專利名稱：一種磷化氫氣體分析測定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體分析測定技術(shù)，特別涉及一種磷化氫氣體分析測定裝置。
背景技術(shù)：
由于大氣環(huán)境中磷化氫的含量極其的低，處于ppt級別，有關(guān)氣態(tài)磷化氫樣品的分析一般采用柱前冷阱與氣相色譜聯(lián)用技術(shù)以對其進(jìn)行分析。該分析方法中一般采用手動進(jìn)樣。由于磷化氫樣品分析的特殊性，要求氣體樣品的進(jìn)樣速度非常的緩慢而均勻，以使磷化氫在冷阱中得到充分的分離、富集。由于現(xiàn)有的磷化氫的測定方法中采用的是手動進(jìn)樣，進(jìn)樣速度不能得到很好的控制，既不能使進(jìn)樣速度足夠的慢也不能保證進(jìn)樣速度的均勻，這就不能使磷化氫在冷阱中得到很好的分離、富集，降低了實驗的準(zhǔn)確度，使得實驗結(jié)果的重現(xiàn)性較差。 微型氣泵是一種體積小巧，工作介質(zhì)為氣態(tài)，主要用于氣體采樣、氣體循環(huán)、真空吸附、真空保壓、抽氣、打氣、增壓等多種用途的一種氣體輸送裝置。這種微型氣泵是干式、無油的，不需要真空泵油或潤滑油，不會污染工作介質(zhì)，不會干擾對介質(zhì)的分析。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點與不足，本實用新型的目的在于提供一種磷化氫氣體分析測定裝置，實現(xiàn)了樣品的自動進(jìn)樣，并且進(jìn)樣緩慢均勻。本實用新型的目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)—種磷化氫氣體分析測定裝置，包括冷阱富集裝置、氣相色譜儀和氣體樣品容器，還包括微型氣泵，所述微型氣泵的進(jìn)氣口與氣體樣品容器連接，所述微型氣泵的出氣口與冷阱富集裝置的進(jìn)樣口連接。所述氣體樣品容器為注射器。所述氣體樣品容器為氣袋。所述微型氣泵包括泵體和位于泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子。本實用新型的工作過程如下首先將氣體樣品存儲在氣體樣品容器中，然后將氣體樣品容器與微型氣泵的進(jìn)氣口相連接，氣體樣品容器中的氣體樣品由于泵體和泵的轉(zhuǎn)子的運作緩慢的被抽進(jìn)泵體中，由微型氣泵的出氣口排出，然后進(jìn)入冷阱富集裝置；最終，經(jīng)過冷阱富集裝置分離、富集的氣體進(jìn)入氣相色譜儀中進(jìn)行分析測定。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點和技術(shù)效果本實用新型在冷阱富集裝置的進(jìn)樣口處添加了一個微型氣泵，從而實現(xiàn)樣品的自動進(jìn)樣。與現(xiàn)有的手動進(jìn)樣相比，添加該微型氣泵所實現(xiàn)的自動進(jìn)樣可以使得進(jìn)樣速度緩慢均勻，有效的保證了磷化氫在冷阱中充分的分離、富集，提高了磷化氫檢測的靈敏度，可以進(jìn)一步降低磷化氫的檢測限，提高實驗的精確度，再現(xiàn)性好。同時操作簡單方便，還可以有效的消除由于實驗操作人員的不同以及操作環(huán)境的不同所造成的誤差。
圖I為本實用新型的實施例I的磷化氫氣體分析測定裝置示意圖。圖2為本實用新型的實施例I的微型氣泵的示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合實施例及附圖，對本實用新型作進(jìn)一步地詳細(xì)說 明，但本實用新型的實施方式不限于此。實施例I如圖I所示，本實施例一種磷化氫氣體分析測定裝置，包括裝有氣體樣品的注射器I、微型氣泵2、包括冷阱富集裝置3和氣相色譜儀4。如圖2所示，微型氣泵包括泵體5 和位于泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子6，泵體上設(shè)有進(jìn)氣口 7和出氣口 8。所述微型氣泵2的進(jìn)氣口 7與注射器I連接，所述微型氣泵的出氣口 8與冷阱富集裝置3的進(jìn)樣口連接。本實用新型的工作過程如下首先將氣體樣品存儲在注射器中，然后將注射器與微型氣泵的進(jìn)氣口相連接，注射器中的氣體樣品由于泵體和泵的轉(zhuǎn)子的運作緩慢的被抽進(jìn)泵體中，由微型氣泵的出氣口排出，然后進(jìn)入冷阱富集裝置；最終，經(jīng)過冷阱富集裝置分離、富集的氣體進(jìn)入氣相色譜儀中進(jìn)行分析測定。實施例2本實施例一種磷化氫氣體分析測定裝置，包括裝有氣體樣品的氣袋、微型氣泵、包括冷阱富集裝置和氣相色譜儀。微型氣泵包括泵體和位于泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子，泵體上設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。所述微型氣泵的進(jìn)氣口與注射器連接，所述微型氣泵的出氣口與冷阱富集裝置的進(jìn)樣口連接。本實用新型的工作過程如下首先將氣體樣品存儲在氣袋中，然后將氣袋與微型氣泵的進(jìn)氣口相連接，氣袋中的氣體樣品由于泵體和泵的轉(zhuǎn)子的運作緩慢的被抽進(jìn)泵體中，由微型氣泵的出氣口排出，然后進(jìn)入冷阱富集裝置；最終，經(jīng)過冷阱富集裝置分離、富集的氣體進(jìn)入氣相色譜儀中進(jìn)行分析測定。上述實施例為本實用新型較佳的實施方式，但本實用新型的實施方式并不受所述實施例的限制，其他的任何未背離本實用新型的精神實質(zhì)與原理下所作的改變、修飾、替代、組合、簡化，均應(yīng)為等效的置換方式，都包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種磷化氫氣體分析測定裝置，包括冷阱富集裝置、氣相色譜儀和氣體樣品容器，其特征在于，還包括微型氣泵，所述微型氣泵的進(jìn)氣口與氣體樣品容器連接，所述微型氣泵的出氣口與冷阱富集裝置的進(jìn)樣口連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磷化氫氣體分析測定裝置，其特征在于，所述氣體樣品容器為注射器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磷化氫氣體分析測定裝置，其特征在于，所述氣體樣品容器為氣袋。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磷化氫氣體分析測定裝置，其特征在于，所述微型氣泵包括泵體和位于泵體內(nèi)的轉(zhuǎn)子。
專利摘要本實用新型公開了一種磷化氫氣體分析測定裝置，包括冷阱富集裝置、氣相色譜儀和氣體樣品容器，包括微型氣泵，所述微型氣泵的進(jìn)氣口與氣體樣品容器連接，所述微型氣泵的出氣口與冷阱富集裝置的進(jìn)樣口連接。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型實現(xiàn)了樣品的自動進(jìn)樣，并且進(jìn)樣緩慢均勻，有效的保證了磷化氫在冷阱中充分的分離、富集，提高了磷化氫檢測的靈敏度，可以進(jìn)一步降低磷化氫的檢測限，提高實驗的精確度，再現(xiàn)性好。
文檔編號G01N30/24GK202512095SQ20122007227
公開日2012年10月31日 申請日期2012年2月29日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月29日
發(fā)明者牛曉君, 米麗娜 申請人:華南理工大學(xué)