轉(zhuǎn)電機，則需加裝把旋轉(zhuǎn)運動變換為直線運動的機構(gòu)，會使整機結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜，也降低了系統(tǒng)的可靠性。
[0056]此外，所述定位機構(gòu)的定位槽件和定位塊的數(shù)量、形狀、錯開距離等都可以由本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)實際應(yīng)用的需要進行變化，并且這種變化均應(yīng)視為涵蓋在本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。
[0057]以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細說明，應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，包括用于承載光學(xué)檢測樣品的載物臺，其特征在于，還包括定位機構(gòu)，所述定位機構(gòu)由定位槽件和定位塊構(gòu)成，其中， 所述載物臺在X方向上的運動被限制，在Y方向上能夠自由移動，所述X方向和Y方向相互垂直且位于水平面內(nèi)； 所述定位槽件固定連接于所述載物臺，并且具有一個內(nèi)凹的定位槽； 所述定位塊包括外凸的定位部，所述定位部能夠與所述定位槽緊密嵌合，并且，所述定位塊在Y方向上的運動被限制，在X方向上能夠朝向或遠離所述定位槽件移動，以使所述定位部移進或移出所述定位槽。
2.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件與定位塊均呈平板狀，且其主平面均平行于水平面；所述定位塊的定位部呈三角形，所述定位槽件的定位槽呈內(nèi)凹的V形。
3.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓錐體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓錐孔形。
4.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，所述定位塊的定位部呈圓臺體形，所述定位槽件的定位槽呈相應(yīng)的圓臺孔形。
5.如權(quán)利要求1所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，還包括與所述定位塊相連接的驅(qū)動電機，該驅(qū)動電機用于驅(qū)動定位塊在X方向上水平移動。
6.如權(quán)利要求5所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，所述定位槽件、定位塊和驅(qū)動電機均具有多個，且每個定位槽件對應(yīng)一個定位塊，其中 所述每個定位槽件與相應(yīng)的定位塊的高度一致，并且，所述多個定位槽件在Y方向上相互錯開特定的距離，所述多個定位塊在Y方向上位于同一位置。
7.如權(quán)利要求6所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，所述多個定位槽件共同固定于定位槽件框架上，該定位槽件框架與所述載物臺固定連接。
8.如權(quán)利要求7所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，其特征在于，與所述多個定位塊連接的多個驅(qū)動電機固定在電機框架上，該電機框架被固定以至在Y方向上的運動被限制。
9.一種光學(xué)檢測樣品平臺，其特征在于，包括如權(quán)利要求8所述的位置轉(zhuǎn)換機構(gòu)，并且， 所述光學(xué)檢測樣品平臺還包括基架，所述基架上安裝所述電機框架； 所述基架包括有導(dǎo)軌，所述載物臺包括與該滑軌配合的導(dǎo)槽，通過導(dǎo)槽與導(dǎo)軌之間的相對滑動，所述載物臺能夠相對于基架在Y方向上進行平行滑動。
10.如權(quán)利要求9所述的光學(xué)檢測樣品平臺，其特征在于，在所述載物臺上還固定有用于支持所述光學(xué)檢測樣品的支承臺。
【文檔編號】G01M11/00GK103852241SQ201210505997
【公開日】2014年6月11日 申請日期:2012年11月30日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月30日
【發(fā)明者】齊威, 齊月靜, 劉廣義, 韓曉泉 申請人:中國科學(xué)院光電研究院